JPS615543A - ウエハ搬送装置 - Google Patents
ウエハ搬送装置Info
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- JPS615543A JPS615543A JP12617484A JP12617484A JPS615543A JP S615543 A JPS615543 A JP S615543A JP 12617484 A JP12617484 A JP 12617484A JP 12617484 A JP12617484 A JP 12617484A JP S615543 A JPS615543 A JP S615543A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の技術分野］
一本発明は、半導体ウェハの製造ラインにおいて未処理
ウェハを処理工程に送り、また処理済みウェハを収納す
るためのウェハ搬送手段を改良したウェハ搬送装置に関
するものＳある。
ウェハを処理工程に送り、また処理済みウェハを収納す
るためのウェハ搬送手段を改良したウェハ搬送装置に関
するものＳある。
［発明の技術釣菌１ｊ］ ：；
従来半導体ウェハ製造ラインにおいて、未処理および処
理済みウェハを搬送し収納するウェイ＼搬送装置は・た
とえば第６図乃至第９図１示す士うに構成されている。
理済みウェハを搬送し収納するウェイ＼搬送装置は・た
とえば第６図乃至第９図１示す士うに構成されている。
一６図はウェハを平面上直線的に搬送する方、式の装置
で、未処理ウェハ１１は供給治具２ａより送り出され、
搬送ベルト３０ａによって主装置２００へ送り込まれる
。この土製＠ ２００内で処理を施されたつ壬ハは、搬
送ベルト３０ｂによって収納治具３ａまたは３ｂに収納
される。。この方式では、ウェハの入口と出口は主装置
２００の向かいあった２つの側面に１つずつ設けられて
いる。
で、未処理ウェハ１１は供給治具２ａより送り出され、
搬送ベルト３０ａによって主装置２００へ送り込まれる
。この土製＠ ２００内で処理を施されたつ壬ハは、搬
送ベルト３０ｂによって収納治具３ａまたは３ｂに収納
される。。この方式では、ウェハの入口と出口は主装置
２００の向かいあった２つの側面に１つずつ設けられて
いる。
第７図はウェハを平面上Ｕ字型に搬送、する方式の装置
で、ウェハ１１は供給治具２ａより送り出され、搬送ベ
ル叶３０ａによ２て土製［２００へ送り込、まれ、主装
置２００内で処！を施された後、搬送ベルト３０ｂによ
って、収納治具３ａへ収納される。この方式では、主装
置２００の同一側面にウェハの出口と入口とが設けられ
ている。
で、ウェハ１１は供給治具２ａより送り出され、搬送ベ
ル叶３０ａによ２て土製［２００へ送り込、まれ、主装
置２００内で処！を施された後、搬送ベルト３０ｂによ
って、収納治具３ａへ収納される。この方式では、主装
置２００の同一側面にウェハの出口と入口とが設けられ
ている。
第８図は上記場合と同様に、ウェハを平面上Ｕ字型に搬
送する方式の装置であって、特に２つの治具２ａ、２ｂ
が、供給治具または収納治具のいずれにも使用できる型
の装置でである。治具２ａを供給治具とし、治具２ｂを
収納治具とした場合は、供給治具２ａから供給されたウ
ェハ１１は、搬送ベルト３０によって主装置２００へ運
ばれ、処理を施された後、搬送ベルト３０によって収納
治具２ｂへ送られる。また、治具２ｂを供給治具とした
場合は、ウェハ１１は、搬送ベルト３０によって途中の
側路３０ｃで直角に方向を変えて主装置２００へ送られ
る。そして主装置内で処理を施されたウェハ１２は、搬
送ベルト３０によって、再び側路３０ｃで方向を直角に
変えて、収納治具２ａへと運ばれる。この方式では、搬
送経路の向きを変えたり、またウェハの搬送路を途中で
直角に変えたりすることができる。
送する方式の装置であって、特に２つの治具２ａ、２ｂ
が、供給治具または収納治具のいずれにも使用できる型
の装置でである。治具２ａを供給治具とし、治具２ｂを
収納治具とした場合は、供給治具２ａから供給されたウ
ェハ１１は、搬送ベルト３０によって主装置２００へ運
ばれ、処理を施された後、搬送ベルト３０によって収納
治具２ｂへ送られる。また、治具２ｂを供給治具とした
場合は、ウェハ１１は、搬送ベルト３０によって途中の
側路３０ｃで直角に方向を変えて主装置２００へ送られ
る。そして主装置内で処理を施されたウェハ１２は、搬
送ベルト３０によって、再び側路３０ｃで方向を直角に
変えて、収納治具２ａへと運ばれる。この方式では、搬
