JPS6153555A - 気体吸着装置の破過を予知する方法 - Google Patents
気体吸着装置の破過を予知する方法Info
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- JPS6153555A JPS6153555A JP59175384A JP17538484A JPS6153555A JP S6153555 A JPS6153555 A JP S6153555A JP 59175384 A JP59175384 A JP 59175384A JP 17538484 A JP17538484 A JP 17538484A JP S6153555 A JPS6153555 A JP S6153555A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の分野］
本発明は、気体吸着装置の破過を予知する方法に関する
。
。
［発明の背景］
近年、四塩化炭素、トリクミルエチレンなどの塩素化炭
化水素類、三塩化ホウ素、ハロゲンガス、アンモニアガ
ス、シランガス（ＳｉＨ４）などの物質を反応原料、溶
媒、洗浄溶媒あるいは種々の媒体などとして工場施設で
使用することが一般化している。特に、最近、ＬＳＩ製
造工程において、たとえばアルミニウムのドライエンチ
ングに多量の四塩化炭素あるいは三塩化ホウ素などの塩
素含有化合物を気体状態で連続的に流してエツチングを
行なう方法が利用されている。また、プラズマＣＶＤを
利用したＬＳＩの製造工程においても多量のシランガス
が使用されている。
化水素類、三塩化ホウ素、ハロゲンガス、アンモニアガ
ス、シランガス（ＳｉＨ４）などの物質を反応原料、溶
媒、洗浄溶媒あるいは種々の媒体などとして工場施設で
使用することが一般化している。特に、最近、ＬＳＩ製
造工程において、たとえばアルミニウムのドライエンチ
ングに多量の四塩化炭素あるいは三塩化ホウ素などの塩
素含有化合物を気体状態で連続的に流してエツチングを
行なう方法が利用されている。また、プラズマＣＶＤを
利用したＬＳＩの製造工程においても多量のシランガス
が使用されている。
ただし上記のようなガスは環境汚染の原因となるため、
これらの化合物の大気中への流出は、厳しく規制されて
いる。
これらの化合物の大気中への流出は、厳しく規制されて
いる。
［従来技術］
従って、このような物質を使用する場合には、使用する
装置の気体排出口に上記の気体を除去する装置を接続し
て上記の気体の大気中への流出を防止する措置を施すこ
とが一般的になっている。
装置の気体排出口に上記の気体を除去する装置を接続し
て上記の気体の大気中への流出を防止する措置を施すこ
とが一般的になっている。
たとえば、上記のドライエツチングの場合には。
処理対象物に四塩化炭素あるいは三ｊΣ５化ホウ素を含
有する気体を連続的に接触させてドライエンチングを行
なった後、たとえば、活性炭などの吸着剤が充填された
気体吸着装置に廃ガスを通してそれらのガスを除去する
方法が利用されている。また、プラズマＣＶＤを利用し
たＬＳＩの製造などに使用するシランカスも同様の装置
を利用して除去することが一般的になっている。
有する気体を連続的に接触させてドライエンチングを行
なった後、たとえば、活性炭などの吸着剤が充填された
気体吸着装置に廃ガスを通してそれらのガスを除去する
方法が利用されている。また、プラズマＣＶＤを利用し
たＬＳＩの製造などに使用するシランカスも同様の装置
を利用して除去することが一般的になっている。
このような吸着剤を充填した気体吸収装置１は。
吸着剤が一定量の物質を吸着すると破過し、それ以上の
物質を吸着することができなくなる。仮に破過した気体
吸着装置に吸着対象の気体がさらに流入した場合には、
吸着対象の気体は、もはや吸着剤によって吸着されずに
気体排出口から大気中に流出することになる。従って、
吸着対象の気体の大気中への流出を完全に防止するため
には、気体吸着装置の破過を事前に検知し、破過が発生
する前に吸着装置の交換を行なう必要がある。
物質を吸着することができなくなる。仮に破過した気体
吸着装置に吸着対象の気体がさらに流入した場合には、
吸着対象の気体は、もはや吸着剤によって吸着されずに
気体排出口から大気中に流出することになる。従って、
吸着対象の気体の大気中への流出を完全に防止するため
には、気体吸着装置の破過を事前に検知し、破過が発生
する前に吸着装置の交換を行なう必要がある。
［従来技術の問題点］
従来利用されている吸着剤の充填された気体吸着装置の
破過を検知する方法としては、気体吸着装置の気体排出
口近傍の吸着剤に吸着対象の気体に感応して色相が変化
する指示薬を付着させ、この指示薬の色相の変化を作業
者が随時確認して破過を予知する方法などが利用されて
いるにすぎない、しかしながら、この方法では、作業者
が色相の変化を見逃すこともあり、この場合には気体が
大気中に放出される危険性がある。
破過を検知する方法としては、気体吸着装置の気体排出
口近傍の吸着剤に吸着対象の気体に感応して色相が変化
する指示薬を付着させ、この指示薬の色相の変化を作業
者が随時確認して破過を予知する方法などが利用されて
いるにすぎない、しかしながら、この方法では、作業者
が色相の変化を見逃すこともあり、この場合には気体が
大気中に放出される危険性がある。
［発明の目的］
本発明は、吸着剤の充填された気体吸収装置の破過を事
前に検知する方法、すなわち破過を予知する方法を提供
することを目的とする。さらに。
前に検知する方法、すなわち破過を予知する方法を提供
することを目的とする。さらに。
未発明は、気体吸着装置の破過を高い精度で予知するこ
とができる方法を提供することを目的とする。また本発
明は、作業者の負担とならない気体吸着装置の破過を予
知する方法を提供することもその目的とする。
とができる方法を提供することを目的とする。また本発
明は、作業者の負担とならない気体吸着装置の破過を予
知する方法を提供することもその目的とする。
［発明の来旨］
本発明は、気体導入口と気体ｔＪｌ’ ｆＬ冒」とを有
する容器に吸着剤が充填されてなる気体吸着装置の破過
を予知する方法であって、該予知を、気体排出口近傍の
吸着剤における発熱温度を尚該部分に接触下に配置され
た温度感知センサにて感知することを含む操作により行
なうことを特徴とする気体吸着装置の破過を予知する方
法を提供する。
する容器に吸着剤が充填されてなる気体吸着装置の破過
を予知する方法であって、該予知を、気体排出口近傍の
吸着剤における発熱温度を尚該部分に接触下に配置され
た温度感知センサにて感知することを含む操作により行
なうことを特徴とする気体吸着装置の破過を予知する方
法を提供する。
上記の方法は、まず、所定の気体吸着装置と吸着対象の
気体を用いて予め破過の発生と当該；１！度感知センサ
で感知する吸着剤の発熱温度との関係を調へることによ
り破過を予知できるようなノ、ｔｉ準温度を設定して、
この基帖温度を温度感知センサが感知した際に該センナ
が発する信号により当該気体吸着装置の破過を事１１１
ｊに検知する方法をとることにより好まし〈実施される
。
気体を用いて予め破過の発生と当該；１！度感知センサ
で感知する吸着剤の発熱温度との関係を調へることによ
り破過を予知できるようなノ、ｔｉ準温度を設定して、
この基帖温度を温度感知センサが感知した際に該センナ
が発する信号により当該気体吸着装置の破過を事１１１
ｊに検知する方法をとることにより好まし〈実施される
。
さらに、本発明は、上記と同様の気体吸着装置の破過の
予知を、該吸着装罵の気体流通方向に対して直列に、か
つ少なくとも一の温度感知センサが吸着剤と接触下に配
置されている二以上の温度感知センサにより当該センサ
系配置部分の温度を感知し１次いで吸着剤と接触下に配
ｚ１された温度感知センサに感知された温度と他のセン
サにおいて感知された温度とを比較することを含む操作
により行なうことを特徴とする方法をも提供するもので
ある。
予知を、該吸着装罵の気体流通方向に対して直列に、か
つ少なくとも一の温度感知センサが吸着剤と接触下に配
置されている二以上の温度感知センサにより当該センサ
系配置部分の温度を感知し１次いで吸着剤と接触下に配
ｚ１された温度感知センサに感知された温度と他のセン
サにおいて感知された温度とを比較することを含む操作
により行なうことを特徴とする方法をも提供するもので
ある。
この方法は、所定の気体吸着装置と吸着対象の気体を用
いて予め破過の発生と吸着剤と接触下にＩｈ！、置され
た温度感知センサと他の温度感知センサのそれぞれにて
検知した温度差または起電力差の履歴との関係を調べる
ことにより破過を予知できるように吸着剤と接触下に配
置された温度感知センサと他の温度感知センサ間に設定
した温度差または起電力差を基準として、この基準温度
差またはノふ僧起電力差を当該温度感知センサ系が感知
した際に該センサ系が発する信号により当該気体吸着装
置の破過を事前に検知する方法をとることにより好まし
〈実施される。
いて予め破過の発生と吸着剤と接触下にＩｈ！、置され
た温度感知センサと他の温度感知センサのそれぞれにて
検知した温度差または起電力差の履歴との関係を調べる
ことにより破過を予知できるように吸着剤と接触下に配
置された温度感知センサと他の温度感知センサ間に設定
した温度差または起電力差を基準として、この基準温度
差またはノふ僧起電力差を当該温度感知センサ系が感知
した際に該センサ系が発する信号により当該気体吸着装
置の破過を事前に検知する方法をとることにより好まし
〈実施される。
［発明の効果］
木）Ａ明の方法は、吸着剤の充翳された気体吸着装置の
破過を高い精度で予知することができ、従って、吸着対
象の気体の流出を完全に防止することが可能となる。
破過を高い精度で予知することができ、従って、吸着対
象の気体の流出を完全に防止することが可能となる。
さらに本発明の方法は、気体吸着装置の破過を警告信号
（たとえば、ブザ、ランプの点滅など）により作業者が
察知することが可能であることから１作業者が頻繁に破
過の時期を確認するような煩雑な作業を行なう必要がな
く、しかも、作業者の見落し、あるいは確認の際の個人
差などにより生ずる破過の時期の誤認などもなく確実に
破過を予知することができる。
（たとえば、ブザ、ランプの点滅など）により作業者が
察知することが可能であることから１作業者が頻繁に破
過の時期を確認するような煩雑な作業を行なう必要がな
く、しかも、作業者の見落し、あるいは確認の際の個人
差などにより生ずる破過の時期の誤認などもなく確実に
破過を予知することができる。
［発明の詳細な記述］
本発明は、基本的には、気体導入口と気体υト出口とを
イｆする容器に吸着剤が充填されてなる気体吸着装置の
気体導入口から導入された吸着対象の気体が、吸着剤に
吸着される際に発生する吸着熱による発熱温度のピーク
の位置を温度感知センナを用いて感知することによりこ
の気体吸着装置の破過を事前に検知しようとするもので
ある。すなわち、気体吸着装置の気体導入口から導入さ
れた吸着対象の気体は、まず気体導入口側の吸着剤に吸
着され、その吸着部分の吸着剤が吸着対象の気体を吸着
して吸着能力を失うことに伴い吸着部分（吸着ＷＦ）は
次第に気体排出口側に移動して行く、吸着に伴なう吸着
熱の発生による発熱温度のピークの位置も吸着部分の移
動と共に気体排出口方向に移動して行く、従って、気体
吸着装置の破過と温度（温度自体に限らず、たとえば温
度を起電力などに変換した値）との関係を予め調査して
基準値を設定し、温度感知センサがこの基準値を感知し
た時に、このセンサが、たとえば、信号を発することに
より破過を事前に検知することができるのである。
イｆする容器に吸着剤が充填されてなる気体吸着装置の
気体導入口から導入された吸着対象の気体が、吸着剤に
吸着される際に発生する吸着熱による発熱温度のピーク
の位置を温度感知センナを用いて感知することによりこ
の気体吸着装置の破過を事前に検知しようとするもので
ある。すなわち、気体吸着装置の気体導入口から導入さ
れた吸着対象の気体は、まず気体導入口側の吸着剤に吸
着され、その吸着部分の吸着剤が吸着対象の気体を吸着
して吸着能力を失うことに伴い吸着部分（吸着ＷＦ）は
次第に気体排出口側に移動して行く、吸着に伴なう吸着
熱の発生による発熱温度のピークの位置も吸着部分の移
動と共に気体排出口方向に移動して行く、従って、気体
吸着装置の破過と温度（温度自体に限らず、たとえば温
度を起電力などに変換した値）との関係を予め調査して
基準値を設定し、温度感知センサがこの基準値を感知し
た時に、このセンサが、たとえば、信号を発することに
より破過を事前に検知することができるのである。
以下、添付した図面を参照しながら本発明を更に、ｉ’
ＣＬ ＜説明する。
ＣＬ ＜説明する。
第１図は本発明で使用する気体吸着装置の一例を模式的
に示した図であり、そして第２図は気体吸着装置が二接
備えられた本発明で使用する気体吸着装置の例を模式的
に示した図である。
に示した図であり、そして第２図は気体吸着装置が二接
備えられた本発明で使用する気体吸着装置の例を模式的
に示した図である。
本発明の方法を実施するための気体吸着装置は、気体導
入口と気体排出口とを有する容器に吸着剤が充填されて
なる気体吸着装置である。
入口と気体排出口とを有する容器に吸着剤が充填されて
なる気体吸着装置である。
吸着剤の耳順には特に制限はなく１通常使用されている
吸着剤から適宜選択して使用することができる。吸着剤
の例としては、活性炭、活性アルミナ、シリカゲル、二
酸化チタン、ベントナイト、酸性白土、ケイソウ上、炭
酸カルシウムなどを挙げることができ、これらを単独で
あるいは混合して使用することができる。特に好ましい
吸着剤は活性炭である。なお、」−記の吸着剤は、公知
の技術に従って表面処理が施されたもの、あるいは他の
成分が加えられたものであってもよい。
吸着剤から適宜選択して使用することができる。吸着剤
の例としては、活性炭、活性アルミナ、シリカゲル、二
酸化チタン、ベントナイト、酸性白土、ケイソウ上、炭
酸カルシウムなどを挙げることができ、これらを単独で
あるいは混合して使用することができる。特に好ましい
吸着剤は活性炭である。なお、」−記の吸着剤は、公知
の技術に従って表面処理が施されたもの、あるいは他の
成分が加えられたものであってもよい。
気体吸着装置は、気体導入口と気体排出口を有する容器
に吸着剤が充填されているものであれば特に形状、容ｊ
＾などに４１Ｆに制限はない。気体吸着装置の例として
、たとえば、第１図に示すような吸着塔型の気体吸着装
置を挙げることができる。
に吸着剤が充填されているものであれば特に形状、容ｊ
＾などに４１Ｆに制限はない。気体吸着装置の例として
、たとえば、第１図に示すような吸着塔型の気体吸着装
置を挙げることができる。
すなわち、第１図において１で示される容器は気体導入
口２および気体排出口３を有しており、そしてその内部
には吸着剤４が充填されている。
口２および気体排出口３を有しており、そしてその内部
には吸着剤４が充填されている。
吸着剤４により吸着される吸着対象の気体に特に制限は
ない、吸着対象の気体の例としては、四塩化炭素、トリ
クロルエチレンなどの塩素化炭化水素類、三塩化ホウ素
、ハロゲンガス、アンモニアガスおよびシランガスなど
を挙げることができる。吸着対象の気体は、単独気体あ
るいは混合気体のいずれであってもよい。
ない、吸着対象の気体の例としては、四塩化炭素、トリ
クロルエチレンなどの塩素化炭化水素類、三塩化ホウ素
、ハロゲンガス、アンモニアガスおよびシランガスなど
を挙げることができる。吸着対象の気体は、単独気体あ
るいは混合気体のいずれであってもよい。
吸着気体の発生工程についても制限はない０発生工程の
例としては、ドライエツチング、プラズマＣＶＤなどの
ＬＳＩ製造工程において発生する気体、合成反応などに
より発生した気体およびたとえば蒸気洗浄などの工程で
発生した気体などを挙げることができる。従って、上記
の吸着対象の気体がその発生工程で使用する他の気体に
よってＲｊ釈された状態のもの、あるいは他の気体との
程合気体であってもよい。
例としては、ドライエツチング、プラズマＣＶＤなどの
ＬＳＩ製造工程において発生する気体、合成反応などに
より発生した気体およびたとえば蒸気洗浄などの工程で
発生した気体などを挙げることができる。従って、上記
の吸着対象の気体がその発生工程で使用する他の気体に
よってＲｊ釈された状態のもの、あるいは他の気体との
程合気体であってもよい。
このような吸着対象の気体は、たとえば第１図に示すよ
うな気体吸着装置を用いた場合、気体導入口２から導入
され、まず気体導入口近傍の吸着剤によって吸着される
。そして、その部分の吸着剤が吸着対象の気体を吸着し
吸着能力を失うにつれて吸着部分（吸着帯）は、次第に
気体排出口３の方向に移動して行く、このように吸着部
分が移゛動するに伴ない、吸着熱のピークの位置も気体
ＩＡ出口３の方向に移動して行く、この際、たとえば温
度感知センサＡとセンサＢの二個の温度センサを第１図
に示すような位置関係にて配置した場合、温度感知セン
サＢは、導入された気体の温度を感知し、センサＡはこ
のセンサの配置された吸着剤の温度を感知して、そして
それぞれのセンサにて感知された温度は、たとえば温度
検知装（ｒゝｉ８ａで温度差として検知される。吸着対
象の気体を吸着する吸着能力がセンサＡに接近するに従
って。
