JPS6150793A - ロボツトのハンドリング装置 - Google Patents
ロボツトのハンドリング装置Info
- Publication number
- JPS6150793A JPS6150793A JP17354184A JP17354184A JPS6150793A JP S6150793 A JPS6150793 A JP S6150793A JP 17354184 A JP17354184 A JP 17354184A JP 17354184 A JP17354184 A JP 17354184A JP S6150793 A JPS6150793 A JP S6150793A
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- JP
- Japan
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- robot
- handling device
- suction cup
- outer cylinder
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- Prior art date
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明は、ロボットのハンドリング装置に関するもので
ある。
ある。
従来技術
物品（ワーク）を保持、搬送、排出等行なうためのロボ
ットのハンドリング装置は、例えば、第４図に示すごと
く構成している。即ち、第４図にて示す技術は特開昭５
８−２２３５９２号公報掲載の技術を利用したものであ
るが、かかる従来技術においては次のごとき問題点があ
った。以下、ｔｉｆ１４図を用いて従来技術の構成とそ
の構成上の問題点について説明する。
ットのハンドリング装置は、例えば、第４図に示すごと
く構成している。即ち、第４図にて示す技術は特開昭５
８−２２３５９２号公報掲載の技術を利用したものであ
るが、かかる従来技術においては次のごとき問題点があ
った。以下、ｔｉｆ１４図を用いて従来技術の構成とそ
の構成上の問題点について説明する。
図において１で示すのは、図示を省略しているロボット
本体部に固定されたブラケットで、このブラケット１に
は、その下端部に吸着盤２を装備したホルダー３が所定
ストローク摺動自在に嵌装されている。ブラケット１と
ホルダー３とはベローズ４を介して互に接続されるとと
もに、この両部材１．３間には圧縮コイルばねのごとき
弾機５が弾装しである。吸着盤２の中空部６は、ホース
７を介して真空源８と連通接、続してあり、吸着盤２の
吸引操作を介して物品９を吸着保持するとともに、ガイ
ド面１０ａを有するガイド１０を介して物品９を物品載
置台１１上に！ｉ２置装出しうるようになっている。
本体部に固定されたブラケットで、このブラケット１に
は、その下端部に吸着盤２を装備したホルダー３が所定
ストローク摺動自在に嵌装されている。ブラケット１と
ホルダー３とはベローズ４を介して互に接続されるとと
もに、この両部材１．３間には圧縮コイルばねのごとき
弾機５が弾装しである。吸着盤２の中空部６は、ホース
７を介して真空源８と連通接、続してあり、吸着盤２の
吸引操作を介して物品９を吸着保持するとともに、ガイ
ド面１０ａを有するガイド１０を介して物品９を物品載
置台１１上に！ｉ２置装出しうるようになっている。
上記構成によれば、ハンドリング装置の細心部とガイド
１０の中心とが多少位置ズレ又は角度的ズレな生じてい
る場合であっても、ベローズ４９弾機５の変形によりそ
のズレが吸収でき、物品９をガイド１０に沿って所定位
置に、’ｆ’［Ｌうるものである。
１０の中心とが多少位置ズレ又は角度的ズレな生じてい
る場合であっても、ベローズ４９弾機５の変形によりそ
のズレが吸収でき、物品９をガイド１０に沿って所定位
置に、’ｆ’［Ｌうるものである。
しかしながら、上記従来技術においては次のごとき問題
点があった。
点があった。
（１）物品９が裸の状態でガイド１０内に挿入されるの
で、物品９とガイド１０の中心とがズしている場合には
、物品９がガイド１０に直接的に接触又は当接し、物品
９が損傷等していた。
で、物品９とガイド１０の中心とがズしている場合には
、物品９がガイド１０に直接的に接触又は当接し、物品
９が損傷等していた。
（２）物品９とガイド１０とが当接した際に、その衝撃
のために物品９が吸着盤２から離脱、落下し、いわゆる
へノドリング不良を生じる場合が多々発生していた。
