JPS6131961A - 超音波顕微鏡 - Google Patents
超音波顕微鏡Info
- Publication number
- JPS6131961A JPS6131961A JP15285584A JP15285584A JPS6131961A JP S6131961 A JPS6131961 A JP S6131961A JP 15285584 A JP15285584 A JP 15285584A JP 15285584 A JP15285584 A JP 15285584A JP S6131961 A JPS6131961 A JP S6131961A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- acoustic
- sound wave
- acoustic lens
- acoustic impedance
- thickness
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/04—Analysing solids
- G01N29/06—Visualisation of the interior, e.g. acoustic microscopy
-
- G—PHYSICS
- G10—MUSICAL INSTRUMENTS; ACOUSTICS
- G10K—SOUND-PRODUCING DEVICES; METHODS OR DEVICES FOR PROTECTING AGAINST, OR FOR DAMPING, NOISE OR OTHER ACOUSTIC WAVES IN GENERAL; ACOUSTICS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G10K11/00—Methods or devices for transmitting, conducting or directing sound in general; Methods or devices for protecting against, or for damping, noise or other acoustic waves in general
- G10K11/02—Mechanical acoustic impedances; Impedance matching, e.g. by horns; Acoustic resonators
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、高周波音波エネルギーを利用する顕微鏡に用
いて良好な音響レンズに関する。
いて良好な音響レンズに関する。
近年、Ｉ Ｇ Ｈｚに及ぶ高周波の発生、検出が可能と
なったために、水中での音波波音として約１ミクロンが
得られ、したがって音波エネルギーを利用した顕微鏡が
検討されるようになった。
なったために、水中での音波波音として約１ミクロンが
得られ、したがって音波エネルギーを利用した顕微鏡が
検討されるようになった。
このような超音波顕微鏡の構成を第１図に示す。
パルス発振器１から発生された高圧パルス２は球面レン
ズ３の上面に蒸着等で形成された高置物質４に印加され
る。この圧電物質４は高圧パルス２によって励振され超
音波を発生する。この超音波は球面レンズ３の中を伝播
し、他端面に設けられた凹面部により細く集束される。
ズ３の上面に蒸着等で形成された高置物質４に印加され
る。この圧電物質４は高圧パルス２によって励振され超
音波を発生する。この超音波は球面レンズ３の中を伝播
し、他端面に設けられた凹面部により細く集束される。
この超音波ビームを媒質５を介して、２次元に機械走査
されている試料６（試料台１０上に設置される）の面上
に照射する。試料６より反射されてくる音波を同じ球面
レンズ３により受信し、受信器７で電気信号に変換して
ＣＲＴ８の画面上に試料台１０の走査装置９の走査と同
期させて表示することができる。
されている試料６（試料台１０上に設置される）の面上
に照射する。試料６より反射されてくる音波を同じ球面
レンズ３により受信し、受信器７で電気信号に変換して
ＣＲＴ８の画面上に試料台１０の走査装置９の走査と同
期させて表示することができる。
このような方式の超音波顕微鏡を使用すると、光学的に
不透明な物体でも音波は伝播するので。
不透明な物体でも音波は伝播するので。
その内部構造を知ることができる。その上物体の弾性、
重度、粘性などの物理的性質を反映した微細構造を描画
できるので、他の顕微鏡では不可能な情報を得ることが
できるなど、新しいＩｌ！察装置として注目をあつめて
いる。
重度、粘性などの物理的性質を反映した微細構造を描画
できるので、他の顕微鏡では不可能な情報を得ることが
