JPS6165333U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6165333U JPS6165333U JP15017484U JP15017484U JPS6165333U JP S6165333 U JPS6165333 U JP S6165333U JP 15017484 U JP15017484 U JP 15017484U JP 15017484 U JP15017484 U JP 15017484U JP S6165333 U JPS6165333 U JP S6165333U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- strain
- outer tube
- diaphragm
- pressure transducer
- back surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
第１図は従来の圧力検出ダイヤフラムの説明図
、第２Ａ図及び第２Ｂ図は本考案で使用される金
属板ダイヤフラムの説明図、第３図は本考案によ
る圧力変換装置の説明図、第４図は第３図の矢印
−における断面図である。 １０…金属板ダイヤフラム、１１…平滑表面、
１２…環状薄肉部、１３…薄肉部内側部、１４…
薄肉部外側部、２０…外管、３０…内管、４０…
間隙、６０…起歪素子、６１…半導体製方形板、
６２…Ｕ字形窓、６３Ａ，６３Ｂ…歪検出素子、
１００…圧力変換装置、Ｐ…圧力、ｐ…力。
、第２Ａ図及び第２Ｂ図は本考案で使用される金
属板ダイヤフラムの説明図、第３図は本考案によ
る圧力変換装置の説明図、第４図は第３図の矢印
−における断面図である。 １０…金属板ダイヤフラム、１１…平滑表面、
１２…環状薄肉部、１３…薄肉部内側部、１４…
薄肉部外側部、２０…外管、３０…内管、４０…
間隙、６０…起歪素子、６１…半導体製方形板、
６２…Ｕ字形窓、６３Ａ，６３Ｂ…歪検出素子、
１００…圧力変換装置、Ｐ…圧力、ｐ…力。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 平滑な表面及び環状薄肉部が形成された裏
面を有する金属板ダイヤフラム；一端が前記ダイ
ヤフラム裏面の薄肉部外側部に該薄肉部と同心的
に結合され他端に起歪素子を保持する外管；前記
外管の内側に間隙を介して同心的に配置され一端
が前記ダイヤフラム裏面の薄肉部内側部に結合さ
れ他端が前記起歪素子に係合する内管；及び前記
起歪素子に設けられ前記起歪素子の歪を検出する
如く適合された歪検出素子を備えてなる圧力変換
装置。 (2) 実用新案登録請求の範囲第１項記載の圧力
変換装置において、前記起歪素子が、前記外管の
中心軸線に関して対称な半導体製方形板、及び前
記中心軸線に関して対称に前記方形板に穿たれた
Ｕ字形窓からなり、前記歪検出素子が前記Ｕ字形
窓に取付けられた半導体歪検出素子からなる圧力
変換装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984150174U JPH0438272Y2 (ja) | 1984-10-05 | 1984-10-05 | |
| US06/781,986 US4653329A (en) | 1984-10-05 | 1985-09-30 | Pressure detector and strain member therefor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984150174U JPH0438272Y2 (ja) | 1984-10-05 | 1984-10-05 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6165333U true JPS6165333U (ja) | 1986-05-06 |
| JPH0438272Y2 JPH0438272Y2 (ja) | 1992-09-08 |
Family
ID=30708327
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1984150174U Expired JPH0438272Y2 (ja) | 1984-10-05 | 1984-10-05 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0438272Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010019827A (ja) * | 2008-06-11 | 2010-01-28 | Epson Toyocom Corp | 圧力センサー |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57124225A (en) * | 1981-01-23 | 1982-08-03 | Nippon Soken Inc | Pressure detector |
| JPS57147024A (en) * | 1981-03-07 | 1982-09-10 | Kyowa Dengiyou:Kk | Assembly of diaphragm and strain inducer for signal converter |
| JPS58154439U (ja) * | 1982-04-09 | 1983-10-15 | 日立造船株式会社 | 内燃機関筒内圧力検出器 |
-
1984
- 1984-10-05 JP JP1984150174U patent/JPH0438272Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57124225A (en) * | 1981-01-23 | 1982-08-03 | Nippon Soken Inc | Pressure detector |
| JPS57147024A (en) * | 1981-03-07 | 1982-09-10 | Kyowa Dengiyou:Kk | Assembly of diaphragm and strain inducer for signal converter |
| JPS58154439U (ja) * | 1982-04-09 | 1983-10-15 | 日立造船株式会社 | 内燃機関筒内圧力検出器 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010019827A (ja) * | 2008-06-11 | 2010-01-28 | Epson Toyocom Corp | 圧力センサー |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0438272Y2 (ja) | 1992-09-08 |