うな気体吸着装置を用いた場合、気体導入口２から導入
され、まず気体導入口近傍の吸着剤によって吸着される
。そして、その部分の吸着剤が吸着対象の気体を吸着し
吸着能力を失うにつれて吸着部分（吸着帯）は、次第に
気体排出口３の方向に移動して行く、このように吸着部
分が移゛動するに伴ない、吸着熱のピークの位置も気体
ＩＡ出口３の方向に移動して行く、この際、たとえば温
度感知センサＡとセンサＢの二個の温度センサを第１図
に示すような位置関係にて配置した場合、温度感知セン
サＢは、導入された気体の温度を感知し、センサＡはこ
のセンサの配置された吸着剤の温度を感知して、そして
それぞれのセンサにて感知された温度は、たとえば温度
検知装（ｒゝｉ８ａで温度差として検知される。吸着対
象の気体を吸着する吸着能力がセンサＡに接近するに従
って。
センサＡとセンサＢとにより感知される両センサの温度
差は大きくなり、そして吸着部分が温度感知センサＡの
配置された吸着剤の部分に達した時にセンサＢにより感
知される導入気体の温度とセンサＡにより感知される吸
着剤の温度との差が最大となる０次いで、吸着部分がセ
ンサＡの吸着剤の部分を通過するとその温度差は減少し
てゆき、吸着部分が吸着剤の上端にまで達すると、もは
や吸着対象の気体は吸着されることなく気体排出口３か
ら排出され、破過に至る。従って、この温度差の推移と
破過との関係を予め調査して、たとえば、破過直前の温
度差を基準値として設定し、温度検知装置８ａがこの温
度差を検知した時に信号を発するようにすることにより
破過を事前に知ることができるのである。
差は大きくなり、そして吸着部分が温度感知センサＡの
配置された吸着剤の部分に達した時にセンサＢにより感
知される導入気体の温度とセンサＡにより感知される吸
着剤の温度との差が最大となる０次いで、吸着部分がセ
ンサＡの吸着剤の部分を通過するとその温度差は減少し
てゆき、吸着部分が吸着剤の上端にまで達すると、もは
や吸着対象の気体は吸着されることなく気体排出口３か
ら排出され、破過に至る。従って、この温度差の推移と
破過との関係を予め調査して、たとえば、破過直前の温
度差を基準値として設定し、温度検知装置８ａがこの温
度差を検知した時に信号を発するようにすることにより
破過を事前に知ることができるのである。
なお、上記の基準となる温度および温度差は、たとえば
起電力などに変換された値を基準値とすることもできる
。
起電力などに変換された値を基準値とすることもできる
。
本発明で使用する温度感知センサに特に制限はない、使
用する温度感知センサの例としては、熱電対温度計、熱
抵抗温度計などを挙げることができる。本発明において
は熱電対温度計を使用することが好ましい、熱電対温度
計を用いる場合、その種類などに１．νに制限はなく、
通常のものを使用することができる。
用する温度感知センサの例としては、熱電対温度計、熱
抵抗温度計などを挙げることができる。本発明において
は熱電対温度計を使用することが好ましい、熱電対温度
計を用いる場合、その種類などに１．νに制限はなく、
通常のものを使用することができる。
本発明において、温度感知センサの少なくとも一つは吸
着剤と接触下に配置されている。この温度感知センサは
、たとえば第１図においてＡで示されているように配置
される。この温度感知センサＡは吸着剤と接触下に配置
されている限りその位置に特に制限はないが、通常は、
第１図に示す吸着剤の層厚Ｈと吸着剤の気体排出口側の
表面から温度感知センサＡまでの距離Ｄ−Ａとの相対比
がＨ：Ｄ−Ａ＝１００：１〜１００：３０の範囲にある
ことが好ましく、またＨ：Ｄ−Ａ＝ｌＯＯ：５〜１００
：１５の範囲にあることが特に好ましい。
着剤と接触下に配置されている。この温度感知センサは
、たとえば第１図においてＡで示されているように配置
される。この温度感知センサＡは吸着剤と接触下に配置
されている限りその位置に特に制限はないが、通常は、
第１図に示す吸着剤の層厚Ｈと吸着剤の気体排出口側の
表面から温度感知センサＡまでの距離Ｄ−Ａとの相対比
がＨ：Ｄ−Ａ＝１００：１〜１００：３０の範囲にある
ことが好ましく、またＨ：Ｄ−Ａ＝ｌＯＯ：５〜１００
：１５の範囲にあることが特に好ましい。
二個以上のセンサを用いる場合の他の温度感知センサの
配置位置は、それぞれのセンサが気体吸着装置の気体流
通方向に直列であれば特に制限はないが、通常は第１図
に例示したように、気体排出口３付近の吸着剤と接触下
に配置された温度感知センサＡと、気体流通方向に対し
て直列の関係にて気体導入口２付近に吸着剤と非接触状
態で温度感知センサＢとの組合わせで配置される。
配置位置は、それぞれのセンサが気体吸着装置の気体流
通方向に直列であれば特に制限はないが、通常は第１図
に例示したように、気体排出口３付近の吸着剤と接触下
に配置された温度感知センサＡと、気体流通方向に対し
て直列の関係にて気体導入口２付近に吸着剤と非接触状
態で温度感知センサＢとの組合わせで配置される。
ただし、温度感知センサの配置位置は、上記の位置に限
定されるものではなく、たとえば、二個の温度感知セン
サを吸着剤と接触下に、気体流通方向に対して直列に配
置することりできる。また使用される温度感知センサの
数は二個に限られることなく、三個以上であってもよく
、あるいは後述するように温度感知センサを一個のみ用
いてもよい。
定されるものではなく、たとえば、二個の温度感知セン
サを吸着剤と接触下に、気体流通方向に対して直列に配
置することりできる。また使用される温度感知センサの
数は二個に限られることなく、三個以上であってもよく
、あるいは後述するように温度感知センサを一個のみ用
いてもよい。
複数の温度感知センサを用いた場合、各温度感知センサ
に感知された温度は互いに比較される。
に感知された温度は互いに比較される。
比較の方法に特に制限はないが、一般には、気体排出口