できるなど、新しいＩｌ！察装置として注目をあつめて
いる。
上述のように構成された超音波顕微鏡において、その主
要構成部の音響レンズには、その信号を効率よく送受信
を行うよう、凹面六声表面には整合層と云う特別な層を
作ってやることによりその効果を高めている。
要構成部の音響レンズには、その信号を効率よく送受信
を行うよう、凹面六声表面には整合層と云う特別な層を
作ってやることによりその効果を高めている。
すなわち音響レンズ３を形成する結晶の音響インピーダ
ンスＺ１．音波伝播媒質５の音響インピーダンスを２２
とすると両者の物質の境界面（凹面穴部）では、（Ｚ
□−Ｚ＠ ） ／ （Ｚ１＋Ｚ、 ）に比例した量で反
射されてしまう。たとえば一般に使用されているサアフ
ァイヤ結晶の音響インピーダンス２□は４４Ｘｌ、Ｏ’
ｇ／ａ＆−５ｅｃであり、液体の音響インピーダン
スＺ２は１．５ ＸＩＱ’ｇ／ｄ−８ｅｃとほぼ１０
倍と大きい。したがって上記は１に近づくために音波は
ほとんど反射してしまいそのごくわずかしか透過しない
。
ンスＺ１．音波伝播媒質５の音響インピーダンスを２２
とすると両者の物質の境界面（凹面穴部）では、（Ｚ
□−Ｚ＠ ） ／ （Ｚ１＋Ｚ、 ）に比例した量で反
射されてしまう。たとえば一般に使用されているサアフ
ァイヤ結晶の音響インピーダンス２□は４４Ｘｌ、Ｏ’
ｇ／ａ＆−５ｅｃであり、液体の音響インピーダン
スＺ２は１．５ ＸＩＱ’ｇ／ｄ−８ｅｃとほぼ１０
倍と大きい。したがって上記は１に近づくために音波は
ほとんど反射してしまいそのごくわずかしか透過しない
。
この現象は境界面に特別な層を作ってやることによりと
り除くことができる。この層を整合層１１と呼んでいる
がこの層を形成する物質としては、音響インピーダンス
がＺｉ と２２ の間にあるものを選択しなければなら
ない。
り除くことができる。この層を整合層１１と呼んでいる
がこの層を形成する物質としては、音響インピーダンス
がＺｉ と２２ の間にあるものを選択しなければなら
ない。
一般に、超音波顕微鏡で用いられている音響レンズでは
、Ｓｉｎ、膜（音響インピーダンス１３．ＩＸ １０’
ｇ／ａｌ−ｓｅａ ）が使われている。
、Ｓｉｎ、膜（音響インピーダンス１３．ＩＸ １０’
ｇ／ａｌ−ｓｅａ ）が使われている。
しかし、サアファイヤ結晶は硬度が高く、加工や研摩工
程に長時間を要することから、これに変る物質として熔
融石英を用いることが多いがこの場合には、ＳｉＯ□は
整合層として役に立たなくなり、もう少し音響インピー
ダンスの値の小さい、物質を選ばなければならない。
程に長時間を要することから、これに変る物質として熔
融石英を用いることが多いがこの場合には、ＳｉＯ□は
整合層として役に立たなくなり、もう少し音響インピー
ダンスの値の小さい、物質を選ばなければならない。
本発明の目的は、音響レンズに熔融石英を用いても、音
波の送多波の効率が向上でき、高品質の像が得られる超
音波顕微鏡を提供するにある。
波の送多波の効率が向上でき、高品質の像が得られる超
音波顕微鏡を提供するにある。
かかる目的を達成するために、本発明は、音響レンズ凹
面部あるいは、音波送受信部境界面に高分子膜で形成し
た整合層を設けることを特長とする。
面部あるいは、音波送受信部境界面に高分子膜で形成し
た整合層を設けることを特長とする。
第２図は、音響レンズ３の凹面穴部に高分子膜を被覆し
た様子を示したものである。
た様子を示したものである。
ここで使用する整合層１１には蒸着有機高分子膜（ポリ
パラキシレン）が適していることをみいだした。
パラキシレン）が適していることをみいだした。
この材料は真空蒸着により、物質の表面に膜を生成でき
るもので、０．２ ミクロンの厚さから生成でき、その
厚さは任意にコントロールできる・またいかなる隠れた
所でも、そこに空間があるかぎり均一にピンホールなし
蒸着できると云うことである。
るもので、０．２ ミクロンの厚さから生成でき、その
厚さは任意にコントロールできる・またいかなる隠れた
所でも、そこに空間があるかぎり均一にピンホールなし
蒸着できると云うことである。
この物質の音響インピーダンスＺ３は、〜３×１０５ｇ
／ａｌ−ｓｅｅ テあり、ｚ１ト２２ノホぼ中間にある
ことから、この物質をλ／４（λ：音波の波長）に等し
くなるような厚さにすることにより充分な整合層を実現
できる。
／ａｌ−ｓｅｅ テあり、ｚ１ト２２ノホぼ中間にある
ことから、この物質をλ／４（λ：音波の波長）に等し
くなるような厚さにすることにより充分な整合層を実現
できる。
以上の説明では、真空蒸着が可能な高分子材料である、
ポリパラキシレンについてのべたが、他の高分子材料で
もその効果は実現でき、その処理法も真空蒸着だけにこ
だわることなく、塗付、焼付その他、現在もちいられて
いる高分子材を固体表面に附着させる方法でよい。
