JPS6137883A - 電界発光素子 - Google Patents

電界発光素子

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JPS6137883A
JPS6137883A JP59158826A JP15882684A JPS6137883A JP S6137883 A JPS6137883 A JP S6137883A JP 59158826 A JP59158826 A JP 59158826A JP 15882684 A JP15882684 A JP 15882684A JP S6137883 A JPS6137883 A JP S6137883A
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健 江口
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河田 春紀
Yukio Nishimura
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 本発明は、電界発光を行なう電界発光素子[エレクトロ
ルミネッセンス(E L)素子]に関し、くわしくは、
独立した2つの発光層を有し、これらのそれぞれを個々
に制御することにより、発光の色調や強度等を自由に制
御することができ、しかも、十分な輝度を有するEL実
素子関する。
〔従来技術〕
EL実素子、一般にEL機能を有する材料、すなわち電
界内に置かれた際に光を発する機能を有する材料を含む
発光層を2つの電極間に配置した構造を有し、これら電
極間に電圧を印加することにより電界を発生させて電気
エネルギーを直接光に変換して光を発生する発光素子で
あり、例えば白熱電球のようにフィラメントを白熱させ
て発光させる、あるいは蛍光灯のように電気的に励起し
た気体が蛍光体にエネルギーを付与して発光させるなど
の従来の発光方式とは異なり、薄型のパネル状、ベルト
状、円筒状等の種々の形状の例えば、ランプや線、図、
画像等の表示に用いる表示媒体の構成部材として、ある
いは大面積のパネルランプ等の発光体を実現化できる可
能性を有するものとして注目されている。
EL素子に用いられるEL機能を有する材料としては、
従来、Mn、 CuまたはReF3 (Reは希土類を
表わす)等を賦活剤として含むZnS等の無機金属材料
が主に使用されてきており、また、最近では、特開昭5
8−172891公報により、アントラセン、ピレン若
しくはペリレンまたはこれらの誘導体を発光層用材料と
して用いたEL素子が知゛られているように、種々の薄
膜形成法により精度良い薄膜の形成が可能である有機化
合物材料がEL素子用の材料として注目されている。
このようなEL素子の発する光の色は、主に、発光層に
使用する材料を適宜選択して組合わせたり、電界の強度
を変化させたりして制御することが可能である。
しかしながら、現在知られているEL素子の発光層を形
成することのできる材料を用いてEL素子を形成した場
合、発光の色や強度がある程度限られてしまい、しかも
1つのEL素子に於いて、発光色を大きく変化させたり
、色調を微妙に調節したり、発光の強弱を自由に制御す
ることはほぼ困難であった。
一方、上記のZnSを主体とする無機金属材料を用いて
蒸着法等の薄膜形成法により薄膜の発光層を形成し、い
わゆる薄膜型のEL素子を製造した場合、製造コストが
非常に高くなってしまうという問題があり、また大面積
の均一な薄膜からなる発光層の形成が非常に困難である
ため、品質の良い大面積のEL素子を量産性良く製造す
ることはできなかった。
これに対して、量産性に富み、コスト的に有利であるE
L素子として、上記のZnSを主体とするEL無機材料
を有機バインダー中に分散して発光層を形成した真性E
L方式の有機粉末型EL素子が知られている。
ところが、この粉末型のEL素子に於いては、層厚を薄
く形成すると、その発光層にピンホール等の欠陥が生じ
易く、発光特性を十分に高めるために、発光層の層厚を
一定以上薄くするには構造上の限界があり、十分な発光
、特に高い輝度を得ることかできず、また層厚が比較的
厚くなるので、より強い電界を発生させるために、電力
消費が多くなるなどの問題点を有していた。この粉末型
のEL素子の有する発光層内に、より強い電界を発生さ
せるためにフッ化ビニリデン系重合体からなる中間誘電
体層を設けた改良型の粉末型EL素子が、特開昭58−
172891公報によって知られているが、輝度、電力
消費等に於いて満足のいく性能が得られていないのが現
状である。
前記のアントラセン等の有機材料を用いた、このEL素
子に於いても、発光層が精度良い薄膜として形成されて
はいるものの、キャリアーである電子あるいはホールの
密度が非常に小さく、キャリアーの移動や再結合等によ
る機能分子の励起確率が低く、効率の良い発光が得られ
ず、特に電力消費や輝度の点で満足できるものとなって
いないのが現状である。
〔発明の目的〕
本発明の目的は、1つのEL素子に於いて発光色を大き
く変化させたり、色調を微妙に調節したり、発光の強弱
を自由に制御することが可能な構造を有する新規なEL
素子を提供することにある。
本発明の他の目的は、EL素子用の種々の材料を適宜選
択し、その材料に最適な薄膜形成法を組合わせて形成す
ることができ、発光効率が良好であり、低電圧駆動でも
十分な輝度が得られ、安価でかつ製造容易な構造を有す
る新規なEL素子を提供することにある。
〔発明の構成〕
すなわち、本発明の電界発光素子は、少なくとも一方が
透明である2つの電極層と、これら2つの電極層間に設
けられた、2つの発光層と、これら2つの発光層間に設
けられた透明または半透明な電極層とを有してなり、前
記2つの発光層のいずれか一方が有機化合物の単分子膜
または単分子累積膜からなる層を有してなるものである
本発明のEL素子は、一対の電極層間に設けられた2つ
の独立した発光層が積層された構造を有し、それぞれの
発光層を個々に制御して発光の色や強度を所望に応じて
変化させることが可能であり、また十分な輝度を有する
発光を行なうことのできるものである。
以下、図面を用いて本発明のEL素子の一例を詳細に説
明する。
第1図は、本発明のEL素子の模式的断面図である。
l、2及び3は電圧が印加されることによって電界を発
生させるための電極層であり、1は発光層4と発光層5
とで発生した光が合成されて取り出される透明な電極層
である。4及び5は、EL機能を有する発光層であり、
発光層4は、電極層1と3によって発生した電界により
発光し、発光層5は電極層2と3によって発生した電界
により発光する。従って、電極層3は発光層4と5とに
対して共通電極となっており、発光層5で発生した光を
発光層4側へ透過させる機能を有し、透明でも、主に発
光層4側へのみ光を透過させるような半透明な層でも良
い。
なお、第1図に示した本発明のEL素子の一例に於いて
は、電極層l及び電極層2のうち電極層lが透明電極と
して設けられているが、電極層2のみが、あるいはこれ
ら両方が透明であっても良い。電極層2のみが透明であ
る場合には、電極層3は、少なくとも発光層4から発光
層5側へ光を透過させる機能を有するように設けられ、
また電極層l及び電極層2の両方が透明である場合には
、電極層3は発光層4から発光層5側へ光を透過させる
とともに、これと逆方向にも光を透過できるように設け
られる。
発光層4と発光層5は、それぞれが同様の機能を有する
ものであっても良く、例えば発光色や輝度が異なるよう
に、それぞれが異なる機能を有するものであっても良い
以下、本発明のEL素子の有する発光層4及び発光層5
の基本的構造について説明する。
発光層4,5は、主に相対的に電子受容性を示す有機化
合物を含む第1の層と、主に相対的に電子供与性を示す
有機化合物を含む第2の層と、電気絶縁性を有する第3
の層とを有し、これらの層が、前記第3の層上に前記第
1の層、第2の層及び第3の層がこの順に2回以上繰り
返されて積層された基本的構造を有するものである。そ
して、発光層4及び発光層5のいずれか一方の有する第
1の層、第2の層及び第3の層のうち少なくとも1つの
層が、該層を形成することのできる有機化合物の単分子
膜または単分子累積膜から形成されているものである。
すなわち本発明のEL素子の有する発光層l±。
相対的に電子受容性を示す有機化合物(以後EA化合物
と略称する)と、相対的に電子供与性を示す有機化合物
(以後ED化合物と略称する)が互いに接触する位置に
配置された構造を有し、これら化合物が電界中に置かれ
た時のこれら化合物間の電子の授受に伴なう励起錯体の
形成に基づく発光作用を主な発光源として有するもので
あり、しかもこのような励起錯体が電界の発生とともに
効率良く形成されるのに好適な構造を有するものである
このような構造の発光M4.5の一例を82図の模式的
断面図に示す。
25.2Gは電圧が印加されることによって電界を発生
させるための電極層であり、20ばEL機能を有する発
光層である。第2図に示された電極層のうち、電極層2
5ば、第1図に示した本発明のEL素子の電極層3に、
また電極層26は該EL素子の電極層1または2にそれ
ぞれ相当する。
発光層20は、上下両端に積層された絶縁層として機能
する第3の層23−1.23−3の間に、第1の層21
−1.21−2、第2の層22−1.22−2及び第3
の層23−2が交互に繰返されて積層された多層構造と
なっている。なお、単分子膜または単分子累積膜を有す
る発光層の場合には、第1の層21−1.21−2、第
2の層22−1.22−2及び第3の層23−1.23
−2.23−3のうちの少なくとも1つの層が、該層を
形成することのできる有機化合物の単分子膜あるいはそ
の累vXII5!から形成されている。
発光層の有する第1の層21−1は、第2の層22−1
に主に含まれる前述したED化合物に対してEA化合物
となり得る化合物を含み、この第1の層21−1に直接
接して積層された第2の層22−1は、第1の層21−
1に主に含まれたEA化合物に対してED化合物となり
得る化合物を含み、これら第1の層21−1と第2層2
2−1の界面24−1がEA化合物とED化合物との接
触面となっている。第1の層21−2と第2の層22−
2の関係もこれと同様であり、これらの層によって界面
24−2が独自に形成されている。
これらの界面24−1.24−2に於いて、電極1.2
に電圧が印加されて発光層3に電界がかけられたときに
、EA化合物とED化合物が励起状態にある錯体を形成
し、この励起錯体が基底状態に戻る際に、励起状態にあ
る錯体、EA化合物及び/またはED化合物から励起エ
ネルギーが光として発生される。このように、本発明の
EL素子に於ける発光は、この界面24−1.24−2
に於ける発光を主な発光源とするものである。
本発明のEL素子の有する発光層を構成する第1の層2
1−1.21−2及び第2の層22−1.22−2は、
以下に示すような電界励起錯体の形成に直接関与する化
合物分子を、または該化合物分子の少なくとも1つを機
能性部分として有する化合物分子を含有している。
このような電界励起錯体の形成に直接関与する化合物分
子の発光層20内の配置としてぽ、以下のような組み合
わせを代表的なものとして挙げることができる。
(a)第1の層21−1.21−2と第2の層22−1
.22−2のそれぞれに励起錯体形成に基づ(E1機能
を右する(主に発光を行なう)化合物分子が配置されて
いる。
()l)第1の層21−1.21−2に励起錯体形成に
基づ<EL機能を右する化合物分子が配置され、これら
化合物分子に対して電子供与体となり得る化合物(ED
化合物)分子がそれぞれ第2の層22−1.22−2に
配置されている。
(C)第2の層22−1.22−2に励起錯体形成に基
づ<EL機能を有する化合物分子が配置され、これら化
合物に対して電子受容体となり得る化合物(EA化合物
)分子がそれぞれ$1の層21−1.21−2に配置さ
れている。
上記の励起錯体形成に基づ<EL機能を有する化合物と
して1±、高い発光量子効率を持ち、外部摂動を受は易
いπ電子系を有し、容易に電界励起する有機化合物が好
適に用いられる。
このような化合物として1±、例えば縮合多環芳香族炭
化水素、p−ターフ−ニル、2,5−ジフェニルオキサ
ゾール、1.4−bis−(2−メチルスチリル)−ベ
ンゼン、キサンチン、クマリン、アクリジン、シアこン
色素、ベンゾフェノン、フタロシアニン、フタロシアニ
ンの金属錯体、ポルフィリン、ポルフィリンの金属錯体
、8−ヒドロキシキノリン、8−ヒドロキシキノリンの
金属錯体、ルテニウム錯体、稀土類錯体及びこれらの化
合物の誘導体、並びに上記以外の複素環式化合物及びそ
の誘導体、芳香族アミン、芳香族ポリアミン及びキノン
構造を有する化合物のなかで励起錯体形成に基づ< E
 L a能を有する化合物を挙げることかでy、これら
化合物の中から、相対的にEA化合物となり得るもの1
種以上と、ED化合物となり得るもの1種以上とを所望
に応じて選択して組み合わせ、蒸着法、CVD法や後に
述べる単分子累積法等の薄膜形成法を適宜適用して、前
記した第1の層と第2の層の構成(a)を有する発光層
を形成することができる。
更に、上記の励起錯体形成に基づくEL機能を有する化
合物に対して電子受容体またi±電子供与体となり得る
化合物として1i:、上記した化合物以外の複素環式化
合物及びその誘導体、芳香族アミン、芳香族ポリアミン
、キノン構造を有する化合物、テトラシアノキノジメタ
ン並びにテトラシアノエチレン等を挙げることができ、
先に挙げた化合物とこれら化合物とを適宜選択して組み
合わせて、前記した第1の層と第2の層の構成(b)ま
たは(c)を有する発光層を形成することができる。
なお、これまで挙げた機能性部分を形成することのでき
る化合物は、励起錯体形成に基づかない発光を行なう機
能を備えた化合物であっても良く、本発明のEL素子に
於ける発光t±、第1の層と第2の層の界面24−1.
