JPS6148491A - カ−ボン型材のコ−テイング膜表面に形成する離型剤層の形成方法 - Google Patents
カ−ボン型材のコ−テイング膜表面に形成する離型剤層の形成方法Info
- Publication number
- JPS6148491A JPS6148491A JP17133484A JP17133484A JPS6148491A JP S6148491 A JPS6148491 A JP S6148491A JP 17133484 A JP17133484 A JP 17133484A JP 17133484 A JP17133484 A JP 17133484A JP S6148491 A JPS6148491 A JP S6148491A
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- mold material
- mold
- coating film
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- Mold Materials And Core Materials (AREA)
- Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
′Ｃ浬業上の利用分野〕
本発明は、例えば太陽電池製造用の多結晶シリコンウェ
ハを製造する次め、溶融シリコンの供給を受けることと
なるカーボン型材に関し、当該型材につきこれを保護し
たり、同型材の素材であるカーボンが、製品である多結
晶シリコンウェハなどに不純物として析出されることを
可及的に阻止するため施される、ＳｉＣ等による所望の
コーテング膜上に６って、さらに溶融／リコンが固化成
形されたとき、当該製品を剥離し易くするため施される
離型剤層の形成方法に係るものである。
ハを製造する次め、溶融シリコンの供給を受けることと
なるカーボン型材に関し、当該型材につきこれを保護し
たり、同型材の素材であるカーボンが、製品である多結
晶シリコンウェハなどに不純物として析出されることを
可及的に阻止するため施される、ＳｉＣ等による所望の
コーテング膜上に６って、さらに溶融／リコンが固化成
形されたとき、当該製品を剥離し易くするため施される
離型剤層の形成方法に係るものである。
従来、上記のように溶融シリコンを固化して所望製品を
得るような場合、これに用いられる高温用型材には、シ
リコンウェハ等の製品が高純度に維持されるように、５
ｉ０２（石英ガラス）の坩堝が採択されてい次。
得るような場合、これに用いられる高温用型材には、シ
リコンウェハ等の製品が高純度に維持されるように、５
ｉ０２（石英ガラス）の坩堝が採択されてい次。
ところが石英ガラスは非常に高価であり、しかも製品で
ろるシリコンが固化する際、割れてしまい再使用不能と
なるところから、カーボン型材が使用されるに至ってい
るが、当該型材に直接溶融シリコンを供給するようにし
た場合には、 Ｐｊｅ材のカーボンが、製品中に混入し
てしまうため実用し得す、このためカーボン型材の製表
面にＳｉＣ粉末ｔ−ＣＶＤ法、スパッタリング法等によ
り蒸着するとか、同上粉末を有機溶媒にといてスプレ一
手段等により３Ｉ！布したものを焼結するなどの方法に
よって、二−ゴング膜を形成するようにしている。
ろるシリコンが固化する際、割れてしまい再使用不能と
なるところから、カーボン型材が使用されるに至ってい
るが、当該型材に直接溶融シリコンを供給するようにし
た場合には、 Ｐｊｅ材のカーボンが、製品中に混入し
てしまうため実用し得す、このためカーボン型材の製表
面にＳｉＣ粉末ｔ−ＣＶＤ法、スパッタリング法等によ
り蒸着するとか、同上粉末を有機溶媒にといてスプレ一
手段等により３Ｉ！布したものを焼結するなどの方法に
よって、二−ゴング膜を形成するようにしている。
しかし、これでもカーボン型材のＣｔ−製品に全く不純
物として析出させないようにすることはできていない。
物として析出させないようにすることはできていない。
一方溶融シリコンが上記コーテング瞑上にて固化したと
き、製品の剥離が困難となるため、当該コーテング膜上
に離型剤層を形成すること段により、これをコーテング
膜上に塗布するようにしているだけでめシ、従ってこの
ような離型剤層を塗布しても離型剤として役割は果すも
のの、前記したカーボン型材は高熱条件下、熱拡散によ
って、七のＣがコーティング膜から、さらに５Ｌ３Ｎ４
の離型剤層を通って、溶融シリ゛コン中に析出してくる
のであり、これを阻止する機能は殆どもっていない。
き、製品の剥離が困難となるため、当該コーテング膜上
に離型剤層を形成すること段により、これをコーテング
膜上に塗布するようにしているだけでめシ、従ってこの
ような離型剤層を塗布しても離型剤として役割は果すも
のの、前記したカーボン型材は高熱条件下、熱拡散によ
って、七のＣがコーティング膜から、さらに５Ｌ３Ｎ４
の離型剤層を通って、溶融シリ゛コン中に析出してくる
