JPS614013A - テレセントリツク・ズ−ムレンズ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （誰染上の利用分野） この発明は、前玉匝が小さく、広い変倍範囲にわたって
歪曲収差が極めて小さく、かつ開口率の大きな投影検査
器用のテレセントリックズームに関する。

（従来技術） 投影検査器（投彰器）は被測定物の輪廓を内当な方法で
照明し、収差、特に歪曲収差の良く補正された投影光学
系によってスクリーンに拡大投影し、スクリーン上の基
準図形と比較することによって諸址の測定を行うことを
王な目的とした測定器である。このような目的に用いら
れる光学系は、その性格上、極めて高置な歪曲収差の補
正が要求されると共に、載物台を上下に移動させること
によってスクリーン面上で○焦点合ぜを行う際、光学的
な倍率梢Ｖを保障するため、光学系を通過する光束の被
測定物側における主光線が光軸に対して千行となる、い
わゆるテレセントリックな光学系として構成されなけれ
はならない。また、スクリーンの中心部から周辺部にわ
たって、誠の輝度が乎均していることが望ましいので、
光学系には大きな開口効率が要求される。

このように、光学系に対する要求が厳しいため、これを
満たすものとして従来は用途に応じて倍率毎に別々に設
計された一定の焦点距離を持つレンズ系が用いられてき
た。従って、測定途中で倍率を変える場合には異なる倍
率用のレンズを複数個用意することが不可欠であった〇
そして、これらのレンズを必要に応じて投影器に着脱す
るか、あるいは投影器にターレットが備えである場合に
は、ターレットによってレンズ交換を行う必要があった
。

上記のような複数個の投影器用レンズを十分な変倍比を
持つ１１ｔＩＡｆＺ）ズームレンズで重き換えることが
出来れば、倍率変換θ際υ業帷さを軽減出来るはかシで
なく、測定装置全体のコンパクト化が可能となり、トー
タルコストの低減にもつながることとなる。

その上、ズームレンズは焦点面を固定したままで連続的
な変倍が可能であり、変倍範囲のどｉ　　　　　Ｏ＠率
に＄−１，Ｑ　”ｒも被測定物０形、ｇｏ観察と測定が
０Ｔ能となる。

しかし、この様な目的に用いられるズームレンズは、匠
米紹んど実用化されていない。その理由は、上記のよう
にこの種の光学系に要求される歪曲収差の許容量が小さ
く、原理的に特に歪曲収差の補正が困難であるとされて
＠たズームレンズで、この許容に以下に歪曲収差を納め
る技術が確立してい々かったこと、ズームレンズにテレ
センドリンク性を与えるために従来とられてきた方法は
、結果的に前玉径を増大させる効果を持つため、コンパ
クトな光学系が得られず、開口効率にも急影響を及ぼし
ていたこと等の配回があけられる。

従来、正・負・正・正の４鼾から構成され、第１群と第
４群とが固定され、長焦点端から短焦点端への変倍に従
って第２群は第１群に近づく方向へ、第３軒は第２群と
反対方向へ、光軸上を勢調に移動する型式のズームレン
ズは知られている。（向えば特公昭５１−１２４２４号
公報）この型式のズームレンズは移動群の倍率がそれぞ
れ［１４に変化し全系の変倍への寄与に無駄がなく、各
群の移動皺を小さくすることが出来るので、変倍中２）
収差変動が少なく、高変倍此のズームレンズを構成する
のに有利な型式としてよく知られている。

この型式のズームレンズをテレセントリックな光学系と
する場合、従来は第３図に示すように固定群である第４
群の前側焦点位置に絞りを置くのが通例であった。しか
し、このよう々配置では長焦点側で入射瞳位置が扱方に
寄ってしまうという欠点が生ずる。一般に投影用光学系
は長焦点のものも短焦点υものも画角にそれ程大きな差
がないことが物欲の１つであり、その前玉径は王として
光学系の入射瞳の位置によって決冗される。従ってこの
ようなズームレンズ構成において、長焦点側で入射瞳位
置が前玉から離れ後方に寄ることは前玉径を増加させる
結果となる。こｉ２）ため、紋シをできるだけ前方に配
置することが有利となるが、第３群と第４群の間に紋り
を置く限り第３群が第４群に最も近づく焼焦点端におい
て絞シが第３畦に干渉しない範囲に絞り位置が限られる
こととなる。また、マスク系である第４ｆｌＦの焦点距
離を長くシ、軟シの中心を通る主光線の傾きを小さくす
ることも前玉径を小さくするのに有利な条件であるが、
それに伴いレンズ全長が長くなるか、作動距離が短かく
なるという欠点を生ずる。以上のように、マスク系の前
側焦点位置にテレセントリックな絞りを固定する従来の
方法では要求を十分に満す光学系を得ることは出来ない
。

