JPH02131639U - - Google Patents
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- JPH02131639U JPH02131639U JP4134289U JP4134289U JPH02131639U JP H02131639 U JPH02131639 U JP H02131639U JP 4134289 U JP4134289 U JP 4134289U JP 4134289 U JP4134289 U JP 4134289U JP H02131639 U JPH02131639 U JP H02131639U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- pressure sensor
- sensor section
- joint member
- case
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- Granted
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- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
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- 238000003466 welding Methods 0.000 claims 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
第１図は本考案に係る圧力変換器の一実施例の
垂直断面図、第２図はＣＶＤ装置の構成図、第３
図は他の実施例の垂直断面図、第４図は従来の圧
力変換器の垂直断面図である。 １５……歪ゲージ、１６……ダイヤフラム、１
７……圧力センサ部、１８……ジヨイント部材、
１９……基板、２０……ケース、２１……筒状台
座部、２２……空洞、２３……酸化珪素薄膜、３
２……圧力センサ部、３３……絶縁部材、３４…
…圧力導入用金属管。
垂直断面図、第２図はＣＶＤ装置の構成図、第３
図は他の実施例の垂直断面図、第４図は従来の圧
力変換器の垂直断面図である。 １５……歪ゲージ、１６……ダイヤフラム、１
７……圧力センサ部、１８……ジヨイント部材、
１９……基板、２０……ケース、２１……筒状台
座部、２２……空洞、２３……酸化珪素薄膜、３
２……圧力センサ部、３３……絶縁部材、３４…
…圧力導入用金属管。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 歪ゲージが形成されたダイヤフラムを有する
圧力センサ部と、該圧力センサ部を支えると共に
該圧力センサ部に対して圧力を導入するジヨイン
ト部材と、前記圧力センサ部からの信号を処理す
る信号処理装置を抱持して前記ジヨイント部材に
連結されたケースとを備える圧力変換器において
、前記圧力センサ部はダイヤフラムを筒状台座部
の一端で支持することにより形成されており、前
記信号処理装置は、前記ジヨイント部材の軸方向
と直交する方向に延在すると共に前記圧力センサ
部を囲繞する基板上に形成されており、前記ケー
スは前記基板を覆う偏平な形に形成されており、
前記ジヨイント部材及び前記ケースは前記筒状台
座部の他端に対して連結されていることを特徴と
する圧力変換器。 ２ 圧力センサ部は、その筒状台座部の他端に絶
縁部材を介して圧力導入用金属管の一端が接続さ
れてなり、該圧力導入用金属管の他端に対してジ
ヨイント部材及びケースが連結された請求項１記
載の圧力変換器。 ３ 歪ゲージが蒸着型のものとして形成された請
求項１又は２記載の圧力変換器。 ４ 圧力センサ部とジヨイント部及びケースとの
連結が入熱の少ない溶接方法により行なわれてい
る請求項１乃至３のいずれかに記載の圧力変換器
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989041342U JPH089621Y2 (ja) | 1989-04-06 | 1989-04-06 | 圧力変換器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989041342U JPH089621Y2 (ja) | 1989-04-06 | 1989-04-06 | 圧力変換器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02131639U true JPH02131639U (ja) | 1990-11-01 |
| JPH089621Y2 JPH089621Y2 (ja) | 1996-03-21 |
Family
ID=31551927
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1989041342U Expired - Fee Related JPH089621Y2 (ja) | 1989-04-06 | 1989-04-06 | 圧力変換器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH089621Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0536097U (ja) * | 1991-10-15 | 1993-05-18 | 三菱重工業株式会社 | 補強プレート付樹脂フアン |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60247129A (ja) * | 1984-05-21 | 1985-12-06 | Nippon Soken Inc | 高圧用圧力検出器 |
| JPS61137242U (ja) * | 1985-02-14 | 1986-08-26 | ||
| JPS63195537A (ja) * | 1987-02-09 | 1988-08-12 | Fuji Electric Co Ltd | 絶対圧形半導体圧力センサ |
-
1989
- 1989-04-06 JP JP1989041342U patent/JPH089621Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60247129A (ja) * | 1984-05-21 | 1985-12-06 | Nippon Soken Inc | 高圧用圧力検出器 |
| JPS61137242U (ja) * | 1985-02-14 | 1986-08-26 | ||
| JPS63195537A (ja) * | 1987-02-09 | 1988-08-12 | Fuji Electric Co Ltd | 絶対圧形半導体圧力センサ |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0536097U (ja) * | 1991-10-15 | 1993-05-18 | 三菱重工業株式会社 | 補強プレート付樹脂フアン |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH089621Y2 (ja) | 1996-03-21 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |