JPS6142834U - ウエハ洗浄装置 - Google Patents

ウエハ洗浄装置

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Publication number
JPS6142834U
JPS6142834U JP12594384U JP12594384U JPS6142834U JP S6142834 U JPS6142834 U JP S6142834U JP 12594384 U JP12594384 U JP 12594384U JP 12594384 U JP12594384 U JP 12594384U JP S6142834 U JPS6142834 U JP S6142834U
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JP
Japan
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cassette
support
utility
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cleaning
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Pending
Application number
JP12594384U
Other languages
English (en)
Inventor
義光 福冨
Original Assignee
大日本スクリ−ン製造株式会社
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、本考案の一実施例を示す平面図、第２図は、
第１図のＡ−Ａ線における断面図、第３図は、第１図の
Ｂ−Ｂ線における断面図、第４図は、本考案の他の実施
例を示す中央縦断正面図、第５図は、第４図のＣ−Ｃ線
における断面図、第６図は、支持材の他の例を示す斜視
図、第７図は、支持材のさらに他の例を示す斜視図、第
８図は、支持材のさらに他の例を示す斜視図、第９図は
、支持材のさらに他の例を示す斜視図、第１０図は、支
持材のさらに他の例を示す斜視図、第１１図は、支持材
のさらに他の例を示す斜視図、第１２図は、従来装置の
カセットの一部切欠斜視図、第１３図は、従来装置の一
例を示す中央縦断正面図である。 １，１′・・・洗浄槽、２，２′・・・外槽、３，３′
・・冫内槽、４，４′・・・多孔板、５，５′・・・溢
水室、６，６′・・・洗浄室、７，７′・・・送水室、
８・・・ウェハ、９・・・カセット、１０．１０’・・
・支持材、１１・・・突条、１２・・・支持材、１３・
・・山形屈曲部、１４・・・半割円柱体、１５・・・支
持材、１５ａ・・・屈曲部、１６・・・三角錐体、１７
・・・円錐体、１８・・・半球体、５１・・・カセット
、５２・・・Ｖ字溝、５３・・・ウェハ、５４・・・洗
浄槽、５５・・・内槽、５６・・・外槽、５７・・・多
孔板。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 （１） ウエハを装填したカセットを、２個以上の洗
    浄槽に順次浸漬して洗浄するようにした洗浄装置におい
    て、各洗浄槽に、複数個のカセット支持材を、各槽ごと
    に位置を、互いに異ならせて配設したことを特徴とする
    ウエハ洗浄装置。 （２）支持材が、カセットと線状に接触する柱体である
    実用新案登録請求の範囲第（１）項に記載の装置。 （３）支持体が、上向錐体である実用新案登録請求の範
    囲第（１）項に記載の装置。 −（４）支持体が、その外端に、カセットを所定位置に
    案内する上向屈曲部を備えるものである実用新案登録請
    求の範囲第（１）項乃至第（３）項のいずれかに記載の
    装置。 （５）カセットの側面を、支持体で支持してなる実用新
    案登録請求の範囲第（１）項乃至第（３）項のいずれか
    に記載の装置。
JP12594384U 1984-08-21 1984-08-21 ウエハ洗浄装置 Pending JPS6142834U (ja)

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JP12594384U JPS6142834U (ja) 1984-08-21 1984-08-21 ウエハ洗浄装置

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63271937A (ja) * 1987-04-28 1988-11-09 Matsushita Electric Ind Co Ltd 洗浄装置
JPH0291815U (ja) * 1988-12-29 1990-07-20

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5316277U (ja) * 1976-07-23 1978-02-10

Patent Citations (1)

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