送経路の向きを変えたり、またウェハの搬送路を途中で
直角に変えたりすることができる。
第９図はウェハを平面上Ｕ字型に搬送する方式の搬送装
置で、これは特に１装Ｍ２Ｏ０のウェハ１１の収納枚数
が、治具２ａのウェハ収納枚数よりも多いことを前提と
した場合に適用される。ここでは治具２ａ１２ｂ・・・
が−列に並べられ、まずその先頭となる治具２ａからウ
ェハ１１が供給され、搬送ベルト３０ａによって主装置
２００へ運ばれる。治具２ａから全てのウェハ１１を供
給された治具２ａは２ｘの位置へ移動して、主装置２０
０内で処理を施されたウェハ１２を受は入れる体勢にな
る。その後処理済みのウェハ１２が、搬送ベルト３０ｂ
によって治具２ａに収納される。後続の治具２ａ、２ｂ
・・・も同様にして、供給、収納を繰返す。
置で、これは特に１装Ｍ２Ｏ０のウェハ１１の収納枚数
が、治具２ａのウェハ収納枚数よりも多いことを前提と
した場合に適用される。ここでは治具２ａ１２ｂ・・・
が−列に並べられ、まずその先頭となる治具２ａからウ
ェハ１１が供給され、搬送ベルト３０ａによって主装置
２００へ運ばれる。治具２ａから全てのウェハ１１を供
給された治具２ａは２ｘの位置へ移動して、主装置２０
０内で処理を施されたウェハ１２を受は入れる体勢にな
る。その後処理済みのウェハ１２が、搬送ベルト３０ｂ
によって治具２ａに収納される。後続の治具２ａ、２ｂ
・・・も同様にして、供給、収納を繰返す。
［背景技術の問題点］
ウェハ搬送装置において望まれることは、まず作業の能
率を向上するために、供給治具の交換中も主装置を停止
しないで連続的にウェハの処理を行うことである。しか
し、上記第６図乃至第８図の例では供給治具の交換中に
、また、第９図の例 （では治具２ａを２×の
位置への移動する際に主装置を □停止しなけ
ればならない。
率を向上するために、供給治具の交換中も主装置を停止
しないで連続的にウェハの処理を行うことである。しか
し、上記第６図乃至第８図の例では供給治具の交換中に
、また、第９図の例 （では治具２ａを２×の
位置への移動する際に主装置を □停止しなけ
ればならない。
またウェハのロット管理を行う上で、供給油゛′具と収
納治具には同一の治具を用いることが望ましいが、第６
図乃至第８図の例では、異なる治具を使用するためロッ
トの混入の恐れがある。
納治具には同一の治具を用いることが望ましいが、第６
図乃至第８図の例では、異なる治具を使用するためロッ
トの混入の恐れがある。
−第９図の例ではロットの混入の問題はないが、供給治
具のウェハ収納枚数が゛主装置のウェハ収納枚数よりも
少なくなければならないため、使用”できる治具が制限
される。さらに第６図−例では、複数の治具からウェハ
が供給されるが、各治具の優先順′は治具の並べ順によ
るため、治具間に任意の優先順を決めることはできない
。
具のウェハ収納枚数が゛主装置のウェハ収納枚数よりも
少なくなければならないため、使用”できる治具が制限
される。さらに第６図−例では、複数の治具からウェハ
が供給されるが、各治具の優先順′は治具の並べ順によ
るため、治具間に任意の優先順を決めることはできない
。
また第８図の例においては、ウェハ運搬の往路と復路と
が一部重複しており、つ１八同士が衝突する恐れがある
。その防止対策としては、供給治具からのウェハ１１の
供給と主装置からの処理済みウェハ１２の排出とを別々
動作゛にて制御することが必要であるが、□これは搬送
のインデックスダウンを引起こす。“ ； さらに、工程の無人化を図る際には必要なロボットの敗
は少ない方がよい。第６図の例では、供給治具と収納治
具とが主装置の両側にあるため、工程間の治具の受取の
ための工程間搬送用ロボットは２台必要である。
が一部重複しており、つ１八同士が衝突する恐れがある
。その防止対策としては、供給治具からのウェハ１１の
供給と主装置からの処理済みウェハ１２の排出とを別々
動作゛にて制御することが必要であるが、□これは搬送
のインデックスダウンを引起こす。“ ； さらに、工程の無人化を図る際には必要なロボットの敗
は少ない方がよい。第６図の例では、供給治具と収納治
具とが主装置の両側にあるため、工程間の治具の受取の
ための工程間搬送用ロボットは２台必要である。
［発明の目的］
本発明の目的は、上記問題点を鑑みて、ウェハの供給、
収納に同一治具を用いることができるようにするととも
に、ろエバの供給および収納搬送を、主装置を停止させ
ることなく連続的に行ない、また、治具の優先順序を選
択することによりウェハのランダムな搬送を゛すること
−ができ、無人化や自動化を行う際、治具ごとのロット
管理を行うことができるつｉｔｓ搬送装置を提供するこ
