JPS6165173A - 電子部品検査用ソケツト - Google Patents

電子部品検査用ソケツト

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Publication number
JPS6165173A
JPS6165173A JP59185442A JP18544284A JPS6165173A JP S6165173 A JPS6165173 A JP S6165173A JP 59185442 A JP59185442 A JP 59185442A JP 18544284 A JP18544284 A JP 18544284A JP S6165173 A JPS6165173 A JP S6165173A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electronic component
heated
contact
socket
bottom plate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP59185442A
Other languages
English (en)
Inventor
Tomoyoshi Maniwa
真庭 友由
Rei Teranishi
寺西 玲
Koji Hoshi
浩二 星
Tetsuo Hayama
葉山 哲雄
Akira Fujii
藤井 ▲あきら▼
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi High Tech Corp
Original Assignee
Hitachi Electronics Engineering Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Electronics Engineering Co Ltd filed Critical Hitachi Electronics Engineering Co Ltd
Priority to JP59185442A priority Critical patent/JPS6165173A/ja
Publication of JPS6165173A publication Critical patent/JPS6165173A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02General constructional details
    • G01R1/04Housings; Supporting members; Arrangements of terminals
    • G01R1/0408Test fixtures or contact fields; Connectors or connecting adaptors; Test clips; Test sockets
    • G01R1/0433Sockets for IC's or transistors
    • G01R1/0441Details
    • G01R1/0458Details related to environmental aspects, e.g. temperature

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、電子部品たとえば薄型IC(集積回路)デバ
イスの加熱状態での動作試験をするための電子部品検査
用ソケットに関し、特に検査対象の電子部品を所定温度
まで短時間だ加熱することができると共に試験時の誘導
ノイズを除去できる電子部品検査用ソケットに関する。
従来の技術 従来のこの種の電子部品検査用ソケット1は、第5図に
示すように、周囲に立上り縁部2を有する底板部3に電
子部品試験機のパフォーマンスボード4との導通をとる
複数の接触端子5が植設されると共に、上板部6には上
記接触端子5と接続された複数のコンタクト部7が配置
され、上記底板部3と上板部6との間に中空部8が形成
されていた。そして、この中空部8内に底板部3の下方
からヒータ9を挿入し、このヒータ9の上面に薄型IC
デバイス等の電子部品10のモールド部分11の下面を
接触させると共に、上記コンタクト部γに該電子部品1
0のリード12を接触させてセットし、上記ヒータ9に
通電することにより上記電子部品10を加熱して試験を
していた。なお、第5図において、符号13は開閉蓋で
ちる。
発明が解決しようとする問題点 しかし、上記の従来技術においては、電子部品10のモ
ールド部分11はプラスチック等の熱伝導の低い材料で
できているため、ヒータ9で上記モールド部分11を加
熱してもその内部のチップを所定の温度(例えば125
℃)まで加熱するには時間がかかるものであった。また
、上記ヒータ9は、電子部品10のモールド部分11の
下面のみを局部的に加熱するだけなので、電子部品10
0周辺部分は室温状態であり上記加熱部分との温度差が
太き(、加熱温度が逃げ易いものであった。したがって
、電子部品10の全体を所定温度に保つのが困難であり
、検査精度が低下するものであった。さらに、試験すべ
き電子部品10は、検査用ソケット1にセットされる前
に適宜の温度まで予熱されてくるが、コンタクト部7は
室温状態にあるので、上記電子部品10のリード12を
該コンタクト部γに接触させたとき、上記予熱温度が逃
げてしまい、やはり加熱時間が長(なると共に、検査個
数及び能率が低下するものであった。さらにまた、上記
電子部品10を所定の加熱温度に保つため、ヒータ9の
コイルの電源をON、OFFするが、このON、OFF
時の電圧変化により電子部品試験機のパフォーマンスポ
ード4上の線材、〕くターン等く誘導ノイズがのること
があった。この結果、電子部品10の検査精度が低下す
るものであった。そこで、本発明はこのような問題点を
解決することを目的とする。
問題点を解決するための手段 そして上記の問題卓は本発明によれば、周囲く立上り縁
部を有する底板部に電子部品試験機との導通をとる複数
の接触端子が植設されると共に、上板部には上記接触端
子と接続された複数のコンタクト部が配置され、且つ上
記底板部と上板部との間には中空部が形成され上記コン
タクト部に電子部品のリードを接触させて該電子部品を
試験する電子部品検査用ソケットくおいて、上記立上り
縁部の適宜位置に中空部の内部に向けて所定温度の加熱
エアを供給する吹出し口を設けたことを特徴とする電子
部品検査用ソケットを提供することによって解決される
作   用 上記電子部品検査用ソケットは、底板部の周囲の立上り
縁部に中空部の内部に向けて所定温度の加熱エアを供給
する吹出し口を設げたことにより、この吹出し口から加
熱エアを供給し【電子部品全体を囲む雰囲気温度を高め
、モールド部分の全体を加熱すると共にリードを介して
内部のチップを加熱するものである。
実施例 以下、本発明の実施例を添付図面に基いて詳細に説明す
る。
第1図は本発明による電子部品検査用ソケット1′を示
す正断面図である。この電子部品検査用ソケット1′は
、薄WICデバイス等の電子部品10の加熱状態での動
作試験をするためのもので、周囲く立上り縁部2を有す
る底板部3に電子部品試験機のパフォーマンスボード4
との導通なとる複数の接触端子5が植設されると共に、
上板部6には上記接触端子5と接続された複数のコンタ
クト部7が配置され、かつ上記底板部3と上板部6との
間に中空部8が形成されており、上記コンタクト部7に
検査すべき電子部品10のリード12を接触させてセッ
トし該電子部品10を試験するよう釦なっている。なお
、第1図において、符号13は開閉蓋である。
ここで、本発明においては、上記底板部3周囲の立上り
縁部2の適宜位置に、加熱エアの吹出し口14が設けら
れている。この吹出し口14は、上記底板部3と上板部
6との間に形成された中空部8の内部に向けて所定温度
(例えば125℃)の加熱エアを供給するもので、図示
外の加熱源及びファン等によってつ(られた加熱エアを
給送する配管15の先端に接続されている。そして、第
2図に示すようく、上記配管15を介して吹出し口14
から所定温度の加熱エアを上記中空部8の内部へ供給す
ると、該加熱エアは矢印A、Bのように循環すると共に
、第1図に示すように矢印Cのよ5く対流して、電子部
品10を囲む全体の雰囲気温度を高め、モールド部分1
1の全体を加熱することができる。また、上記加熱エア
が電子部品10の下面側からその周囲のリード12の部
分を矢印りのように通過して該電子部品10の上面側へ
逃げるとき、上記リード12自体を加熱することができ
、このリード12と接続された内部のチップを該リード
12を介して直接加熱することができる。それと同時に
、接触端子5に接続されたコンタクト部Tも同様に加熱
することができる。
なお、第1図及び第2図では吹出し口14を立上り縁部
2を直角に突き抜ゆて一箇所だけ設げたものとして示し
たが、本発明はこれに限られず、立上り縁部2に対して
適宜の角度をなして突き抜けたり又は適宜の位置に二部
所以上設けてもよい。また、加熱エアとしては、通常の
空気だげ忙限られず、窒素ガスを用いてもよい。
この場合は、冷えたときの結露を防止することができる
第3図は他の実施例を示す平面説明図である。
この実施例は、上記加熱エアの吹出し口14を底板部3
の相対向する立上り縁部2a、2bの点対称の位置にそ
れぞれ設けたものである。この場合は、吹出し口14.
14が点対称の位置に2箇所設けであるので、中空部8
の内部における加熱エアの循環が矢印A、Bのように強
制的に行われ、その循環がスムーズに行われる。
また、第4図に示すように、矢印C方向の対流も電子部
品10の四周からおこることとなる。
したがって、上記中空部8の内部全体が均一の温度に速
やかに加熱され、電子部品10に対する加熱時間を短く
すると共KtXJ熱温度の精度を向上することができる
。なお、第3図において、符号16.16は加熱エアを
つ(るためのホット・ジェットであり、ガラス管17の
中にコイル18が巻いてあり、上記ガラス管1Tの内部
に矢印E、Fのように約2 Kf/−の圧力の空気又は
窒素ガスを供給し、電源端子19を介して電源をONす
ることにより加熱するものである。
また、符号20.20は、加熱エアの流量を調節する制
御弁である。なお、第3図においては、吹出し口14を
一対の相対向する立上り縁部2a、2bのみに設けたも
のとして示したが、本実施例はこれに限られず、他の一
対の相対向する立上り縁部2c、2dにも設け、合計4
箇所としてもよい。
発明の効果 本発明は以上説明したように、底板部3の周囲の立上り
縁部2に中空部8の内部に向けて所定温度の加熱エアを
供給する吹出し口14を設げたので、この吹出し口14
から加熱エアを供給することくより、電子部品10全体
を囲む雰囲気温度を高め、モールド部分11の全体を加
熱すると共くリード12を介して内部のチップを直接加
熱することができる。したがって、電子部品10を検査
すべき所定の温度に短時間で加熱できる。また、上記吹
出し口14かもの加熱エアの供給により接触端子5のコ
ンタクト部7も予め加熱されているので、適宜の温度に
予熱されて検査用ソケット1′のところまで搬送されて
きた電子部品10のリード12を上記コンタクト部γに
接触させてセットしても、該電子部品10の予熱温度が
逃げるのを防止できる。
これらのことから、電子部品10の加熱時間を短縮する
ことができ、この結果、検査個数及び検査能率を向上す
ることができる。さら廻、中空部8の内部全体が加熱エ
アの供給により温度上昇されると共に1電子部品10の
モールド部分11もその周辺部分に至るまで全体的に加
熱されるので、所定温度まで加熱された後の温度の逃げ
はあまり無(、電子部品10を所定の加熱温度だ保つの
が容易となり、検査精度を向上することができる。さら
にまた、従来のようにヒータ9を直接電子部品10に接
触することな(、加熱コイル等は電子部品及びパフォー
マンスボード4から配管15によって遠ざげることかで
きるので、上記パフォーマンスボード4に誘導ノイズが
のることを除去して電子部品10の倹査精度を向上する
ことができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明による電子部品検査用ソケットを示す正
断面図、第2図はその開閉蓋を省略して示す斜視図、第
3図は他の実施例を示す平面説明図、第4図はその開閉
蓋を省略して示す斜視図、第5図は従来の電子部品検査
用ソケットを示す正断面図である。 1′・−・電子部品検査用ソケット、 2・−・立上り縁部、 3・−底 板 部、 4・−電子部品試験機のパフォーマンスボード、5・−
・接 触 端 子、 6・・・上 板 部、 7・・・コンタクト部、 8・−・中 空 部、 10・・・電子部品、 12・・・リ − ド、 13−開  閉  蓋、 14−・吹出し口。 出願人 日立電子エンジニアリング株式会社第1図 ゝ4 第2図 第3図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、周囲に立上り縁部を有する底板部に電子部品試験機
    との導通をとる複数の接触端子が植設されると共に、上
    板部には上記接触端子と接続された複数のコンタクト部
    が配置され、且つ上記底板部と上板部との間には中空部
    が形成され、上記コンタクト部に電子部品のリードを接
    触させて該電子部品を試験する電子部品検査用ソケット
    において、上記立上り縁部の適宜位置に中空部の内部に
    向けて所定温度の加熱エアを供給する吹出し口を設けた
    ことを特徴とする電子部品検査用ソケット。 2、上記吹出し口を、相対向する立上り縁部の点対称の
    位置に設け、加熱エアを上記中空部内で循環させるよう
    にしたことを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の電
    子部品検査用ソケット。
JP59185442A 1984-09-06 1984-09-06 電子部品検査用ソケツト Pending JPS6165173A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04282470A (ja) * 1991-03-08 1992-10-07 Nec Kyushu Ltd 半導体集積回路自動選別装置
WO2002046781A1 (fr) * 2000-12-07 2002-06-13 Advantest Corporation Douille d'essai pour composants electroniques, et appareil d'essai pour composants electroniques utilisant cette douille
WO2008123608A1 (ja) * 2007-04-04 2008-10-16 Nhk Spring Co., Ltd. 導電性接触子ホルダおよび導電性接触子ユニット