のであり、これを阻止する機能は殆どもっていない。
本発明は、上記従来の問題に鑑み、コーティング膜に離
型剤／１ｉｉＷを形成するに際してＳｉ３Ｎ４．５Ｎ）
ｔｓ ５ｉ０１ＢＮ等の粉末だけでなく、さらにこれに
Ｓｉ粉末を混入し、これによってスプレ一手段等により
離型剤層としての塗布層を形成するようにし、これによ
りカーボン型材から析出しようとして熱拡散してくるＣ
ｋ ｓ Ｓ ｈ等と結合させてしまうことで、溶融
シリコン中に侵入してくるＣの量を効果的に抑制しよう
とするのが、その目的である。
型剤／１ｉｉＷを形成するに際してＳｉ３Ｎ４．５Ｎ）
ｔｓ ５ｉ０１ＢＮ等の粉末だけでなく、さらにこれに
Ｓｉ粉末を混入し、これによってスプレ一手段等により
離型剤層としての塗布層を形成するようにし、これによ
りカーボン型材から析出しようとして熱拡散してくるＣ
ｋ ｓ Ｓ ｈ等と結合させてしまうことで、溶融
シリコン中に侵入してくるＣの量を効果的に抑制しよう
とするのが、その目的である。
本発明は、上記の目的を達成する几めに、高融点素材で
あるカーボンによって形成されたカーボン型材の型表面
にｓ ＳｉＣ等によるｆｒ望のコーティング膜を形成
した後、当該コーティング膜の表面に、５ｉａＮ４、Ｓ
ｉＯ□、ＳｉＯ％ＢＮ等の糖はＣと化学的結合可能なＳ
ｉ粉末との一合吻による塗布層を形成するようにしたこ
とを特徴とするカーボン型材のコーティング膜表面に形
成する離型剤層の形成方法を提供したものである。
あるカーボンによって形成されたカーボン型材の型表面
にｓ ＳｉＣ等によるｆｒ望のコーティング膜を形成
した後、当該コーティング膜の表面に、５ｉａＮ４、Ｓ
ｉＯ□、ＳｉＯ％ＢＮ等の糖はＣと化学的結合可能なＳ
ｉ粉末との一合吻による塗布層を形成するようにしたこ
とを特徴とするカーボン型材のコーティング膜表面に形
成する離型剤層の形成方法を提供したものである。
本発明では離型剤層を形成する瞳、Ｓｉ３Ｎ４、ＳｉＯ
□、５ｉＯ１ＢＮ等の他にＣと化学的に結合可能なＳｔ
粉、を混入して、これによりｆ１１布層を形成するよう
にし友から、上記Ｓｉ粉がカーボン型材から熱拡散して
来たＣと結合してＳｉＣ等となり、このため侵入して米
ようとするＣを捕捉して、極めて効果的にｄ融７す３７
等内にＣが不純物として析出してくるのｔ−ｍ止するこ
とができる。
□、５ｉＯ１ＢＮ等の他にＣと化学的に結合可能なＳｔ
粉、を混入して、これによりｆ１１布層を形成するよう
にし友から、上記Ｓｉ粉がカーボン型材から熱拡散して
来たＣと結合してＳｉＣ等となり、このため侵入して米
ようとするＣを捕捉して、極めて効果的にｄ融７す３７
等内にＣが不純物として析出してくるのｔ−ｍ止するこ
とができる。
本発明を具体例によって詳記すれば、カーボン型材１の
型表面１′にＳｉＣによるコーティングＩｘ２を＃記の
通ル既知の適宜手段により形成し、その上にＳｉ３Ｎ４
粉宋とＳｉ粉末との混合物をスプレ一手段等によシ塗布
するが、当該両粉末は、ともに粒子の大きさを２μｍ前
後とするのがよく、Ｓｉ３Ｎ４ 粉末の５ｇに対しＳｔ
粉末′ｆｃ１５ ｇだけ混合し、当該混合物をアルコー
ル等の有機溶剤にてとき、１ＯｃｒｎｘｌＯｃＩｒＬの
カーボン型材にスプレーして、塗布層３を形成した。
型表面１′にＳｉＣによるコーティングＩｘ２を＃記の
通ル既知の適宜手段により形成し、その上にＳｉ３Ｎ４
粉宋とＳｉ粉末との混合物をスプレ一手段等によシ塗布
するが、当該両粉末は、ともに粒子の大きさを２μｍ前
後とするのがよく、Ｓｉ３Ｎ４ 粉末の５ｇに対しＳｔ
粉末′ｆｃ１５ ｇだけ混合し、当該混合物をアルコー
ル等の有機溶剤にてとき、１ＯｃｒｎｘｌＯｃＩｒＬの
カーボン型材にスプレーして、塗布層３を形成した。
さらに本発明により得た製品の特性を知るため、Ｓｉ３
Ｎ４粉末５ｇに対してＳｉ粉本を全く混入しない場合、
そしてまた夫々Ｉｇ、５．０ｇを混入した場合について
の離型剤層をも形成し、これらの％層上に２０ｇの原料
シリコンｔ装置き、これをアルゴン雰囲気の電気炉中で
１４３５０にて２０分間加熱溶融し、これを冷却固化さ
せたものについて、夫々赤外分光法により、製品たるシ
リコン中に含まｎるＣの童を測定してみたところ、次の
表の如き結果が得られた。
Ｎ４粉末５ｇに対してＳｉ粉本を全く混入しない場合、
そしてまた夫々Ｉｇ、５．０ｇを混入した場合について
の離型剤層をも形成し、これらの％層上に２０ｇの原料
シリコンｔ装置き、これをアルゴン雰囲気の電気炉中で
１４３５０にて２０分間加熱溶融し、これを冷却固化さ
せたものについて、夫々赤外分光法により、製品たるシ
リコン中に含まｎるＣの童を測定してみたところ、次の
表の如き結果が得られた。
尚ここで、上記の例よりも、さらにＳｉの量を多くして
行くと、型材としての使用に際し粉本シリコンが溶けて
、これらが互いに結合し、大きな粒となってし１うので
適量の配合は望ましくない。
行くと、型材としての使用に際し粉本シリコンが溶けて
、これらが互いに結合し、大きな粒となってし１うので
適量の配合は望ましくない。