24−2に於ける発光のみに限定されるもので6士なく
、第1の層21−1.21−2及び/または第2の層2
2−1.22−2内に於いて発光が行なわれる場合をも
含むものであっても良い。
また、第1の層21−1.21−2にばEA化合物の他
に、該EA化合物との電気化学的相互作用によりEA化
合物の電界励起効率を高めたり1発光色等を制御したり
、あるいは第1の層の強度を高めたり、他の層との接着
性を向上させるなどのための他の成分を含有させても良
く、第2の層についてもこれと同様にED化合物以外の
化合物を含有したものであっても良い。これらのEA化
合物及びED化合物以外の化合物自身もまた、EL機能
を有するものであっても良い。
EA化合物あるいはED化合物との電気化学的相互作用
によりEA化合物の電界励起効率を高めることのできる
ものとしてt±、EA化合物に対して電子受容体またば
電子供与体となり得る化合物、ED化合物に体して電子
受容体または電子供与体となり得る化合物等を挙げるこ
とができる。
二のような、化合物としては前記した励起錯体の形成に
基づ<EL機能を有する(主に発光を行なう)化合物、
該化合物に対して電子供与体芳しく1士電子受容体とな
り得る化合物、励起エネルギーの移動により、発光体と
なり得る化合物及びこれら化合物分子を機能性部分とし
て少なくとも1つ有する化合物等を挙げることができ、
第1の層及び第2の層を形成する際には、これらの化合
物の1種以上を、第1の層及び第2の層の主成分として
用いられる化合物(EA化合物及びED化合物)に応じ
て適宜選択して用いることができる。
このような化合物を第1の層及び/またt±第2の層に
含有させる場合の混合量は、第1の層及び第2の層に用
いられる化合物に応じて異なり、−概には規定できない
が、通常、EA化合物に対して電子受容体または電子供
与体となり得る第1の層に含まれる化合物については、
EA化合物に対して、10モル%〜0.1モル%、また
ED化合物に対して電子受容体または電子供与体となり
得る第2の層に含まれる化合物については、10モル%
〜0.1モル%程度とされる。
第1の層21−1.21−2及び第2の層22−1.2
2−2のうちの少なくとも1つの層を、該層を構成する
ことのできる化合物の単分子膜または単分子累積膜とし
て形成する場合には、高秩序の分子配向と配列を可能と
し、超薄ll52層を簡易に形成できる、いわゆる単分
子累積法を好適に適用することができる。
この単分子累積法は、以下のような原理に基づくもので
ある。すなわち1例えば分子内に親木性部分と疎水性部
分を有する分子に於いて、両者のバランス(両親媒性の
バランス)が適度に保たれているとき、このような分子
の多数が水面上で親水性部分を下に向けて単分子の層を
形成する。この単分子層は二次元系の特徴を有し、これ
ら分子がまばらに散開しているときば、一分子当たりの
面積Aと表面圧■との間に二次元理想気体の式;nA=
kT (k ;ポルツマン定数、T:絶対温度)が成り
立ち、これら分子t±゛気体膜”を形成するが、Aを十
分に小さくすると分子間相互作用が強まりこれら分子は
二次元固体の゛凝縮膜(または固体膜)゛を形成する。
この凝縮115!ばガラス等の基板の表面に移し取るこ
とができ、基板上に超薄膜の単分子膜またはその累積膜
を形成することができる。
この方法によれば、単分子膜を形成する分子の配列され
る向きは、例えば構成分子の親水性部分のほぼ全てが基
板側に高秩序で配向されるなど、1つの単分子膜内で一
様とすることができる。
従って、本発明のEL素子の第1の層及び/また1士第
2の層を単分子膜また単分子累積膜とすることによって
、単分子膜また1主型分子累清膜として形成された層に
含まれる励起錯体形成に直接関与する化合物分子からな
る機能性部分を第1の層と第2の層の界面に高密度に配
置することが可能となる。
この単分子累積法に於ける単分子形成用の溶液としてば
、種々の溶液を使用することができ、この使用される溶
液に応じて、該溶液に対する親媒性の異なる部分をバラ
ンス良く有する単分子膜形成用化合物を適宜選択して単
分子膜を形成することができる。このような単分子膜形
成用の溶液の中では、安価であり、取り扱いも容易であ
り、安全である等の点から水または水を主成分とした溶
液が好適に用いられている。
以下、水または水を主成分とした溶液を用いた単分子累
積法を適用した場合を一例として、本発明のEL麦子の
単分子膜を有する発光層の構成について説明する。
基本的に1本発明のEL素子の発光層の有する第1の層
及び第2の層を形成することのできる化合物は、前述し
た機能性部分を形成することのできる化合物若しくは該
化合物分子を機能性部分として少なくとも1つ有する化
合物である。これらの化合物のうち単分子膜あるいは単
分子累積膜を形成できる化合物ば、例えば機能性部分を
1つ有する単分子膜形成用化合物を例に取ると、機能性
部分を有する分子内の泣きによって、第3図の分子構造
の模式図に示すように、 (a)機能性部分31が親木性部分32側にある、−第
3図(a) (b)機能性部分31が疎水性部分33側にある、−第
3図(t]) (C)機能性部分31が疎水性部33と親水性部分32
とのほぼ中間にある  −第3図(C)の3つのタイプ
に大きく分類される。
これらの化合物の親木性部分32の構成要素として(±
、例えばカルボキシル基及びその金属塩、アミン塩並び
にエステル、スルホン酸基及びその金属塩並びにアミン
塩、スルホンアミド基、アミド基、アミ7基、イミノ基
、ヒドロキシル基、4級アミ、)基、オキシアミノ基、
オキシイミノ基、ジアゾニウム基、グアこジン基、ヒド
ラジン基、す〕/酸基、ケイ酸基、アルミン酸X等が挙
げられ。
各々が単独でまたは組み合わされて上記化合物中の親水
性部分32を構成することができる。
また、疎水性部分33の構成要素としては、直鎖状のま
たは分枝な有するアルキル基、ビニレン。
ビニリデン、アセチレン等のオレフィン系炭化水素、フ
ェニル、ナフチル、アントラニル等の縮合 ゛多環フェ
ニル基、ビフェニル等の鎖状多環フェニル基等の疎水性
を示す基を挙げることができ、これらもまた各々が単独
でまたは組み合わされて上記化合物中の疎水性部分33
を構成することができる。
一方、本発明のEL素子の単分子膜または単分子累積膜
を有する方の発光層の第1の層と$2の層の界面24−
1.24−2 (主に発光が行なわれる部分)に於ける
単分子膜の配向及び配列は、第4図の界面24−1付近
の模式的断面部分図(この図の場合第1の層及び第2の
層がともに機能性部分を有する化合物のみからなる単分
子膜から形成されている)に示すように、 (1)第1の層21−1の単分子膜を形成する分子の機
能性部分31を有する親木性部分32と、第2の層32
−1の単分子膜を形成する分子の機能性部分31′を有
する親水性部分32′とが界面24−1に配向されてい
る。
一第4図(a) (2)第1の層21−1の単分子膜を形成する分子の機
能性部分31を有する疎水性部分33と、第2の、Q2
2−1の単分子膜を形成する分子の機能性部分31′を
有する疎水性部分33′とが界面24−1に配向されて
いる。
一第4図(b) (3)第1の層21−1の単分子膜を形成する分子の機
能性部分31を有する疎水性部分33と、第2の層22
−1の単分子膜を形成する分子の機能性部分31′を有
する親水性部分32′とが界面24−1に配向されてい
る。
一第4図(c) (4)第1の層21−1の単分子膜を形成する分子の機
能性部分31を有する親木性部分32と、第2の層8−
1の単分子膜を形成する分子の機能性部分31′を有す
る疎水性部分33′とが界面24−1に配向されている
一54図(d) の4つのパターンに基本的に分けられる。
なお、第4図に示した例は単分子膜を有する方の発光層
の有する第1の層及び第2の層がともに単分子膜からな
るものであるが、もちろん先に述べたように第1の層の
みが、あるいば第2の層のみが単分子膜から構成された
ものであっても良く、そのような場合、単分子膜でない
層は、蒸着法、CVD法等の薄膜形成法によって形成さ
れた薄膜層として設【すられる。
第4図に示したような発光層の有する界面のパターンを
形成するには、先に挙げた単分子膜形成用化合物のタイ
プa及びbに属する化合物が好適に用いられる。また、
上記界面のパターン(1)を形成するにl±、第1の層
及び第2の層に前記タイプaに属する化合物を用いるの
が、また上記界面のパターン(2)を形成するには、第
1の層及び第2の層に前記タイプbに属する化合物を用
いるのが好適である。更に、上記界面のパターン(3)
を形成するには、第1の層に前記タイプaを、第2の層
に前記タイプbに属する化合物をそれぞれ用いるのが好
適であり、上記界面のパターン(4)を形成するには、
第1の層に前記タイプbを、第2の層に前記タイプaに
属する化合物をそれぞれ用いるのが好適である。
以上説明した例t±、第1の層及び第2の層が単分子膜
から形成されている場合であるが、第1の層5−1.5
−2及び/または第2の層e−1,8−2が単分子累積
膜からなる場合に於いても、第1の層と第2の層の界面
が上記のようなパターンを取るように、第1の層と第2
の層の界面7−1.7−2を構成する単分子膜を形成す
れば良い。
なお、第1の層5−1.5−2及び/または第2の層e
−t、6−2が単分子累積膜からなる場合にば、累積膜
を構成する各単分子膜ば、それぞれが同一のものであっ
ても良く、また単分子膜の1つ以上が他の単分子膜と異
なるものであっても良い。更に、単分子累積膜の各単分
子膜を形成する分子の配向状T;による構造は、いわゆ
るY型(各股間に於いて親木性部分と親木性部分また1
士疎水性部分と疎水性部分とが互いに向きあった構造)
、x型(各層の基板側に疎水性部分が向いた構造)、z