のために物品９が吸着盤２から離脱、落下し、いわゆる
へノドリング不良を生じる場合が多々発生していた。
発明の目的
・本発明は、上記従来技術の問題点に鑑みなされたもの
であって、物品に損傷を与えることなく確実にガイドに
沿って物品を挿入操作しうるようにしたロボットのハン
ドリング装置を提供することを目的とする。
であって、物品に損傷を与えることなく確実にガイドに
沿って物品を挿入操作しうるようにしたロボットのハン
ドリング装置を提供することを目的とする。
発明の概要
本発明は、ハンドリング装置とガイドとの位置ズレや角
度ズレを吸収する機構を装備するとともに、吸着盤を外
筒内に摺動自在に内装して構成することにより、上記本
発明の目的を達成しようとするものである。
度ズレを吸収する機構を装備するとともに、吸着盤を外
筒内に摺動自在に内装して構成することにより、上記本
発明の目的を達成しようとするものである。
実 施 例
以下、第１図、第２図を用いて本発明の第１の実施例に
ついて詳細に説明する。
ついて詳細に説明する。
第１図において１２で示すのは、図示を省略しているロ
ボット本体部に固定されたブラケットで、このブラケッ
ト１２の下部には、弾性体１例えば合成樹脂やゴム等の
エラストマーを筒状体に形成した支持筒１３が固設して
あり、支持筒１３の下端は開口しである。支持筒１３内
に突出したブラケット１２の下端部には、自在継手１４
を介して外筒１５が連結してあり、外筒１５は支持筒１
３の内周面に対して摺接目在の構成になっている。自在
継手１４は、第２図にて示すごとく、直交部に切欠き１
６゜１７を有するゴム等の弾性部材よりなる本体部１８
と、本体部１８の上下端部に固設した金属よりなる固設
環１日とより構成してあり、本体部１８の切欠き１６
、１７を介して任意方向に変位しうるようになっている
。２０ 、２１で示すのは、自在継手１４に嵌装される
ブラケット１２及び外筒１５を固定するための止めねじ
螺着用のねじ孔である。
ボット本体部に固定されたブラケットで、このブラケッ
ト１２の下部には、弾性体１例えば合成樹脂やゴム等の
エラストマーを筒状体に形成した支持筒１３が固設して
あり、支持筒１３の下端は開口しである。支持筒１３内
に突出したブラケット１２の下端部には、自在継手１４
を介して外筒１５が連結してあり、外筒１５は支持筒１
３の内周面に対して摺接目在の構成になっている。自在
継手１４は、第２図にて示すごとく、直交部に切欠き１
６゜１７を有するゴム等の弾性部材よりなる本体部１８
と、本体部１８の上下端部に固設した金属よりなる固設
環１日とより構成してあり、本体部１８の切欠き１６
、１７を介して任意方向に変位しうるようになっている
。２０ 、２１で示すのは、自在継手１４に嵌装される
ブラケット１２及び外筒１５を固定するための止めねじ
螺着用のねじ孔である。
外筒１５の軸心部には、内筒２２が軸方向摺動自在に嵌
装してあり、内筒２２の下端部には物品（ワーク）２３
を吸着保持、排出するための吸着盤２４が固設しである
。吸着盤２４の中空部２５は、内筒２２の吸気孔２６．
吸気管２７を介して真空源２８と連通接続されている。
装してあり、内筒２２の下端部には物品（ワーク）２３
を吸着保持、排出するための吸着盤２４が固設しである
。吸着盤２４の中空部２５は、内筒２２の吸気孔２６．
吸気管２７を介して真空源２８と連通接続されている。
内筒２２の適部には大径部２９が設けてあり、この大径
部２９の外周面ば外筒１５に設けたガイド用中空部３０
の内周面に対して摺接自在の構成となっている。内筒２
２は、大径部２９と中空部３０の下面との間に弾装され
たばねやウレタン等のエラストマー等よりなる弾性部材
（図は圧縮コイルばねを例示）３１を介して常時上動せ
しめられるように付勢されており、他方、外筒１５に設
けた空気孔３２から圧送される空気を介して、内筒２２
を弾性部材３１に抗して下降作動しうるように設定構成
しである。そして、吸引盤２４が物品２３を吸引保持し
た状態でガイド３３のガイド孔３３ａに挿入される際に
は、吸引盤２４は外筒１５の下部中空部３４内に収納さ
れろようになっており、外筒１５がガイド３３に挿入さ
れて位置決めされた後に、物品２３を物品載置台３５上
に排出する場合には、吸引盤２４が下部中空部３４から
下方に押出されるようになっている。
部２９の外周面ば外筒１５に設けたガイド用中空部３０
の内周面に対して摺接自在の構成となっている。内筒２
２は、大径部２９と中空部３０の下面との間に弾装され
たばねやウレタン等のエラストマー等よりなる弾性部材