とである。
収納に同一治具を用いることができるようにするととも
に、ろエバの供給および収納搬送を、主装置を停止させ
ることなく連続的に行ない、また、治具の優先順序を選
択することによりウェハのランダムな搬送を゛すること
−ができ、無人化や自動化を行う際、治具ごとのロット
管理を行うことができるつｉｔｓ搬送装置を提供するこ
とである。
［発明の概要］
すなわち、本発明に係るウェハ搬送装置は、ウェハ処理
を行う主装置に対して、未処理および処理済みウェハを
収納する複数個の治具を配置して構成されるもので、ｉ
ｊ８治具が、未処理ウェハを主装置に送り出すための供
給口と処理済みウェハの受は取るための収納口とを有し
、上記各治具の供給口が、基盤目もしくは一部立体交差
を有するウェハ搬送用の通路網を介して主装置のウェハ
搬入口に結合し、また主装置のウェハ送出口は、上記ウ
ェハ搬送用通路網を介して上記各治具の収納口に結合す
るようにする。そして、ウェハの搬送用通路網を変更す
ることにより、ウェハ同士が衝突することなく連続的に
供給収納され、治具の優先順序が選択できるように構成
されている。
を行う主装置に対して、未処理および処理済みウェハを
収納する複数個の治具を配置して構成されるもので、ｉ
ｊ８治具が、未処理ウェハを主装置に送り出すための供
給口と処理済みウェハの受は取るための収納口とを有し
、上記各治具の供給口が、基盤目もしくは一部立体交差
を有するウェハ搬送用の通路網を介して主装置のウェハ
搬入口に結合し、また主装置のウェハ送出口は、上記ウ
ェハ搬送用通路網を介して上記各治具の収納口に結合す
るようにする。そして、ウェハの搬送用通路網を変更す
ることにより、ウェハ同士が衝突することなく連続的に
供給収納され、治具の優先順序が選択できるように構成
されている。
［発明の実施例］
本発明の一実施例を第１図および第２図を参照して説明
する。この例では、未処理のウェハ１１が４個の治具２
１．２２．２３．２４から供給され、その４個の治具へ
処理済みウェハ１２が再び収納される場合を示している
。
する。この例では、未処理のウェハ１１が４個の治具２
１．２２．２３．２４から供給され、その４個の治具へ
処理済みウェハ１２が再び収納される場合を示している
。
この装置は、ステーション部分１００と、バッファ部分
３００と、主装置２００とから構成されている。
３００と、主装置２００とから構成されている。
ステーション部分１００の各治具２１．２２．２３．２
４”に収められたウェハ１１は、これらの各治具に対し
て定められた固有の運搬路を通って運搬通路５１に達す
る。そしてその運搬通路網の出口から運搬往路６０を通
ってバッファ部分３００へ送られ、各治具に固有のスト
ッカ用治具７１．７２．７３．７４に移し換えられる。
４”に収められたウェハ１１は、これらの各治具に対し
て定められた固有の運搬路を通って運搬通路５１に達す
る。そしてその運搬通路網の出口から運搬往路６０を通
ってバッファ部分３００へ送られ、各治具に固有のスト
ッカ用治具７１．７２．７３．７４に移し換えられる。
バッファ部分３００へのウェハ１１の供給運搬は、たと
えば、治具２１の全ウェハ１１が送り出された後に、こ
れに続く治具２２のウェハ１１のバッファ部分３００へ
の供給運搬を開始するように、治具単位に順位を設定し
て行う。始順は予め設定しでおく。そして、この供給運
搬動作を繰返して実行する。
えば、治具２１の全ウェハ１１が送り出された後に、こ
れに続く治具２２のウェハ１１のバッファ部分３００へ
の供給運搬を開始するように、治具単位に順位を設定し
て行う。始順は予め設定しでおく。そして、この供給運
搬動作を繰返して実行する。
こうしてバッファ部分３００のストッカ用治具７１〜７
４に収められたウェハは、上記同様に順位性をもって、
主装置のウェハ搬入口から主装置２００に供給される。
４に収められたウェハは、上記同様に順位性をもって、
主装置のウェハ搬入口から主装置２００に供給される。
主装置２００内で処理を施されたウェハ１２は、主装置
のウェハ送出口を出た後、運搬復路９０を通って運搬通
路４３に達する。そしてその運・撤退路網の入口から必
ず出発治具と同一の治具へ収納される。その運搬路も各
治具に対して定められた固有の運搬経路である。
のウェハ送出口を出た後、運搬復路９０を通って運搬通
路４３に達する。そしてその運・撤退路網の入口から必
ず出発治具と同一の治具へ収納される。その運搬路も各
治具に対して定められた固有の運搬経路である。
すなわち、運搬路を各治具２１〜２４それぞれに対して
それぞれ列状に設け、さらに、基盤目状の通
