JPS6138530A - 放射率測定装置 - Google Patents
放射率測定装置Info
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- JPS6138530A JPS6138530A JP16062984A JP16062984A JPS6138530A JP S6138530 A JPS6138530 A JP S6138530A JP 16062984 A JP16062984 A JP 16062984A JP 16062984 A JP16062984 A JP 16062984A JP S6138530 A JPS6138530 A JP S6138530A
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- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims abstract description 24
- 230000005855 radiation Effects 0.000 abstract description 21
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 12
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000036760 body temperature Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/0003—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry for sensing the radiant heat transfer of samples, e.g. emittance meter
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Radiation Pyrometers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(発明の技術分野)
本発明は、金属その他の被測定物の放射率を測定する放
射率測定装置に関する。
射率測定装置に関する。
〔発明の技術的背景およびその問題点〕従来のこの種の
放射率測定装置としては、一般に、社団法人 翳1測自
動制御学会から昭和56年3月16日に発行された「温
度計測」の第232頁に記載されているものが知られて
いる。第3図はその放射率測定装置を示す部分断面口で
、両端開口の環状炉1の中央底面(図中Gにて示す)お
よび開口側(因中日にて示す)に被測定物として ゛
金属等の試料2を位置させ、それぞれの位置における放
射エネルギーを放射計3にて求め、これら放射エネルギ
ーの比から試料2の放射率を測定するものとなっている
。なお、図中4は上記環状炉1の内周面に設けられた断
熱材であり、この断熱材4の各開口端近傍にはそれぞれ
ヒータ5が設iられている。
放射率測定装置としては、一般に、社団法人 翳1測自
動制御学会から昭和56年3月16日に発行された「温
度計測」の第232頁に記載されているものが知られて
いる。第3図はその放射率測定装置を示す部分断面口で
、両端開口の環状炉1の中央底面(図中Gにて示す)お
よび開口側(因中日にて示す)に被測定物として ゛
金属等の試料2を位置させ、それぞれの位置における放
射エネルギーを放射計3にて求め、これら放射エネルギ
ーの比から試料2の放射率を測定するものとなっている
。なお、図中4は上記環状炉1の内周面に設けられた断
熱材であり、この断熱材4の各開口端近傍にはそれぞれ
ヒータ5が設iられている。
しかるに上記従来の放射率測定i置においては、環状炉
1の両端が開口し、ているため、大気中での放射率測定
しか行なえず、試料2が金属の場合には酸化を招くおそ
れがあった。また、試料2と炉壁との間には隙間を必要
とするため、良好な空洞条件が得られなかった。さらに
、試料2を環状炉1の一方の開口部Hに位置させた場合
、外部からの背景放射の影響を受は易く正確な放射率測
定を行なえなかった。
1の両端が開口し、ているため、大気中での放射率測定
しか行なえず、試料2が金属の場合には酸化を招くおそ
れがあった。また、試料2と炉壁との間には隙間を必要
とするため、良好な空洞条件が得られなかった。さらに
、試料2を環状炉1の一方の開口部Hに位置させた場合
、外部からの背景放射の影響を受は易く正確な放射率測
定を行なえなかった。
(発明の目的〕
本発明の目的は、炉内雰囲気を自由に制御でき、良好な
空洞条件が得られる上、外部からの背景放射の影響を防
ぐことができ、正確な放射率測定が可能な放射率測定装
置を提供することにある。
空洞条件が得られる上、外部からの背景放射の影響を防
ぐことができ、正確な放射率測定が可能な放射率測定装
置を提供することにある。