（図は圧縮コイルばねを例示）３１を介して常時上動せ
しめられるように付勢されており、他方、外筒１５に設
けた空気孔３２から圧送される空気を介して、内筒２２
を弾性部材３１に抗して下降作動しうるように設定構成
しである。そして、吸引盤２４が物品２３を吸引保持し
た状態でガイド３３のガイド孔３３ａに挿入される際に
は、吸引盤２４は外筒１５の下部中空部３４内に収納さ
れろようになっており、外筒１５がガイド３３に挿入さ
れて位置決めされた後に、物品２３を物品載置台３５上
に排出する場合には、吸引盤２４が下部中空部３４から
下方に押出されるようになっている。
上記構成において、本発明の作用について説明する。ロ
ボットハンドリング装置の吸引盤２４が物品２３を吸引
保持した状態で下降され、ガイド３３に沿って挿入され
る場合には、外筒１５の下降部がガイド３３のテーパー
状ガイド孔３３ａに接触する。
ボットハンドリング装置の吸引盤２４が物品２３を吸引
保持した状態で下降され、ガイド３３に沿って挿入され
る場合には、外筒１５の下降部がガイド３３のテーパー
状ガイド孔３３ａに接触する。
この際に、ハンドリング装置の軸心とガイド孔３３ａの
中心とがズレな生じている場合には、自在継手１４、支
持筒１３の弾性機能によりガイド孔３３ａに沿うべく調
心され、ハンドリング装置の外筒１５がガイド孔３３ａ
に無理なく挿入される。
中心とがズレな生じている場合には、自在継手１４、支
持筒１３の弾性機能によりガイド孔３３ａに沿うべく調
心され、ハンドリング装置の外筒１５がガイド孔３３ａ
に無理なく挿入される。
外筒１５がガイド孔３３ａに挿入されて位置決めされる
と、空気孔３２から空気が圧送されて内筒２２が下方に
押し出され、その後に真空源２８が切られて物品２３が
載置台３５上に排出されるのである。
と、空気孔３２から空気が圧送されて内筒２２が下方に
押し出され、その後に真空源２８が切られて物品２３が
載置台３５上に排出されるのである。
従って、上記本発明によれば、ハンドリング装置とガイ
ド３３との位置ズレ、角度ズレは自在継手１４により吸
収されるので、確実にガイド孔３３ａに挿入されて位置
決めできると同時に、ガイド孔３３ａ ｌ″−押入１位
置決めする際には物品２３は外筒１５内：＝収納されて
いるので、損傷し易い物品であっても何ら損傷させるこ
となく物品載置台３５上に排出することができるもので
ある。その結果、物品２３の品質保持が図れる。
ド３３との位置ズレ、角度ズレは自在継手１４により吸
収されるので、確実にガイド孔３３ａに挿入されて位置
決めできると同時に、ガイド孔３３ａ ｌ″−押入１位
置決めする際には物品２３は外筒１５内：＝収納されて
いるので、損傷し易い物品であっても何ら損傷させるこ
となく物品載置台３５上に排出することができるもので
ある。その結果、物品２３の品質保持が図れる。
第２実施例
第３図に本発明の第２の実施例を示す。本実施例の特徴
は、内筒２２を内筒２２の大径部２９と中室部３０上面
との間に弾装した弾性部材３１を介して常時下方向に押
圧付勢するとともに、真空源２８からの吸引を介して吸
着盤２４の吸引操作と内筒２２の上動操作とを行なうよ
うにＲＩ成した点である。
は、内筒２２を内筒２２の大径部２９と中室部３０上面
との間に弾装した弾性部材３１を介して常時下方向に押
圧付勢するとともに、真空源２８からの吸引を介して吸
着盤２４の吸引操作と内筒２２の上動操作とを行なうよ
うにＲＩ成した点である。
上記構成によれば、外筒１５がら押し出されている吸着
盤２４を物品２３に接触させ、真空源２８を介して吸引
することにより、物品２３を吸引保持しうるとともに吸
着盤２４を外筒１５の下部中空部３４内に上動収納しう
る。従って、第１実施例のような内筒２２上下操作用の
空気源を必要とせず、真空源２８のみで物品２３の吸着
保持、収納操作が可能となる利点がある。
盤２４を物品２３に接触させ、真空源２８を介して吸引
することにより、物品２３を吸引保持しうるとともに吸
着盤２４を外筒１５の下部中空部３４内に上動収納しう
る。従って、第１実施例のような内筒２２上下操作用の
空気源を必要とせず、真空源２８のみで物品２３の吸着
保持、収納操作が可能となる利点がある。
発明の効果
以上のように本発明によれば、ハンドリングされた物品
な外筒内に収納した状態でガイドに沿って挿入しうるの
で、物品に損傷を与えたり落下等させたりすることなく
確実にハンドリング、搬送操作が行なえるものである。
な外筒内に収納した状態でガイドに沿って挿入しうるの
で、物品に損傷を与えたり落下等させたりすることなく