本発明は前記のような構成で６９、上記実施例のように
して具現されるから、製品の離盟効！ ワ、□
。□６．６お１゜よ、え、７．ウェハ等の製品カーボン
濃度を低くすることができるから、太陽電池等の効率を
向上させることができる。
して具現されるから、製品の離盟効！ ワ、□
。□６．６お１゜よ、え、７．ウェハ等の製品カーボン
濃度を低くすることができるから、太陽電池等の効率を
向上させることができる。
図は本発明に係る方法により形成した離型剤層を有する
カーボン型材の縦断正面説明図である。 １・・・Ｃ・カーボン型材 １′・・・・凰表面 ２・・拳・・コーガング膜 ３・φ・・・塗布層
カーボン型材の縦断正面説明図である。 １・・・Ｃ・カーボン型材 １′・・・・凰表面 ２・・拳・・コーガング膜 ３・φ・・・塗布層
Claims (2)
- （１）高融点素材であるカーボンによつて形成されたカ
ーボン型材の型表面に、ＳｉＣ等による所望のコーティ
ング膜を形成した後、当該コーティング膜の表面に、Ｓ
ｉ＿３Ｎ＿４、ＳｉＯ＿２、ＳｉＯ、ＢＮ等による粉末
にＣと化学的結合可能なＳｉ粉末を混入した混合物によ
る塗布層を形成するようにしたことを特徴とするカーボ
ン型材のコーティング膜表面に形成する離型剤層の形成
方法。 - （２）塗布層が、Ｓｉ＿３Ｎ＿４、ＳｉＯ＿２、ＳｉＯ
、ＢＮ等の粉末５に対して、Ｓｉ粉末が２．５〜５．０
の重量比となる混合物である特許請求の範囲第１項記載
のカーボン型材のコーティング層表面に形成する離型剤
層の形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17133484A JPS6148491A (ja) | 1984-08-17 | 1984-08-17 | カ−ボン型材のコ−テイング膜表面に形成する離型剤層の形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17133484A JPS6148491A (ja) | 1984-08-17 | 1984-08-17 | カ−ボン型材のコ−テイング膜表面に形成する離型剤層の形成方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6148491A true JPS6148491A (ja) | 1986-03-10 |
| JPH0127028B2 JPH0127028B2 (ja) | 1989-05-26 |
Family
ID=15921299
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17133484A Granted JPS6148491A (ja) | 1984-08-17 | 1984-08-17 | カ−ボン型材のコ−テイング膜表面に形成する離型剤層の形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6148491A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004053207A1 (en) * | 2002-12-06 | 2004-06-24 | Vesuvius France S.A. | Vessel for holding silicon and method of producing the same |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5556078A (en) * | 1978-10-19 | 1980-04-24 | Consortium Elektrochem Ind | Protecting method for carbon body |
-
1984
- 1984-08-17 JP JP17133484A patent/JPS6148491A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5556078A (en) * | 1978-10-19 | 1980-04-24 | Consortium Elektrochem Ind | Protecting method for carbon body |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004053207A1 (en) * | 2002-12-06 | 2004-06-24 | Vesuvius France S.A. | Vessel for holding silicon and method of producing the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0127028B2 (ja) | 1989-05-26 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |