JPS61265848A - 集積回路用パツケ−ジ - Google Patents

集積回路用パツケ−ジ

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JPS61265848A
JPS61265848A JP60108051A JP10805185A JPS61265848A JP S61265848 A JPS61265848 A JP S61265848A JP 60108051 A JP60108051 A JP 60108051A JP 10805185 A JP10805185 A JP 10805185A JP S61265848 A JPS61265848 A JP S61265848A
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JP
Japan
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integrated circuit
circuit element
heat radiating
multilayer wiring
package
Prior art date
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Pending
Application number
JP60108051A
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English (en)
Inventor
Etsuro Sasaki
佐々木 悦郎
Takaaki Osaki
大崎 孝明
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Telegraph and Telephone Corp
Original Assignee
Nippon Telegraph and Telephone Corp
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Publication date
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    • HELECTRICITY
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    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/15Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概要] 本発明は集積回路素子を多層配線基板に搭載し、この集
積回路素子の裏面に、前記多層配線基板か、らのびた蛇
腹状スプリングの先端に固定された放熱フィンの基部に
設けた接触層が接触するように構成した集積回路用パッ
ケージであって、放熱フィンを集積回路素子に直接接触
させることにより放熱フィンに到る熱抵抗を小さくし°
C放熱効果を向上させたものであり、接触に当つ°C上
記蛇腹状スプリングのバネ作用を利用するため集積回路
素子の傾きの偏差を吸収して良好に接触させることがで
き、かつ放熱フィンの1ctを補償し、また集積回路素
子とこれを搭載した配線基板との間に過大な力が加わら
ないようにしたものである。
〔産業上の利用分野〕
本発明は集積回路用パッケージ、さらに詳しく云えば集
積回路素子の放熱効果を向上し、消費′峨力の大きい素
子の搭載を可能とした集積回路用パッケージに関する。
〔従来の技術〕
従来のこの種のパッケージは例えば第5図にその断面を
示すように集積回路素子1がアルミナ等の多層配線基板
2の上し【半田バンブ3により搭載され、プリント回路
基板4とは例えばビン5(・Cよつ°〔電気的に接続さ
れ、放熱フィン6は多層配線基板20周辺部にSい°C
固定され゛〔いた。従来技術によるパッケージは、この
ような構造であるので、この場合、集積回路素子1で発
生した熱は半田バンプ6、多層配線基板2を通って放熱
フィン6に伝えられることとなる。
〔発明が解決しようとする問題点〕
上記の従来技術に従ったこの種のパッケージにおい°C
は、集積回路素子1から放熱フィンに到る熱の伝導する
距離が長く、熱抵抗が大きくなり、熱放散能率が良好で
なく消費電力の大きな集積回路素子が収容できないとい
う問題があった。
本発明は従来技術に3ける上記問題点を解決し、熱放散
能率を向上させ消費電力の大きい集積回路素子の収容が
可能な集積回路用パッケージを提供しようとするもので
ある。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明によれば、上記の問題点は、集積回路用パッケー
ジを、集積回路素子の回路形成面全体に設けた半田バン
プにより該集積回路素子を多層配線基板に搭載し、前記
集積回路素子の裏面に、前記多層配線基板からのびた蛇
腹状スプリングの先端に固定された放熱フィンの基部に
設けた接触層が接触するように構成したことにより解決
される。
〔実施例〕
以下、本発明の実施例を図面について詳細に説明する。
第1図は本発明の一実施例の断面図であって、同図中の
符号は第3図のものと一致する。なお7はスプリング固
定用ランド、8は蛇腹状スプリング、9は接触層、10
は放熱フィン基部である。このパッケージの構造では、
集積回路素子1はその回路形成面全体に設けられた半田
バンプ3により多層配線基板2の上に搭載される。多層
配線基板2の集積回路素子1と反対側の面にはビン5が
面全体にわたつ“C設けられ、これをプリント回路基板
4に挿入することにより電気的に接続される。
また集積回路素子1の裏面には多層配線基板2からのび
た蛇腹状スプリング8の先端に固定された放熱フィン6
が接触層9を介し°C熱的に接続される。
すなわち、放熱のため間隔をおいて配置された複数個の
放熱フィン6は、その放熱フィン基部10がしぼられ°
C1体となり、その中心部に接触層9が設けられ、周辺
で蛇腹状スプリング8に固定される。従って、熱的には
集積回路素子1を直接放熱フィン6に接触させる構造な
ので、集積回路素子1から放熱フィン6に到る熱抵抗が
小さくなり、放熱効果が向上し消費電力の大きい素子を
搭載できる特徴がある。この集積回路素子1と放熱フィ
ン60間の接触層9とし°Cは、例えば半田などの固体
層、金属粉末とグリースを混合した半固体層。
ゴムなどの粘弾性体層などである。また集積回路素子1
と放熱フィン6を接触させるためのスプリングとして、
集積回路素子1を塵埃などから守るため密閉構造となる
1例えば金属の薄い膜や、プラスチックなどの有機材料
で作った蛇腹状スプリング8や、防塵が不要のときのた
め開放構造となる螺線状のスプリングでもよい。これら
スプリングはそのバネ作用により多層配線板2の上に搭
載した集積回路素子の傾きの偏差を吸収して良好に接触
させることができ、また放熱フィンの重量を補償して、
集積回路素子18よび半田バンプ6に過大な力が加わら
ないようにすることができる。
第2図は本発明の他の実施例の断面を示したものである
。図にSいC11は配線基板、12は低誘電率多層配線
層を示し、他の数字は第1図と同じものを示す。この実
施例は、アルミナ等の配線基板11の上に、それよりも
低い誘電率をもつ、例えばエボキン系、ポリイミド系等
の有機系樹脂を絶縁体とする多層の配線層12を形成し
、その上に集積回路素子1を搭載し、さらに該集積回路
素子1の裏面を放熱フィン6に接触させる構造である。
本実施例の構造に3いても、第1図の実施例と同様に配
線基板11からのびた蛇腹状スプリング8の先端に固定
した放熱フィシ6を集積回路素子1の裏面に接触させる
ことにより、集積回路素子1から放熱フィン6までを低
熱抵抗で接続できる。
従って同様な効率のよい熱放散を行なうことができる。
本実施例では低誘電率の多層配線層12に集積回路素子
1を搭載するのでアルミナ等の多層配線基板2の上に搭
載するよりも電気信号の伝搬遅延が小さくなる特徴があ
る。
これは、本発明による放熱効果のためパッケージの温度
の上昇が抑えられるからアルミナ等より耐熱性の低い上
記有機系樹脂の使用が可能となるためである。
〔発明の効果〕
以上説明したように、本発明による集積回路用パッケー
ジは、集積回路素子裏面を放熱フィンに直接接触できる
ので、集積回路素子から放熱フィンに到る熱抵抗が小さ
くなり、放熱効果が向上し消費電力の大きい集積回路素
子の収容ができる効果がある。また、放熱フィンはバネ
作用により集積回路素子に接触させるので、多層配線板
の上に搭載した集積回路素子の傾きの偏差を吸収し°C
接触させることができ、また放熱フィンの重量を補償し
゛〔集積回路素子および半田バンプに過大な力が加わら
ないようにする効果がある。
なお本発明による集積回路用パッケージは、放熱効果が
向上したため、ここに収容する集積回路素子に流し得る
電流を大きくすることができるので、それに応じた高速
化の効果が2次的に派生する。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明による集積回路用パッケージの一実施例
の断面図、 第2図は本発明による集積回路用パッケージの異る実施
例の断面図、 第3図は従来の集積回路用パッケージの断面図である。 1・・・集積回路素子 2・・・多層配線基板 5・・・半田バンブ 4・・・プリント回路基板 5・・・ビン 6・・・放熱フィン 7・・・スプリング固定用ランド 8・・・蛇腹状スプリング 9・・・接触層 10・・・放熱フィン基部 11・・・配線基板 12・・・低誘電率多層配線層 特許出願人  日本電信電話株式会社 代理 人 弁理士玉蟲久五部 (外2名) 本発明の一実施例の断面図 第  1  図 従来の集積回路用バ・ンケージの断面図第  3  図 1 集積回路素子 2 多層配線基板 3:半田バンプ 4;プリント回路基板 5゛ビン 6°放熱フィン