確実にハンドリング、搬送操作が行なえるものである。
第１図は本発明に係る装置の第１の実施例を示す縦断面
図、第２図は第１図の要部の斜視図、第３図は本発明の
第２の実施例を示す縦断面図、第４図は従来技術の縦断
面図である。 １２・・・・・・ブラケット １４・・・・・・自在継手 １５・・・・・・外筒 ２２・・・・・・内筒 ２４・・・・・・吸着盤 ２８・・・・・・直空源 第１図 第２図 第４図 手続補正書（自発） １．′＄件の表示 昭和５９年 特 許 願 第１７３５４１号２、発明の
名称 ロボットのハンドリングＳ 貨 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 東京都渋谷区幡ケ谷２丁目４３番２号名 称
（０３７）オリンパス党字工業株式会社代表者 下
山敏部 ４、代 理 人 ８、補正の対象 明ａ’ｍの「特許請求の範囲」及び「発明の詳ＭＩ＋な
説７、補正の内容 （１）明細書の「特許請求の範囲」の欄の記載を別紙の
通り補正する。 （２）明Ｍ５書男６頁第２〜３行目に記載する「例えば
合成樹脂やゴム等のエラストマーを」を「例えばりｐ性
体の代表例である板ばねや合成樹脂もしくはゴム等のエ
ラストマーを」と補正する。 （３）明細書第７頁第２０行目に記載する「本発明の作
用」を１本実施例の作用」と補正する。 （４）明細書第８頁第１４行目に記載する「上記本発明
によれば、」を「上記本実施例によれば、」と補正する
。 （５明細書第８頁第１７〜１８行目間に、次の字句を挿
入する。 「 なお、上記各実施例においては、ブラケッ）１２の
下部に弾性体よりなる筒状体の支持筒１３を固設して構
成したが、支持筒１３は筒状の弾性体に限定されるもの
ではなく、支持ｒ５１３を互に対向配置した一対の幅広
の板ばね部材と、各板ばね部材の上端部を固定保持する
板ばね部材保持部と、各板ばね部材の対向面下部に固設
した圧接片とにより構成し、板ばね部材の弾性力にて各
圧接片を外筒１５の外周面に圧接させることにより、外
筒１５を挟持保持しうるように構成してもよい、この場
合、各圧接片におけ外＠１５との接合面部を外筒１５に
対応する円弧状又は外筒１５の半径よりも大きな半径の
円弧状に形設しておくのがよい、又、幅広の板ばね部材
の代りに、多数の短冊状の板ばね片やばね線材。 コイルばね等を用い、これらの部材を外筒１５の外周に
配設して圧接的に挟持保持しうる構成にしてもよい、」 ８、添付書類の目録 別 紙 １ 通 ２、特許請求の範囲 （１） ロボット本体部に固設されたブラケットに自
在継手を介して外筒を支承し、前記外筒内に。 その先端部に真空源と連通接続された吸ｒＩ盤を装備し
た円筒を摺動自在に嵌装するとともに前記吸着盤の収納
部を設け、前記吸着盤を前記収納部に対して収納、押出
し操作するための機構を装備して構成したことを特徴と
するロボットのハンドリング装ａ。 （ゐ 前記外筒は、筒状の弾性体を介して振れないよう
に保持構成されていることを特徴とする特許請求の範囲
ｒｐＪ１項記載のロボットのハンドリング装に。 （３）前記筒状の弾性体は、合成樹脂もしくはゴム等の
エラストマーにて構成されていることを特徴とする特許
請求の範囲第２項記載のロボットのハンドリング装置。 （４） 前記内筒は１弾性体を介して前記吸着盤が前
記収納部内に収納されるべく付勢されるとともに、外部
から圧送される流体圧を介して前記吸着盤が前記収納部
から押し出される方向に移動作動されるように構成され
ていることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のロ
ボットのハンドリング袋口。 （■ 前記内筒は、りｉ性体を介して前記後ｒ１ｔＢが
常時前記収納部から押し出される方向に＋を勢されると
ともに、前記真空源の吸引力を介して前記吸着盤が前記
収納部内に収納操作されるように構成されていることを
特徴とする特許請求の範囲第１唄記載のロボットのハン
ドリング５：ｔａ。 （０前記弾性体は、ばねもしくはウレタン等のエラスト
マーにて構成されていることを特徴とする特許請求の範
囲第４１又は第５項記載のロボットのハンドリング装置
。 （８）前記ばね部材は、 ばねであ覧、板ばねにける前
記外筒との対向面部には、外↑１のノ状にロボ・トのハ
ントリンクン” 。 −Ｉくシ
図、第２図は第１図の要部の斜視図、第３図は本発明の
第２の実施例を示す縦断面図、第４図は従来技術の縦断
