JPS6136561B2 - - Google Patents

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Publication number
JPS6136561B2
JPS6136561B2 JP57092222A JP9222282A JPS6136561B2 JP S6136561 B2 JPS6136561 B2 JP S6136561B2 JP 57092222 A JP57092222 A JP 57092222A JP 9222282 A JP9222282 A JP 9222282A JP S6136561 B2 JPS6136561 B2 JP S6136561B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
crucible
electrode
base material
processing chamber
rotated
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
JP57092222A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS58210104A (ja
Inventor
Yoshuki Yoneda
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ulvac Inc
Original Assignee
Ulvac Inc
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Filing date
Publication date
Application filed by Ulvac Inc filed Critical Ulvac Inc
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Publication of JPS58210104A publication Critical patent/JPS58210104A/ja
Publication of JPS6136561B2 publication Critical patent/JPS6136561B2/ja
Granted legal-status Critical Current

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Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22FWORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F9/00Making metallic powder or suspensions thereof
    • B22F9/02Making metallic powder or suspensions thereof using physical processes
    • B22F9/06Making metallic powder or suspensions thereof using physical processes starting from liquid material
    • B22F9/08Making metallic powder or suspensions thereof using physical processes starting from liquid material by casting, e.g. through sieves or in water, by atomising or spraying
    • B22F9/10Making metallic powder or suspensions thereof using physical processes starting from liquid material by casting, e.g. through sieves or in water, by atomising or spraying using centrifugal force

Landscapes

  • Manufacture Of Metal Powder And Suspensions Thereof (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明の詳細はTa.W等の高融点金属、Ti等の
活性金属、その他の金属の粉体を製造する方法に
関する。
従来、水溶液電解法、カルボニル法の金属粉の
製造法が知られるが、これらの方法では高融点金
属、活性金属などの合金の粉体化に際して酸素レ
ベルを低く維持することが出来ない不都合があ
る。
本発明はこうした不都合を解消することをその
目的としたもので、真空室内にるつぼを設けると
共に該るつぼの開口部に対向させて母材からなる
電極を設け、該るつぼと該電極との間にアーク放
電を生じさせることにより該るつぼ内に母材の溶
融池を形成した後、該るつぼと該電極とを互いに
逆方向に旋回させてアーク放電の継続により生成
される溶融母材をその周囲に飛散させて固化する
ことを特徴とする。
本発明製造法の1例を図面につき説明する。図
面で1は真空処理室、2は該処理室1の下方に設
けたるつぼ、3は該るつぼ2の開口部2aに対向
させて設けたFe、Ti、Ta、Uその他の金属、或
は合金の母材からなる電極を示し、該るつぼ2は
例えば銅製の水冷構造を備えたもので構成される
と共に該処理室1の外部へと伸びるロツド4で担
持され、該ロツド4を電動機5その他の駆動源に
より回動すると該るつぼ2が該処理室1内に於て
旋回される。また該ロツド4はその内部に給水源
6からるつぼ2へ冷却水を送る回路を備えると共
に、周囲の接触子7に供給されるアーク電源8を
るつぼ2に伝達する回路を兼ねるようにした。9
は電極3を該処理室1内に釣下げすると共に該処
理室1の外部の電動機10その他の駆動源に連ら
なる駆動装置11により上下動されるロツドを示
し、これに前記アーク電源8の一極が接続され、
さらに給水源12から冷却水が循環されるように
した。13はコレクタ、14はるつぼ2内に生成
するインゴツト、15は真空排気装置を示す。
該電極3はるつぼ2の開口部2aの口径の例え
ば130mmに略等しい距離だけ該るつぼ2から離し
て設けられる。そして該処理室1内を排気装置1
5により10-3Torr或はそれ以下の充分低い酸素
レベルとなるまで排気したのちArその他のガス
を注入して減圧ガス雰囲気とし、或は10〜20気圧
の高圧ガス雰囲気とする。次でアーク電源8を入
れるとるつぼ2と電極3との間にアーク放電が生
じ、母材からなる電極3が溶解してるつぼ2内に
〓〓〓
溶融インゴツト14として溜まり、その上方には
母材の溶融池14aが形成され金属凝固殻が形成
されることがない。るつぼ2には電力を供給して
溶融池14aが充分過熱されるようにし、溶融池
14aの液面がるつぼ2のトツプレベルにまで達
すると電動機5を駆動して該るつぼ2を例えば
15000rpmで回転する。この回転で溶融池14a
の溶融した母材は遠心力方向に飛行し、処理室1
のコレクタに接触冷却されて粒状に固化する。
電極3の下端はアーク放電により次第に消耗す
るが、これを釣下げするロツド9が駆動装置11
の作動で下降され連続的な金属粉の製造を可能に
する。
該電極3を図示のように電動機16もの他の駆
動源でるつぼ2と逆方向に回転させ、溶融池14
aの相対周速を早めることにより微細な金属粉を
得ることを可能にした。
本発明方法によりFeTi粉を製造した場合の具
体的実施例は次の通りである。
先ず真空処理室1内の大気を排気して約
10-3Torrとし、そこにArガスを注入して圧力を
230Torrまで上昇させる。次でアーク電源8を通
電して直径130mmのるつぼ2とFeTiからなる電極
3との間に放電を生じさせ、FeTiのインゴツト
14をるつぼ2内に得ると共にるつぼ2を加熱し
て該インゴツト14の上方に溶融池14aを生じ
させる。そしてるつぼ2を10500rpmで旋固させ
且つ電極3をるつぼ2とは逆方向に旋回させると
粒度110〜160μmで粉体酵素レベルが150ppmの
低酸素レベルのFeTi粉が55%の収率で得られ
た。
以上のように本発明は真空処理室内で母材の電
極とこれに対向するるつぼとを互いに逆方向に旋
回させてアーク金属粉を得るもので、これによる
ときは、るつぼを旋回させるだけでは得られない
周速が得られ、低酸素雰囲気中で金属を溶融し微
細化出来、低酸素レベルで且つるつぼを旋回させ
るものに比して微細な金属粉が得られる効果があ
る。
【図面の簡単な説明】
図面は本発明の実施例の説明線図である。 1……真空処理室、2……るつぼ、3……電
極、8……アーク電源。 〓〓〓