１１路網を形成するように、この各通路を共通に接続
する。そして、この通路網の各交差部でウェハの方向が
変換できるようにする。以下に具体的に、ステーション
部分１００の各治具２１〜２４に対して定められたウェ
ハ１１の運搬通路、およびバッファ部分３００のストッ
カ用治具７１〜７４、および処理を終えたウェハ１２の
゛運搬通路を説明する。
それぞれ列状に設け、さらに、基盤目状の通
１１路網を形成するように、この各通路を共通に接続
する。そして、この通路網の各交差部でウェハの方向が
変換できるようにする。以下に具体的に、ステーション
部分１００の各治具２１〜２４に対して定められたウェ
ハ１１の運搬通路、およびバッファ部分３００のストッ
カ用治具７１〜７４、および処理を終えたウェハ１２の
゛運搬通路を説明する。
ステーション部分１００の治具２１に収納されていたウ
ェハ１１は、運搬通路３１．４１・、５１．６１を経て
バッファ部分３００の治具７１へ移し換えられる。ウェ
ハ１１はさらに８１を通過して主装置２００内で処理を
受け、運搬通路４３．４２．４１．３１を経て、再びも
との゛治具２１へ収納される。
ェハ１１は、運搬通路３１．４１・、５１．６１を経て
バッファ部分３００の治具７１へ移し換えられる。ウェ
ハ１１はさらに８１を通過して主装置２００内で処理を
受け、運搬通路４３．４２．４１．３１を経て、再びも
との゛治具２１へ収納される。
ステーション部分１００の治具２２に収納されていたウ
ェハ１１は、運搬通路３２．３１．４１．５１．６１．
６２を経てバッファ部分３００の治具７２へ移し換えら
れる。ウェハ１１はさらに８２を通過して主装置２００
内で処理を受け、運搬通路４３．４２．３２、を経て、
再びもとの治具２２へ収納される。
ェハ１１は、運搬通路３２．３１．４１．５１．６１．
６２を経てバッファ部分３００の治具７２へ移し換えら
れる。ウェハ１１はさらに８２を通過して主装置２００
内で処理を受け、運搬通路４３．４２．３２、を経て、
再びもとの治具２２へ収納される。
ステーション部分１００の治具２３に収納されていたウ
ェハ１１は、運搬通路３３．３２．３１．４１．５１．
６１．６２．６３を経てバッファ部分３００の治具７３
へ移し挽゛えられる。ウェハ１１はさらに８３を通過し
て主装置２０６内で処理を受け、運搬通路４３．４２．
３２、を軽て、再ひもとの治具２３へ収納される。
ェハ１１は、運搬通路３３．３２．３１．４１．５１．
６１．６２．６３を経てバッファ部分３００の治具７３
へ移し挽゛えられる。ウェハ１１はさらに８３を通過し
て主装置２０６内で処理を受け、運搬通路４３．４２．
３２、を軽て、再ひもとの治具２３へ収納される。
ステーション部分１００の治具２４に収納されていたウ
ェハ１１は、運搬通路３４．４４．５４．６１．６２．
６３．６４を経てバッファ部分３００゛の治具７４へ移
し換えられる。ウェハ１１はさらに８４を通過して主装
置２００内で処理を受け、運搬通路４３．４２．４１．
３１を経て、再ひもとの治具２１へ収納される。
ェハ１１は、運搬通路３４．４４．５４．６１．６２．
６３．６４を経てバッファ部分３００゛の治具７４へ移
し換えられる。ウェハ１１はさらに８４を通過して主装
置２００内で処理を受け、運搬通路４３．４２．４１．
３１を経て、再ひもとの治具２１へ収納される。
ある治具が全ての処理済みウェハ１２を回収したら、そ
のウェハ１２を未処理ウェハ１１と交換する。
のウェハ１２を未処理ウェハ１１と交換する。
そして再び設定された順番にしたがって、供給を開始す
る。
る。
たとえば、ステーション部分１００の各治具の供給類を
治具２１−２２−２３−２４と決めた場合は、ウェハ１
２の収納を終えた治具２１は、新しい未処理のつ丁ハ１
１を収納した治具と交換され、治具２１の位置にセット
される。治具２１メ位置にセットされた治具のウェハは
、治具２４のウェハ１１が全てステーション部分の治具
７４に移し換えられると、それに連続して治具７１への
移し換えを開始する。こ９・ようにして主装置２００を
停止することなく、連続的にウェハの供給、処理、収納
を行う。
治具２１−２２−２３−２４と決めた場合は、ウェハ１
２の収納を終えた治具２１は、新しい未処理のつ丁ハ１
１を収納した治具と交換され、治具２１の位置にセット
される。治具２１メ位置にセットされた治具のウェハは
、治具２４のウェハ１１が全てステーション部分の治具
７４に移し換えられると、それに連続して治具７１への
移し換えを開始する。こ９・ようにして主装置２００を
停止することなく、連続的にウェハの供給、処理、収納
を行う。