面図である。 １２・・・・・・ブラケット １４・・・・・・自在継手 １５・・・・・・外筒 ２２・・・・・・内筒 ２４・・・・・・吸着盤 ２８・・・・・・直空源 第１図 第２図 第４図 手続補正書（自発） １．′＄件の表示 昭和５９年 特 許 願 第１７３５４１号２、発明の
名称 ロボットのハンドリングＳ 貨 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 東京都渋谷区幡ケ谷２丁目４３番２号名 称
（０３７）オリンパス党字工業株式会社代表者 下
山敏部 ４、代 理 人 ８、補正の対象 明ａ’ｍの「特許請求の範囲」及び「発明の詳ＭＩ＋な
説７、補正の内容 （１）明細書の「特許請求の範囲」の欄の記載を別紙の
通り補正する。 （２）明Ｍ５書男６頁第２〜３行目に記載する「例えば
合成樹脂やゴム等のエラストマーを」を「例えばりｐ性
体の代表例である板ばねや合成樹脂もしくはゴム等のエ
ラストマーを」と補正する。 （３）明細書第７頁第２０行目に記載する「本発明の作
用」を１本実施例の作用」と補正する。 （４）明細書第８頁第１４行目に記載する「上記本発明
によれば、」を「上記本実施例によれば、」と補正する
。 （５明細書第８頁第１７〜１８行目間に、次の字句を挿
入する。 「 なお、上記各実施例においては、ブラケッ）１２の
下部に弾性体よりなる筒状体の支持筒１３を固設して構
成したが、支持筒１３は筒状の弾性体に限定されるもの
ではなく、支持ｒ５１３を互に対向配置した一対の幅広
の板ばね部材と、各板ばね部材の上端部を固定保持する
板ばね部材保持部と、各板ばね部材の対向面下部に固設
した圧接片とにより構成し、板ばね部材の弾性力にて各
圧接片を外筒１５の外周面に圧接させることにより、外
筒１５を挟持保持しうるように構成してもよい、この場
合、各圧接片におけ外＠１５との接合面部を外筒１５に
対応する円弧状又は外筒１５の半径よりも大きな半径の
円弧状に形設しておくのがよい、又、幅広の板ばね部材
の代りに、多数の短冊状の板ばね片やばね線材。 コイルばね等を用い、これらの部材を外筒１５の外周に
配設して圧接的に挟持保持しうる構成にしてもよい、」 ８、添付書類の目録 別 紙 １ 通 ２、特許請求の範囲 （１） ロボット本体部に固設されたブラケットに自
在継手を介して外筒を支承し、前記外筒内に。 その先端部に真空源と連通接続された吸ｒＩ盤を装備し
た円筒を摺動自在に嵌装するとともに前記吸着盤の収納
部を設け、前記吸着盤を前記収納部に対して収納、押出
し操作するための機構を装備して構成したことを特徴と
するロボットのハンドリング装ａ。 （ゐ 前記外筒は、筒状の弾性体を介して振れないよう
に保持構成されていることを特徴とする特許請求の範囲
ｒｐＪ１項記載のロボットのハンドリング装に。 （３）前記筒状の弾性体は、合成樹脂もしくはゴム等の
エラストマーにて構成されていることを特徴とする特許
請求の範囲第２項記載のロボットのハンドリング装置。 （４） 前記内筒は１弾性体を介して前記吸着盤が前
記収納部内に収納されるべく付勢されるとともに、外部
から圧送される流体圧を介して前記吸着盤が前記収納部
から押し出される方向に移動作動されるように構成され
ていることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のロ
ボットのハンドリング袋口。 （■ 前記内筒は、りｉ性体を介して前記後ｒ１ｔＢが
常時前記収納部から押し出される方向に＋を勢されると
ともに、前記真空源の吸引力を介して前記吸着盤が前記
収納部内に収納操作されるように構成されていることを
特徴とする特許請求の範囲第１唄記載のロボットのハン
ドリング５：ｔａ。 （０前記弾性体は、ばねもしくはウレタン等のエラスト
マーにて構成されていることを特徴とする特許請求の範
囲第４１又は第５項記載のロボットのハンドリング装置
。 （８）前記ばね部材は、 ばねであ覧、板ばねにける前
記外筒との対向面部には、外↑１のノ状にロボ・トのハ
ントリンクン” 。 −Ｉくシ
Claims (6)
- （１）ロボット本体部に固設されたブラケットに自在継
手を介して外筒を支承し、前記外筒内に、その先端部に
真空源と連通接続された吸着盤を装備した内筒を摺動自
在に嵌装するとともに前記吸着盤の収納部を設け、前記
吸着盤を前記収納部に対して収納、押出し操作するため
の機構を装備して構成したことを特徴とするロボットの
ハンドリング装置。 - （２）前記外筒は、筒状の弾性体を介して振れないよう
に保持構成されていることを特徴とする特許請求の範囲
第１項記載のロボットのハンドリング装置。 - （３）前記筒状の弾性体は、合成樹脂もしくはゴム等の