そこで、絞漫を第３群を越え、第２８￥：と第３群の間
に設置しようとすれば、絞りの後方に可動群である第３
群があるため、テレセントリック条件を満すためには絞
りを固定することが出来ず、第３群と第４群の合成糸の
前側焦点位置に絞りを置くことが必要となり、可動群で
ある第２群、第３群とは独立Ｉ／Ｃ変培中、絞シを光軸
に沿って移動することとなる。

第３群の焦点距離をｆ５、第４群の焦点距離をｆ４とし
、各群の主点間距岨を無視し、第３軒と第４群の間隔を
ｄＳ第３ｎと第４群７）合成系の前側焦点位置と第３群
との間隔をａ、同じく第４群との間隔′４Ｉ：ｂとすれ
ば、 となる。絞）を第３群υ前方に置く限りａ　）　Ｑで、
ｂはｄの単調増加関数、ａはｄの学調減少閏数であるこ
とが導かれる。この状況を第４図に示す。

このように、正・負・正・正の４！Ｉｎからなるズーム
レンズの第２群と第３群の間に可動なテレセンドリンク
絞りをＨｋけることは、拳に絞りが前方へ移動したため
に、各変＠位置において第１１＋での±光線の光軸から
の高さが低下するはかりでなく、変倍に伴って絞り位置
が単調に移動し、しかもその移動力量が従来の型式のテ
レセントリックズームでは避けることのできなかった変
倍に伴う人躬薗位にυ大きな変動を打４　　　　　ｒｐ
−を効オオ、っ。従っ、う亀、伴う、角うイ、。

少ないことが条件となる投Ｔ＃器用ズームレンズとして
は、前玉匝が各変倍位置で有効に利用出来、開口効率に
も良い影Ｗｔ与えることとなる。

しかし一方、このようなテレセントリック絞シはそれ自
体独立な可動群となるため、鏡胴構造の点から見れは、
可動レンズ群を３つ持つ型式のズームレンズと同等であ
り、光学的性能０割に機械的に複雑な構造となる。１だ
、広い変倍範囲に渡って歪曲収差の補正が厳しく散水さ
れるズームレンズにおいては、絞シの前側での歪曲収差
発生量と絞りの後側での歪曲収差発生量が各変倍位置に
おいて１消ｌ〜合う構成が望まシく、正・負・正・正の
ＤＩ成のズームレンズにおいて、絞υを第２叶と第３畦
の間に配置する型式は、この点では不オリな（み成とな
る。更に、２つ■ｉ５Ｊ動群はそれぞれ倍率変化を分担
しているとは云え、その分担する変培敞が大きいため収
差変動が大きく、φ曲収差をはじめとする諸収差の補正
上不利と彦る０その上、絞り位置が従来とは異なるため
、特に紋り後方での収差変動が非常に大きくなり、長焦
点側において負の歪曲収差の発生量が大きくなりすぎ、
補正が困離になる傾向を持つ。

本発明者の１人は上記の可動テレセントリック絞シを第
３群に固定し、変倍に伴って第３群と一体で元軸上を移
動させるとともに、第３群と第４群との間に新たに負の
パワーを持つレンズ群を尋人し、第５図に示すように、
これを第３群と反対方向に移動させることにより、これ
らの問題を解決出来ることを示した。（特開陥５７−１
６９７１７号）その結果、得られるレンズ系は正・負拳
止−負・正の５群俳成となシ、第３群に級シを有するの
で叙すの前後の対称性が良く、絞りの前側で発生した歪
曲裸麦と後側で発生した歪曲収差とが互に打消す構成と
なる。

また、従来、第２群、第３群に分担されていた変倍を夫
に第４群にも分担させることができ、各群の分担する変
倍比が減少すると共に各群で発生する収との変倍に伴う
変動を小さくすることが出来る。さらに、従来の４１＃
病賊のものでは、第１９Ｆで大きく発生した正の缶曲収
差を負の第２群が補止し、変倍に伴う歪曲収差の変動を
少なくするという補正方法をとるが、この発明のレンズ
構成では絞りの銃側でもこの方法を全く同様に使用する
ことができ、絞りの後側にお・ける歪曲収差の変動をも
小さくすることができる。

