JPS6138934U - 半導体ウエ−ハ - Google Patents
半導体ウエ−ハInfo
- Publication number
- JPS6138934U JPS6138934U JP12149984U JP12149984U JPS6138934U JP S6138934 U JPS6138934 U JP S6138934U JP 12149984 U JP12149984 U JP 12149984U JP 12149984 U JP12149984 U JP 12149984U JP S6138934 U JPS6138934 U JP S6138934U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- region
- conductivity type
- semiconductor wafer
- same
- type
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第2図はこの考案の一実施例の半導体ウエーハの要部拡
大平面区で、第1図は第2図のI−I線に沿う断面図で
ある。 第3図は印加電圧対リーク電流の特性図、第4図はベー
ス領域〜フイール− ド・リミッテイング・リング間の
距離対プレークオーバ電圧の特性図である。 第5図は半導体ウエ一ハの斜視図で、第6図はその要部
拡大平面図、第7図は第6図の■−■線に沿う要部拡大
断面図である。 1・・・・・・半導体ウエーハ、2・・・・・・半導体
素子(逆阻止3端子サイリスタ)、5,9・・・・・・
一導電型領域(N一型領域)、7・・・・・・反対導電
型選択拡散領域(P型ベース領域)、10・・・・・・
ベース領域、11・・・・・・フィールド・リミツテイ
ング・リング(F・L−R)。
大平面区で、第1図は第2図のI−I線に沿う断面図で
ある。 第3図は印加電圧対リーク電流の特性図、第4図はベー
ス領域〜フイール− ド・リミッテイング・リング間の
距離対プレークオーバ電圧の特性図である。 第5図は半導体ウエ一ハの斜視図で、第6図はその要部
拡大平面図、第7図は第6図の■−■線に沿う要部拡大
断面図である。 1・・・・・・半導体ウエーハ、2・・・・・・半導体
素子(逆阻止3端子サイリスタ)、5,9・・・・・・
一導電型領域(N一型領域)、7・・・・・・反対導電
型選択拡散領域(P型ベース領域)、10・・・・・・
ベース領域、11・・・・・・フィールド・リミツテイ
ング・リング(F・L−R)。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 一導電型領域内に反対導電型選択拡散領域を形成して多
数の半導体素子を形成してなる半導体ウエーハにおいて
、 前記一導電型領域内の一部に前記反対導電型選択拡散領
域と同一導電型で同一深さに形成されたベース領域と、 このベース領域と所定の間隔寸法で、かつペース領域と
同一導電型で同一深さに形成されたフィールド・リミツ
テイング・リングとを備えたことを特徴とする半導体ウ
エーハ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12149984U JPS6138934U (ja) | 1984-08-07 | 1984-08-07 | 半導体ウエ−ハ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12149984U JPS6138934U (ja) | 1984-08-07 | 1984-08-07 | 半導体ウエ−ハ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6138934U true JPS6138934U (ja) | 1986-03-11 |
| JPH034033Y2 JPH034033Y2 (ja) | 1991-02-01 |
Family
ID=30680282
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12149984U Granted JPS6138934U (ja) | 1984-08-07 | 1984-08-07 | 半導体ウエ−ハ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6138934U (ja) |
-
1984
- 1984-08-07 JP JP12149984U patent/JPS6138934U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH034033Y2 (ja) | 1991-02-01 |
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