JPS6133434U - 半導体製造装置 - Google Patents
半導体製造装置Info
- Publication number
- JPS6133434U JPS6133434U JP11731584U JP11731584U JPS6133434U JP S6133434 U JPS6133434 U JP S6133434U JP 11731584 U JP11731584 U JP 11731584U JP 11731584 U JP11731584 U JP 11731584U JP S6133434 U JPS6133434 U JP S6133434U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor manufacturing
- lower electrode
- manufacturing equipment
- wafer
- placement section
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の実施例を示す断面図、第２図は分解斜
視図、第３図は従来装置の断面図である。 １１・・・下部電極、１３・・・ウエハー、１４・・・
回転軸、１５・・・上部電極、１６・・・反応ガス流入
管、１７・・・シールド板、１８・・・プラズマ反応室
、１９・・・回転トレー、１９ａ・・・ピニオンギアー
、２０・・・ラツクギアー。
視図、第３図は従来装置の断面図である。 １１・・・下部電極、１３・・・ウエハー、１４・・・
回転軸、１５・・・上部電極、１６・・・反応ガス流入
管、１７・・・シールド板、１８・・・プラズマ反応室
、１９・・・回転トレー、１９ａ・・・ピニオンギアー
、２０・・・ラツクギアー。
Claims (1)
- 平行平板電極構造を有するバッチ式のプラズマエッチン
グ装置において、下部電極の同一平面内に円形のウエハ
ー配置部を複数個有し、下部電極が回転するに伴い該ウ
エハー配置部が回転するように下部電極にウエハー配置
部を連動させたことを特徴とする半導体製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11731584U JPS6133434U (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | 半導体製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11731584U JPS6133434U (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | 半導体製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6133434U true JPS6133434U (ja) | 1986-02-28 |
Family
ID=30676228
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11731584U Pending JPS6133434U (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | 半導体製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6133434U (ja) |
-
1984
- 1984-07-31 JP JP11731584U patent/JPS6133434U/ja active Pending
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