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04282470A (ja) * 1991-03-08 1992-10-07 Nec Kyushu Ltd 半導体集積回路自動選別装置
WO2002046781A1 (fr) * 2000-12-07 2002-06-13 Advantest Corporation Douille d'essai pour composants electroniques, et appareil d'essai pour composants electroniques utilisant cette douille
JP2002236140A (ja) * 2000-12-07 2002-08-23 Advantest Corp 電子部品試験用ソケットおよびこれを用いた電子部品試験装置
US6932635B2 (en) 2000-12-07 2005-08-23 Advantest Corporation Electronic component testing socket and electronic component testing apparatus using the same
KR100747075B1 (ko) * 2000-12-07 2007-08-07 가부시키가이샤 아드반테스트 전자부품시험용소켓트 및 이를 이용한 전자부품시험장치
WO2008123608A1 (ja) * 2007-04-04 2008-10-16 Nhk Spring Co., Ltd. 導電性接触子ホルダおよび導電性接触子ユニット
US8096840B2 (en) 2007-04-04 2012-01-17 Nhk Spring Co., Ltd. Conductive contact holder and conductive contact unit
JP5490529B2 (ja) * 2007-04-04 2014-05-14 日本発條株式会社 導電性接触子ユニット
EP2138852A4 (en) * 2007-04-04 2017-08-30 NHK Spring Co., Ltd. Conductive contact holder and conductive contact unit

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