型(各層の基板側に親水性部分が向いた構造)及びこれ
らの変形構造等の種々の構造とすることができる。更に
、本発明のEL素子の有する発光層の第1の層または第
2の層に含まれる単分子膜は、2種以上の化合物によっ
て形成された多成分系単分子膜でも良い。そのような場
合、先に発光層の構成について説明したように1機能性
部分を有する化合物の2種以上を組み合わせて、あるい
1士機能性部分を有する化合物と、機能性部分を有する
もので6士ないが機能性部分を有する化合物との相互作
用により発光層の、例えば電気陰性度等の電気化学的特
性を制御できるような化合物との組み合わせであっても
良いし、更には発光層を構成する単分子層の強度を増し
たり、各層間の接着性を良くするための他の成分を加え
たものであっても良い。
このような単分子膜または単分子累積膜の構造は、所望
とする第1の層または第2の層の電気的特性に応じて、
すなわち第1の層または第2の層を形成する化合物また
は化合物の組み合わせに応じて適宜選択すれば良く、例
えば前記単分子膜形成用化合物のタイプa、 bまた1
±Cに属する化合物からなる単分子膜を組み合わせて累
積して単分子膜の面方向に垂直な方向でのπ電子のポテ
ンシャル曲線を制御すること等ができる。
上記の第1の層21−1.21−2及び/または第2の
層22−1.22−2を単分子膜若しくは単分子累積膜
として形成するのに用いることのできる化合物としては
1機能性部分を形成することのできる先に挙げた化合物
、若しくは該化合物の1つ以上を有する化合物の中で、
親水性部分と疎水性部分をバランス良く有している化合
物はそのまま単分子膜形成用として用いることができ、
そうでないものは、先に挙げたような親水基及び/また
は疎水基を新たに分子内に導入し、単分子膜形成用化合
物とすることができる。そのような化合物としては、以
下のような構造式で示された化合物を挙げることができ
る。
なお、以下に示す構造式に於いて、X及びYl±、先に
挙げたような親木基を表すが、1分子内にこれらが両方
存在する時は、どちらか一方が親木基であれば良く、そ
のような場合は他の一方は水素となる。また、Rは炭素
数4〜30程度、好ましくは10〜25程度の直鎖状若
しくは側鎖を有するアルキル基を表わす。
5.6゜ (CH2)nX                  
     28゜6≦n≦20 28゜ CH3 +                        
                         
     9QO≦n≦2 25゜ M=H2,Be、Mg、+Ca、Cd、5rAIC1,
YbC1 −31゜ M=Er、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy+Tm、Yb
34゜ M=Er、Srr+、Eu+Gd+Tb、Dy、Tm、
YbM−Er、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy+Tm、
YbR1−H,−CH3,CF3 、Z a6.        37)          3
8゜41、            42゜4.8. 
          ”・ 62゜ F4 65.66・ OR 71、72゜ 73、              74゜7’7. 
              78゜リ (CH2)n x39 88゜ 電 89゜ これらの化合物の中でAIILI〜N635の構造式の
化合物t±、先に挙げた機能性部分を形成できる化合物
のうち励起錯体の形成に基づ<ELII能を有する化合
物を疎水基及び/または親木基によって修飾し、単分子
膜形成用化合物としたものである。
なお、/i42〜#654及びNFL85〜誠86の構
造式の化合物は、機能性部分にアルキル鎖が直接結合し
た構造を有するものであるが、アルキル鎖の機能性部分
への結合は、例えばエーテル結合、カルボニル基を介し
た結合等によるものであっても良い。
本発明のEL素子の有する発光層のもう1つの層である
第3の層23−1.23−2.23−3は、絶縁性を有
する層であり、特に第3の層23−1.23−3は本発
明のEI、I子のコンデンサー構造の絶縁性を高める機
能を有し、第3の層23−2は、電子の移動を必要最小
限の領域内に閉じ込め、効率良い電子の授受による発光
を行なわせる機能を有する。これら第3の層もまた蒸着
法、CVD法等の薄膜形成法あるいは単分子累積法によ
って形成することができる。この第3の層を単分子累積
法によって形成する場合には、精度良い均一な絶縁性を
有する単分子膜からなる層を形成することのできる一般
式; %式%) (上記式中に於いてnは、10≦n≦30であり、Xは
−CO(l)!、−CON)I2.−CDII)R,−
N (C)(3)3. CI−。
等の基を表わす)で示される化合物等の1種以上を第3
の層形成用材料として用いることができる。
また、蒸着法によって形成する場合には、上記の化合物
または5i02等の無機化合物の1種以上を第3の層形
成用材料として用いることができる。
第3の層を単分子累積膜として形成した場合には、各単
分子膜が同一であるものでも、各単分子膜のうち1つ以
上が他の単分子膜と異なるものであっても良い。
なお、これまで第2図及び第3図を用いて第1の層と第
2の層によって形成された界面を2つ有する本発明のE
L素子について説明してきたが、本発明のEL素子の有
する発光層20の界面の数は、これに限定されることな
く、3つ以上であっても良い。
以上のような構造の本発明のEL素子の発光層20を形
成する各層の層厚は、EL素子の有する界面の数や各層
自身の構成によっても各々異なるが、第1の層について
は、500八以下、好ましくは200A以下、第2の層
についてt±、500A以下、好ましくは200八以下
、第3の層については、500A以下、好ましくはzo
o A以下、更に発光層全体の層厚としては、56’6
o−以下、好ましくは3000A以下とするのが低電圧
駆動に於いても良好な発光状態を得るために望ましい。
以上、第2図及び第3図を用いて説明した構造の発光層
20から、本発明EL素子が所望のEL機能を有するよ
うに、同一の機能を有するものを2つ、あるいは発光色
や輝度が異なるような、異なる機能を有するものを2つ
選択し、発光層4及び発光層5として、本発明のEL素
子を形成することができる。
本発明のEL素子の有する2つの電極層1.2は、前述
したように少なくともどちらか一方が、光を取り出すた
めに透明電極として設けられる。
透明電極として電極層を形成する場合には、PMMA、
ポリエステル等のフィルムまたはシート、あるいはガラ
ス板等の透明な基板上にIn07.5n02、インシュ
ウムティンオキサイド(1,T、O)等を蒸着法等によ
って積層して、あるいはこれらの材料を発光層に直接積
層して形成することができる。
電極層3は、透明電極として、あるいは電極層の厚さ方
向の一方向のみに光を透過する半透明電極として設けら
れる。電極層3が透明電極として設けられる場合には、
前記した透明電極形成用材料を用いて、形成された発光
層4または発光層5上に形成すれば良い。電極層3が半
透明電極として設けられる場合には、光の透過方向を考
厖゛シて、1.T、O、Au、 InO2,5n02等
の材料を用いて、形成された発光層4または発光層5上
に形成すれば良い。
また、透明でない電極層は、十分な導電性を有する通常
の電極を形成することのできる材料からなる薄板や、適
当な基板上に若しくは形成された発光層上に直接AI 
、 Ag、 Au等を蒸着法等によって積層して形成す
ることができる。
これら電極層の厚さは、0.01u+〜0.33m程度
、好ましくは0.05gm〜0.2−程度とされる。
なお、本発明のEL素子の形状及び大きさは、所望によ
り種々の形状とすることができ、例えば透明電極を形成
するときの基板を発光層形成用基板とし、この基板とし
て板状、ベルト状、円筒状のものを用いる等して所望の
形状及び大きさとすることができる。また、3つの電極
層l、2.3は、所望により、種々の形状にパターンニ
ングされたものであっても良い。
以上のような構成の本発明EL素子に於いては、例えば
、該EL素子の2つの電極l、3間及び電極2.3間に
、例えば発光層4.5のそれぞれにl X 105〜3
X106程度の電界がかかるように、直流または交流、
あるいはパルス電圧を印加することにより、良好な発光
を透明型&ilを通じて得ることができる。また、発光
層4と発光層5に発光色や輝度の異なる2つの発光層用
いて、電極1.3間の電圧と電極2.3間の電圧をそれ
ぞれ独自に制御して透明電極lからの光の色及び強度を
広範囲にわたって変化させることもできる。
以下、本発明のEL素子の発光層の有する単分子膜また
は単分子累積膜の形成に適用するラングミューア・ブロ
ジェット法(LB法)に代表される単分子累積法の代表
的な操作を説明する。
単分子膜を形成させるための水相を水槽中に設け、該水
相内に清浄な基板を浸漬さておく。次に、単分子膜形成
用化合物の適当な溶剤に溶解または分散した溶液の所定
量を、水相中に展開し、この化合物を水相表面に膜状に
析出させる。この時、この析出物が水相上を自由に拡散
して広がりすぎないように、仕切り板(または浮子)を
設けて展開面積を制限して膜物質の集合状態を制御し、
その集合状態に比例した表面圧■を得る。そして、仕切
り板を作動させ、展開面積を縮少し、表面圧■を徐々に
上昇させ、単分子膜の形成に適した表面圧■に設定する
。ここで、この表面圧■を維持させながら静かにすでに
浸漬しておいた基板を、水相面に垂直な方向に上下させ
ると、基板の上方への移動と下方への移動ごとに単分子
膜が基板上に移し取られ、単分子累積膜が形成される。
単分子膜を基板上に移し取るには、上述した垂直浸漬法
