JPH02131640U - - Google Patents

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JPH02131640U
JPH02131640U JP4134389U JP4134389U JPH02131640U JP H02131640 U JPH02131640 U JP H02131640U JP 4134389 U JP4134389 U JP 4134389U JP 4134389 U JP4134389 U JP 4134389U JP H02131640 U JPH02131640 U JP H02131640U
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Description

【図面の簡単な説明】
第1図は本考案に係る圧力変換器の一実施例の
垂直断面図、第2図はCVD装置の構成図、第3
図は他の実施例の垂直断面図、第4図は従来の圧
力変換器の垂直断面図である。 9……圧力センサ部、10……圧力導入用金属
管、11,31……ジヨイント部材、12……ダ
イヤフラム、13……筒状台座部。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 1 歪ゲージが形成されたダイヤフラムを有する
    圧力センサ部が圧力を導入するジヨイント部材内
    に設けられた圧力変換器において、前記圧力セン
    サ部は前記ジヨイント部材とは独立に形成される
    と共に前記ダイヤフラムを筒状台座部の一端で支
    持することにより形成されており、該筒状台座部
    の圧力導入口に圧力を導入する前記ジヨイント部
    材側の圧力導入部が装着されていることを特徴と
    する圧力変換器。 2 前記圧力センサ部はジヨイント部材内に形成
    された収納開口内に収納され、この圧力センサ部
    の圧力導入口にジヨイント部材内に設けられた圧
    力導入用金属管の一端が固着されている請求項1
    記載の圧力変換器。 3 前記圧力センサ部はジヨイント部材内に設け
    られた圧力導入用金属管の一端の突起部に外部に
    露出して固着されている請求項1記載の圧力変換
    器。 4 歪ゲージが蒸着型のものとして形成された請
    求項1乃至3のいずれかに記載の圧力変換器。 5 圧力導入用金属管と圧力センサ部との連結お
    よび圧力導入用金属管とジヨイント部材との連結
    が入熱の少ない溶接方法により行なわれている請
    求項1乃至4のいずれかに記載の圧力変換器。
JP1989041343U 1989-04-06 1989-04-06 圧力変換器 Expired - Lifetime JP2545640Y2 (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0536097U (ja) * 1991-10-15 1993-05-18 三菱重工業株式会社 補強プレート付樹脂フアン
JP2009275695A (ja) * 2008-04-15 2009-11-26 Denso Corp 燃料噴射装置、それに用いられる蓄圧式燃料噴射装置システム
JP2020183944A (ja) * 2019-04-26 2020-11-12 株式会社デンソー 圧力センサ

Citations (4)

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JPS60247129A (ja) * 1984-05-21 1985-12-06 Nippon Soken Inc 高圧用圧力検出器
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JPS61158834U (ja) * 1985-03-26 1986-10-02
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