このような争ましい構成においでテレセンドリンクカ光
学系となるために６、第５群が固定群であるので、ｑ！
ｒ変＠位置で、第３群と共に移動する叙りの第４群によ
る縁の位置が第５群の前側焦点位置に味たれなければな
らない。絞シと第３Ｂの間隔を無視し、短焦点端で第３
ｆ＃位置すなわち絞シ位置と第４註王点位置とが一致す
るとしたとき、この位置から■各変＠ｔ＞’Ｌ置での絞
りの移動針を１１同じく第４１Ｒ−Ｄ移動１を９１第４
群の焦点船離を１４（＜Ｏ）としたとき、この条件は次
式で衣わされ、その移動１路は第３図に示されるように
なる。

これによれは、第３群及び絞り位置が変倍に伴つて光軸
上を直線的に移動するとき、負群である第４群は第３群
と逆向きに獣調に移動する。

これは、第４群が新らたに変倍に寄与するために移動す
る方向と一致している。このため、第３群と第４群とに
テレセンドリンクの条件を満す様な動きを与え、その上
でこれらに対し関係的に第２群を同様に単調に移動させ
て変倍中隊面を定位置に固定するようにすれば、テレセ
ントリックなズームレンズ系が得られることとなる。

また、実用上差しつかえのない範囲でテレセンドリンク
条件のくずれを許容すれば、パワー配分および収差補正
の自由度が増し、全体としてバランスのとれた性能を持
たせることが出来る口 （この発明が解決しようとする問題点）Ｉ　　　　　）
″１％１′１７−”°°“７！：＆＊に！ｚが生じてく
る。

すなわち、スクリーン匝をφ５１０としたとき、画角は
上記ズームレンズと同じにしであるので、焦点距離は必
然的にスクリーン匝が大きくなった割合、すなわち１．
７倍だけ長くなる。

このように焦点距離が１，７倍になると諸収差も歪曲収
差を除いて１．７倍に増大する。

この発明は、このような榮件下で、上記ズームレンズと
収差補正が同程度になるように改良しようとするもので
ある。史に上記公開公報に開示されたズームレンズは、
低倍率側で高次の歪曲収差が発生していたが、この高次
の歪曲収差をも補正したテレセントリックズームレンズ
を得ようとするものである。

発明の構成 （問題点を解決するための＋猷） この発明のズームレンズ系の構成は基本的には、正・負
・正ｅ負φ正の５群からなり、第１群と第５群は同定し
、全糸を長焦点端から短焦点端へ変倍するに伴い第２群
と第４１ｆ−はそれぞれ第１群の方向へ、第３群はそれ
と逆方向に元軸上を瞬調に移動し、第３群に絞シを固定
するものであるが、第１群と第５群中に負レンズを導入
すると共に、 ｆＷ：短焦点端の焦点距離 ｆｉ：第１群の焦点距離 としたとき ２、０　　＜　ｆ、７１ｗ　　　〈６．０　　　・−・
−（１＞１、ｏ　　＜ｆ、／ｆＷ＜ａ、０　　　・・・
・・・（２）１．５　　＜ｆｙ／ｆＷ（３，０・・・・
・・（３）１、０　　　＜　　Ｉｈ１７ｆｖｔ　　　（
２，０・・・・・・（４）Ｌ　Ｏ（１ｆｔ　１／？ｗ＜
　２．　ｏ　　　・・・・・・（５）を満足している。

史に、望ましくは、第１畦は負卑レンズと少なくとも２
枚の正墜レンズ、第２軒は少なくとも２枚の負暎レンズ
と、正・負の嗅レンズからなるダブレット、第３群は正
・負の傘レンズからなるダブレットと正拳レンズ、第４
群は正・負の≠レンズからなるダブレットと負喚レンズ
、第５群は止優負の嚇レンズからなるダブレットと正牟
レンズ、負墜レンズ及び正獣レンズとからなシ、 π２：第２群の乎均屈折率 ｉ５：第５群の乎均アツベ数 ｆａ：＠１群中の負争レンズの焦点距離九二第５畦中の
負琳レンズの焦点距離 とするとき １、７５　　＜　ｎ２　　　　　　　　・・・・・・（
６）４５　く気　　　　　　　・・・・・・（７）ｆｌ
　／１ｆａｌ　（ｌ−５ｓ　’ｆ　Ｏ・・・・・・（８
）を満足する。