本発明は上記目的を達成するために次の如く構成したこ
とを特徴としている。すなわち、一端に開口部を有する
気密構造の黒体炉の開口部に、気密構造の冷fA層を気
密に接合すると共に、前記黒体炉の炉底部側または開口
部側に被測定物を選択的に位置させる如く被測定物を移
動させる被測定物移動手段を設け、上記被測定物が上記
黒体炉の炉底部側および開口部側に位置したときの放射
エネルギー比から被測定物の放射率を測定するようにし
たことを特徴としている。
とを特徴としている。すなわち、一端に開口部を有する
気密構造の黒体炉の開口部に、気密構造の冷fA層を気
密に接合すると共に、前記黒体炉の炉底部側または開口
部側に被測定物を選択的に位置させる如く被測定物を移
動させる被測定物移動手段を設け、上記被測定物が上記
黒体炉の炉底部側および開口部側に位置したときの放射
エネルギー比から被測定物の放射率を測定するようにし
たことを特徴としている。
〔発明の実施例〕
第1図は本発明の一実施例の構成を示す部分断面図であ
る。なお第3図と同一部分には同一符号を付し、詳しい
説明は省略する。第1図において10は気密構造の黒体
炉であり、この黒体炉10の開口部には気密構造の冷却
層20が気密に接合されている。
る。なお第3図と同一部分には同一符号を付し、詳しい
説明は省略する。第1図において10は気密構造の黒体
炉であり、この黒体炉10の開口部には気密構造の冷却
層20が気密に接合されている。
すなわち、上記黒体炉10には密閉された球形または円
筒状の炉体11が設けられており、この炉体11の外周
および炉底にはヒータ5が配置されている。上記ヒータ
5の外周は断熱材4とラジ工−ションシールド12とが
複数層に積層されており、全体はケース13内に収納さ
れている。また、黒体炉10の開口端面にはフランジ1
4が設けられており、このフランジ14に前記冷却層2
0がパツキン15を介してボルトなどの手段で気密状態
を保ちながら接合固定されている。
筒状の炉体11が設けられており、この炉体11の外周
および炉底にはヒータ5が配置されている。上記ヒータ
5の外周は断熱材4とラジ工−ションシールド12とが
複数層に積層されており、全体はケース13内に収納さ
れている。また、黒体炉10の開口端面にはフランジ1
4が設けられており、このフランジ14に前記冷却層2
0がパツキン15を介してボルトなどの手段で気密状態
を保ちながら接合固定されている。
上記冷却層20は流入口21がら水を周壁中空部内に流
入させ、排出口22から排出させる水冷構造となってい
る。また、上記冷!!J層20は貫通口23から内気を
排気させ、真空等の状態にすることが可〜能となってい
る。一方、上記冷却層20の開口部24には図中矢印し
で示すように開閉自在な前蓋25が設置されており、こ
の前蓋25には窓26が設けられている。
入させ、排出口22から排出させる水冷構造となってい
る。また、上記冷!!J層20は貫通口23から内気を
排気させ、真空等の状態にすることが可〜能となってい
る。一方、上記冷却層20の開口部24には図中矢印し
で示すように開閉自在な前蓋25が設置されており、こ
の前蓋25には窓26が設けられている。
また、上記冷却層20.115よび炉体11内には、冷
却層前面のシール27を介して試料移動手段としての棒
状部材28が挿入されている。上記棒状部材28は、炉
内に挿入された先端部に試料2を取付けた状態で、炉外
基端部に設けである取手29を図中矢印M、Nで示す如
く操作することにより、試料2を水平移動操作お1び回
転移動操作し得るものとなっている。かくして、上記棒
状部材28により試料2を炉外]1の炉底部側Aまたは
開口部側Bに所定姿勢で位置させて、放射温度計30に
より窓26を介してそれぞれの位置での放射エネルギー
を測定し1qるものとなっている。
却層前面のシール27を介して試料移動手段としての棒
状部材28が挿入されている。上記棒状部材28は、炉
内に挿入された先端部に試料2を取付けた状態で、炉外
基端部に設けである取手29を図中矢印M、Nで示す如
く操作することにより、試料2を水平移動操作お1び回
転移動操作し得るものとなっている。かくして、上記棒
状部材28により試料2を炉外]1の炉底部側Aまたは
開口部側Bに所定姿勢で位置させて、放射温度計30に
より窓26を介してそれぞれの位置での放射エネルギー
を測定し1qるものとなっている。
次に本装置の測定動作を説明する。まず、前蓋25を閉
じ炉体11および冷却層20の内部を気密に保持すると
同時に、先端に試料2を取付けた棒状部材28を操作し
て、上記試料2を炉底部側Aに位置させる。そして貫通
口23を介して上記炉体11および冷却層20の内部を
真空あるいは特定のガス雰囲気にした後、ヒータ5を制
i卸して炉体11を加熱して試料2を所定温度にする。
じ炉体11および冷却層20の内部を気密に保持すると
同時に、先端に試料2を取付けた棒状部材28を操作し
て、上記試料2を炉底部側Aに位置させる。そして貫通
口23を介して上記炉体11および冷却層20の内部を