の他に、基板を水相面とを平行に保ちながら水平に接触
させる水平付着法、円筒型の基体を水面上を回転させて
単分子膜を基体表面に移し取る回転円筒法、あるいは基
板ロールから水相中に基板を押し出してゆく方法などの
種々の方法が適用できる。上記垂直浸漬法では、通常基
板の引」二げ工程と浸漬工程とで成膜分子の配向が逆に
なるので、いわゆるY型膜が形成される。また、水平付
着法によれば、疎水基が基板側に向いた単分子膜が形成
され、累積膜とした場合、いわゆるX型膜が形成される
。しかしながら、このような親水基や疎水基の向きは、
基板の表面処理等によって変化させることも可能である
更に単分子累積法によって単分子膜を形成する際の水相
のpH1水相のpH等を調整するための添加剤の種類及
びその量、水相の温度、基板の上げ下げ速度または表面
圧等の操作条件は、使用される単分子膜形成用化合物の
種類、形成しようとする膜の特性等に応じて適宜選択す
れば良い。
以上のような単分子累積法と他の蒸着法等の薄膜形成法
とによって、例えば以下のようにして本発明のEL素子
を形成することができる。
まず、前述したような透明電極層の設けられている基板
上に前記した第3の層形成用材料を用いて所望の構成の
らなる第3の層を形成させ、更に前記した第1の層、第
2の層を形成することのできる材料を用いて所望の構成
の第1の層、第2の層をこの順に先に形成した第3の層
上に積層する。つぎにこの第2の層上に第3の層を積層
し、所望とする第1の層と第2の層の界面の数に応じて
、この第1の層〜第3の層の形成操作を2回以上繰返し
て発光層4を形成する。
このように発光層4が形成されたところで、発光層4の
最上部に位置する第3の層上に、Au等の金属を蒸着法
等によって積層して、半透明の電極層3を形成する。
更に、電極層3上に、発光層4の形成と同様にして、発
光層4と同一の材料を、あるいは異なる材料を用いて発
光層5を形成し、最後に発光層5の有する第3の層上に
、A1. Ag、 Au等の金属を蒸着法等によって積
層して、本発明のEL素子を形成することができる。
なお、2つの電極がともに透明である場合には、発光層
4.5形成用の透明基板に上述の材料によって透明電極
層を形成し、発光層5の形成が終了した後に透明電極層
を積層すれば良い。
以上のようにして本発明のEL素子を形成する際に、発
光層4及び発光層5の有する第1の層、第2の層及び第
3の層の各層は、これらの層を形成するための材料と、
これら材料に適応した薄膜形成法によって形成され、か
つ発光層4及び発光層5のいずれか一方が、単分子累積
法によって形成された単分子膜または単分子累積膜を有
する多層構造として形成される。その際、上記の操作に
於いて、発光層4及び発光層5のいずれか一方の有する
第1の層、第2の層及び第3の層のうちの少なくとも1
つの層を単分子累積法を用いて形成すれば良い。
また、本発明のEL素子の発光層の有する複数の第1の
層は、それぞれが同一の構成を有するものでも良く、複
数の第1の層のうち1つ以上の第1の層の構成が他の第
1の層の構成と異なるものであっても良く、これは第2
の層及び第3の層についても同様である。また、本発明
のEL素子を構成する各層間には、各層の接着性を高め
るために、接着層を設けることもできる。更に本発明の
EL素子には、空気中の湿気や酸素による影響から素子
を保護するための保護構造を設けることが望ましい。
以上のような本発明のEL素子は、それぞれ独立して制
御可能な2つの発光層を有し、これら発光層を個々に制
御して、発光色を変化させたり、色調を微妙に調節した
り、発光の強弱を自由に制御することが可能となった。
更に、本発明のEL素子の有する発光層は、電気化学的
性質の異なる2つの層の界面で主に発光を行ない、しか
もそのような界面がEL素子の光の取り出し方向に対し
て複数設けられた構造を有し、光の取り出し面の単位あ
たりの発光量が従来のEL素子に比べて非常に増大した
ものとなった。
また、本発明のEL素子に於いては、主に発光を行なう
複数の界面について、該界面を構成する2つの層の構成
を界面ごとに変え、こられを組合わせて、発光色等を所
望に応じて制御することも可能となった。
これらに加えて、本発明のEL素子の有する発光層は、
主に有機化合物材料と、その材料に適した薄膜形成とが
組み合わせて形成され、上記のように発光を行なう界面
を複数力した多層構造となっているにもかかわらず、発
光層全体の層厚がより薄く形成されており、低電圧駆動
でも効率良い発光状態が得られ、十分な輝度が得られる
ものとなった。
特に、単分子膜を有する発光層に於いては1発光層を構
成する各層の少なくとも1つの層を単分子膜または単分
子累積膜として形成したことによって発光層全体の層厚
を更により薄く形成されており、また、発光層を単分子
累積膜として形成した場合には発光層の層厚を非常に薄
くすることができ、上記の効果を更に高めることができ
た。
しかも、本発明のEL素子の有する発光層に於いては、
単分子膜または単分子累積膜によって第1の層及び/ま
たは第2の層を形成した場合には、発光に直接関与する
化合物の機能性部分が、高い秩序を持って精度良く、第
1の層と第2の層の界面に向いて配向、配列され、より
効率良い電子の授受に伴なう励起錯体の形成に基づく発
光が更に、本発明のEL素子の発光層の各層は、主に種
々の有機化合物材料によって精度良い薄膜として簡易に
形成可能であり、特に単分子膜または単分子累積膜とし
て形成された場合の第1の層、第2の層または第3の層
は、はぼ常温、常圧で形成することができ、これらの層
の形成には、蒸着法等に使用することのできない熱に弱
い材料化合物をも使用することができ、本発明のEL素
子は安価で量産性のあるEL素子となった。
また、本発明のEL素子は、大面積のEL素子として形
成した場合でも、発光層が精度良く形成されたものとな
り、大面積のEL素子としても良好な機能を有するもの
となった。
以下、参考例及び実施例を用いて本発明のEL素子を更
に詳細に説明する。
参考例1 〔発光層成l及びAl62の形成3 50mm角のガラス表面上にスパッタリング法により膜
厚1500Aの1.7.0層を形成し、これを発光層形
成用基板とした。この基板をJoyce−Loebe 
I社製のLangmuir−’rrough d内の、
4X 10’ rxaI/IのCdCI 2を含有する
ことによりpHII<s、5に調整された水相中に浸漬
した。
次に、アラキシン酸をクロロホルムに IXIO−3m
ol/fの濃度で溶解した溶液の0.5 mlを、前記
水相上に展開させた。クロロホルムを水相表面から蒸発
除去した後、水相表面圧を30dvne/aysに調整
し、膜状のアラキシン酸を水相面に析出させた。
更に、表面圧を一定に保ちながら、基板を水面を横切る
方向に2CIII/1lInの速度で静かに引上げ、第
3の層としてのアラキシン酸分子からなる単分子膜絶縁
層を基板の電極層上に形成し、これを水相外へ引上げ、
30分以上室温で放置して乾燥させた。
ここで、水相表面に残ったアラキシン酸を該水相表面上
から完全に取り除き、アラキシン酸からなる単分子絶縁
層の形成された基板を再び水相中に浸漬させた後、新た
に を I X 10−3mol/ j!の濃度で含むクロ
ロホルム溶液の0.5 ml!をこの水相上に展開させ
、表面圧を30dyne/cmに調整したところで基板
を水面を横切る方向に2cm/winの速度で静かに引
上げ、上記化合物分子からなる単分子膜を第2の層とし
て絶縁層上に形成した。次に、この基板を水相外に引出
し、再び30分以上室温で放置して乾燥させた。
更に、水相表面に残された上記化合物を完全に取り除き
、基板を水相内に浸漬し、新たにの0.5 n/!をこ
の水相上に展開させ、表面圧を30dyne/amに調
整したところで基板を水面を横切る方向に2cm/ff
l1nの速度で静かに引上げ、上記化合物分子からなる
単分子膜を第1の層として第2の層上に形成した。
以後、上記した第3の層から第2の層までの形成操作を
16回繰返し、最後に第3の層を積層して第1の層と第
2の層の界面を16個有する発光層#6.1C層厚;約
180OA)を形成した。
更に、第3の層から第2の層までの形成操作を12回繰
返す以外は上記の操作と同様にして第1の層と第2の層
との界面を12個有する発光層成2(層厚;約1200
八)を形成した。
参考例2 〔発光層酸3の形成〕 参考例1で用いたのと同様の基板を、参考例1で用いた
のと同様の単分子膜形成用の水相中に浸漬した。
次に、アラキシン酸をクロロホルムに IXIO−3m
at/Ilの濃度で溶解した溶液の0.5 mlを、前
記水相上に展開させた。クロロホルムを水相表面から蒸
発除去した後、水相表面圧を30dyne/cmに調整
し、膜状の7ラキジン酸を水相面に析出させた。
更に、表面圧を一定に保ちながら、基板を水面を横切る
方向に2cm/sinの速度で静かに上下方向に2往復
させ、アラキシン酸からなる単分子膜が4層累積された
絶縁層としての第3の層を基板の電極層上に形成し、こ
れを水相外へ引上げ、30分以上室温で放置して乾燥さ
せた。
ここで、水相表面に残ったアラキシン酸を該水相表面上
から完全に取り除き、アラキシン酸からなる単分子絶縁
層の形成された基板を再たび水相中に浸漬させた後、新
たに を IX 10−3mol/j!の濃度で含むクロロホ
ルム溶液のQ、5 mlを外水相上に展開させ、表面圧
を30dyne/amに調整したところで基板を水面を
横切る方向に2cm/winの速度で静かに引き上げ、
更に引き下げと引き上げを一回づつ行ない、上記化合物
からなる単分子膜が3層累積した第1の層を絶縁層上に
形成した。次に、この基板を水相外に引出し、再び30
分以上室温で放置して乾燥させた。
次に、水相表面に残された上記化合物を完全に取り除き
