JPS61275595A

JPS61275595A - タ−ボ式分子真空ポンプ

Info

Publication number: JPS61275595A
Application number: JP61076834A
Authority: JP
Inventors: ハンス−ペーター・カスパール; ギユンター・シユツツ
Original assignee: Leybold Heraeus GmbH
Current assignee: Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
Priority date: 1985-04-04
Filing date: 1986-04-04
Publication date: 1986-12-05
Also published as: EP0196352A1; US4695223A; DE8608801U1; DE8607639U1

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】産業上の利用分野本発明は１．１つのロータおよびこのロータ用の少なく
とも１つのころがり軸受を傭°えたター２式分子真空ポ
ンプであって、ころがり軸受の不動の軸受リングがスリ
ーブの周壁に支えられており、スリーブ自体は弾性材料
から成る少なくとも２つのＯリングを介してインゾのケ
ーシング部分に支えられている形式のものに関する。

従来の技術ターボ式分子ポンプのころがり軸受へ潤滑油を供給して
、この潤滑油をロータ回転軸内の中央通路を経て軸受へ
案内することが知られている（ドイツ連邦共和国特許出
願公開第２２６３６１２号明細書参照）。この場合、ロ
ータ回転軸の下端部が潤滑媒体室内へ入り込んでいてう
ず巻ポンプとして構成されている。循環式に軸受部へ圧
送された油はたんに軸受を潤滑する機能を有しているだ
けでなくて、軸受部の範囲に発生する熱の排出にも役立
てられる。しかし。

この公知のタシーセ式分子ポンプは鉛直位置でしか使用
できないという難点を有している。

この難点を解消すると共に一層高速の回転数で作業でき
るようにするため、ターボ式分子真空ポンプにグリース
潤滑によるころがり軸受を備えることが既に知られてい
る。この場合の軸受はスピンドル軸受が特に有利である
と判っている。このスピンドル軸受は外側のスリーブに
よって弾性材料製の０リングを介して２ンプのケーシン
グに支えられる（ドイツ連邦共和国特許出願公開第３０
３９１９６号明細書参照）。

このような構成の特別な利点は次の点にある。

即ち、軸受からポンプケーシングへの振動伝達が著しく
抑制され、ひいては過回転の問題が著しく軽減されると
いうことである。しかしながら、この公知例の難点とし
て、不良熱伝導性の材料から成る０リングが熱の排出を
妨げる点をあげることができる。

本発明が解決しようとする課題本発明は冒頭に述べた形式のターぽ式分子真空ポンプに
おいて　Ｑ　＋）ング式振動減衰手段を備えているにも
かかわらず、軸受からポンプケーシングへの熱の排出が
妨げられないようにすることを課題とする。

課題を解決するための手段このような課題を本発明は次のようにして解決した。即
ち、２つのシールリングとスリーブとポンプケーシング
とによって形成されたリング室が、スリーブからその隣
接のケーシング部分への熱の流れを助長する媒体によっ
て充てんされて〜・るのである０この媒体は、例えば銅
又は青銅による波形の比較的薄い、従って可撓の薄板、
（ｌツキング又は金属繊維であってもよいが。

液状媒体およびガス状媒体の両方又はそのいずれかであ
ると特に効果的である。即ち、良好な熱伝導性を有して
いて、熱をポンプケーシングへ伝達するが軸受スリーブ
の振動を伝達することはないという利点を有する。例え
ば六フッ化イオウ（ＳＦ６）のような濃厚ガス又は油が
特に適している。多くの場合、シールリングと軸受スリ
ーブとポンプケーシングとによって形成した中間室を外
気に接続して、この中間室に外気圧が支配するようにす
ることで充分である。

実施例次に図面に示した実施例に従って本発明を詳述する：図示のターボ式分子真空−ンプ１において入口が符号２
で、入口フランジが符号３で、出口管が符号４でそれぞ
れ示されている。ステータ５およびロータ６が一部だけ
図示されている。

ステータ５はスペーサリング８を間に配置した多数のス
テータ羽根リング７から成っている。

ステータ羽根リング７およびスペーサリング８から成る
系はほぼ円筒状に構成されたケーシング区分９によって
一括して保持される。第２図の実施例の場合このような
ステータの各部の詳細は省略して図示されている。