真空あるいは特定のガス雰囲気にした後、ヒータ5を制
i卸して炉体11を加熱して試料2を所定温度にする。
一方、冷却It!20は通常は水冷を行なうが、測定温
度が高く試料2の放射率が高い場合等は水冷は不要とな
る。また、温度が低く冷却できない場合は冷却層20の
温度を測定し、背…放射の寄与分を補正するようにする
。
度が高く試料2の放射率が高い場合等は水冷は不要とな
る。また、温度が低く冷却できない場合は冷却層20の
温度を測定し、背…放射の寄与分を補正するようにする
。
第2図は試料2が炉底部側Aから開口部側Bへ移動する
間の放射温度計30の出力特性Pを示す図である。なお
、図中Qは上記試料2が開口部側Bに位置したことを示
す信号で、たとえば・取手2つを上記試料2が開口部側
Bに位置するように引き扱いた瞬間の情報を発生する電
気的スイッチなどにより得られる信号である。また同図
においてVlは試料2が炉底部側Aに位置しているとき
の出力であり、■2は上記試料2が開口部側Bに位置し
ているときの出力である。したがって出力V2は曲線P
とQの交点となる。なお、簡易的には出力■2の値は、
第2図中破線で示す如く、曲線Pの急激に立ち下がる部
分の接線と、次いで緩ヤかに立ち下がる部分の接線との
交点Cの値として問題のないことが、これまでの実施過
程において確認されている。
間の放射温度計30の出力特性Pを示す図である。なお
、図中Qは上記試料2が開口部側Bに位置したことを示
す信号で、たとえば・取手2つを上記試料2が開口部側
Bに位置するように引き扱いた瞬間の情報を発生する電
気的スイッチなどにより得られる信号である。また同図
においてVlは試料2が炉底部側Aに位置しているとき
の出力であり、■2は上記試料2が開口部側Bに位置し
ているときの出力である。したがって出力V2は曲線P
とQの交点となる。なお、簡易的には出力■2の値は、
第2図中破線で示す如く、曲線Pの急激に立ち下がる部
分の接線と、次いで緩ヤかに立ち下がる部分の接線との
交点Cの値として問題のないことが、これまでの実施過
程において確認されている。
今、試料2が炉底部側Aに位置している場合には、十分
に空洞放射が行なわれ、試料2の放射率ε=1と考えら
れるので、炉体温度Tのときの放射エネルギーをE (
T)とすれば、放射温度計30の出力■1は V1=E(T) ・・・(1)とな
る。
に空洞放射が行なわれ、試料2の放射率ε=1と考えら
れるので、炉体温度Tのときの放射エネルギーをE (
T)とすれば、放射温度計30の出力■1は V1=E(T) ・・・(1)とな
る。
一方、上記試料2をn口部側8に位置させた場合には、
外部の背景放射は冷却層2oにより十分量さな値となっ
ているので、出力■2はV2=εE (T)
・・・(2)となる。かくして上記(1)121
式により、試料2の放射率εは ε−V2/V1 ・・・(3)にて
与えられる。
外部の背景放射は冷却層2oにより十分量さな値となっ
ているので、出力■2はV2=εE (T)
・・・(2)となる。かくして上記(1)121
式により、試料2の放射率εは ε−V2/V1 ・・・(3)にて
与えられる。
ところで、試料2の放射率εが非常に小ざく、炉底部側
Aに位置させて熱的平衡状態に達したとしても、見かけ
の放射率ε=1とならない場合がある。この場合は、開
口部側Bにて出力V2を検出した直後に棒状部材28を
回転させ、放射温度計30の視野から試料2を外して、
直接、炉底Aからの放射エネルギー■1′を検出する。
Aに位置させて熱的平衡状態に達したとしても、見かけ
の放射率ε=1とならない場合がある。この場合は、開
口部側Bにて出力V2を検出した直後に棒状部材28を
回転させ、放射温度計30の視野から試料2を外して、
直接、炉底Aからの放射エネルギー■1′を検出する。
モしてε=■2/v1′ ・・・(4)な
る式で試料2の放射率εを求めるればよい。
る式で試料2の放射率εを求めるればよい。
このように、放射温度計30の出力V1.V2から(3
式または(4式のような演算を行なうことにより、特定
温度、特定雰囲気での試料2の放射率εを求めることが
できる。
式または(4式のような演算を行なうことにより、特定
温度、特定雰囲気での試料2の放射率εを求めることが
できる。
なお、本実施例において、試料2の温度が炉体温度Tよ
りも充分に小さいときは次のようにして試料2の放射率
を求めることができる。すなわち、放射温度計30によ
り炉底部側Aからの放射エネルギー■1−を検出した後
、試料2を開口部側Bから炉底部側Aにすばやく配置し
た直後の放射エネルギーv3を検出する。そして、試料
2の温度が炉体一温度Tよりも充分に小さいときはV3
/V1′の値が試料2の反射率γとなり、上記試料2が
不透明の場合には上記反射率γと放射率εとの和が1に
等しいというキルヒホフの法則を利用して ε=1−γ−1− (V3/V1−) ・・・(
5なる式により試料2の放射率εを求めることかできる
。
りも充分に小さいときは次のようにして試料2の放射率