、基板を水相内に浸漬し、新たにを IX 10’ m
ol#tの濃度で含むクロロホルム溶液の0.5 ta
llを該水相上に展開させ、表面圧を30dyne/c
11に調整したところで基板を水面を横切る方向に2c
m/winの速度で静かに引き上げ、更に引き下げと引
き上げを一回づつ行ない、上記化合物からなる単分子膜
が3層累積した第2層を先に形成した第1の層上に形成
した。
以後、上記した第3の層から第2の層までの形成操作を
4回繰返し、最後に更に第3の層を積層して第1の層と
第2の層の界面を4つ有する発光層成3(層厚;約11
0OA)を形成した。
参考例3 〔発光層逅4の形成〕 参考例1で用いたのと同様の基板を参考例1で用いたの
と同様の単分子膜形成用の水相中に浸漬した。
次に、アラキシン酸をクロロホルムに IX 10〜3
mol/j!の濃度で溶解した溶液の0.5 mj!を
、前記水相上に展開させた。クロロホルムを水相表面か
ら蒸発除去した後、水相表面圧を30dyne/cn+
に調整し、膜状のアラキシン酸を水相面に析出させた。
更に、表面圧を一定に保ちながら、基板を水面を横切る
方向に2cm/sinの速度で静かに引上げ、アラキシ
ン酩分子からなる単分子膜を基板の電極層上に形成し、
これを水相外へ引上げ、30分以上室温で放置して乾燥
させた。この操作をもラ一度繰り返して、第3の層とし
てのアラキシン酸単分子膜を2層累積した絶縁層を形成
した。
ここで、水相表面に残ったアラキシン酸を数本和衷面上
から完全に取り除き、新たにクロロホルムに H3 を100 mol :  1molの割合で、これらの
総量がIX 10’ mol/Aの濃度となるように溶
解した溶液の0.5 mlをこの水相上に展開させ、表
面圧を30dyne/cmに調整したところでアラキシ
ン酸からなる絶縁層の形成された基板を再たび水相中に
、該水相の水面を横切る方向に2cm/+*inの速度
で静かに浸漬させて、上記2種の化合物分子からなる単
分子膜を第1の層として絶縁層上に形成した。次に、こ
の基板を水相外に引出し、再び30分以上室温で放置し
て乾燥させた。
更に、水相表面に残された上記化合物を完全にを100
 nol  : 1 molの割合で、これらの総量が
IX 10−3mol/j!の濃度となるように溶解し
た溶液の0.5 mlをこの水相上に展開させ、表面圧
を30dyr+e/Cmに調整したところで、前記第1
の層の形成操作を繰り返して、先に形成した第1の層−
ヒに上記の2種の化合物からなる単分子膜を第2の層と
して形成した。
以後、上記した第3の層から第2の層までの形成操作を
15回繰返し、最後に第3の層を積層して第1の層と第
2の層の界面を15個有する発光層成4(層厚;約15
0OA)を形成した。
参考例4 〔発光層成5の形成〕 参考例1で用いたのと同様の基板を参考例1で用いたの
と同様の単分子膜形成用の水相中に浸漬した。
次に、参考例3に於けるアラキシン酸からなる単分子膜
の形成操作を5回繰返して第3の層としての5層のアラ
キシン酸単分子累積膜からなる絶縁層を形成した。
ここで、水相表面に残ったアラキシン酸を該水相表面上
から完全に取り除き、新たにクロロホルムに H3 を100モル:1モルの割合で、これらの総量がIX 
10−3mol/ノの濃度となるように溶解した溶液の
0.5 mu!をこの水相上に展開させ、表面圧を30
dyne/cmに調整したところでアラキシン酸からな
る単分子累積膜絶縁層の形成された基板を再たび水相中
に、該水相の水面を横切る方向に2cm/■inの速度
で静かに浸漬させ、更に上下させて上記2種の化合物分
子からなる単分子膜を3層累積した第1の層を先に形成
した絶縁層上に形成した。次に、この基板を水相外に引
出し、再び30分以上室温で放置して乾燥させた。
更に、水相表面に残された上記化合物を完全に取り除き
、新たにクロロホルムに ヲ10モル=1モルの割合で、これらのyiカIX10
−3mol//の濃度となるように溶解した溶液の0.
5 mlLをこの水相上に展開させ、表面圧を30dy
ne/cIlに調整したところで、前記第1の層の形成
操作と同様にして、先に形成した第1の層上に上記の2
種の化合物からなる単分子膜が3層累積された単分子累
積膜を第2の層として形成した。
次に、参考例3に於けるアラキシン酸からなる単分子膜
の形成操作を4回繰返して第3の層としての4層のアラ
キシン酸単分子累積膜からなる絶縁膜を先に形成した第
2の層上に形成し、以後上記した第1の層から第3の層
(4層のアラキシン酸単分子累積膜)までの形成操作を
4回繰返し、第1の層と、第2の層の界面を4つ有する
発光層a5(層厚;約110OA)を形成した。
参考例5 〔発光層逅6の形成〕 参考例1で用いたのと同様の基板を、参考例1で用いた
のと同様の単分子膜形成用の水相中に浸漬し、参考例3
に於けるアラキシン酸からなる単分子膜の形成操作を2
回繰返して第3の層としてのアラキシン酸単分子膜を2
層累積した絶縁層を前記基板の電極層上に形成した。
ここで、水相表面に残ったアラキシン酸を該水相表面上
から完全に取り除き、新たにクロロホルムに を10mol :  1molの割合で、これらの総量
が1×10−3mol/j!の濃度となるように溶解し
た溶液の0.5 mAをこの水相上に展開させ、表面圧
を30dyne/cmに調整したところでアラキシン酸
からなる絶縁層の形成された基板を再たび水相中に、該
水相の水面を横切る方向に2cm/winの速度で静か
に浸漬させて、上記2種の化合物分子からなる単分子膜
を第1の層として絶縁層上に形成した。次に、この基板
を水相外に引出し、再び30分以上室温で放置して乾燥
させた。
更に、水相表面に残された上記化合物を完全に取り除き
、新たにクロロホルムに H3 を10 mol : 1 molの割合で、これらの総
量が1×10−3mol/j!の濃度となるように溶解
した溶液の0.5 mlLをこの水相上に展開させ、表
面圧を30dyne/cmに調整したところで、前記第
1の層の形成操作を繰り返して、先に形成した第1の層
上に上記の2種の化合物からなる単分子膜を第2の層と
して形成した。
以後、上記した第3の層から第2の層までの形成操作を
15回繰返し、最後に第3の層を積層して第1の層と第
2の層の界面を15個有する発光層届6(層厚;約15
0OA)を形成した。
参考例6 〔発光層成7の形成〕 参考例1で用いたのと同様の基板を、参考例1で用いた
のと同様の単分子膜形成用の水相中に浸漬した。
次に、参考例3に於けるアラキシン酸からなる単分子膜
の形成操作を5回繰返して、第3の層としての5層のア
ラキシン酸単分子累積膜からなる絶縁層を形成した。
ここで、水相表面に残ったアラキシン酸を該水相表面上
から完全に取り除き、新たにクロロホルムに を10モル=1モルの割合で、これらの総量が 1×1
0−”mol/I!、の濃度となるように溶解した溶液
の0.5mAをこの水相上に展開させ、表面圧を30d
yne/c+++に調整したところで7ラキジン酸から
なる単分子累積膜絶縁層の形成された基板を再たび水相
中に、該水相の水面を横切る方向に2cm/+*inの
速度で静かに浸漬させ、更に上下させて上記2種の化合
物分子からなる単分子膜を3層累積した第1の層を先に
形成した絶縁層上に形成した。次に、この基板を水相外
に引出し、再び30分以上室温で放置して乾燥させた。
更に、これまで使用した水相とは別に、[Eu(BFA
)41 Kを飽和させた水相を用意し、この水相表面に
クロロホルムに をlOモル=1モルの割合で、これらの総量が1×IQ
−3mol/j!の濃度となるように溶解した溶液の0
.5 tallを展開させ、表面圧を30dyne/c
+sに調整したところで、前記第1の層の形成操作と同
様にして、先に形成した第1の層上に上記の2種の化合
物からなる単分子膜が3層累積された単分子膜積層を第
2の層として形成した。
次に、参考例3に於けるアラキシン酸からなる単分子膜
の形成操作を4回繰返して第3の層としての4層のアラ
キシン酸単分子累積膜からなる絶縁膜を先に形成した第
2の層上に形成し、以後上記した第1の層から第3の層
(4層のアラキシン酸単分子累積膜)までの形成操作を
4回繰返し、第1の層と第2の層の界面を4つ有する発
光層47(層厚;約110OA)を形成した。
参考例7 〔発光層成8の形成〕 参考例1で用いたのと同様の基板を、抵抗加熱蒸着装置
の蒸着槽内の所定の位置にセットし、更に抵抗加熱ポー
ト内にステアリン酸メチル(mp。
38℃)を入れ、該槽内をまず10(′Torrの真空
度まで減圧した後、蒸着速度が2人/secとなるよう
にポートに流れる電波を調整し、200へのステアリン
酸メチル層からなる蒸着層を第3の層として前記基板の
透明電極層上に形成した。なお、蒸着時の槽内の真空度
を9 X 10’ Torrに維持し、基板ホルダーの
温度は20℃とした。
更に、この基板を、参考例1で用いたのと同様の単分子
膜形成用の水相中に浸漬した。
次に。
(CH212CH3 (CH2)2CONH2(CH216CONH2を1m
ol :  1molの割合で、これらの総量が1×1
0−3mol/jlとなるようにクロロホルムに溶解し
た溶液0.5 mlを前記水相上に展開させ、表面圧を
30dyne/cmに調整し、上記の2つ化合物からな
る多成分系単分子膜を該水相表面に析出させたところで
基板を水面を横切る方向に2cm/sinの速度で静か
に上下に2往復させ、上記化合物の混合物からなる単分
子膜を4層累積した第1の層としての単分子累積膜を先
に形成した第3の層上に形成した。ここで、この基板を
水相外に引出し、30分以」二室温で放置して乾燥させ
た。
更に、水相表面に残された上記化合物を完全に取り除き
、基板を水相内に浸漬し、新たに(CH2)loCON
H2 を IX 10−3mol/j!の濃度で含むクロロホ