第１図および第３図の実施例の場合、ロータ６はそのロ
ータ羽根１１と一体に構成されていて回転軸１２に固定
されている。第２図の実施例の場合ロータ６は中央の不
動の支承軸１０上に支承されている。

第１図の実施例忙おいては回転軸１２がターイ式分子、
真空ポンプのケーシング部分１３内でスピンドル軸受１
４を介して支承されている。

この回転軸１２の下端部には駆動モータ１６のアンカ１
５が固定され【−いる。

スピンドル軸受１４はｒイッ連邦共和国特許出願公開第
３０３９１９６号明細書に記載の構造形式をなしており
、２つのころがり軸受１７（１つだけ図中に見える）か
ら成っていて、その転動体１８が直接回転軸１２上で相
対的にころがり運動を生ずる。不動の軸受リング１９が
スリーブ２１の内壁に支えられている。スリーブ２１は
外周面にシールリング２５，２６．２７用の３つのリン
グみぞ２２．２３．２４を有している。シールリング２
５．２６．２’ｌ介してスピンドル軸受１４が真空２ン
プのケーシング部分１３内に支えられており、これによ
り２つのリング室２８．２９がケーシング部分１３内に
形成されている。図示の実施例の場合リング室２９は部
分的に液体３１２例えば油を充てんされている。この充
てんは通路３２を介して行なわれる。通路３２はリング
室２９を外部に接続しており、その開口はねじ３３によ
って閉鎖可能である。液体３１はスリーブ２１から熱を
ケーシング部分１３べ導出するのに役立てられ、これに
よって特にころがり軸受１７における許容できぬ程の加
熱は避けられる。

以上の第１図の実施例の場合合計３つのシールリング２
５．２６．２７が使われていて、２つのリング室２８・
２９が形成されている。リング室２８はしゃ断ガス供給
用のリング通路として役立てられる０しゃ断ガスの目的
は上部のころがり軸受１７の上側を、軸受室およびモー
タ室に支配する補助真空圧をわずかに上回る圧力に保つ
ことである。このしゃ断ガス流の維持によって、潤滑媒
体蒸気が真空？ンプの補助真空側へ到達することは避け
られる。しゃ断ガスはフランジ３６および通路孔３７を
経てリング室２８に供給される。上部のころがり軸受１
７の上側にスリーブ２１および不動の軸受リング１９が
それぞれ孔３８．３９を有している。これらの孔３８．
３９からしゃ断ガスが補助真空室の吐出側へ流れ、出口
管牛に接続されている補助真空インゾ（図示せず）によ
って吸い出される。

第２図の実施例の場合、ロータ６が軸受４１．４２・ス
リーブ４３・シールリング４４．４５を介して不動の支
承軸１０上に支承されている。このロータ６の駆動は外
部ロータ型の駆動モータ＋０によって行なわれる。スリ
ーブ４３からターボ式分子真空ポンプ１のケーシングの
一部である不動の支承軸１０へ可能な限り妨げのない熱
伝達が行なわれるように、支承軸１０゜シールリング４
４．４５およびスリーブ４３によって形成されるリング
室４６が、通路４７を介して外気に通じている。

第３図の実施例の場合には、回転軸１２が２つの別個の
ころがり軸受５１．５２によって支承されており、各こ
ろがり軸受５１．５２は駆動モータ１５．１６の上側お
よび下側に位置している。不動の軸受リング５３．５４
は同時にス（リーブをなしていて、各２つのシールリン
グ５．６，５７；５８，５９を介してそれぞれケーンフ
グ部分６１．６２内に支持されている０これによって、
リング室６３．６４が形成されている。このリング室６
３．６４は孔６５．６６を介して大気に連通している。

