JPS61277003A - ウエハ−のストリ−ト検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、半導体ウェハーのストリート位置を検出す
るウェハーのストリート検出装置に関し、特に簡易な構
成で検出精度の向上を図ることができるウェハーのスト
リート検出装置に関する。

〔従来の技術〕

第５図は例えば特開昭５８−１９１４４５号公報に示さ
れた従来のウェハーのストリート検出装置を示す回路ブ
ロック図であり、図において（１）は被検出体のウェハ
ー、（社）はこのウェハー（１）に光を投射する発光素
子、（２１１はこの発光素子（イ）からウェハー（１）
に投射される光ビーム、−はこの光ビーム（２１）がウ
ェハー（１）面で反射された反射光、−）はウニノー−
（１）と発光素子（財）との間に設けられたノ１−７ミ
ラー、（２４１はこのハーフミラ−（２８）’Ｉｋ介し
て反射光−を受光する受光素子である。また第４図にお
いて、に）はウェハー（１）のストリート、！６）はス
トリートに）の曙、（ロ）は受光素子間の距離、μｓ）
は反射光−のビーム径である。

次に上記構成に基づ〈従来装置の動作について説明する
。ウェハー（１）に発光素子−より、光ビーム（支））
をあて、このウェハー（１）からの反射光−全検出する
ことによりウェハー（１）のストリート（ロ））を探す
。第４図において受光素子（２４Ａ）と受光素子（２４
Ｂ）、受光素子（２４Ｃ’）と受光素子（２４Ｄ）がそ
れぞれストリートに）に平行になる様に配置し、ストリ
ートに）の幅Ｗ１反射光−のビーム径Ｄ１各受光素子（
２４Ａ）〜（２４Ｄ）の距離Ｌユのとき、Ｄ＞Ｗ、Ｄ）
Ｌ、、Ｌよ≧０になる様に調節し、ストリート（７）を
検出するときには受光素子（２４Ａ）の出力と受光素子
（２４Ｂ）の出力の和、受光素−’Ｒ２４ｃ）の出力と
受光素子（２４Ｄ）の出力の和がそれぞれ等しくなる様
にウェハー（１）全移動することによりウェハーのスト
リートを探知する。

〔発明が解決しようとする問題点〕

従来のウェハーのストリート検出装置は以上の′ように
構成されているので、各受光素子の出力和が各々等しく
なるようにウェハーを移動しなければならず十分な精度
のストリート検出ができないという問題点を有していた
。

また、ストリート検出の為の発、受光素子等の多くの部
品が必要で、これらの部品より送られてくる信号を処理
する為の電子回路等も複雑なものが必要である等の問題
があった０ この発明は上記の様な問題点を解消する為になされたも
ので検出精度が十分で、数少ない部品で構成でき、且つ
複雑な電子回路を用いないウェハーのストリート検出装
置を得ることを目的とする０〔問題点を解決するための
手段〕こ の発明に係るウェハーのストリート検出装置は、撮偉手
段にて送出されるウェハーパターンの画像信号を画像デ
ータ形成手段にて２値化信号の画像データを作成し、こ
の画像データに基づき投影データとマキシマム−ラン投
影データとをデータ算出手段により算出し、この投影デ
ータとマキシマム・ラン投影データとの積算値に基づき
位置検出手段にてウェハーのストリート位置を検出する
構成である。

〔作用〕

この発明におけるウニノー−のストリート検出装置は、
２値化信号にて形成される画像データより各画素列にお
ける２値化信号の総和からなる投影データ及び各走査に
おける連続信号の最大値にてなるマキシマム拳ラン投影
データを求め、この投影データとマキシマム・２ン投影
データとの積算値に基づきウェハーのストリート位置を
検出する０〔実施例〕 以下、この発明の一実施例ｔ−第１図及び第２図に基づ
いて説明する。第１図に本実施例装置の全体回路ブロッ
ク図、第２図に画像データのパターン対応図を示し、第
１図において、（１）は被検出体であるウェハー、（２
）はこのウェハー（１）の斜め上方に設けられた照明ラ
ンプ、（８）はウェハー（１）上方に設けられたしンズ
、（４）はＣＯＤイメージセンナ、（６）はＣＯＤイメ
ージセンサ（４）の出力を増幅等の処理を行なうコント
ローラ、（６）は計算機、（テ）は計算機（６）より出
力されるディジタル信号の閾値の数値をアナログ化する
Ｄ　／　Ａ変換器、（８）はＤ　／　Ａ変換器（γ）よ
り出力される信号とコントローラ（５）より出力される
信号を比較す°る比較器、（９）はウェハー（１）を計
算機（６）エフ出力される指令に従って、Ｘ、　Ｙ移動
させる移動装置である。