側に配置されたセンサにより感知された温度と他のセン
サにより感知された温度の差を求めることにより行なわ
れる。たとえば第１図においでは、温度感知センサＡで
感知された温度と、温度感知センサＢで感知された温度
とが比較され。
側に配置されたセンサにより感知された温度と他のセン
サにより感知された温度の差を求めることにより行なわ
れる。たとえば第１図においでは、温度感知センサＡで
感知された温度と、温度感知センサＢで感知された温度
とが比較され。
その差が求められる。温度感知センサとして熱電対温度
計１を使用した場合には起電力として比較することがで
きる０通常、この比較は、温度感知センサと接続してい
る温度検出装置８ａにより行なわれる。また、たとえば
、温度感知センサＡと温度感知センサＢのそれぞれから
導き出された導線の（＋）極を結線し、温度感知センサ
Ａの（−）極を温度検出装置８ａの（＋）極に、センサ
Ｂの（−）極を温度検出装ｊδ８ａの（−）極にそれぞ
れ接続することにより起電力差を直°接測定することが
できる。
計１を使用した場合には起電力として比較することがで
きる０通常、この比較は、温度感知センサと接続してい
る温度検出装置８ａにより行なわれる。また、たとえば
、温度感知センサＡと温度感知センサＢのそれぞれから
導き出された導線の（＋）極を結線し、温度感知センサ
Ａの（−）極を温度検出装置８ａの（＋）極に、センサ
Ｂの（−）極を温度検出装ｊδ８ａの（−）極にそれぞ
れ接続することにより起電力差を直°接測定することが
できる。
通′畠、温度あるいは起電力を比較する温度検出装置８
ａは、その差が基準値に達した際に警告信号を発信する
よう警告手段６などに接続されている。
ａは、その差が基準値に達した際に警告信号を発信する
よう警告手段６などに接続されている。
上記の基僧値は、通常、所定の気体吸着装置と吸着対象
の気体を使用して温度感知センサＡにより感知されたセ
ンサＡの配置部分の吸着剤の発熱温度とセンサＢとによ
り感知された導入気体の温度との差、またはセンサが熱
電対である場合には起電力の差を１！＋１１定して、こ
の温度差または起電力差の推移と破過の発生との関係を
予め調べることにより設定される。一般には、センサＡ
の感知した温度とセンサＢの感知した温度の温度差また
は起電力差の最大値を基準にして、その基準値を設定す
る。
の気体を使用して温度感知センサＡにより感知されたセ
ンサＡの配置部分の吸着剤の発熱温度とセンサＢとによ
り感知された導入気体の温度との差、またはセンサが熱
電対である場合には起電力の差を１！＋１１定して、こ
の温度差または起電力差の推移と破過の発生との関係を
予め調べることにより設定される。一般には、センサＡ
の感知した温度とセンサＢの感知した温度の温度差また
は起電力差の最大値を基準にして、その基準値を設定す
る。
警告手段６としては、温度感知センサにより感知した温
度または起電力を比較する温度検出装置からの信号を感
知して作動し、警告信号（たとえば、ブザなどによる警
告音、ランプの点滅など）を発する装置が用いられる。
度または起電力を比較する温度検出装置からの信号を感
知して作動し、警告信号（たとえば、ブザなどによる警
告音、ランプの点滅など）を発する装置が用いられる。
警告手段は単に警告信号を発するものに限定されるもの
ではない、たとえば第２図に示すように気体吸着装置が
、気体導入木管１０から気流切替バルブ１５を介して分
枝した気体導入管１２ａ、１２ｂに接続している複数の
気体吸着装置から構成されている場合には、この気流切
材バルブ１５の切替動作を、警告手段１６に接続してい
るバルブ自動ジノ替装置１７により自動的に行なうこと
もできる。勿論、バルブ自動切替装置は、：告手段を介
することなく温度検出装置１８と接続していて、該装置
の発信する信号を直接感知して作動するように設置する
こともできる。
ではない、たとえば第２図に示すように気体吸着装置が
、気体導入木管１０から気流切替バルブ１５を介して分
枝した気体導入管１２ａ、１２ｂに接続している複数の
気体吸着装置から構成されている場合には、この気流切
材バルブ１５の切替動作を、警告手段１６に接続してい
るバルブ自動ジノ替装置１７により自動的に行なうこと
もできる。勿論、バルブ自動切替装置は、：告手段を介
することなく温度検出装置１８と接続していて、該装置
の発信する信号を直接感知して作動するように設置する
こともできる。
すなわち、気体導入木管ｌＯから導入された吸着対象の
気体を含有する気体（廃ガス）は、気流切替バルブ１５
により気体導入管１２ａに導入され、吸着剤１４ａで目
的の気体が吸収されたのち気体排出管１３ａから排出さ
れる。そして温度感知センサＢとセンサＡにより感知さ
れた温度差、または起電力差の基準値を温度検出装置が
感知すると、信号が警告手段１６に送られ警告信号を発
する。そして温度検出装置１８からの信号はセ告手段１
６を介してさらにバルブ自動切替装置１７に送られ気流
切替バルブ１５を作動させ１％流を気体導入管１２ｂに
導入し吸着剤ｔ４ｂを介して気体排出管１３ｂから排出
する。なお、気流切替バルブ１５の作動は手動により行
なってもよいことは勿論である。
気体を含有する気体（廃ガス）は、気流切替バルブ１５
により気体導入管１２ａに導入され、吸着剤１４ａで目
的の気体が吸収されたのち気体排出管１３ａから排出さ
れる。そして温度感知センサＢとセンサＡにより感知さ
れた温度差、または起電力差の基準値を温度検出装置が
感知すると、信号が警告手段１６に送られ警告信号を発
する。そして温度検出装置１８からの信号はセ告手段１
６を介してさらにバルブ自動切替装置１７に送られ気流
切替バルブ１５を作動させ１％流を気体導入管１２ｂに
導入し吸着剤ｔ４ｂを介して気体排出管１３ｂから排出
する。なお、気流切替バルブ１５の作動は手動により行