ルム溶液の0.5 mj!をこの水相上に展開させ、表
面圧を30dyne/cmに調整し、この化合物からな
る単分子膜を該水相上に析出させ、基板を水面を横切る
方向に2cm/m inの速度で静かに引上げ、更に浸
漬と引上げを一度づつ行ない上記化合物分子からなる単
分子膜を3層累積した単分子累積膜を第2の層として先
に形成した第1の層上に形成した。
以後、上記した第3の層から第2の層までの形成操作を
4回繰返し、最後に第3の層を積層して第1の層と第2
の層の界面を4つ有する発光層届8(層厚;約180O
A)を形成した。
参考例8 〔発光層成9の形成〕 参考例1で用いたのと同様の基板を、参考例1で用いた
のと同様の単分子膜形成用の水相中に浸漬した。
次に、ステアリン酸をクロロホルム溶液に 1×10−
3mol#2の濃度で溶解した溶液の0.5mtを、前
記水相上に展開させた。クロロホルムを水相表面から蒸
発除去した後、水相表面圧を30dyne/c11に調
整し、膜状のステアリン酸を水相面に析出させた。
更に、表面圧を一定に保ちながら、基板を水面を横切る
方向に2cm/minの速度で静かに引上げ、第3の層
としてのステアリン酸分子からなる単分子膜を基板の前
記電極層上に形成し、これを水相外へ引上げ、30分以
上室温で放置して乾燥させた。更に、この操作をもう三
爪繰返して、前記基板の電極層上にステアリン酸分子か
らなる単分子膜が3層に積層された単分子累積膜を第3
の層として形成させた。なお、水相表面に残ったステア
リン酸は、該水相表面から完全に取り除いた。
次に、この基板を抵抗加熱蒸着装置の蒸着槽内の所定の
位置にセットし、更に抵抗加熱ポート内にアントラセン
(mp、 218℃)を入れ、該槽内をまず10’ T
orrの真空度まで減圧した後、蒸着速度が2 A 1
secとなるようにポートに流れる電流を調整し、20
0へのアントラセンからなる蒸着層を第1の層として先
に形成した第3の層としての絶縁層上に形成した。なお
、蒸着時に於ける槽内の真空度を9 X 10’ Ta
rtに維持し、基板ホルダーの温度は、20℃とした。
このようにして第1の層を形成した後、電極基板を、再
び残ったステアリン酸が完全に取り除かれた先に第3の
層の形成に使用した水相中に浸漬させた後、新たに を IX 10−3mol//の濃度で含むクロロホル
ム溶液の 0.5mj!をこの水相上に展開させ、表面
圧を30dyne/c+wに調整し、上記化合物の単分
子膜を水相上に形成させたところで基板を水面を横切る
方向に2cm/ll1inの速度で静かに引上げ、更に
浸漬と引上げを1回づつ行ない上記化合物分子からなる
単分子膜が3層累積された単分子累積膜を第2の層とし
て先に形成した第1の層上に形成した。次に、この基板
な水相外に引出し、再び30分以上室温で放置して乾燥
させた。
以後、このように形成された第2層上に、前記したステ
アリン酸からなる単分子膜の形成操作を2回繰返してス
テアリン酸からなる単分子膜が2層累積した第3の層を
形成し、更にこれまでの第1の層から第3の層までの形
成操作を4回繰返して第1の層と第2の層の界面を4つ
有する発光層#69(層厚;約150OA)を形成した
参考例9 〔発光層成10の形成〕 参考例1で用いたのと同様の基板を参考例1で用いたの
と同様の単分子膜形成用の水相中に浸漬した。
次に、参考例8に於けるステアリン酸からなる単分子膜
の形成操作を3回繰返して前記基板の電極層上にステア
リン酸分子からなる単分子膜が3層に積層された単分子
累積膜を第3の層として形成させた。なお、水相表面に
残ったステアリン酸は、該水相表面から完全に取り除い
た。
次に、このようにして第3の層が形成された基板を、残
ったステアリン酸が完全に取り除かれた水相中に再び浸
漬させた後、新たに (CH2) 2 C0NH2(CH2) 6 C0NH
2を1 mol: l molの割合で、これらの総量
が1×10’mol/jtの濃度となるようにクロロホ
ルムに溶解した溶液の0.5+mAをこの水相上に展開
させ、表面圧を30dyne/cmに調整し、上記化合
物の単分子膜を水相上に形成させたところで基板を水面
を横切る方向に2c+n/winの速度で静かに上下に
2往復させ上記化合物分子からなる単分子膜が4層累積
された単分子累積膜を第1の層として先に形成した第3
の層上に形成した。次に、この基板を水相外に引出し、
再び30分以上室温で放置して乾燥させた。
次に、この基板を抵抗加熱蒸着装置の蒸着槽内の所定の
位置にセットし、更に抵抗加熱ポート内に2,5−ジフ
ェニルオキサゾールを入れ、該槽内をまず10’ To
rrの真空度まで減圧した後、蒸着速度が2人/sec
となるように抵抗加熱ポートに流れる電流を調整し、2
00への2.5−ジフェニルオキサゾールからなる蒸着
層を第2の層として先に形成した第1の層上に形成した
。なお、蒸着時に於ける槽内の真空度を9 X 10’
 Torrに維持し、基板ホルダーの温度は、20℃と
した。
以後、このように形成された第2層上に、前記したステ
アリン酸からなる単分子膜の形成操作を2回繰返してス
テアリン酸からなる単分子膜が2層累積した第3の層を
形成し、更にこれまでの第1の層から第3の層までの形
成操作を4回繰返して第1の層と第2の層の界面を4つ
有する発光層、76.10C層厚;約2200人)を形
成した。
参考例10 〔発光層魚11の形成〕 参考例1で用いたのと同様の基板上に、参考例7に於い
て形成したのと同様の200Aのステアリン酸メチル層
からなる蒸着層を第3の層として、参考例7に於ける方
法と同様にして形成した。
この第3の層が形成された基板を参考例1で用いたのと
同様の単分子膜形成用の水相中に浸漬しくCH2) 1
0CH3 を50mol : 50mol : 1 molの割合
で、これらの総量がIX 10−3mol/j!となる
ようにクロロホルムに溶解した溶液0.5ml1を前記
水相上に展開させ、表面圧を3Gdyne/cmに調整
し、上記の2つ化合物からなる多成分系単分子膜を該水
相表面に析出させたところで基板を水面を横切る方向に
2cm/winの速度で静かに上下に2往復させ、上記
化合物の混合物からなる単分子膜を4層累積した第1の
層としての単分子累積膜を先に形成した第3の層上に形
成した。ここで、この基板な水相外に引出し、30分以
上室温で放置して乾燥させた。
更に、水相表面に残された上記化合物を完全に取り除き
、基板を水相内に浸漬し、新たにを100 mol :
 1molの割合で、これらの総量がl×IO〜3mo
l//となるようにりI:Fロホルムに溶解した溶液の
0.5mj!をこの水相上に展開させ、表面圧を30d
yne/cmに調整し、上記化合物からなる単分子膜を
該水相上に析出させ、基板を水面を横切る方向に2cm
/winの速度で静かに」−下に2往復させ、上記化合
物分子からなる単分子膜を3層累積した単分子累積膜を
第2の層として先に形成した第1の層上に形成した。
以後、」−記した第3の層から第2の層までの形成操作
を4回繰返し、最後に第3の層を積層して第1の層と第
2の層の界面を4つ有する発光層f12(層厚;約1e
ooA)を形成した。
参考例11 〔発光層魚12の形成〕 参考例1で用いたのと同様の基板を参考例1で用いたの
と同様の単分子膜形成用の水相中に浸漬した。
次に、参考例8に於けるステアリン酸からなる単分子膜
の形成操作を3回繰返して、前記基板の電極層上にステ
アリン酸分子からなる単分子膜が3層に積層された単分
子累積膜を第3の層として形成させた。なお、水相表面
に残ったステアリン酸は、該水相表面から完全に取り除
いた。
次に、この基板を抵抗加熱蒸着装置の蒸着槽内の所定の
位置にセットし、更に抵抗加熱ポートの1つにアントラ
セン(mp、 216℃)を入れ、他の1つにアントラ
キノン(mp、 288℃)を入れ、該槽内をまず10
’Torrの真空度まで減圧した後、アントラキノンの
蒸着速度が0.1人/sec程度になるようにアントラ
キノンの入ったポートに流れる電流を一定とし、かつア
ントラセンとアントラキノンの混合物からなる蒸着層全
体の蒸着速度が2人/seeとなるようにアントラセン
の入ったポートに流れる電流を調整し、200へのアン
トラセンとアントラキノンの混合物からなる蒸着層を第
1の層として先に形成した第3の層としての絶縁層上に
形成した。なお、蒸着時に於ける槽内の真空度を9 X
 1O−6Torrに維持し、基板ホルダーの温度は、
20℃とした。
このようにして第1の層を形成した後、基板を、残った
ステアリン酸が完全に取り除かれた前記水相中に浸漬さ
せた後、新たに をLQQ mat : 1+molの割合で、これらの
総量が1×10’mol//の濃度でクロロホルムに溶
解した溶液の 0.5mAをこの水相上に展開させ、表
面圧を30dyne/cmに調整し、上記化合物の単分
子膜を水相上に形成させたところで基板を水面を横切る
方向に2cm/winの速度で静かに上下に2往復させ
、上配化合物分子からなる単分子膜が4層累積された単
分子累積膜を第2の層として先に形成した第1の層上に
形成した。次に、この基板を水相外に引出し、再び30
分以上室温で放置して乾燥させた。
以後、このように形成された第2層上に、前記したステ
アリン酸からなる単分子膜の形成操作を4回繰返してス
テアリン酸からなる単分子膜が4層累積した第3の層を
形成し、更にこれまでの第1の層から第3の層までの形
成操作を4回繰返して第1の層と第2の層の界面を4つ
有する発光層遂12(層厚;約180OA)を形成した
参考例12 〔発光層成13の形成〕 参考例1で用いたのと同様の基板を参考例1で用いたの
と同様の単分子膜形成用の水相中に浸漬した。
次に、参考例8に於けるステアリン酸からなる単分子膜
の形成操作を4回繰返して、前記基板の電極層上にステ