しかしながら上記のウェハの流れにおいて、ある治具か
らの未処理のウェハ１１の運搬路と、処理を終えたウェ
ハ１２が他の治具へ収納される運搬路とが交差したり、
一部重なってしまう場合がある。
らの未処理のウェハ１１の運搬路と、処理を終えたウェ
ハ１２が他の治具へ収納される運搬路とが交差したり、
一部重なってしまう場合がある。
その場合、未処理ウェハ１１と処理済みウェハ１２とが
衝突する恐れがあるので、一方の運搬路を適当な経路へ
変更してそのような交差箇所や重複箇所がないようにす
る。
衝突する恐れがあるので、一方の運搬路を適当な経路へ
変更してそのような交差箇所や重複箇所がないようにす
る。
ここで、運搬路の交差や重複のためにウェハが衝突する
恐れがあるのは、次のような場合である。
恐れがあるのは、次のような場合である。
まず、ステーション部分１００の治具２１から出発した
ウェハ１１が、主装置２００内で処理を終えて通路４３
．４２．４１．３１を経て治具２１へ収納される最中に
、治具２２または治具２３からウェハ１１が出て来た場
合である。前者の場合は、治具２２から供給されるウェ
ハ１１の運搬路を変更して、３２．３３．３４または４
３．４４．５４．５１．６１．６２を通過するようにし
て、後者の場合は、治具２３から供給されるウェハ１１
の運搬路を変更して３３．３４．４４．５４．５１．６
１．６２．６３を通過するようにすればよい。また、ス
テーション部分１００の治具２２から出発したウェハ１
１が、主装置２００内で処理を終えて通路４３．４２．
３２、を経て治具２２へ収納される最中に治具２３から
未処理のウェハ１１が出て来た場合は、治具２３から供
給、されるウェハ１１の運搬路を変更して３３．３４．
４４．５４．５１．６１．６２．６３を通過するように
すればよい。
ウェハ１１が、主装置２００内で処理を終えて通路４３
．４２．４１．３１を経て治具２１へ収納される最中に
、治具２２または治具２３からウェハ１１が出て来た場
合である。前者の場合は、治具２２から供給されるウェ
ハ１１の運搬路を変更して、３２．３３．３４または４
３．４４．５４．５１．６１．６２を通過するようにし
て、後者の場合は、治具２３から供給されるウェハ１１
の運搬路を変更して３３．３４．４４．５４．５１．６
１．６２．６３を通過するようにすればよい。また、ス
テーション部分１００の治具２２から出発したウェハ１
１が、主装置２００内で処理を終えて通路４３．４２．
３２、を経て治具２２へ収納される最中に治具２３から
未処理のウェハ１１が出て来た場合は、治具２３から供
給、されるウェハ１１の運搬路を変更して３３．３４．
４４．５４．５１．６１．６２．６３を通過するように
すればよい。
このようにして各治具からのウェハ供給および収納を、
ウェハの衝突なくして連続的に行なうことができる。
ウェハの衝突なくして連続的に行なうことができる。
そしてこの装置では、同一、治具からのウェハの供給、
収納を行っているため、治具ごとにロフト管理ができる
。また工程内や工程間の治具の運搬においても、片側に
治具を集結したため搬送ロボットの導入台数が削減でき
る。搬送ロボットを使 Ａ□ｔ ６ ’ｊＡ８
、。１７．□Ｅｌ］ ａｏヵ。４．３ｊに設置すると、
１台のロボットに複数の治具の運搬をさせることができ
る。
収納を行っているため、治具ごとにロフト管理ができる
。また工程内や工程間の治具の運搬においても、片側に
治具を集結したため搬送ロボットの導入台数が削減でき
る。搬送ロボットを使 Ａ□ｔ ６ ’ｊＡ８
、。１７．□Ｅｌ］ ａｏヵ。４．３ｊに設置すると、
１台のロボットに複数の治具の運搬をさせることができ
る。
またバッファ部分を設けたことにより、主装置・のウェ
ハ収納枚数がステーション部分の治具のウェハ収納枚数
より少なくても、ステーション部分の治具はいつでも処
理済みウェハを収容できる。
ハ収納枚数がステーション部分の治具のウェハ収納枚数
より少なくても、ステーション部分の治具はいつでも処
理済みウェハを収容できる。
具体的には、まず各治具のウェハ１１は、その全てを収
納できるバッファ部分３００のストッカ用治具へ送られ
る。このバッファ部分３００のストッカ用治具が、主装
置２００に送るのに適当な量のウェハだけ主装置２００
に送る。したがって処理を終えたウェハ１２がもとの治
具へ収納される際に、そこに未処理ウェハが残留してい
ることは決してないのである。主装置のウェハ収容枚数
がステーション部分の治具のウェハ収容枚数よりも多い
場合は、このバッファ部分３００を使用する必要はない
。
納できるバッファ部分３００のストッカ用治具へ送られ