なってもよいことは勿論である。
二接の気体吸着装置を上記のように接続することにより
、破過が予知された気体吸着装置の交換の際に作業を中
止する必要がなく好ましい。
、破過が予知された気体吸着装置の交換の際に作業を中
止する必要がなく好ましい。
これまでに述べた方法は、複数の温度感知セン′すを使
用する方法であるが、本発明の方法は、吸着対象の気体
が気体吸着装置の気体排出口近傍の吸着剤に吸着される
際の発熱温度を感知するように配置された一個の温度感
知センサを用い、予め温度感知センサ配置部分の発熱温
度と破過との関係を調査することにより設定した基準温
度を設定し、この基準温度をセンサが検知したときに信
号を発するようにすることにより破過を予知することも
できる。
用する方法であるが、本発明の方法は、吸着対象の気体
が気体吸着装置の気体排出口近傍の吸着剤に吸着される
際の発熱温度を感知するように配置された一個の温度感
知センサを用い、予め温度感知センサ配置部分の発熱温
度と破過との関係を調査することにより設定した基準温
度を設定し、この基準温度をセンサが検知したときに信
号を発するようにすることにより破過を予知することも
できる。
第３図は□温度感知センサが一個だけ備えられた本発明
で使用する気体吸着装置の例を模式的に示した図である
。
で使用する気体吸着装置の例を模式的に示した図である
。
すなわち、第３図に示すように気体導入口２２から導入
された吸着対象の気体を含む気体を吸着剤２４を通過さ
せて吸着対象の気体を吸着させたのち、気体排出口２３
近傍の吸着剤と接触下に配置された温度感知センサによ
り、センサ配置部分の吸着剤の発熱温度を感知すること
によっても破過を予知することができる。温度感知セン
サＡの配置方法は吸着剤と接触下に配置されていれば特
に制限はないが、通常は第３図において示す吸着剤の層
厚Ｈと吸着剤の気体排出口側の表面から温度感知センサ
Ａまでの距離Ｄ−Ａとの相対値がＨ：Ｄ−Ａ＝１００：
ｌ−１００：３０の範囲にあることが好ましく、Ｈ：Ｄ
−Ａ＝ｌＯＯ：５〜１００：１５の範囲であることが特
に好ましい。
された吸着対象の気体を含む気体を吸着剤２４を通過さ
せて吸着対象の気体を吸着させたのち、気体排出口２３
近傍の吸着剤と接触下に配置された温度感知センサによ
り、センサ配置部分の吸着剤の発熱温度を感知すること
によっても破過を予知することができる。温度感知セン
サＡの配置方法は吸着剤と接触下に配置されていれば特
に制限はないが、通常は第３図において示す吸着剤の層
厚Ｈと吸着剤の気体排出口側の表面から温度感知センサ
Ａまでの距離Ｄ−Ａとの相対値がＨ：Ｄ−Ａ＝１００：
ｌ−１００：３０の範囲にあることが好ましく、Ｈ：Ｄ
−Ａ＝ｌＯＯ：５〜１００：１５の範囲であることが特
に好ましい。
基準温度（基準起電力）は、予め温度感知センサＡが配
置された吸着剤の部分の発熱温度と破過との関係を調査
して基準温度または基準起電力を設定し、温度感知セン
サＡがこの基準温度または基準起電力を感知した時に、
たとえば温度検知装置２８が発する信号により破過を予
知することができる。勿論、この信号を警告手段２６に
送り、？？告倍信号発信させることもできる。
置された吸着剤の部分の発熱温度と破過との関係を調査
して基準温度または基準起電力を設定し、温度感知セン
サＡがこの基準温度または基準起電力を感知した時に、
たとえば温度検知装置２８が発する信号により破過を予
知することができる。勿論、この信号を警告手段２６に
送り、？？告倍信号発信させることもできる。
次に本発明の実施例を示す。
第１図に示す気体吸着装置を使用してこの装置の破過の
予知試験を行なった。使用した気体吸着装置古の直径り
は５０ｍｍ、吸着剤の層高Ｈは２５５ＩＩｌｆｆｌであ
る。
予知試験を行なった。使用した気体吸着装置古の直径り
は５０ｍｍ、吸着剤の層高Ｈは２５５ＩＩｌｆｆｌであ
る。
温度感知センサは、市販の熱電対温度計（Ｋ型：千野製
作所■製）を使用した。ただし、温度感知センサＡと温
度感知センサＢはそれぞれの端子から導き出された導線
の（＋）Ｗを結線し、温度感知センナＡの（−）極を温
度検知装置８ａの（＋）極に、温度感知センサＢの（−
）極を温度検知装置８ａの（−）極にそれぞれ接続した
。
作所■製）を使用した。ただし、温度感知センサＡと温
度感知センサＢはそれぞれの端子から導き出された導線
の（＋）Ｗを結線し、温度感知センナＡの（−）極を温
度検知装置８ａの（＋）極に、温度感知センサＢの（−
）極を温度検知装置８ａの（−）極にそれぞれ接続した
。
吸着剤は窒素中２２０°Ｃで２時間乾燥した活性炭５０
０ｍＭを使用した。
０ｍＭを使用した。
吸着対象の気体は、窒素で希釈した三塩化ホウ素（ＢＣ
Ｃ１０を使用した。なお、この混合気体の温度は２６℃
であった。窒素と三１ム化ホウ素の流量は次の通りであ
る。
Ｃ１０を使用した。なお、この混合気体の温度は２６℃
であった。窒素と三１ム化ホウ素の流量は次の通りであ
る。
窒素 ０．５文／分
三塩化ホウ素 ０．２６文／分
上記の条件で三塩化ホウ素含有窒素を気体吸着装置の気
体導入口から導入して活性炭により三塩化ホウ素を吸着
させた。この時の温度感知センサＡとセンサＢとの温度
差（起電力差）の経時変化を第４図に示す、なお第４図
にてｒＸＪと表示した点（気体導入から１０１分後）は
気体吸着装置が破過して気体排出口から三塩化ホウ素が
検出された時点を示す、この時の温度感知センサＡと温
度センサＢとにより示された温度差の最大値は気体導入
から１００分後に９１ ’（！を示し、この時の起電力
差は、３．７０ｍＶであった。
体導入口から導入して活性炭により三塩化ホウ素を吸着
させた。この時の温度感知センサＡとセンサＢとの温度
差（起電力差）の経時変化を第４図に示す、なお第４図
にてｒＸＪと表示した点（気体導入から１０１分後）は
気体吸着装置が破過して気体排出口から三塩化ホウ素が
検出された時点を示す、この時の温度感知センサＡと温
度センサＢとにより示された温度差の最大値は気体導入
から１００分後に９１ ’（！を示し、この時の起電力
差は、３．７０ｍＶであった。
次いで、活性炭を全量交換したのち、上記の結果より、
（１）温度感知センサＡと温度感知センサＢとの温度差
を８０°Ｃに設定、もしくは（２）温度感知センサＡと
温度感知センサＢとの起電力差を３．２５０１Ｖに設定
して、温度検知装置がこの（１１１を感知した時に気体
の供給を停止することとした以外は上記と同様にして窒
素希釈の三塩化ホウ素を流して吸着を行なった。
（１）温度感知センサＡと温度感知センサＢとの温度差
を８０°Ｃに設定、もしくは（２）温度感知センサＡと
温度感知センサＢとの起電力差を３．２５０１Ｖに設定
して、温度検知装置がこの（１１１を感知した時に気体
の供給を停止することとした以外は上記と同様にして窒
素希釈の三塩化ホウ素を流して吸着を行なった。
（１）の場合において温度差がａｏ’ｃとなった時点で
、そして（２）の場合において起電力差が３．２５ｍＶ
となった時点で（約９０分後）、気体の供給を停＋１−
． した、この時点で、気体排出口から三塩化ホウ素は
検出されなかった。
、そして（２）の場合において起電力差が３．２５ｍＶ
となった時点で（約９０分後）、気体の供給を停＋１−
． した、この時点で、気体排出口から三塩化ホウ素は
検出されなかった。
第１図は、本発明で使用する気体吸着装置の一例を模式
的に示した図である。 第２図は、気体吸着装置が二接備えられた本発明で使用
する気体吸着装置の例を模式的に示した図である。 第３図は温度感知センサが一個だけ備えられた本発明で
使用する気体吸着装置の例を模式的に示した図である。 第４図は、第１図に示す温度感知センサＡの付設部分の
吸着剤の発熱温度と温度感知センサＢの付設部分の導入
気体との温度差および起電力差の推移を示したグラフで
ある。 Ａ：温度感知センサ、Ｂ：温度感知センサ■＝容器、２
：気体導入口、３二気体排出口。 ４：吸着剤、６：ゴ告手段、８ａ：温度検知装置１０：
気体導入木管、１２ａ、１２ｂ：気体導 ｊ入管
、１３ａ、１３ｂ：気体排出管、１４ａ、１４ｂ：吸着
剤、１５：気流切替バルブ、１６：警告手段、１７：バ
ルブ切替装置、１８：温度検知装置 ２２：気体導入口、２３：気体排出口、２４：吸着剤、
２６：警告手段、２８：温度検知装置特許出願人 宇
部興産株式会社 代 理 人 弁理士 柳川泰男 第３図
的に示した図である。 第２図は、気体吸着装置が二接備えられた本発明で使用
する気体吸着装置の例を模式的に示した図である。 第３図は温度感知センサが一個だけ備えられた本発明で
使用する気体吸着装置の例を模式的に示した図である。 第４図は、第１図に示す温度感知センサＡの付設部分の
吸着剤の発熱温度と温度感知センサＢの付設部分の導入
気体との温度差および起電力差の推移を示したグラフで
ある。 Ａ：温度感知センサ、Ｂ：温度感知センサ■＝容器、２
：気体導入口、３二気体排出口。 ４：吸着剤、６：ゴ告手段、８ａ：温度検知装置１０：
気体導入木管、１２ａ、１２ｂ：気体導 ｊ入管
、１３ａ、１３ｂ：気体排出管、１４ａ、１４ｂ：吸着
剤、１５：気流切替バルブ、１６：警告手段、１７：バ
ルブ切替装置、１８：温度検知装置 ２２：気体導入口、２３：気体排出口、２４：吸着剤、
２６：警告手段、２８：温度検知装置特許出願人 宇
部興産株式会社 代 理 人 弁理士 柳川泰男 第３図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、気体導入口と気体排出口とを有する容器に吸着剤が
充填されてなる気体吸着装置の破過を予知する方法であ
つて、該予知を、気体排出口近傍の吸着剤における発熱
温度を当該部分に接触下に配置された温度感知センサに
て感知することを含む操作により行なうことを特徴とす
る方法。 ２、所定の気体吸着装置と吸着対象の気体を用いて予め
破過の発生と当該温度感知センサで感知する吸着剤の発
熱温度との関係を調べることにより破過を予知できるよ
うに設定した温度を基準として、この基準温度を温度感
知センサが感知した際に該センサが発する信号により当
該気体吸着装置の破過を事前に検知することを特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載の気体吸着装置の破過を予
知する方法。 ３、気体導入口と気体排出口とを有する容器に吸着剤が
充填されてなる気体吸着装置の破過を予知する方法であ
つて、該予知を、該吸着装置の気体流通力向に対して直
列に、かつ少なくとも一の温度感知センサが吸着剤と接
触下に配置されている二以上の温度感知センサにより当
該センサ配置部位の温度を感知し、次いで吸着剤と接触
下に配置された温度感知センサに感知された温度と他の
センサにおいて感知された温度とを比較することを含む
操作により行なうことを特徴とする方法。 ４、所定の気体吸着装置と吸着対象の気体を用いて予め
破過の発生と吸着剤と接触下に配置された温度感知セン
サと他の温度感知センサのそれぞれにて検知した温度の
履歴との関係を調べることにより破過を予知できるよう
に当該吸着剤と接触下に配置された温度感知センサと当
該他の温度感知センサ間に設定した温度差を基準として
、この基準温度差を当該温度感知センサ系が感知した際
に該センサ系が発する信号により当該気体吸着装置の破
過を事前に検知することを特徴とする特許請求の範囲第
３項記載の気体吸着装置の破過を予知する方法。 ５、複数の温度感知センサにより感知された温度の比較
を、それぞれの温度感知センサにおいて発生した起電力
を比較することにより行なうことを特徴とする特許請求
の範囲第３項記載の気体吸着装置の破過を予知する方法
