JPS62178340U - - Google Patents

Info

Publication number
JPS62178340U
JPS62178340U JP6728386U JP6728386U JPS62178340U JP S62178340 U JPS62178340 U JP S62178340U JP 6728386 U JP6728386 U JP 6728386U JP 6728386 U JP6728386 U JP 6728386U JP S62178340 U JPS62178340 U JP S62178340U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pedestal
pressure sensor
hole
semiconductor pressure
inner diameter
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP6728386U
Other languages
English (en)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP6728386U priority Critical patent/JPS62178340U/ja
Publication of JPS62178340U publication Critical patent/JPS62178340U/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measuring Fluid Pressure (AREA)
  • Pressure Sensors (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第1図は本考案の一実施例による半導体圧力セ
ンサを示す断面図、第2図及び第3図は本考案の
異なる実施例によるシリコンダイヤフラムと台座
を示す断面図、第4図は従来の半導体圧力センサ
を示す断面図、第5図は従来の半導体圧力センサ
のシリコンダイヤフラムと台座を示す断面図、第
6図は台座の貫通孔を細くした場合の断面図であ
る。 1,10……シリコンダイヤフラム、2,12
a,12b,21……貫通孔、3,11,20…
…台座、4……ステム、5……圧力導入パイプ、
7……キヤン。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 抵抗が形成されたシリコンダイヤフラムを
    貫通孔を有する台座を介してステム上に固定して
    形成される半導体圧力センサにおいて、 前記台座の貫通孔はシリコンダイヤフラム側の
    内径を小さくステム側の内径を大きく構成したこ
    とを特徴とする半導体圧力センサ。 (2) 前記台座の貫通孔はその中間部で内径を異
    なるように構成したことを特徴とする実用新案登
    録請求の範囲第1項記載の半導体圧力センサ。 (3) 前記台座の貫通孔はテーパ状に形成したこ
    とを特徴とする実用新案登録請求の範囲第1項記
    載の半導体圧力センサ。
JP6728386U 1986-05-02 1986-05-02 Pending JPS62178340U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6728386U JPS62178340U (ja) 1986-05-02 1986-05-02

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6728386U JPS62178340U (ja) 1986-05-02 1986-05-02

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS62178340U true JPS62178340U (ja) 1987-11-12

Family

ID=30906045

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP6728386U Pending JPS62178340U (ja) 1986-05-02 1986-05-02

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS62178340U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03123833A (ja) * 1989-10-09 1991-05-27 Hitachi Ltd 半導体歪ゲージ式圧力センサ

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03123833A (ja) * 1989-10-09 1991-05-27 Hitachi Ltd 半導体歪ゲージ式圧力センサ

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS62178340U (ja)
JPS62102806U (ja)
JPS62197036U (ja)
JPH02116083U (ja)
JPS6394383U (ja)
JPS6187338U (ja)
JPS62179309U (ja)
JPS62141971U (ja)
JPS6364909U (ja)
JPS61124764U (ja)
JPH03101558U (ja)
JPS6342997U (ja)
JPS6359271U (ja)
JPS6399088U (ja)
JPS6395244U (ja)
JPH0348791U (ja)
JPS6448612U (ja)
JPS6430475U (ja)
JPS63125113U (ja)
JPS6334313U (ja)
JPS61142968U (ja)
JPS6169588U (ja)
JPH0254976U (ja)
JPH02125276U (ja)
JPS6347247U (ja)