る。このバッファ部分３００のストッカ用治具が、主装
置２００に送るのに適当な量のウェハだけ主装置２００
に送る。したがって処理を終えたウェハ１２がもとの治
具へ収納される際に、そこに未処理ウェハが残留してい
ることは決してないのである。主装置のウェハ収容枚数
がステーション部分の治具のウェハ収容枚数よりも多い
場合は、このバッファ部分３００を使用する必要はない
。
このように主装置２００のウェハ収納棹数に合せて、バ
ッファ部分３００の設置、不設置を決定すればよく、ま
たバッファ部分、３００を設置した場合でも、不要な時
には運搬路からこれを除くようにすればよいため、装置
金体の大空さや価格の検討にも対処できる。
ッファ部分３００の設置、不設置を決定すればよく、ま
たバッファ部分、３００を設置した場合でも、不要な時
には運搬路からこれを除くようにすればよいため、装置
金体の大空さや価格の検討にも対処できる。
第３図は、交換治具を中央に配し、その両側に第１図と
同様の搬送経路を有したステーション部分１００および
１０１と、第１＠と同様のバッファ部分３００および３
０１とを配し、さらにその両側に主装置ｆ ２００およ
び２０１を配置した実施例である。ここでは、一方の主
装置内で処理を終えたウェハは中央治具に集結され、さ
らに連続的に他方の主装置へ供給され、処理を施された
後、再び中央治具に集結される。両ステーション部分お
よび両生装置の働きは、第１図の装置と同様である。ウ
ェハの収納を終えた治具は、矢印すのように次工程へと
運搬される。この運搬は搬送用ロボットを用いて行って
もよい。このように、一つの治具の両側にステーション
部分、バッファ部分および主装置を配置することにより
、治具を移動することなく２種類の処理ができる。また
、治具の受は渡しを装置間で行なわせるように構成する
ことも容易である。
同様の搬送経路を有したステーション部分１００および
１０１と、第１＠と同様のバッファ部分３００および３
０１とを配し、さらにその両側に主装置ｆ ２００およ
び２０１を配置した実施例である。ここでは、一方の主
装置内で処理を終えたウェハは中央治具に集結され、さ
らに連続的に他方の主装置へ供給され、処理を施された
後、再び中央治具に集結される。両ステーション部分お
よび両生装置の働きは、第１図の装置と同様である。ウ
ェハの収納を終えた治具は、矢印すのように次工程へと
運搬される。この運搬は搬送用ロボットを用いて行って
もよい。このように、一つの治具の両側にステーション
部分、バッファ部分および主装置を配置することにより
、治具を移動することなく２種類の処理ができる。また
、治具の受は渡しを装置間で行なわせるように構成する
ことも容易である。
第４図は、治具が２個の場合の実施例のステージョン部
分を示した図である。ここでも第１図と同様に、各治具
から出発したウニＩ＼１１Ｇよ、各治具に固有の運搬路
によりバッファ部分、主装置部分へ送られ、さらに出発
治具に固有の運搬通路を通って、再ひもとの治具へ収納
される。また、ウェハの搬送順序やバッファ部分の有無
につし）でも第１図の実施例と同様である。
分を示した図である。ここでも第１図と同様に、各治具
から出発したウニＩ＼１１Ｇよ、各治具に固有の運搬路
によりバッファ部分、主装置部分へ送られ、さらに出発
治具に固有の運搬通路を通って、再ひもとの治具へ収納
される。また、ウェハの搬送順序やバッファ部分の有無
につし）でも第１図の実施例と同様である。
第４図の場合、ステーション部分１００の各治具に対し
て定められたウェハ１１の運搬路および処理を終えたウ
ェハ１２の運搬路′は、次の通りである。
て定められたウェハ１１の運搬路および処理を終えたウ
ェハ１２の運搬路′は、次の通りである。
治具２５に収納されていたウェハ１１は、運搬通路３５
．４５を経てバッファ部分へ送られ、さらに主装置内で
処理を受けた後、運搬通路３５ａ、３５、を経て、再ひ
もとの治具２５へ収納される。
．４５を経てバッファ部分へ送られ、さらに主装置内で
処理を受けた後、運搬通路３５ａ、３５、を経て、再ひ
もとの治具２５へ収納される。
治具２６に収納されていたウェハ１１は、運搬通路３６
．４６．４５を経てバッファ部分へ送られ、さらに主装
置内で処理を受けた後、運搬通路３５ａ、３６、を経て
、再ひもとの治具２６収納される。
．４６．４５を経てバッファ部分へ送られ、さらに主装
置内で処理を受けた後、運搬通路３５ａ、３６、を経て
、再ひもとの治具２６収納される。
本実施例の場合はウェハの衝突するケースはなく、した
がってウェハの衝突を避けるために運搬路を変更する必
要はない。
