JPS61272676A

JPS61272676A - 放射エネルギ分配検出装置

Info

Publication number: JPS61272676A
Application number: JP1120886A
Authority: JP
Inventors: ジエムス　エル・グリフイン
Original assignee: Illinois Tool Works Inc
Current assignee: Illinois Tool Works Inc
Priority date: 1985-05-24
Filing date: 1986-01-23
Publication date: 1986-12-02
Also published as: CA1265111A; AU4810585A; EP0204436A1

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は標的領域のまわりに放射エネルギを分配して、
標的領域から反射ないし戻される放射エネルギを検知す
る改良された放射エネルギ分配検出装置に関し、該装置
は、はｇその見掛けの源に８いて反射ないし戻される放
射エネルギ火検知する様て形成される。

（従来の技術）本発明の装置は広い範囲の用途に有用であるが、この開
示は標的領域内の物体の位置を定める装置への該装置の
使用にｌ持に関連することによって容易になる。標的領
域毎の物体の位置を定める装置は本特許出願人の特開昭
３９−２／／／、２ｇ号に開示されている。

光学的な装置ないし機器に関する２つの関連する設計問
題は装置内の光の損失と、装置が使用される操作環境に
存在する周囲光線の影・響に対する装置の感受性とであ
る。周囲光線に対する感受性を低減するのに従来使用さ
れた手段には、使用される光の濾過と、検出器装置に周
囲光線が当るのを阻止するために装置の放射エネルギ検
出器に隣接してバッフルまたは同様な装置を設置するこ
とがある。又、光損失の問題はその各々が検出器に到達
する正味の放射エネルギを固有に低減する付加的な濾過
装置によびバフ０− ツフル装置の設置てよって悪化する。

これ等の問題に対して従来使用さ７′した解決方法は、
一般に装置の付加的な製造費と、適正かつ正確な作用ケ
保証するための装置の種々な要素に対するイ・」加的な
厳しい整合要件の賦課と４′生じた。その上、成る従来
技術装置の標的ｆｉｔ域を横行する光線の散乱は装置の
解（象度の制限ン屡々生じた。

不特許出願人は／９ｇ’１年１月／／日付の米国特許出
願第３９９，７３１号で標的領域へ放射エネルギを供給
すると共に、放射エネルギの標的領域の横行後に放射エ
ネルギを標的領域へのその入口個所へ戻す様に形成され
る走査装置を使用するエネルギ分配検出装置を提案した
。この装置は走査装置ないし走査組立体に向い主ビーム
路に沿って第１方向へ平行にした光線を放射するレーザ
ダイオードの様な放射エネルギ放射装置を使用する。こ
の走査組立体は別々の放射エネルギビーム乞標的領域を
横切って走査可能に分配し、該標的領域力・ら戻る別々
の放射エネルギビームを走査する。この装置は放射装置
から走査組立体へ放射エネルギを再方向づけするビーム
スプリッタと、走査組立体から戻る放射エネルギの存在
を検知する検出器とを更に使用する。

ビームスプリッタ装置は放射装置からの入射ビームと、
標的領域から走査組立体を経て第１、第２ビーム成分へ
戻る入射ビームの両者ケ分割する様に主ビーム路内に位
置している。第１ビーム成分は両者の場合の入射ビーム
のはｇ連続であり、第２ビーム成分はそれから角度的に
変位する。作用の際、ビームスブリック装置は各々の場
合に入射ビームに含まれる放射エネルギをこれ等の第１
、第２ビーム成分の間には父均等に分割する。放射され
るビームから得られる第１、第２ビーム成分の１つのみ
がビームスプリッタから標的領域へ方向づけられる。同
様に、検出器装置は走査組立体ケ経て標的領域から受け
る戻りビームに応答してビームスプリッタ装置によって
生じる第１、第２ビーム成分の１つを受ける様に設置さ
れる。従って、検出器は標的領域に対する走査装置の所
定の方向に対して光の存在または欠如を検出する様に作
用′１−る。

上述のビームスプリッタを使用すると、検出器装置に入
射するビームに存在する正味の放射エネルギはかなり減
少させられる。即ち、ビームスプリッタは標的領域へ入
るビームと、標的領域から走査組立体を経て戻るビーム
の両者の正味の放射エネルギ乞事実上、半分にする。

従って、放射装置によって最初に生じた光の最大２！；
　％のみしか検出器装置での検出に利用できない。しか
し、上述の装置は上記米国特許出願筒５９９．／、？／
号に詳細に記載した利幅的な構造の使用で解像度を著し
く向上する。

（発明の目的Ｘよび要約）従って、本発明の目的は光の見掛けの源ないし根源には
ｙ一致させて検出器を設置すると同時に上述の装置で経
験された光の損失を排除することにより、上述の装置の
精度旧よび解像度ケ維持して、作用を更に向上させるこ
とである。

従って、本発明の一般的な目的は高いレベルの周囲放射
エネルギを有する環境に？いて著しい感度？よび解像度
を保持して標的領域から反射される放射エネルギを検知
する改良されたエネルギ分配検出装置を提供することで
ある。

関連する目的は放射エネルギの拡散特性によびその他の
消散特性を軽減することによって改良された解像度を有
する改良された放射エネルギ分配検出装置を提供するこ
とである。

本発明の別の目的は製造するのに比較的安価で、しかも
著しく信頼性のある改良された放射エネルギ分配検出装
置を提供することである。

要約すると、本発明は標的領域から反射される放射エネ
ルギを検出する装置に使用する改良された放射エネルギ
分配検出装置を提供するものであって、放射エネルギン
発生して放射する放射装置と、放射エネルギを再方向づ
げする装置と、放射エネルギの存在な検知する検出器装
置とを備え、該放射装置は静止して主ビーム路に清って
第１方向へ再方向づげされる様に該再方向づけ装置に向
って放射エネルギのビームを一／グー放射し、前記検出器装置は該主ビーム路に沿って該第１
方向とばはｙ反対の第２方向へ逆に前記標的領域から反
射される放射エネルギを検出する様に該主ビーム路に溢
って配置され、前記再方向づけ装置は走査装置と該検出
器装置との間で主ビーム路に゛間挿され、該主ビーム路
（Ｌ清って該第２方向へ進む入射ビームの少（とも一部
に該検出器装置による検出のために該主ビーム路乞通過
するの欠許容する様に形成され、該検出器装置はこれに
より、前記放射装置から該再方向づけ装置によって該主
ビーム路へ供給される前記放射エネルギの見掛けの源に
はｇ一致して該主ビーム路に清って設置される。

以下、添付図面を参照して本発明の詳細な説明する。

（実施例）先ず第１図ケ参照して、本発明の標的領域にある物体の
位置乞決定する装置に付いて説明する。この装置は第１
図に１０で示しである。装置ＩＯは表面に対する、特に
、電算機端子等のスク１１−ンの表面に対する指の様な
物体ないし障害物の存在と位置を検出するのに使用１−
る。一般に、タッチスクリーン装置はブラウノ管その他
の表示スクリーンの前に光カーテンン形成するオーバー
レイの形態を取り、従って、このカーテンの侵入は該装
置によって検出可能である。

その上、指その他の物体による侵入はスクリーンに表示
される項目を選択または指示する様な特定の用途のため
にスクリーンに対１−るその位置を固定する様に解釈さ
れる。

タッチスクリーンないし光学位置決め装置１０ばはＸ：
＠線で囲まれたハウジング／コを有し、ハウジング／ｄ
はその要素ケ適当な相対的位置に維持すると共に、物体
の位置をその中で定めるべきはｇ直線で囲まれる標的領
域／４’；７限定する。

鏡／６の様な平らな反射体と、逆反射体／ｇと、逆反射
組立体ごとはハウジング／：ｌ内の標的領域／グのまわ
りに配置される。この逆反射組立体２０は逆反射体スト
リップｎと、該ストリップ２２に隣接して階段状に配置
された複数の逆反射体要素２＋！とで構成される。図式
的に３０で示した本発明の改良された放射エネルギ分配
検出装置が装置１０の一隅に配置される。

光学位置決め装置１０の作用を簡単に述べると、物体な
いし障害物３．２．３’ｌ、３乙の相対的な位置は６角
法によって定められる。光綜侵、停、グ乙が装置３０か
ら放射される。光線侵は両瞳害物３．２．３’ｌに交り
、一方、光線件は障害物３乙に交る。光線ｌｌＡは最初
に鏡／乙に当った後、その入射角に等しくかつ反対の角
度の光線’ＩＡａとして反射され、両物体ないし障害物
３グ、３乙に交る。同様に、光線仰も障害物３二に交差
する様に光線停αとして鏡／６から反射される。

上述により、各障害物は２つの異なる角度で装置３０か
も放射される２本の別個の光線と交る。

従って、これ等の交る光線の各々の角度ヶ測定すること
により、障害物の座標は通常の３角法によって容易に定
められる。更に逆反射体／Ｓ、２０はそれ自体の上で直
接逆に光線を反射する。

この現象は光線’４．２．４’ダα、り乙、ダ６αに両
方向の矢印を付して示した。従って、装置３ｏ内に含ま
れる検出器要素は光線侵、ｐ＜ｚ、＜＜ｘの少くとも２
本の別個の光線の通路に沿って障害物３コ、３１１．３
６の各々を検出する。この検出器は光線が方向づけられ
る各通路の戻り光線の有無によって物体の位置ン定める
。

上記光学位置決め装置は前述の米国特許出願第ダ９．２
１ｇ！；９号に記載されているので、これ以上の説明は
省略する。

次に残りの図面を参照し１本発明による放射エネルギな
いし光の分配検出装置３０ｑ光学位置決め装置ｌ０ＶＣ
使用される回転走査組立体５ｏＶｃ関連して説明する。

しかし本発明はこの回転走査装置に限定されるものでは
ない。

要約すると１回転走査装置ＳＯはフレーム／２の夫々の
平行な側壁／−α、　／２ｂの間で回転する様に装着さ
れたハウジング、ｔ、２ｉ備えている。ハウジング３−
はフレームの側壁／２ａ、　／２ｂの面にはｙ垂直な回
転軸心Ｓ６のまわりに好適な駆動装置Ｓダによって回転
される。この駆動装置はモータ欠食んで一／Ｓ− もよい。鏡見の様な反射装置を鏡ｓｇが標的領域／グへ
、また該領域からの双方１ｃ　ｊ６いて受けるエネルギ
のビームを再方向づけする如く、ハウジングが駆動装置
に応答して回転する際に該ハウジングと一緒に回転する
様に該ハウジング硝内に装着する。従って、放射エネル
ギのビームは標的領域／ｌｌン横切ってはｇ走査され、
同様に。

鏡／６と逆反射体／ｇ、２１）からの戻りのエネルギビ
ームは標的領域／グを横切って走査する際、鏡ｓｇによ
って再方向づげされる。

本発明は標的領域／ｌＩに放射エネルギを分配すると共
に、該領域から反射ないし戻される放射エネルギを集め
る二つのことを走査組立体ＳＯで行う。その上、駆動装
置！ｒダの回転は光の速度に対して充分に遅く、従って
標的領域からの戻りないし反射される放射エネルギビー
ムは、標的領域へ鏡によって方向づけられる対応するビ
ームと殆んど同時に鏡に受けられる。また、この現象は
第１図に示す２重の光線グー、ｌＩケ、１ｌ−６と、こ
れに関連する両方向矢印とによってはｇ示される。

本発明によると、上述の様に標的領域／グに分配する放
射エネルギないし光をハウジング５．２に導入するため
に発光装置ＡＯを設ける。この発光装置は白熱電球でも
よいが、好ましくは発光ダイオード（ｒ、ｇＤ）であり
所望によりレーザダイオードを備えてもよい。後述の様
に、また、検出器６．２をハウジング５．２の外部に設
け、これは感光装置、好ましくはフォトトランジスタを
備えている。本発明にとって好適なフォトトランジスタ
６．２は赤外線感応フォトトランジスタでアリ、従って
、ＬＥＤ　６０は好ましくは、主にスペクトルの赤外線
部分の光ないし放射エネルギを放射する。スペクトルの
所定の部分への光の制限は、本発明の装置と共に位置決
め装置１０への周囲光線の影響を制限するのに有利であ
ると思われる。

ＬＥＤ　１０からの光線は、好ましくはレンズ部分６／
から出るはｙ平行な線Ａｌｌで示す様に、レンズ部分６
／によって最初に平行にされる。このレンズ部分は、好
ましくはＬＥＤ　４θの一部を形成する。

集束し／ズ（第ルンズ）６６を光書方向づけ装置（第１
鏡）乙Ｓの所定の領域に光線６１Ｉを集束するために設
ける。再方向づけ装置訂は走査装置ないし走査組立体５
００反射装置ないし鏡（第２鏡）見に向ってはｇ収斂す
る態様で主ビーム路６９に清って第１方向へ符号６ｇで
示す様に光線を再方向づける。

ハウジング３．２は、回転に関係なくノ・ウジングへの
放射エネルギビームｔ、ｇの進入を可能にする様に、回
転軸必見と共に主ビーム路６９を中心とした第１孔７０
を備えている。受けた放射エネルギビームを標的領域／
グに分配するため、ハウジングの第２孔？ｕはハウジン
グから標的領域へビームが入るのを可能にする様に適当
に位置している。また、この第２孔７．２は標的領域か
らの戻りの放射エネルギビームがハウジングに進入した
後、該ハウジング内の反射装置ないし鏡！ｒｇへ進むの
を可能にする。

好ましくは、孔フコに隣接してコリメーレンズ（第２レ
ンズ）　′ｌｌｌを設け、放射エネルギビーム−，２／
　− を平行光線７Ａとして標的領域へ分配する。従って上述
の逆反射体の作用による戻りビームはは２同−の平行光
線フルになる。従って、レンズ７ダは戻りビームを鏡見
に発散させる様にも作用し、鏡５ｇはこれ等のビームを
検出器６．２の方向へ主ビーム路６９に活って収斂する
。このため検出器６−は主ビーム路６９に整合して配置
する。

第２孔′７コを通ってハウジング５．２から出る放射エ
ネルギビームは、ハウジングが回転する際、標的領域／
ｌＩを走査する。上述の様にノ・ウジングの回転速度は
放射エネルギビームないし光線の速度に対して充分に遅
く、従って戻りビームは標的領域から殆んど即座にノ・
つ・レンズに再進入する。戻りビームは第２孔７．２を
通って進入し、反射装置ないし鏡！ｒ＆から反射され、
主ビーム路６デに清い上述の第１方向とは反対の第２方
回へ第１孔７０を通る。

本発明の好適態様によると、再方向づげ装置は貫通孔ｇ
ｏを有する鏡を備えている。第２図に示す様に、この鏡
ｔＳは主ビーム路６９に中心を合一、２２− わせだ貫通孔ｇｏを有する。その上、検出器Ｕは貫通孔
ｇｏの背後に隣接すると共に、主ビーム路Ａ９に整合し
て配置する。従って、走査装置ないし走査組立体！Ｏか
ら主ビーム路、４？に治って進む戻りビームは貫通孔ｇ
ｏを通って検出器Ａ、２へ方向づけられる。前述の様に
レノズフダおよび鏡見の作用によるこれ等の戻りビーム
の収斂は貫通孔８０を通って検出器６コにビームを収斂
させる。

最も有利には、レンズ見は貫通孔ｇ０の回りにはｇ環状
のバター／ｇ、２で鏡６５に放射装置ないしＬＥＤ　Ａ
Ｏから放射されるビームを収斂させる様に選択して設置
する。従って、ビームが検出器６コによって検出される
位置は、鏡６５の表面におけるこれ等の放射ビームの見
掛けの源にはＶ一致する。第６図で示した様に、この環
状パターンｇ２は貫通孔８０をはｙ包囲する。その上、
鏡彷は貫通孔８０がそれを通って延び、放射装置ないし
ＬＥＤ　４θからの光の環状のパターンｇ２がその上に
レンズ６６によって分配されるはｙ平らな反射面ｇりを
有する。

−：１３− 図示の実施例では鏡Ｈの面に導かれる戻りビームの視野
の深さを制御する付加的な装置が設けである。孔フ一は
第４図に示した様に、好ましくは細長い矩形のスリット
として形成する。鏡ｓｇ上に集束される戻りビームに関
してレンダラｌで達成される焦点の視野の深さをこれに
よって最大限にする様に、スリットは狭い短辺を有する
。しかしながら、その長辺は該孔を通過するのを許容さ
れる正味の放射エネルギを最適化ないし最大限にする様
に著しく長い。従って、孔７コの面線で囲まれた形状は
走査装置ないし走査組立体Ｓθの焦点の視野の深さと、
検出器Ｉ−へ最終的に戻る正味の放射エネルギとの両者
を最適化する。この特徴は、例えば標的領域／４’内の
物体の位置の検出における装置の解像度を更に改善する
。

尚、上述の実施例では、走査装置ないし走査組立体Ｓθ
は走査ビームの形態で標的領域に光を供給すると同時に
、標的領域からの戻りないし反射される光線を走査ない
し受信する。従って、上述の実施例の解像度は標的領域
へ光を供給すると共に、該領域から光を受ける走査装置
を利用することによって更に向上する。

好適実施例の幾つかの詳細を述べると、孔ｇ。

は好ましくは円形であり、は父ｏ、ｓｏｇ網（０，０コ
０〃）のオーダのは径を有する。反射装置ないし鏡ｓｇ
は放射装置からの放射エネルギのビームおよび標的領域
／ｌｌがらの戻りビームをほに直角に再方向づけする様
に配置されるはｙ平らな反射面５９を有する。同様に、
鏡６Ｓの反射面８グは放射装置からのビームを主ビーム
路に沿っては、！１″厘角に再方向づけする様に同様に
配置される。従って、放射装置ないしＬＥＤ　１．０は
主ビーム路６ｑの一側部に位置決めないし配置する。

本発明の装置はこ〜に図示説明した実施例に限定されな
い。例えば、鏡６Ｓは同様な態様に方向づけられる平坦
面を有し、これにより放射装置ないしＬＥＤｌ、０から
の光の釣機を走査装置旬に供給スるビームスプリッタな
いしハーフミラ−に置換えてもよい。該ビームスプリッ
タを使用−，２５− すれば、再方向づけ装置は破線で示すマスクないしカバ
一部材／ｇＯを設ける。このマスク／８θは検出６乙Ω
に到達するのを境ヤｇからはＶ貫通孔８θに集束される
光のみに許容する様に鏡ｂｓの貫通孔ｇｏとはｙ同様の
貫通孔ｇｏσ、を有する。貫通孔８０αは、勿論孔ｇｏ
と同様な態様で主ビーム路Ａ９と回転軸心Ｓ６に整合す
る。その上、レンズ６６は上述のものとは２同−であり
、鏡６りに置換えられるビームスプリッタの表面上には
ｒｉ状に光を集束する。この環状の形状は、マスクｉｇ
。

の貫通孔８θσの投射に相当するビームスプリッタの領
域をはｇ同心状に密に包囲する。しかし、最初に述べた
構成は上述の様にビームスプリッタの使用に固有の損失
が無いため、好適である。

この点では、鏡ＡＳの反射面ｇｔｉは貫通孔ｇｏを有す
るマスクとして考えることができる。

その上、本発明の装置はこ〜に記載した光学的位置測定
装置に加えてまた関連して多くの用途に利用されてもよ
い。この点で本発明は所定の標的領域ないし区域からの
反射光線または該＝２Ａ− 光線の欠如を検知ないし検出する任意のシステムに関連
して有効に用いることができる。即ち、本発明は監視す
べき標的領域ないし面積に対する単一の側部または単一
の位置に配置すべき任意の装置に同様に有用であり、こ
のとき該検出器は放射エネルギないし光の見掛けの源と
はｇ同一の位置を占めることが望ましい。この適用はバ
ーコードリーダまたはバンチテープ等のための様なその
他の光学リーダを包含する。付加的な適用は反射型モー
タ速度検出器、盗難警報機、ビデオ／オーディオディス
クリーダ等を含む。

以上、本発明の特定の実施例を図示説明したが、本発明
はこ〜に述べた特定の実施例および特別な構造によって
限定されず、特許請求の範囲に記載された技術思想の枠
内で設計を変更して実施することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を用いた洋学的位置決定装置
の図式的な正面図、第２図は第１図−、ｌ’ｌ’− に用いた本発明の放射エネルギ分配検出装置の図式的な
側面図、第６図は第２図の６−６線での拡大図、第４図
は第２図の４−４線での拡大図で、図中、１０はタッチ
スクリーン（光学位置決め装置）、／ｌＩは標的領域、
３θは放射エネルギ分配検出装置、５０は走査装置（走
査組立体）１、ｌｔ、２はハウジング、Ｓ４１は１駆動
装置、銘は回転軸心、ｓｇは第２鏡第２反射装置、５７
は鏡の反射面、６０は光放射装置（発光装置、ＬＥＤ）
、Ａ／はレンズ部分、乙コは検出器（フォトトランジス
タ）、乙グは平行な線（光線）、訂は光害方回づけ裟ｆ
ｉｔ　１ｆａ　１　鏡、６Ａは集束レンズ、第ルンズ、
６ｇはビーム、６９は主ビーム路、′７０は第１孔、′
／、２は第２孔、′７１Ｉはコリメーテイ７グレンズ、
第２レンズ、８０は貫通孔、８θαはマスクの貫通孔、
ｇ、２は環状パターン、８ケは再方向づけ装置の反射面
、／８θはマスク（カバ一部材）を示す。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）標的領域から反射される放射エネルギを検出する
装置に使用する放射エネルギ分配検出装置において、放射エネルギを発生して放射する放射装置と、放射エネ
ルギを再方向づけする装置と、放射エネルギの存在を検
知する検出器装置とを備え、前記放射装置は静止して、
主ビーム路に沿い第１方向へ再方向づけされる様に前記
再方向づけ装置に回つて放射エネルギのビームを放射し
、前記検出器装置は、該主ビーム路に沿つて該第１方向
とはほゞ反対の第２方向へ逆に前記標的領域から反射さ
れる放射エネルギを検出する様に該主ビーム路に沿つて
配置され、前記再方向づけ装置は走査装置と該検出器装
置との間で該主ビーム路に設けられ、該主ビーム路に沿
つて該第２方向へ進む入射ビームの少くとも一部に該検
出器装置による検出のために通過するのを許容する様に
形成され、該検出器装置がこれにより前記放射装置から
該再方向づけ装置によつて該主ビーム路に供給される前
記放射エネルギの見掛けの源にほゞ一致して該主ビーム
路に沿つて設置される放射エネルギ分配検出装置。
（２）特許請求の範囲（１）の放射エネルギ分配検出装
置において、前記再方向づけ装置と前記標的領域との間に配置され、
ハウジングと、回転軸心のまわりに該ハウジングを回転
する駆動装置と、該ハウジング内に取付けられ放射エネ
ルギのビームを再方向づけする第２反射装置とを有する
走査装置を更に備え、該ハウジングは該回転軸心と主ビ
ーム路にほゞ中心を合わせた第１孔を有し、従つて、前
記再方向づけ装置からの放射エネルギの前記ビームは該
ハウジングの回転に関係なく該第１孔を通つて該ハウジ
ングに入り、前記第２反射装置は該ハウジングの第２孔
を介して放射エネルギのビームを再方向づけする様に該
ハウジング内に適切に取付けられ、該ハウジングが所定
の回転速度で回転する際、該第２孔を通つて該ハウジン
グから出る放射エネルギのビームが前記標的領域を走査
する如く前記分配検出装置が定置され、その回転速度が
前記主ビーム路に沿つて前記第２方向へ前記第１孔を通
つて前記第２反射装置から反射される様に該第２孔を通
り戻りビームとして該ハウジングに殆んど瞬間的に再進
入するのを該標的領域から反射される放射エネルギのビ
ームに許容するのに充分に遅い放射エネルギ分配検出装
置。
（３）特許請求の範囲（１）の放射エネルギ分配検出装
置において、前記再方向づけ装置は前記検出器装置とは反対側に面す
るほゞ平坦な反射面と、該反射面を貫通して該検出器装
置および前記主ビーム路にほゞ中心を合わせた貫通孔と
を有する第１鏡を包含する放射エネルギ分配検出装置。
（４）特許請求の範囲（３）の放射エネルギ分配検出装
置において、前記貫通孔がほゞ円形で、ほゞ０．５０８ｍｍ（０．０
２０″）のオーダの直径を有する放射エネルギ分配検出
装置。
（５）特許請求の範囲（２）の放射エネルギ分配検出装
置において、前記第２反射装置がほゞ平坦な反射面を有する第２鏡を
包含する放射エネルギ分配検出装置。
（６）特許請求の範囲（１）の放射エネルギ分配検出装
置において、前記放射装置が放射エネルギの平行ビームを生じる装置
を有する放射エネルギ分配検出装置。
（７）特許請求の範囲（６）の放射エネルギ分配検出装
置において、前記放射装置がＬＥＤを有する放射エネルギ分配検出装
置。
（８）特許請求の範囲（６）の放射エネルギ分配検出装
置において、前記放射装置がレーザダイオードを有する放射エネルギ
分配検出装置。
（９）特許請求の範囲（３）の放射エネルギ分配検出装
置において、前記貫通孔をほゞ包囲する前記第１鏡の領域上に前記放
射装置によつて生じる放射エネルギのビームを集束する
様に、該放射装置と該第１鏡との間に間挿される第１レ
ンズ装置を更に備えた放射エネルギ分配検出装置。
（１０）特許請求の範囲（１）の放射エネルギ分配検出
装置において、前記再方向づけ装置が貫通孔のあるマスクを限定する装
置を更に有し、該貫通孔が前記検出装置および主ビーム
路に対してほゞ中心を合わせ、前記放射装置によつて生
じる放射エネルギのビームを前記貫通孔を包囲するほゞ
環状のパターンで前記平坦な再方向づけ装置上に方向づ
ける様に配置される第１レンズ装置を更に備えた放射エ
ネルギ分配検出装置。
（１１）特許請求の範囲（２）の放射エネルギ分配検出
装置において、前記第２孔を通つて出る放射エネルギの前記再方向づけ
られたビームを平行にして、該第２孔を介して受ける前
記標的領域からの前記反射された放射エネルギを前記第
２反射装置上に集束するため、該第２反射装置と該第２
孔との間に間挿される第２レンズ装置を更に備えた放射
エネルギ分配検出装置。
（１２）特許請求の範囲（１１）の放射エネルギ分配検
出装置において、前記第２孔が矩形であり、前記第２レンズ装置の集束の
視野の深さを最適化する短辺と、該第２レンズ装置を通
過するのを許容される放射エネルギの量を最適化する長
辺とを有する放射エネルギ分配検出装置。
（１３）特許請求の範囲（３）の放射エネルギ分配検出
装置において、前記第１鏡の反射面が前記放射装置からの放射エネルギ
のビームをほゞ直角に再方向づけする様に配置され、該
放射装置が前記主ビーム路の一側に配置された放射エネ
ルギ分配検出装置。
（１４）特許請求の範囲（５）の放射エネルギ分配検出
装置において、前記第２鏡の反射面がそれに入射する放射エネルギのビ
ームをほゞ直角に再方向づけする様に配置された放射エ
ネルギ分配検出装置。
（１５）放射エネルギを所定の標的領域へ分配して該標
的領域から反射される放射エネルギを検知する放射エネ
ルギ分配検出装置において、放射エネルギを発生して放
射する放射装置と、該放射エネルギを前記標的領域へ方
向づける装置と、該標的領域から反射される放射エネル
ギを受ける走査装置と、前記放射装置からの放射エネル
ギを主ビーム路に沿つて第１方向へ再方向づけする反射
装置と、放射エネルギの存在を検知する検出器装置とを
備え、走査装置が前記標的領域から反射される前記放射
エネルギを前記主ビーム路に沿つて前記第１方向とはほ
ゞ反対の第２方向へ戻し、前記検出器装置が該第２方向
へ進む該放射エネルギを受ける様に該主ビーム路に整合
し、前記反射装置が前記走査装置と該検出器装置との間
で該主ビーム路に間挿され、該検出器装置による検出の
ためにそれを通過するのを該主ビーム路に沿つて該第２
方向へ進む放射エネルギに許容する様に、該主ビーム路
および該検出器装置に整合する貫通孔を有し、これによ
り、該検出器装置が該主ビーム路に沿つて前記第１方向
へ方向づけられる放射エネルギのほゞ見掛け源に設置さ
れる放射エネルギ分配検出装置。