を求めることができる。すなわち、放射温度計30によ
り炉底部側Aからの放射エネルギー■1−を検出した後
、試料2を開口部側Bから炉底部側Aにすばやく配置し
た直後の放射エネルギーv3を検出する。そして、試料
2の温度が炉体一温度Tよりも充分に小さいときはV3
/V1′の値が試料2の反射率γとなり、上記試料2が
不透明の場合には上記反射率γと放射率εとの和が1に
等しいというキルヒホフの法則を利用して ε=1−γ−1− (V3/V1−) ・・・(
5なる式により試料2の放射率εを求めることかできる
。
また、試料2の温度を、たとえば試料2に取付げた熱雷
対によって直接測定することにより、試料2の放射率ε
を求めることも可能である。すなわら、試料2を炉底部
側Aに配置させ、試料2の温度がTsのときの放射エネ
ルギー■4を検出した後、棒状部材28によりすばやく
上記試料2を開口部側Bへ移動させ、この位置での放射
エネルギーv2を検出する。さらに上記棒状部材28を
回転させて炉底部1111Aからの直接の放射エネルギ
ー■1′を検出する。そうすると、試料温度Ts時の放
射率εは ε=1− (V4−V2)/V1 ′ ・・・(6)な
る式で求めることができる。なお、この場合、試料温度
Tsは必ずしも炉底部側Aの温度Tと一致しなくてもよ
い。
対によって直接測定することにより、試料2の放射率ε
を求めることも可能である。すなわら、試料2を炉底部
側Aに配置させ、試料2の温度がTsのときの放射エネ
ルギー■4を検出した後、棒状部材28によりすばやく
上記試料2を開口部側Bへ移動させ、この位置での放射
エネルギーv2を検出する。さらに上記棒状部材28を
回転させて炉底部1111Aからの直接の放射エネルギ
ー■1′を検出する。そうすると、試料温度Ts時の放
射率εは ε=1− (V4−V2)/V1 ′ ・・・(6)な
る式で求めることができる。なお、この場合、試料温度
Tsは必ずしも炉底部側Aの温度Tと一致しなくてもよ
い。
このように構成された本実施例によれば、次の■〜■の
効果を奏する。
効果を奏する。
■ 黒体炉10は気密とされているので、炉内雰囲気を
自由に制御できる。したがって種々の状態(たとえば酸
化膜の厚みを変化させた状態)での試料2の放射率を求
めることができる。
自由に制御できる。したがって種々の状態(たとえば酸
化膜の厚みを変化させた状態)での試料2の放射率を求
めることができる。
■ 黒体炉10の開口部に冷却層20が設けであるので
、外部の背景放射の影響を受けずにすみ、正確な放射率
測定が可能となる。
、外部の背景放射の影響を受けずにすみ、正確な放射率
測定が可能となる。
■ 炉体11の炉底は完全に密閉されているので、試料
2は空洞放射により直ちに炉底温度となり、測定の迅速
化がはかれる。また、試料を引き出したときの外気流入
がないため、試料温度の低下量が少ない。
2は空洞放射により直ちに炉底温度となり、測定の迅速
化がはかれる。また、試料を引き出したときの外気流入
がないため、試料温度の低下量が少ない。
■ 試料2を引き出し、回転させることにより炉底の放
射エネルギーを測定することが可能となるため、測定の
確実性を高め得る。
射エネルギーを測定することが可能となるため、測定の
確実性を高め得る。
なお本発明は上記実施例に限定されるものではない。た
とえば放射温度計30の出力はマイクロコンピュータを
含む変換器等を利用して自動演算処理を行なうようにし
てもよい。また、棒状部材28の移動の自動化をはかる
ことも可能である。
とえば放射温度計30の出力はマイクロコンピュータを
含む変換器等を利用して自動演算処理を行なうようにし
てもよい。また、棒状部材28の移動の自動化をはかる
ことも可能である。
また本実施例では貫通口23から特定雰囲気のガスを導
入するものとなっているが、新たに別の管を設けるか、
あるいは棒状部材28を管状にして炉底に上記ガスを導
入するようにしてもよい。このほか本発明の要旨を越え
ない範囲で種々変形実施可能であるのは勿論である。
入するものとなっているが、新たに別の管を設けるか、
あるいは棒状部材28を管状にして炉底に上記ガスを導
入するようにしてもよい。このほか本発明の要旨を越え
ない範囲で種々変形実施可能であるのは勿論である。
以上詳述したように本発明によれば、一端に開口部を有
する気密構造の黒体炉の開口部に、気密構造の冷却層を
気密に接合すると共に、前記黒体炉の炉底部側または開
口部側に被測定物を選択的に位置させる如く被測定物を
移動させる被測定物移動手段を設け、上記被測定物が上
記黒体炉の炉底部側および開口部側に位置したときの放
射エネルギー比から被測定物の放射率を測定するように
したので、炉内雰囲気を自由に制御でき、良好な空洞条
件が得られる上、外部からの背景放射の影響を防ぐこと
ができ、正確な放射率測定が可能な放射率測定装置を提
供できる。
する気密構造の黒体炉の開口部に、気密構造の冷却層を
気密に接合すると共に、前記黒体炉の炉底部側または開
口部側に被測定物を選択的に位置させる如く被測定物を