（作用） 一般に凸レンズ群の会でレンズを構成すると糸巻型の歪
曲収差が発生し、その補正は困難でおる。補正のために
は自群中に負レンズを配置しなければならない。上記特
開陥５７−１６９７１７においては第１群の歪曲・収差
補正が不十分でわシ、とシわけ第１群の大きな軸外部分
（１４）　　’ を通る低倍率側で高画角では歪曲収差の曲がりが発生し
ていた。これを第１群中に負レンズ群を導入することに
よって補正可能としている。

条件（１）　（２）は諸収差を良好に補正しながらレン
ズ全長をコンパクトにするためのものであり、上限をこ
えるとレンズ全長が長くなり、下限をこえると球面収差
、皺曲湾曲の補正が困難となる。

条件（３）は第３群、従って絞シの移ａｔを規制するも
ので、入船瞳位置の変動をできるだけ小すくシ、かつレ
ンズ全長をコンパクトにするために必要なものである。

下限をこえて第３群の屈折力が強くなると、第３群の移
動量が減少し、入射瞳位置の変動が増大するため前玉径
が大となり、開口効率の減少を招くと共に、絞りの前後
での収圭変動が大となシ、歪曲収差の補正が国献となる
。逆に上限をこえて第３群の屈折力−　　　　が弱くな
ると、その移動針が増大し、レンズ余技をコンパクトに
おさえることが国難となる。

条件（４）　（５）は第２群、第４群の移動針を制限し
、条件（３）と共に絞り以前、以後の系による収差変動
をおさえ、小さい移動針で十分な変倍比を得ると共に、
屈折力の増大に伴なう収差補正の困難を回避するための
ものである。上限をこえると移動量が大と々るためレン
ズ全長が犬となりすぎるか変倍比を小におさえざるを得
なくなり、下限をこえると収差発生が犬になりすぎ、ｔ
ｌｔＩ○条件を選ぶことによる収差補正が困難になる。

条ＰＦ（６１条件（４）を前提とし、諸収差の補正を困
難にすることなく、第２群の屈折力を画法するためのも
ので、下限をこえてなお第２群に十分な変倍比を与えよ
うとすると、全系のペッツく一ル和が過小と々υ、非点
収差が悪化し、長焦点側でタル型■歪曲収差υ発生がｗ
Ａ＠に々る。

条件（７）は色収差の補正に関し、一般にズームレンズ
においては各レンズ群毎に色収差の補正カ必喪であるが
、この発明のズームレンズにおいては短焦点側での開口
率が大きいことも原因し、特に第５群における色補正、
中でも倍率色収差の軸止が間眺となる０下限をこえると
雑魚（ＩＱ 点何で倍率色収差の補正が著しく困難となり、色による
歪曲収差の差も無視出来なくなる。

条ｆ’Ｆ　（８）　（９）Ｖｉそれぞれ第１群および第
５群中の負勢レンズの屈折力ＫＩｊＡする。第１群、第
５群中に負レンズを接会レンズという形でしか配置しな
い場合には、接合面が高次の歪曲収差を発生するという
問題が生ずる。この欠点を除くには第１群、第５群中に
少なくとも１枚は負拳レンズを配置する必要がある。こ
れら負レンズＯ屈折力が上限をこえて強くなると歪曲収
壓の補正が困難になる。