。 ６、所定の気体吸着装置と吸着対象の気体を用いて予め
破過の発生と吸着剤と接触下に配置された温度感知セン
サと他の温度感知センサのそれぞれにて検知した起電力
の履歴との関係を調べることにより破過を予知できるよ
うに当該吸着剤と接触下に付設された温度感知センサと
当該他の温度感知センサ間に設定した起電力差を基準と
して、この基準起電力差を当該温度感知センサ系が感知
した際に該センサ系が発する信号により当該気体吸着装
置の破過を事前に検知することを特徴とする特許請求の
範囲第５項記載の気体吸着装置の破過を予知する方法。 ７、一の温度センサが気体排出口近傍にて吸着剤と接触
下に配置され、かつ他の一の温度センサが気体導入口近
傍に吸着剤と非接触下に配置されていることを特徴とす
る特許請求の範囲第３項記依の気体吸着装置の破過を予
知する方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59175384A JPS6153555A (ja) | 1984-08-23 | 1984-08-23 | 気体吸着装置の破過を予知する方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59175384A JPS6153555A (ja) | 1984-08-23 | 1984-08-23 | 気体吸着装置の破過を予知する方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6153555A true JPS6153555A (ja) | 1986-03-17 |
Family
ID=15995164
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59175384A Pending JPS6153555A (ja) | 1984-08-23 | 1984-08-23 | 気体吸着装置の破過を予知する方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6153555A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63137736A (ja) * | 1986-11-28 | 1988-06-09 | Asahi Glass Co Ltd | エッチング排ガス除害方法 |
| JPH0195857A (ja) * | 1987-10-08 | 1989-04-13 | Akio Nakano | 複合金属製品の鋳造方法及びその実施に使用する鋳造装置 |
| US5203892A (en) * | 1991-08-20 | 1993-04-20 | Krupp Polysius Ag | Coke filter |
| US5296017A (en) * | 1991-05-28 | 1994-03-22 | Mitsui Toatsu Chemicals, Inc. | Method and apparatus for concentrating chlorine gas |
| JP2017502904A (ja) * | 2013-12-20 | 2017-01-26 | コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェＫｏｎｉｎｋｌｉｊｋｅ Ｐｈｉｌｉｐｓ Ｎ．Ｖ． | センサシステム及びセンサシステムを有する酸素分離器 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5880551A (ja) * | 1981-11-06 | 1983-05-14 | Sumitomo Rubber Ind Ltd | 反応量測定方法及び装置 |
| JPS59136644A (ja) * | 1983-01-25 | 1984-08-06 | Osaka Soda Co Ltd | 自動液濃度測定装置 |
-
1984
- 1984-08-23 JP JP59175384A patent/JPS6153555A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5880551A (ja) * | 1981-11-06 | 1983-05-14 | Sumitomo Rubber Ind Ltd | 反応量測定方法及び装置 |
| JPS59136644A (ja) * | 1983-01-25 | 1984-08-06 | Osaka Soda Co Ltd | 自動液濃度測定装置 |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63137736A (ja) * | 1986-11-28 | 1988-06-09 | Asahi Glass Co Ltd | エッチング排ガス除害方法 |
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| JP2017502904A (ja) * | 2013-12-20 | 2017-01-26 | コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェＫｏｎｉｎｋｌｉｊｋｅ Ｐｈｉｌｉｐｓ Ｎ．Ｖ． | センサシステム及びセンサシステムを有する酸素分離器 |
| US10232303B2 (en) | 2013-12-20 | 2019-03-19 | Koninklijke Philips N.V. | Sensor system and oxygen separator comprising a sensor system |
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