移動させる被測定物移動手段を設け、上記被測定物が上
記黒体炉の炉底部側および開口部側に位置したときの放
射エネルギー比から被測定物の放射率を測定するように
したので、炉内雰囲気を自由に制御でき、良好な空洞条
件が得られる上、外部からの背景放射の影響を防ぐこと
ができ、正確な放射率測定が可能な放射率測定装置を提
供できる。
第1図および第2図は本発明の一実施例を示す図で、第
1図は全体の構成を示す部分断面図、第2図は放9A温
度計の出力を示す特性図である。第3図は従来例の構成
を示す部分断面図である。 2・・・試料、4・・・断熱材、5・・・ヒータ、10
・・・黒体炉、11・・・炉体、12・・・ラジエーシ
ョンシールド、20・・・冷却層、28・・・棒状部材
(被測定物移動手段)、30・・・放射温度計。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第2図 F3!r闇 第3図 手続補正書 昭和59年91片50
1図は全体の構成を示す部分断面図、第2図は放9A温
度計の出力を示す特性図である。第3図は従来例の構成
を示す部分断面図である。 2・・・試料、4・・・断熱材、5・・・ヒータ、10
・・・黒体炉、11・・・炉体、12・・・ラジエーシ
ョンシールド、20・・・冷却層、28・・・棒状部材
(被測定物移動手段)、30・・・放射温度計。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第2図 F3!r闇 第3図 手続補正書 昭和59年91片50
Claims (1)
- 一端に開口部を有する気密構造の黒体炉と、この黒体炉
の開口部に気密に接合された気密構造の冷却層と、前記
黒体炉の炉底部側または開口部側に被測定物を選択的に
位置させる如く被測定物を移動させる被測定物移動手段
とを具備し、前記被測定物が前記黒体炉の炉底部側およ
び開口部側に位置したときの放射エネルギー比から被測
定物の放射率を測定することを特徴とする放射率測定装
置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59160629A JPH0660849B2 (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | 放射率測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59160629A JPH0660849B2 (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | 放射率測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6138530A true JPS6138530A (ja) | 1986-02-24 |
JPH0660849B2 JPH0660849B2 (ja) | 1994-08-10 |
Family
ID=15719060
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP59160629A Expired - Lifetime JPH0660849B2 (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | 放射率測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0660849B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103196840A (zh) * | 2013-03-22 | 2013-07-10 | 清华大学 | 基于有效辐射的材料高温光谱发射率测试系统 |
JP2014038017A (ja) * | 2012-08-14 | 2014-02-27 | Hitachi Chemical Co Ltd | 半導体装置の評価システム及び評価方法 |
CN107870157A (zh) * | 2017-10-24 | 2018-04-03 | 航天材料及工艺研究所 | 一种烧蚀防热材料高温热辐射系数测试装置及方法 |
-
1984
- 1984-07-31 JP JP59160629A patent/JPH0660849B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014038017A (ja) * | 2012-08-14 | 2014-02-27 | Hitachi Chemical Co Ltd | 半導体装置の評価システム及び評価方法 |
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JPH0660849B2 (ja) | 1994-08-10 |
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