これによってリング室６３．６４内には大気圧下の空気
が存在しており、この空気が軸受からそれぞれ隣接のケ
ーシング部分への熱伝達を保証する。

本発明の効果本発明によれば、不良熱伝導性の材料から成るシールリ
ングによる減衰手段が存在するにもかかわらず、軸受か
らターぜ式分子真空ポンプのケーシングへの妨げのない
熱の排出が行なわれる。それ以上の熱の排出のためには
、ターボ式分子真空ポンプのケーシング自体を例えば水
冷又は空冷によって冷却することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のターボ式分子真空ボ／ゾの第１の実施
例の部分縦断面図、第２図は第２の実施例の部分縦断面
図、第３図は第３の実施例の部分縦断面図である。１・・・ターボ式分子真空ポンプ、２・・・入口、３・
・・入口フランジ、４・・・出口管、５・・・ステータ
、６・・・ロータ、７・・・ステータ羽根リング、８・
・・スペーサリング、９・・・ケーシング区分、１０・
・・支承軸、１１・・・ロータ羽根、１２・・・回転軸
、１３・・・ケーシング部分、１４・・・スピンドル軸
受、１５・・・アンカ、１６・・・駆動モータ、１７・
・・ころがり軸受、１８・・・転動体、１９・・・軸受
リング、２１・・・スリーブ、２２．２３．２４・・・
リングみぞ。２５．２６．２７・・・シールリング、２８　、２９・
・・リング室、３１・・・液体、３２・・・通路、３３
・・・ねじ、３６・・・フランジ、３７・・・通路孔、
３８゜３９・・・孔、４０・・・駆動モータ、４１．４
２・・・軸受、４３・・・スリーブ、４４．４５・・・
シールリング、４６・・・リング室、４７・・・通路、
５１．５２・・・ころがり軸受、５３．５４・・・軸受
リング、５６．５７．５８．５９・・・シールリング、
６１゜６２・・・ケーシング部分、６３・６４“°°リ
ング室・←−

Claims

【特許請求の範囲】１、１つのロータおよびこのロータ用の少なくとも１つ
のころがり軸受を備えたターボ式分子真空ポンプであつ
て、ころがり軸受の不動の軸受リングがスリーブの周壁
に支えられており、スリーブ自体は弾性材料から成る少
なくとも２つのＯリングを介してポンプのケーシング部
分に支えられている形式のものにおいて、２つのシール
リング（２６、２７；４４、４５；５６、５７；５８、
５９）とスリーブ（２１、４３、５３、５４）とポンプ
ケーシング（１３、１０）とによつて形成されているリ
ング室（２９、４６、６３、６４）が、前記スリーブか
ら隣接のケーシング部分への熱の流れを助長する媒体で
充てんされていることを特徴とする、ターボ式分子真空
ポンプ。２、熱の流れを助長する媒体が液体およびガス体の両方
の内少なくとも一方である、特許請求の範囲第１項に記
載のターボ式分子真空ポンプ。３、２つのシーリングとスリーブとポンプケーシングと
によつて形成されたリング室が油のような液体で部分的
に充てんされている、特許請求の範囲第２項に記載のタ
ーボ式分子真空ポンプ。４、リング室が六フッ化イオウ（ＳＦ＿６）のような濃
厚ガスで充てんされている、特許請求の範囲第２項に記
載のターボ式分子真空ポンプ。５、２つのＯリングとスリーブとポンプケーシングとに
よつて形成されたリング室（２９、４６、６３、６４）
が波形の薄板パッキング又は金層繊維で充てんされてい
る、特許請求の範囲第１項に記載のターボ式分子真空ポ
ンプ。６、リング式（２９、４６、６３、６４）が外気へ開放
されている、特許請求の範囲第１項又は第２項に記載の
ターボ式分子真空ポンプ。７、スリーブ（２１）が３つのシールリング（２５、２
６、２７）を介してポンプケーシング内に支えられてお
り、このようなスリーブの支持によつて形成された両方
のリング室（２９、２８）の内一方のリング室（２９）
が熱の流れを促進する媒体を保有していて、他方のリン
グ室（２６）はしや断ガス供給通路として使われている
、特許請求の範囲第１項から第６項までのいずれか１項
に記載のターボ式分子真空ポンプ。８、しや断ガス供給通路として使われる方のリング室（
２８）がロータ側に位置する軸受（１７）の範囲に配置
されていて、軸受（１７）のロータ側においてポンプの
補助真空室と接続されている、特許請求の範囲第７項に
記載のターボ式分子真空ポンプ。９、しや断ガス用の供給通路（３７）が軸受（１７）の
ロータ側とは反対側においてリング室（２８）に通じて
いる、特許請求の範囲第８項に記載のターボ式分子真空
ポンプ。１０、スリーブと、ポンプケーシングにＯリングを介し
て支えられている不動の軸受リングとが同一構造部材で
ある、特許請求の範囲第１項から第９項までのいずれか
１項に記載のターボ式分子真空ポンプ。１１、水又は空気による冷却系を備えている、特許請求
の範囲第１項から第１０項までのいずれか１項に記載の
ターボ式分子真空ポンプ。