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1.  集積回路素子の回路形成面全体に設けた半田バンプに
    より該集積回路素子を多層配線基板に搭載し、前記集積
    回路素子の裏面に前記多層配線基板からのびた蛇腹状ス
    プリングの先端に固定された放熱フィンの基部に設けた
    接触層が接触するように構成したことを特徴とする集積
    回路用パッケージ。
JP60108051A 1985-05-20 1985-05-20 集積回路用パツケ−ジ Pending JPS61265848A (ja)

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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63204633A (ja) * 1987-02-19 1988-08-24 Hitachi Ltd 半導体の冷却装置
EP0852398A1 (en) * 1997-01-02 1998-07-08 AT&T Corp. Apparatus for heating and cooling an electronic device
WO2001078138A1 (en) * 2000-04-07 2001-10-18 Advanced Micro Devices, Inc. Flip chip semiconductor device including a compliant support for supporting a heat sink
KR100839412B1 (ko) 2006-11-27 2008-06-19 삼성에스디아이 주식회사 플라즈마 디스플레이 장치
CN113741095A (zh) * 2021-08-27 2021-12-03 Tcl华星光电技术有限公司 散热凝胶体、散热装置、光源模块和显示面板

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63204633A (ja) * 1987-02-19 1988-08-24 Hitachi Ltd 半導体の冷却装置
EP0852398A1 (en) * 1997-01-02 1998-07-08 AT&T Corp. Apparatus for heating and cooling an electronic device
WO2001078138A1 (en) * 2000-04-07 2001-10-18 Advanced Micro Devices, Inc. Flip chip semiconductor device including a compliant support for supporting a heat sink
KR100839412B1 (ko) 2006-11-27 2008-06-19 삼성에스디아이 주식회사 플라즈마 디스플레이 장치
US7551445B2 (en) 2006-11-27 2009-06-23 Samsung Sdi Co., Ltd. Plasma display device
CN113741095A (zh) * 2021-08-27 2021-12-03 Tcl华星光电技术有限公司 散热凝胶体、散热装置、光源模块和显示面板

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