JPS61203339U - - Google Patents
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- JPS61203339U JPS61203339U JP8787185U JP8787185U JPS61203339U JP S61203339 U JPS61203339 U JP S61203339U JP 8787185 U JP8787185 U JP 8787185U JP 8787185 U JP8787185 U JP 8787185U JP S61203339 U JPS61203339 U JP S61203339U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- semiconductor
- conducting
- hole
- sensor
- Prior art date
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- Pending
Links
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Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例の構成説明図、第２
図は従来より一般に使用されている従来例の構成
説明図である。 １……センサチツプ、１１……ダイアフラム部
、１２……導圧室、２……ピエゾ抵抗ゲージ、３
……半導体基板、３１……導圧孔、４……低融点
ガラス、７……導圧パイプ、８……金属薄膜、９
……接合部。
図は従来より一般に使用されている従来例の構成
説明図である。 １……センサチツプ、１１……ダイアフラム部
、１２……導圧室、２……ピエゾ抵抗ゲージ、３
……半導体基板、３１……導圧孔、４……低融点
ガラス、７……導圧パイプ、８……金属薄膜、９
……接合部。
Claims (1)
- 導圧室を有する半導体からなるセンサチツプと
、該センサチツプに取付けられ前記導圧室に圧力
を導入する導入孔を有する半導体基板と、前記導
圧孔に取付けられた導圧パイプとを具備する半導
体圧力センサにおいて、前記半導体基板と熱膨張
係数および剛性率が近い焼結材よりなる導圧パイ
プと、該導圧パイプと前記導圧孔との接合部分に
それぞれ設けられた金属薄膜と、該金属薄膜を介
して前記導圧孔と前記導圧パイプとをろう付けあ
るいは金属ソルダーによつて接合する接合部とを
具備したことを特徴とする半導体圧力センサー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8787185U JPS61203339U (ja) | 1985-06-11 | 1985-06-11 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8787185U JPS61203339U (ja) | 1985-06-11 | 1985-06-11 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61203339U true JPS61203339U (ja) | 1986-12-20 |
Family
ID=30640486
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8787185U Pending JPS61203339U (ja) | 1985-06-11 | 1985-06-11 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61203339U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH028723A (ja) * | 1988-06-27 | 1990-01-12 | Shindengen Electric Mfg Co Ltd | 圧力検出装置 |
-
1985
- 1985-06-11 JP JP8787185U patent/JPS61203339U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH028723A (ja) * | 1988-06-27 | 1990-01-12 | Shindengen Electric Mfg Co Ltd | 圧力検出装置 |
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