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 真空室内にるつぼを設けると共に該るつぼの
    開口部に対向させて母材からなる電極を設け、該
    るつぼと該電極との間にアーク放電を生じさせる
    ことにより該るつぼ内に母材の溶融池を形成した
    後、該るつぼと該電極とを互いに逆方向に旋回さ
    せてアーク放電の継続により生成される溶融母材
    をその周囲に飛散させて固化することを特徴とす
    る金属粉の製造法。
JP9222282A 1982-06-01 1982-06-01 金属粉の製造法 Granted JPS58210104A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9222282A JPS58210104A (ja) 1982-06-01 1982-06-01 金属粉の製造法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9222282A JPS58210104A (ja) 1982-06-01 1982-06-01 金属粉の製造法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS58210104A JPS58210104A (ja) 1983-12-07
JPS6136561B2 true JPS6136561B2 (ja) 1986-08-19

Family

ID=14048412

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP9222282A Granted JPS58210104A (ja) 1982-06-01 1982-06-01 金属粉の製造法

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JP (1) JPS58210104A (ja)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS525659A (en) * 1975-06-28 1977-01-17 Leybold Heraeus Verwaltung Method and device for manufacturing high purity metal powder using electronic beam
JPS5447858A (en) * 1977-09-24 1979-04-14 Battelle Institut E V Apparatus for making foilltype granules from molten metal

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS525659A (en) * 1975-06-28 1977-01-17 Leybold Heraeus Verwaltung Method and device for manufacturing high purity metal powder using electronic beam
JPS5447858A (en) * 1977-09-24 1979-04-14 Battelle Institut E V Apparatus for making foilltype granules from molten metal

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Publication number Publication date
JPS58210104A (ja) 1983-12-07

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