アリン酸分子からなる単分子膜が4層に積層された単分
子累積膜を第3の層として形成させた。なお、水相表面
に残ったステアリン酸は、該水相表面から完全に取り除
いた。
次に、このようにして第3の層が形成された電極基板を
、残ったステアリン酸が完全に取り除かれた水相中に再
び浸漬させた後、新たにを50mol :50mol:
 1 molの割合で、これらの総量がIX 10−3
mol#tの濃度となるようにクロロホルムに溶解した
溶液の0.5層ノこの水相上に展開させ、表面圧を30
dyne/cmに調整し、上記化合物の単分子膜を水相
上に形成させたところで基板を水面を横切る方向に2c
+*/miηの速度で静かに上下に2往復させ上記化合
物分子からなる単分子膜が4層累積された単分子累積膜
を第1の層として先に形成した第3の層上に形成した。
次に、この基板な水相外に引出し、再び30分以上室温
で放置して乾燥させた。
次に、この基板を抵抗加熱蒸着装置の蒸着槽内の所定の
位置にセットし、更に抵抗加熱ポートの1つにカルバゾ
ール(mp、 245℃)を入れ、他の1つに2,5−
ジフェニルオキサゾールを入れ、該槽内をまず10”6
Torrの真空度まで減圧した後、カルバゾールの蒸着
速度が0.4人/sec程度になるようにカルバゾール
の入った抵抗加熱ポートに流れる電流を一定とし、かつ
カルバゾールと2,5−ジフェニルオキサゾールの混合
物からなる蒸着層全体の蒸着速度が2J7secとなる
ように2.5−ジフェニルオキサゾールの入ったポート
に流れる電流を調整し、200 Aのカルバゾールと2
,5−ジフェニルオキサゾールの混合物からなる蒸着層
を第2の層として先に形成した第1の層扛番でゆt1啓
上に形成した。なお、蒸着時に於ける槽内の真空度を9
×10’ Torrに維持し、基板ホルダーの温度は、
20℃とした。
以後、このように形成された第2層上に、前記したステ
アリン酸からなる単分子膜の形成操作を2回繰返してス
テアリン酸からなる単分子膜が2層累積した第3の層を
形成し、更にこれまでの第1の層から第3の層までの形
成操作を4回繰返して第1の層と第2の層の界面を4つ
有する発光層酸13(層厚;約180OA)を形成した
参考例13 〔発光層酸14の形成〕 参考例1で用いたのと同様の基板の電極層上に、参考例
7に於いて形成したのと同様の200へのステアリン酸
メチル層からなる蒸着層を第3の層として、参考例7に
於ける方法と同様にして形成し、この第3の層の形成さ
れた基板を、参考例1で用いたのと同様の単分子膜形成
用の水相中に浸漬した。
(CH2)2CON)’12   (04216QIJ
H2を50 mol :50IIol : 1 mol
の割合で、これらの総量が1×10−3曹o1/j!と
なるようにクロロホルムに溶解した溶液0.5mj!を
前記水相上に展開させ、表面圧を30dyne/c+s
に調整し、上記の2つ化合物からなる多成分系単分子膜
を該水相表面に析出させたところで基板を水面を横切る
方向に2cm/winの速度で静かに上下に2往復させ
、上記化合物の混合物からなる単分子膜を4層累積した
第1の層としての単分子累積膜を先に形成した第3の層
上に形成した。ここで、この基板を水相外に引出し、3
0分以上室温で放置して乾燥させた。
更に、水相表面に残された上記化合物を完全に取り除き
、基板を水相内に浸漬し、新たにX 10’ mol/
j!となるようにクロロホルムに溶解した溶液の0 、
5m jlをこの水相上に展開させ、表面圧を30dy
ne/cmに調整し、上記化合物からなる単分子膜を該
水相上に析出させ、基板を水面を横切る方向に2cm/
winの速度で静かに上下に2往復させ、上記化合物分
子からなる単分子膜を4層累積した単分子累積膜を第2
の層として先に形成した第1の層上に形成した。
以後、上記した第3の層から第2の層までの形成操作を
4回繰返し、最後に第3の層を積層して第1の層と第2
の層の界面を4つ有する発光層成14(層厚:約180
OA)を形成した。
参考例14 〔発光層酸15の形成〕 参考例1で用いたのと同様の基板を参考例1で用いたの
と同様の単分子膜形成用の水相中に浸漬した。
次に、参考例8に於けるステアリン酸からなる単分子膜
の形成操作を3回繰返して、前記基板の電極層上にステ
アリン酸分子からなる単分子膜力(3層に積層された単
分子累積膜を第3の層として形成させた。なお、水相表
面に残ったステアリン酸は、該水相表面から完全に取り
除いた。
この基板を抵抗加熱蒸着装置の蒸着槽内の所定の位置に
セットし、更に抵抗加熱ポートの1つにアントラセン(
mp、 218℃)を入れ、他の1つにインダゾール(
mp、 145℃)を入れ、該槽内をまず10’ To
rrの真空度まで減圧した後、インダゾールの蒸着速度
が0.2 A /sec程度になるようにインダゾール
の入ったポートに流れる電流を一定とし、かつアントラ
センとインダゾールの混合物からなる蒸着層全体の蒸着
速度が2J/secとなるようにアントラセンの入った
ポートに流れる電流を調整し、20OAのアントラセン
とインダゾールの混合物からなる蒸着層を第1の野とし
て先に形成した第3の層としての絶縁層上に形成した。
なお、蒸着時に於ける槽内の真空度を9 X 10(1
Torrに維持し、基板ホルダーの温度は、20℃とし
た。
このようにして第1の層を形成した後、電極基板を、残
ったステアリン酸が完全に取り除かれた前記水相中に浸
漬させた後、新たに ヲ100 mol : 1mol(7)m合テ、コn 
(7)11m JL カ1x10−3mat//lの濃
度でクロロホルムに溶解した溶液の0.5+/!をこの
水相上に展開させ、表面圧を30dyne/cmに調整
し、上記化合物の単分子膜を水相上に形成させたところ
で基板を水面を横切る方向に2cn+/winの速度で
静かに上下に2往復させ、上記化合物分子からなる単分
子膜が4層累積された単分子累積膜を第2の層として先
に形成した第1の層上に形成した。次に、この基板を水
相外に引出し、再び30分以上室温で放置して乾燥させ
た。
以後、このように形成された第2層上に、前記したステ
アリン酸からなる単分子膜の形成操作を2回繰返してス
テアリン酸からなる単分子膜が2層累積した第3の層を
形成し、更にこれまでの第1の層から第3の層までの形
成操作を4回繰返して第1の層と第2の層の界面を4つ
有する発光層成15(層厚;約150OA)を形成した
参考例15 〔発光層成IBの形成〕 参考例1で用いたのと同様の基板を参考例1で用いたの
と同様の単分子膜形成用の水相中に浸漬した。
次に、参考例8に於けるステアリン酸からなる単分子膜
の形成操作を3回繰返して前記基板の電極層上にステア
リン酸分子からなる単分子膜が3層に積層された単分子
累積膜を第3の層として形成させた。なお、水相表面に
残ったステアリン酸は、該水相表面から完全に取り除い
た。
次に、このようにして第3の層が形成された電極基板を
、残ったステアリン酸が完全に取り除かれた水相中に再
び浸漬させた後、新たにを50mol :50mol:
 1 molの割合で、これらの総量がIX 10’ 
mol/j!の濃度となるようにクロロホルムに溶解し
た溶液の0.5+*jをこの水相上に展開させ、表面圧
を30dyne/cmに調整し、上記化合物の単分子膜
を水相上に形成させたところで基板を水面を横切る方向
に2cm/winの速度で静かに上下に2往復させ上記
化合物分子からなる単分子膜が4層累積された単分子累
積膜を第1の層として先に形成した第3の層上に形成し
た。次に、この基板を水相外に引出し、再び30分以上
室温で放置して乾燥させた。
次に、この基板を抵抗加熱蒸着装置の蒸着槽内の所定の
位置にセットし、更に抵抗加熱ポートの1つにカルバゾ
ール(mp、 245℃)を入れ、他の1つにアントラ
キノン(+*p、 288℃)を入れ、該槽内をまず1
0’ Torrの真空度まで減圧した後、アントラキノ
ンの蒸着速度が0. I A /see程度になるよう
にアントラキノンの入ったポートに流れる電流を一定と
し、かつカルバゾールとアントラキノンの混合物からな
る蒸着層全体の蒸着速度が2人/secとなるようにカ
ルバゾールの入ったポートに流れる電流を調整し、20
0人のカルバゾールとアントラキノンの混合物からなる
蒸着層を第2の層として先に形成した第1の層厚せで茫
11井上に形成した。なお、蒸着時に於ける槽内の真空
度を9 X 10’ Torrに維持し、基板ホルダー
の温度は、20℃とした。
以後、このように形成された第2層上に、前記したステ
アリン酸からなる単分子膜の形成操作を2回繰返してス
テアリン酸からなる単分子膜が2層累積した第3の層を
形成し、更にこれまでの第1の層から第3の層までの形
成操作を4回繰返して第1の層と第2の層の界面を4つ
有する発光層N6.18C層厚;約1500人)を形成
した。
参考例16 〔発光層A17の形成〕 50mm角のガラス表面上にスパッタリング法により膜
厚1500Aの1.T、0層を形成して透明電極層を有
する発光層形成用の基板とし、更に該層上に膜厚100
0Aの5i02膜をスパッタリング法により積層し第3
の層としての絶縁層とした。
この基板を抵抗加熱蒸着装器の蒸着槽内の所定の位置に
セットし、更に抵抗加熱ポート内にトリフェニルアミン
(mp、 127℃)を入れ、該槽内をまず10’ T
artの真空度まで減圧した後、蒸着速度が2人/se
eとなるように抵抗加熱ポートに流れる電流を調整し、
 20OAのトリフェニルアミンからなる蒸着層を第1
の層として、先に基板の透明電極層上に形成した第3の
層上に形成した。なお、蒸着時に於ける槽内の真空度を
9 X 1O−6Tartに維持し、基板ホルダーの温
度は、20℃とした。
次に、トリフェこルアミンの代りに、アントラセフ (
mp、 21Gl ’C)を使用し、先の第1の層の形