（実施向） 以下、この発明のテレセントリックズームレンズの実施
向を示す。

表中の記号はそれぞれ以下のものを示すＲ：レンズの曲
率半艶 Ｄ＝レンズの＃与又はレンズ間隔 Ｎ；レンズ材料のｄ嶽での屈街率 シ：アツベ数 実施例１　　ｆ＝１８２．１２〜３４４５　倍率１０Ｘ
〜５０×Ｎ、Ａ、　０．０７〜０．１４　　　変倍比５
０＠スクリーン半１２５５　ｍｍ ＩＬ　　　　　　Ｄ　　　　　Ｎ １　　　　　　　　９７．２２９　　　　２．５０　１
．８０５１８　２５．４２　　　　　　　　６４．８２
１　　　　２．００３　　　　　　　　６５．５９９　
　　１（１，Ｇｏ　　１．５６８Ｂ３　５６．２４　　
　　　　　　２３１．２６７　　　　０．３０５　　　
　　　　　７５．８１８　　　　６．５０　１．５８９
１３　６１．１６　　　　　　　　２４８．７１１　　
　＊１）？　　　　　　　　　９３．３９８　　　　１
．７０　１．７７２５０　４９．６８　　　　　　　　
３６．１２５　　　　３．９０９　　　　　　　−２：
１３．３６４　　　　１．６０　１．８０６１０　４０
．９１０　　　　　　　　６３．８４１　　　　３．２
０１１　　　　　　　−１５０．５４４　　　　１．７
０　１．７１３００　５３．９１２　　　　　　　　３
３．２５０　　　　５．６Ｇ　　１．８０５１８　２５
．４１３　　　　　　　−１１１．９３９　　　＊２）
１４　　　　　　　　１？４．５１７　　　　４．３０
　１．５８９１３　６１．１１５　　　　　　　−３７
．１２５　　　　１．１１０　１．８０５１８　２５．
４１６　　　　　　　−１７８．３８７　　　　０．：
１０１７　　　　　　　　９３．７７０　　　　３．５
０　１．５１６３３　６４．１１８　　　　　　　−９
３．７７０　　　＊３）１９　　　　　　　　１８９．
１４２　　　　４．８０　１．８０５１８　２５．４２
０　　　　　　　−８９．２５０　　　　２．２０　１
．７１３００　５３．９２１　　　　　　　　５２．６
２７　　　　９．３０２２　　　　　　　−３７．３２
３　　　　２，２０　１．５８９１３　６１．１２３　
　　　　　　−１２２．５６２　　　＊４）２４　　　
　　　　−４８８．０９２　　　１０．４０　１．７１
３００　５３．９２５　　　　　　　　−３９．１１０
　　　　２．５０　１．８３４００　３７．２２６　　
　　　　　−５２．９６９　　　　０．３０２７　　　
　　　　　２７０．１７２　　　１１．５０　１．４８
７４９　７０．１２８　　　　　　　−５７．７７６　
　　　　λ００２９　　　　　　　−５２．７７３　　
　　２．５０　１．８３４００　３７．２３０　　　　
　　　−２１８．９０３　　　　０．３０３１　　　　
　　　　９０．６３６　　　　８．００　１．６９６８
０　５５．５３２　　　　　　　　　　　　　　　　”
（１均 物ｒ８！間距離　２０００．０　　ｍｍ　　レンズ全長
２６３．７ｍｍ＊１）〜＊４）：ｉ）Ｔ変　　各倍率で
の呟は次の通り＊１）　　　　　＊２）　　　　＊３）
　　　　＊４）１０ｘ（ｆ＝１８２．ｔ２）　　　４３
．４０　　　３５．５７　　７３．５８　　　ｓ、ｔ５
２０ｘ（ｆ＝９３．５２）　　　３６．１４　　　６４
．６７　　３？、５４　　２０．３４５０Ｘ（ｆ＝３４
．４５）　　　　５．５０　　１１６．９７　　１１．
５２　　２４．７２’１／ｆＷ＝３・ｓ３ｆ＋／＋ｔ□
１＝０．５３ｆ５／ｆｗ＝”Ｏｈ／１ｆｂＩ＝０．７０
Ｉｆ、　ｌ／ｆｗ　＝　１．４９ なお、絞りは第３群の前方０．８　ｍｍの位置にあり、
変培中第３群と一体になって動く。