がってウェハの衝突を避けるために運搬路を変更する必
要はない。
第５図は、治具が３個の場合の実施例のステーション部
分を示した図である。ここでも第１図と同様に、各治具
から出発したウェハ１１は、各治具に固有の運搬路によ
りバッファ部分、主装置部分へ送られ、さらに出発治具
に固有の運搬路を通って、再ひもとの治具へ収納される
。また、ウェハの搬送順序やバッファ部分の有無につい
ても第１図の挺施例と同様である。
分を示した図である。ここでも第１図と同様に、各治具
から出発したウェハ１１は、各治具に固有の運搬路によ
りバッファ部分、主装置部分へ送られ、さらに出発治具
に固有の運搬路を通って、再ひもとの治具へ収納される
。また、ウェハの搬送順序やバッファ部分の有無につい
ても第１図の挺施例と同様である。
この第５図の場合、ステーション部分の各治具に対して
定められたウェハ１１の運搬路および処理を終えたウェ
ハ１２の運搬路は、次の通りである。
定められたウェハ１１の運搬路および処理を終えたウェ
ハ１２の運搬路は、次の通りである。
治具２７に収納されていたウェハ１１は、運搬通路３７
．４７．５７を経てバッファ部分へ送られ、さらに主装
置内で処理を受けた後、運搬通路４８．４７．３７を経
て、再ひもとの治具２５へ収納される。
．４７．５７を経てバッファ部分へ送られ、さらに主装
置内で処理を受けた後、運搬通路４８．４７．３７を経
て、再ひもとの治具２５へ収納される。
治具２曇に収納されていたウェハ１１は、運搬通路３８
．３７．４７．５７を経てバッファ部分へ送られ、さら
に主装置内で処理を受けた後、運搬通路４８．３８、を
経て、再ひもとの治亘２５へ収納される。
．３７．４７．５７を経てバッファ部分へ送られ、さら
に主装置内で処理を受けた後、運搬通路４８．３８、を
経て、再ひもとの治亘２５へ収納される。
治具２９に収納されていたウェハ１１は、運搬通路３９
．４９．５９．５７を経てバッファ部分、へ送られ、さ
らに主装置内で処理を受けた後、運搬通路４８．４９．
３８、を経て、再ひもとの治具２５へ収納される。□こ
の例において運搬路の交差や重複のためにウェハが衝突
する恐れがあるのは、治具２７から出発して処理を終え
たウェハ１２がもとの治具２７へ収納される最中に、治
具２Ｂからウェハ１１が出て来た場合であるが、この時
は、治具２８から供給されるウェハ１１の運搬路を変更
して３８．３９．４９．５９．５７を通過するようにす
ればよい。
．４９．５９．５７を経てバッファ部分、へ送られ、さ
らに主装置内で処理を受けた後、運搬通路４８．４９．
３８、を経て、再ひもとの治具２５へ収納される。□こ
の例において運搬路の交差や重複のためにウェハが衝突
する恐れがあるのは、治具２７から出発して処理を終え
たウェハ１２がもとの治具２７へ収納される最中に、治
具２Ｂからウェハ１１が出て来た場合であるが、この時
は、治具２８から供給されるウェハ１１の運搬路を変更
して３８．３９．４９．５９．５７を通過するようにす
ればよい。
［発明の効果〕
本発明に係るウェハ搬送装置は、同一治具からのウェハ
の供給および収納を行うので、ウェハの治具ごとのロッ
ト管理が可能であり、工程内や工程間の搬送の自動化に
伴って、治具の運搬回数の −削減をすることが可能で
、これらのことからコンピュータによるウェハの管理が
省略化され、ウェーハのロット混入がなくなり、搬送の
トラブルを減らすことができる。
の供給および収納を行うので、ウェハの治具ごとのロッ
ト管理が可能であり、工程内や工程間の搬送の自動化に
伴って、治具の運搬回数の −削減をすることが可能で
、これらのことからコンピュータによるウェハの管理が
省略化され、ウェーハのロット混入がなくなり、搬送の
トラブルを減らすことができる。
第１図は、本発明の一実施例に係るウェハ搬送装置を概
略的に示す図、第２図は、上記実施例の搬送装置の状態
を平面的に示す図、第３図は、本発明の他の実施例を説
明する平面的な構成図、第４図および第５図は、それぞ
れ本発明のさらに他の実施例を説明する図、第６図乃至
第９図は、それぞれ従来のウェハ搬送装置の例を説明す
る図である。 、１１・・・未処理ウェハ、１２・・・処理済みウェハ
、１００・・・ステーション部分、２００・・・主装置
、３００・・・バッファ部分、２１〜２９・・・治具、
３１〜５９．６１〜６４．８１〜８４・・・運搬通路〜
、７１〜７４・・・ストッカ用治具、６０・・・運搬往
路、９０・・・運搬復路。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦第２図 第３図 第４図 第５因