成と同様にして300へのアントラセンからなる蒸着層
を第2の層として先に形成した第1の層上に形成した。
更に、アントラセンの代りに、ステアリン酸メチル(m
p、 38°C)を使用し、先の第1の層の形成と同様
にして300へのステアリン酸メチルからなる不着層を
新たな第3の層として先に形成した第2の層上に形成し
た。
以後、上記したトリフェニルアミンからなる第1の層か
らステアリン酸メチルからなる第3の層までの形成操作
をもう一度繰返し、第1の層と第2の層の界面を2つ有
する発光層、/FL1?(層厚;約1800人)を形成
した。
参考例17 〔発光層、/L18の形成〕 参考例1に於いて用いたのと同様の基板の電極層上に、
参考例1と同様にして膜厚1000xの5i02膜をス
パッタリング法により積層し第3の層としての絶縁層と
した。
このようにして第3の層を形成した後、電極基4〆二= 板を、m蒸着槽内にセットしておき、更ば、1′7′1
ス アントラセン(mp、 216℃)の入ったものとアン
トラキノン(mp、 28θ℃)の入ったものの2つの
抵抗加熱ポートを蒸着槽内にセットし、該槽内をまず1
0°’ Torrの真空度まで減圧した後、アントラキ
ノンの蒸着速度が0.1人/see程度になるように抵
抗加熱ポートの電流を設定し、かつアントラセンとアン
トラキノンの混合物からなる蒸着層全体の蒸着速度が2
 A /secとなるようにアントラセンの入った抵抗
加熱ポートに流れる電流を調整し、アントラセンとアン
トラキノンの混合物からなる蒸着層を第1の層として先
に形成した第3の層としての絶縁層上に形成した。なお
、蒸着時に於ける槽内の真空度を9 X 10’ Ta
rtに維持し、基板ホルダーの温度は、20℃とした。
更に抵抗加熱ポートの1つをトリフェニルアミン(mp
、 245°C)の入ったものと交換し、他の1つもイ
ンダゾール(mp、 145℃)の入ったものと交換し
、該槽内をまず10’ Torrの真空度まで減圧した
後、インダゾールの蒸着速度が0.1人/sec程度に
なるように抵抗加熱ポートの電流を設定し、かつトリフ
ェニルアミンとインダゾールの混合物からなる蒸着層全
体の蒸着速度が2A/secとなるようにトリフェニル
アミンの入ったポートに流れる電流を調整し、200へ
のトリフェニルアミンとインダゾールの混合物からなる
蒸着層を第2の層として先に形成した第3の層としての
絶縁層上に形成した。なお、蒸着時に於ける槽内の真空
度を9 X 10’ Torrに維持し、この場合の基
板ホルダーの温度も20℃とした。
引続き基板を蒸着槽内にセットしておき、更に抵抗加熱
ポート内にステアリン酸メチル(fflT+、 38°
O)を入れ、該槽内を1O−6Torrの真空度まで減
圧した後、蒸着速度が2八/secとなるように抵抗加
熱ポートに流れる電流を調整し、200へのステアリン
酸メチル層からなる蒸着層を第3の層として、先に形成
した第2の層上に形成した。なお。
蒸着時に於ける槽内の真空度を9 X 10” Tor
rに維持し、この場合の基板ホルダーの温度も20℃と
し升 以後、上記した第1の層から第3の層までの形成操作を
4回繰返して第1の層と第2の層の界面を4つ有する発
光層成18(層厚;約2400人)を形成した。
参考例18 〔発光層遂1θの形成〕 参考例1に於いて用いたのと同様の基板の電極層上に、
参考例1と同様にして膜厚1oooAの5i02膜を7
バツタリング法により積層し第3の層としての絶縁層と
した。
このようにして第3の層を形成した後、電極基板を、抵
抗加熱蒸着装置の蒸着槽内にセットし、更にトリフェニ
ルアミン(mp、 127℃)の入ったものと、アント
ラキノン(mp、 288℃)ノ入ったものの2つの抵
抗加熱ポートを蒸着槽内にセットし、該槽内をまず10
’ Torrの真空度まで減圧した後、アントラキノン
の蒸着速度が0.1.4/sec程度になるようにアン
トラキノンの入ったポートに流れる電流を一定とし、か
つトリフェニルアミンとアントラキノンの混合物からな
る蒸着層全体の蒸着速度が2 A /secとなるよう
にトリフェニルアミンの入ったポートに流れる電流を調
整し、200人のトリフェニルアミンとアントラキノン
の混合物からなる蒸着層を第1の層として先に形成した
第3の層としての絶縁層上に形成した。なお、蒸着時に
於ける槽内の真空度を9XIQ’Taビに維持し、基板
ホルダーの温度は、20’Cとした。
更に抵抗加熱ポートの1つをアントラセン(rsp、 
218 ’0)の入ったものと交換し、他の1つもイン
ダゾール(mp、 145℃)の入ったものと交換し、
該槽内をまず10’ Torrの真空度まで減圧した後
、インダゾールの蒸着速度が0.1 )y/sec程度
になるようにインダゾールの入った抵抗加熱ポートに流
れる電流を一定とし、かつアントラセンとインダゾール
の混合物からなる蒸着層全体の蒸着速度が2A/sec
となるようにアントラセンの入ったポートに流れる電流
を調整し、 200へのアントラセ〕/とインダゾール
の混合物からなる蒸着層を第2の層として先に形成した
第3の層としての絶縁層上に形成した。なお、この場合
も、蒸着時に於ける槽内の真空度を9 X 10’ T
artに維持し、基板ホルダーの温度も20℃とした。
引続き基板を蒸着槽内にセットしておき、更に抵抗加熱
ポート内にステアリン酸メチル(mp、 38°C)を
入れ、該槽内を10” Tarrの真空度まで減圧した
後、蒸着速度が2A/secとなるように抵抗加熱ポー
トに流れる電流を調整し、200へのステアリン酸メチ
ル層からなる蒸着層を第3の層として、先に形成した第
2の層上に形成した。なお、この場合も、蒸着時に於け
る槽内の真空度を8×10’ Torrに維持し、基板
ホルダーの温度も20℃とした。
以後、上記した第1の層から第3の層までの形成操作を
4回繰返して第1の層と第2の層の界面を4つ有する発
光層成19(層厚;約2400人)を形成した。
実施例 第1図に示した構造の本発明のEL素子の形成を以下の
ようにして実施した。
50mm角のガラス表面上にスパッタリング法により膜
厚1500Aの1.T、0層を蒸着して透明電極層1を
形成した。
次に、この透明電極層1上に参考例16〜18に於いて
形成した発光層(MfL17〜逅19)のいずれか1つ
を発光層4として形成した後、この発光層4の形成され
た基板を、真空蒸着装置の蒸着槽内の所定の位置にセッ
トし、該槽内を一度IX 10’ Torrの真空度ま
で減圧した後、該槽内の真空度を9×10’ Torr
に調整し、蒸着速度5 A / sec テ50への膜
厚のAu層を発光層4の最上部に位置する第3の層上に
形成し、半透明電極層3とした。
更に、半透明電極層3上にに参考例1〜15に於いて形
成した発光層(逅1〜逅16)のいずれか1つを単分子
膜または単分子累積膜を有する発光層5として形成した
後、この発光N5の形成された基板を、真空蒸着装置の
蒸着槽内の所定の位置に再びセットし、該槽内を一度I
X 10’ Torrの真空度まで減圧した後、今回は
該槽内の真空度を 1×10’ Torrに調整し、蒸
着速度20A / sec テ150OAの膜厚のA1
層を発光層5の最上部に位置する第3の層上に形成し、
透明でない背面電極層2として発光層成1〜魚J6から
選ばれた1つと、発光層成17〜逅19から選ばれた1
つとを、発光層4と発光層5として組み合わせて本発明
のELi子を計48個形成した。
これらの本発明のEL素子のそれぞれを第5図に示すよ
うに、シールガラス51でシールした後、常法に従って
精製、脱気及び脱水処理されたシリコンオイル52をシ
ール中に注入して、ELナセル0を形成した。
このようなELセルのそれぞれについて、電極層1,3
間及び電極層2.3間に、交流電圧(20■、400H
2)を印加して1発光させ、発光に於ける輝度及び電流
密度を測定したところ、 0.08〜0.13 mA/
cm2の範囲の電流密度及び20〜40ft−Lノ範囲
の輝度が測定された。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明のEL素子の模式的断面図、第2図は本
発明のEL素子の有する発光層の一例の模式的断面図、
第3図1i−単分子膜形成用化合物の分子構造の模式図
、第4図は本発明のEL素子の有する第1の層とS2の
層の界面に於ける分子の配列の一例を示す模式図、第5
図は本発明EL素子の組み込まれたELナセル模式的断
面図である。 1:透明電極層 3:透明または半透明な電極層 2:電極層 4.5:発光層 21−1.21−’2:第1の層 22−1.22−2:第2の層 23−1.23−2.23−3:第3の層24−1.2
4−2 :界面 31.31′:機能性部分 32.32′:M1水性部分 33.33′:疎水性部分 50:EL素子 51ニガラスシール 52:シリコンオイル 53:ELナセ ル許出願人  キャノン株式会社 第  2  図 (b) (C) (d)

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1)少なくとも一方が透明である2つの電極層と、これ
    ら2つの電極層間に設けられた、2つの発光層と、これ
    ら2つの発光層間に設けられた透明または半透明な電極
    層とを有してなり、前記2つの発光層のいずれか一方が
    有機化合物の単分子膜または単分子累積膜からなる層を
    有してなるものである電界発光素子。 2)前記2つの発光層が、同一の機能を有するものであ
    る特許請求の範囲第1項記載の電界発光素子。 3)前記2つの発光層が、異なる機能を有するものであ
    る特許請求の範囲第1項記載の電界発光素子。
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