JPS61190842U - - Google Patents

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JPS61190842U
JPS61190842U JP7665785U JP7665785U JPS61190842U JP S61190842 U JPS61190842 U JP S61190842U JP 7665785 U JP7665785 U JP 7665785U JP 7665785 U JP7665785 U JP 7665785U JP S61190842 U JPS61190842 U JP S61190842U
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pressure sensor
pressure
diaphragm
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案に係る圧力センサの部分断面図
、第２図は従来の圧力センサの部分断面図、第３
図は同じく別の従来例における部分断面図である
。 １０１，１０２……ケース部材、３……ダイヤ
フラム、４……圧力検出素子、９，１０……Ｏリ
ング。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 受圧部に圧力検出素子を取付けたダイヤフ
    ラムを、ケース内部に周辺固定して内蔵させた圧
    力センサにおいて、前記ダイヤフラムは、Ｏリン
    グを介して周辺固定されていることを特徴とする
    圧力センサ。 (2) 前記Ｏリングは、前記ダイヤフラムの両面
    の周辺にそれぞれ備えられていることを特徴とす
    る実用新案登録請求の範囲第１項に記載の圧力セ
    ンサ。 (3) 前記圧力検出素子は、圧電振動子でなるこ
    とを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項ま
    たは第２項に記載の圧力センサ。 (4) 前記圧力検出素子は、歪ゲージでなること
    を特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項また
    は第２項に記載の圧力センサ。
JP1985076657U 1985-05-22 1985-05-22 Expired - Lifetime JPH0519797Y2 (ja)

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JPS61190842U true JPS61190842U (ja) 1986-11-27
JPH0519797Y2 JPH0519797Y2 (ja) 1993-05-25

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Publication number Publication date
JPH0519797Y2 (ja) 1993-05-25

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