略的に示す図、第２図は、上記実施例の搬送装置の状態
を平面的に示す図、第３図は、本発明の他の実施例を説
明する平面的な構成図、第４図および第５図は、それぞ
れ本発明のさらに他の実施例を説明する図、第６図乃至
第９図は、それぞれ従来のウェハ搬送装置の例を説明す
る図である。 、１１・・・未処理ウェハ、１２・・・処理済みウェハ
、１００・・・ステーション部分、２００・・・主装置
、３００・・・バッファ部分、２１〜２９・・・治具、
３１〜５９．６１〜６４．８１〜８４・・・運搬通路〜
、７１〜７４・・・ストッカ用治具、６０・・・運搬往
路、９０・・・運搬復路。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦第２図 第３図 第４図 第５因
Claims (1)
- 未処理ウェハが収納されまた処理済みウェハが収納され
るステーション部分に設置された複数の治具と、上記ス
テーション部分に設けられ上記複数の治具それぞれに対
応した運搬通路およびこの通路それぞれを共通に接続す
る通路から構成される運搬通路網と、この運搬路網の出
口および入口に対して処理済みウェハの搬入口および送
出口が接続される処理主装置と、上記複数の治具の中の
１つを選定してそこに収納されたウェハを上記運搬通路
網に送り出し上記主装置から送り出され運搬通路網に返
された処理済みウェハを上記選定された治具に導く搬送
路選択手段とを具備したことを特徴とするウェハ搬送装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59126174A JPH0650757B2 (ja) | 1984-06-19 | 1984-06-19 | ウエハ搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59126174A JPH0650757B2 (ja) | 1984-06-19 | 1984-06-19 | ウエハ搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS615543A true JPS615543A (ja) | 1986-01-11 |
| JPH0650757B2 JPH0650757B2 (ja) | 1994-06-29 |
Family
ID=14928509
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59126174A Expired - Lifetime JPH0650757B2 (ja) | 1984-06-19 | 1984-06-19 | ウエハ搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0650757B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5141164A (en) * | 1989-12-08 | 1992-08-25 | Nippondenso Co., Ltd. | Fuel injector |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5766649A (en) * | 1980-10-13 | 1982-04-22 | Yoshie Hasegawa | Automatic measuring device for semiconductor wafer |
-
1984
- 1984-06-19 JP JP59126174A patent/JPH0650757B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5766649A (en) * | 1980-10-13 | 1982-04-22 | Yoshie Hasegawa | Automatic measuring device for semiconductor wafer |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5141164A (en) * | 1989-12-08 | 1992-08-25 | Nippondenso Co., Ltd. | Fuel injector |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0650757B2 (ja) | 1994-06-29 |
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