エラストマーにて構成されていることを特徴とする特許
請求の範囲第２項記載のロボットのハンドリング装置。 - （４）前記内筒は、弾性体を介して前記吸着盤が前記収
納部内に収納されるべく付勢されるとともに、外部から
圧送される流体圧を介して前記吸着盤が前記収納部から
押し出される方向に移動作動されるように構成されてい
ることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のロボッ
トのハンドリング装置。 - （５）前記内筒は、弾性体を介して前記吸着盤が常時前
記収納部から押し出される方向に付勢されるとともに、
前記真空源の吸引力を介して前記吸着盤が前記収納部内
に収納操作されるように構成されていることを特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載のロボットのハンドリング
装置。 - （６）前記弾性体は、ばねもしくはウレタン等のエラス
トマーにて構成されていることを特徴とする特許請求の
範囲第４項又は第５項記載のロボットのハンドリング装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17354184A JPS6150793A (ja) | 1984-08-20 | 1984-08-20 | ロボツトのハンドリング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17354184A JPS6150793A (ja) | 1984-08-20 | 1984-08-20 | ロボツトのハンドリング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6150793A true JPS6150793A (ja) | 1986-03-13 |
| JPH0116638B2 JPH0116638B2 (ja) | 1989-03-27 |
Family
ID=15962442
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17354184A Granted JPS6150793A (ja) | 1984-08-20 | 1984-08-20 | ロボツトのハンドリング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6150793A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003100848A (ja) * | 2001-09-25 | 2003-04-04 | Applied Materials Inc | 基板保持装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS49109376U (ja) * | 1973-01-16 | 1974-09-18 | ||
| JPS508955A (ja) * | 1973-06-04 | 1975-01-29 | ||
| JPS567686U (ja) * | 1979-06-25 | 1981-01-23 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54146462A (en) * | 1978-05-09 | 1979-11-15 | Yamato Esuron Kk | Preparation of brush and base for producing brush |
-
1984
- 1984-08-20 JP JP17354184A patent/JPS6150793A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS49109376U (ja) * | 1973-01-16 | 1974-09-18 | ||
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003100848A (ja) * | 2001-09-25 | 2003-04-04 | Applied Materials Inc | 基板保持装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0116638B2 (ja) | 1989-03-27 |
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