実施例２　　、、ｆ＝１７８．３８〜３５．２４　　ｍ
率１０×〜５０×Ｎ、Ａ、　０．０７〜０１４　　　変
渚比５．０＠スクリーン半径　２５５ｙｙ＋ｍ Ｒ］）　　　　　　　Ｎ １　　　　　　　　　　　　１００．１２３　　　　２
．００　　１．８０５１８　　２５．４２　　　　　　
　　　　　　　　６６、’１３６　　　　　２．００．
３　　　　　　　　　　　　　　６６．９５６　　　　
１０．００　　１．５６８８３　　５６．２４　　　　
　　　　　　　　　２６４．１２８　　　　　０．３４
５　　　　　　　　　　　　　８０．９１１　　　　６
．５０　　１．５８１１１１３　　６１．１６　　　　
　　　　２２８．７５３　　＊１）７　　　　　　　　
　　　　　９５．７２４　　　　１．７０　　１．７７
２５０　　４９．６８　　　　　　　　　　　　　　３
？、２６３　　　　　３．９１９　　　　　　　　　　
　−２６１．３７９　　　　　１．６５　　１．８０６
１（１４０，９１０６１，４９７３，２３ １１−１５０，１１０１，７０１，７１３００５３，９
１２３２，６６０５，６１１，８０５１８２５，４１３
−１１３，７６９＊２） １４　　　　　　　　　　　　１？２．３６２　　　　
４．２５　　１．５８９１３　　６１．１１５　　　　
　　　　　　　　−３６．６１６　　　　１．８７　　
１．８０５１８　　２５．４１６　　　　　　　　　　
　−１６８．２１７　　　　０．３４１７　　　　　　
　　　　　　　９５．０６０　　　　３．５０　　１．
５１６３３　　６４．１１８　　　　　　　−９１．０
６１　１）１９　　　　　　　　　　　　　２３９．７
２５　　　　　４．７９　　１．８０５１８　　２５．
４２０　　　　　　　　　　　　−８９．８９５　　　
　　２．２１　　１．７１３００　　５３９２１　　　
　　　　　　　　　　　５＆、８５３　　　　　９．３
５２２　　　　　　　　　　　　−３７．０’１４　　
　　　２．２１　　１．５８９１３　　６１．１２３　
　　　　　　−１０４．１５６　　＊４）２４　　　　
　　　　　　　−４２１．２３６　　　１０．３７　　
１．７１３００　　５３．９２５　　　　　　　　　　
　　−４０．９５１　　　　２．０４　　１．８３４０
０　　３７．２２６　　　　　　　　　　　　−５２．
６０４　　　　　０．３４２７　　　　　　　　　　　
　２５８．４１１　　　１１．５０　　１．４８７４９
　　７０．１２８　　　　　　　　　　　　−６０．３
３６　　　　２．００２９　　　　　　　　　　　−５
３．４３４　　　　２．００　　１．８３４００　　３
７．２３０　　　　　　　　　　　−２３３．１７９　
　　　　０．３４３１　　　　　　　　　　　　　　８
７．２２１　　　　　８．００　　１．６９６８０　　
５５．５３２　　　　　　　　　　　１０４１．５１９
Ｃ２０） 物鍬間距ｍ　　２０００．Ｏｍｍ　　レンズ全長２６３
．７ｍｍ＊１）〜＊４）：ｉｌ’変　　間借率での直は
次θ圃シ＊１）　　　　　＊２）　　　　＊３）　　　
　＊４）１ｏｘ（ｆ＝１７８．３８）　　　４５．１５
　　　３４．０２　　７４．２０　　　６．５８２０Ｘ
（ｆ＝９２．２９）　　　３９．１８　　　６２．１６
　　３６．２２　　２２．３９５０Ｘ（ｆ＝３５．２４
）　　　　８．５７　　１１４．６６　　　９．５６　
　２７．１６ｆ１／ｆｖｔ　＝３．９６　　　ｆ１／ｌ
ｆ、ｌ　　＝Ｑ、５４ｆ５／ｆＮ−１．７２　　　ｆ５
／ｌｆｂ　ｌ　　””　ｏ、　７２’ｓ／′ｆｖ！−２
，１４ｎ２　：”　ｉ、　７７４１ｆ２’／ｆｗ＝　１
．２５　　　　シ５＝５０．７８１１４１乃警＝１．５
１ なお、絞りは第３群の前方０．８５　ｍｍの位置にあり
、変倍中部３解と一体になって動く。

発明の効果 この発明のテレセントリックズームレンズはその構成を
第１図、第２図に、その収差補正状況を第６図、第７図
に示すように、前玉径が小さく、諸収差、特に歪曲収差
が広い変倍範囲にわたって極めて小さく補正され、高精
度測定を可能にしたテレセントリックズームレンズを得
たものである。

【図面の簡単な説明】

第１図、第２図はそれぞれこυ発明のテレセントリック
ズームレンズの第１実施例、第２実施例の構成を示す断
面図及び移動軌跡図、第３図ないし第５図はテレセント
リックズームレンズの構成原理説明図、第６図、第７図
はそれぞれ第１実施例、第２実施向■収差曲線図である
。 ％計重願人　　　小西六写＾工榮沫式会仕出願人代理人
　弁理士　佐　　藤　　文　　男（ほか１名） （２つ 迦　旧 ０ＩＩ に　　　１ 話 供　パ 　　　ＩＩ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 第１群は正、第２群は負、第３群は正、第４群は負、第
   ５群は正の５群からなり、第１群と第５群は少なくとも
   １枚の負レンズと少なくとも１枚の正レンズを含み、第
   １群と第５群は変倍中固定され、長焦点端から短焦点端
   へ変倍されるに伴い、第２群と第４群は第１群の方向へ
   移動し、同時に第３群は逆に第５群の方向へ移動するよ
   うにされ、第３群に絞りを固定したテレセントリック・
   ズームレンズ