また、上記第２図において、第２図（４）は画像データ
のパターンにおけるストリートが水平、垂直の形態であ
る場合であり、第２図ＣＢ）はストリートが傾斜した形
態である場合である。上記各図において、（至）は計算
機（６）に得られる２値化された画像データ、（６）は
画像データ（至）の白、即ち計算機（６）内では１１＃
の部分、（２）は上記画像データ叫の黒、即ち計算機（
６）内ではｓＱｔの部分ストリート部分である。ａ勢は
画像データ（至）の縦方向の画素列単位で黒の画素数を
カウントした縦方向投影データであり、に）はこの縦方
向投影データα鐘の閾値、聾）は画像データｃＬｏ）の
縦方向の画素列単位で黒の画素が連続している最大の長
さである黒連続長さ、ａ６）はこの黒連続長さ邸）ヲ各
画素列に対し表わし危、マキシマム・ラン投影データで
、α力はこのマキシマム・ラン投影データα６）の閾値
である０ 次に上記構成に基づ〈実施例の動作について説明する０
第１図におけるクエ／１−　（１）の画像情報は照明ラ
ンプ（２）、レンズ（８）、イメージセンサ−（４）に
よりカメラコントローラ（６）にて得られる情報と計算
機（６）よりＤ／Ａ変換器（７ンを介して出力される閾
値情報とが入力される比較器（８）で比較された後２値
化され、この２値化信号が計算機（６）に画像デ−タ（
至）の形で入力される。この計算機（６）内では、画像
データ（至）より投影データα呻及びマキシマム・ラン
投影データ■）を算出する。ここで、ストリート（２）
が水平、垂直な場合には投影データ０句エフ閾値（９）
をこえているものがあるかどうか見るのみで良い。これ
に対し第２図り８）の様にストリート（２）が傾いてい
る場合には、投影データＣｌ８）のみでは明確なピーク
は現われない。この場合マキシマム・ラン投影データ（
ト）による方法で、やはり閾値（２）を越えたものをス
トリート（至）と判断する手段をとる。

しかしこの場合でもストリート（２）が細い場合には顕
著なピークは認められない。上記の場合、投影データａ
痺、マキシマム・ラン投影データα６）共に顕著なピー
クは得られないが、ストリート■の位置で両者共やや大
きな値をとることから、投影データｏ場とマキシマムψ
ラン投影データα６ンとの掛算をして大きい値の部分を
より大きく、小さい値の部分をより小さくシ、明確なピ
ークを出すことに↓９ストリート（四ヲ判断する手段を
とる。投影データα段×マキシマム・ラン投影データ＜
１ｅｔ）に閾値を設けこれをベースにスクライプライン
の検出全行なう。尚、得られ次画像データにスクライブ
ラインが存在しなかった場合には、移動装置（９）に計
算機（６）より出力される指令を出してスクライブライ
ンの探知が完了するまで移動させる。

なお上記実施例では、投影データ、マキシマム・２７投
影データを計算機により行なったが専用電子回路にエフ
行なう構成とすることもできる◇また上記実施例ではス
クライプライン検出の場合について説明したが他の装置
の帯状検出に適用しても同様の効果を奏する。

〔発明の効果〕

以上のようにこの発明に係るウェハーのストリート検出
装置は、撮像手段にて送出されるウェハｗ　パターンの
画像信号を画像データ形成手段にて２値化信号の画像デ
ータを作成し、この画像データに基づき投影データとマ
キシマム・ラン投影データとをデータ算出手段により算
出し、この投影データとマキシマム・ラン投影データと
の積算値に基づき位置検出手段にてウェハーのストリー
ト位置を検出する構成を採ったことから、画面データに
よるパターンの白黒の各部分を顕著〜差として検出でき
ることとなり、ストリート検出の精度の向上を図ること
ができるという効果を奏する。

また、複雑な電子回路にて構成する必要がなく簡易に構
成することができる効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例に係るウェハーのストリー
ト検出装置の全体回路ブロック図、第２図は画像データ
のパターン対応図、第３図は従来装置の回路ブロック図
、第４図は各受光素子の配置図を示す。 （工）：ウエハー　　　　　（２）：照明ランプ（８）
：レンズ　　　　　　（４）：イメージセンサ（５ン：
コントローラ　　　（６）二計算機（７）：Ｄ／Ａ変換
器　　　（８）：比較器（９）：移動装置 なお、図中同一符号は同−又は相当部分を示すものとす
る。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）被検出体のウェハーパターンに斜め上方から光を
   投射する投光手段と、上記ウェハーパターンを撮像し、
   この撮像結果に基づいて画像信号を出力する撮像手段と
   、該撮像手段の画像信号を予め定められた閾値に基づき
   ２値化信号の画像データを形成する画像データ形成手段
   と、該画像データ形成手段にて出力される２値化信号の
   画像データに基づき投影データ及びマキシマム・ラン投
   影データを算出するデータ算出手段と、該データ算出手
   段にて出力される投影データとマキシマム・ラン投影デ
   ータとの積算値に基づきウェハーのストリート位置を検
   出する位置検出手段とを備えて構成されることを特徴と
   するウェハーのストリート検出装置。
2. （２）上記位置検出手段の検出結果に基づいて撮像位置
   に対するウェハーの設置位置を移動させるウェハー移動
   手段を備える構成としたことを特徴とする特許請求の範
   囲第１項記載のウェハーのストリート検出装置。