ポリパラキシレンについてのべたが、他の高分子材料で
もその効果は実現でき、その処理法も真空蒸着だけにこ
だわることなく、塗付、焼付その他、現在もちいられて
いる高分子材を固体表面に附着させる方法でよい。
本発明により音響レンズに熔融石英を用いても整合層が
有効に機能し、レンズ界面での反射の少ない高効率の送
受波が行なわれる。よって高品質の画像を得ることがで
きる超音波顕微鏡を実現することができる。
有効に機能し、レンズ界面での反射の少ない高効率の送
受波が行なわれる。よって高品質の画像を得ることがで
きる超音波顕微鏡を実現することができる。
第１図は超音波顕微鏡の構成を示す図、第２図は本発明
の一実施例を示す図。 ３・・・音響レンズ、１１・・・高分子膜。
の一実施例を示す図。 ３・・・音響レンズ、１１・・・高分子膜。
Claims (1)
- １、音波ビームを発生する手段と、上記音波ビームを所
定焦点に集束する音響レンズ、上記焦点近傍に配置され
る対象物でじよう乱された音波エネルギーを検出する音
波顕微鏡において、上記音響レンズ界面部表面に有機高
分子膜を附着したことを特徴とする超音波顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15285584A JPS6131961A (ja) | 1984-07-25 | 1984-07-25 | 超音波顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15285584A JPS6131961A (ja) | 1984-07-25 | 1984-07-25 | 超音波顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6131961A true JPS6131961A (ja) | 1986-02-14 |
Family
ID=15549596
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15285584A Pending JPS6131961A (ja) | 1984-07-25 | 1984-07-25 | 超音波顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6131961A (ja) |
-
1984
- 1984-07-25 JP JP15285584A patent/JPS6131961A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Khuri-Yakub | Scanning acoustic microscopy | |
| US4510810A (en) | Ultrasonic microscope | |
| JPS6035255A (ja) | 走査型音波顕微鏡 | |
| JPS5816672B2 (ja) | オンパケツゾウホウ オヨビ オンパケツゾウソウチ | |
| Nikoonahad | Recent advances in high resolution acoustic microscopy | |
| JPH0330105B2 (ja) | ||
| JPS6131961A (ja) | 超音波顕微鏡 | |
| JPS6070350A (ja) | 光学顕微鏡を併設した超音波顕微鏡 | |
| JPS6046458A (ja) | 超音波顕微鏡 | |
| JPS634142B2 (ja) | ||
| JPS5928362Y2 (ja) | 超音波顕微鏡 | |
| JPS5831200Y2 (ja) | 超音波集束レンズ | |
| CN109374739B (zh) | 一种基于环形面阵的超声显微镜及方法 | |
| JPH0230769Y2 (ja) | ||
| Brown | Ultrasonic imaging with an electron beam scanned PVdF sensor | |
| Chubachi et al. | Scanning acoustic microscope employing concave ultrasonic transducers | |
| JPS58118958A (ja) | 超音波顕微鏡 | |
| JPS60111152A (ja) | 超音波顕微鏡 | |
| JPS61120962A (ja) | 超音波顕微鏡用音響レンズ | |
| JPS6098353A (ja) | 超音波顕微鏡 | |
| JPH0560733A (ja) | 超音波顕微鏡 | |
| JPH0419500Y2 (ja) | ||
| JPH0232579B2 (ja) | ||
| JPS5833299A (ja) | 超音波顕微鏡 | |
| JPH0427500B2 (ja) |