JPS61263203A - 小型アクチユエ−タ用プリントコイルユニツト - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、超薄型、小型でかつ廉価なアクチュエータ用
プリントコイルユニットに関する。ここでアクチェエー
タとは、コイルと磁気回路等からなり、電磁力を利用し
て電気エネルギーを機械エネルギーに変換するものであ
り、例えばモータやりニアモータ、ロータリーアクチュ
エータ、リニアアクチェエータ等を指す。

（従来の技術とその問題点） 近年、オーディオ機器、ビデオ機器、ＯＡ機器等の大幅
な進歩と小型、薄型化に伴い、それらに用いられるアク
チュエータも小型、薄型化が望まれてきている。

このような機器に用いられるアクチェエータとして、ロ
ータリーアクチュエータを一例にとれば、第２図（Ａ）
に示すように円周方向に均等に分割、着磁された磁石（
１０）と、いわゆるフォトリソグラフィ技術により作成
された、磁石の磁極に対応する渦巻状導体パターン（３
）を有するプリントコイルの積層体であるコイルユニッ
ト（１２）とからなる構造のものが望まれている。この
プリントコイルは巻線コイルに比べ極めて薄いため、プ
リントコイルを使ったアクチェエータはヨーク板（１３
）と磁石（ｌＯ）の間隔（ギャップ）をかなり薄くする
ことができ、その結果、コイルが存在する位置の磁場が
強（なってトルクが大きくなる。

ところでアクチュエータにおいては、磁気検出素子（８
）を使ってコイルに流す電流を切り換えるが、プリント
コイルの導入でコイル部の厚みが著しく薄くなり、磁石
とヨーク板の距離を小さくできるようになったため、こ
んどは磁気検出素子が磁石とヨーク板の間に占める割合
が大きくなって、その配置が困難となった。磁気検出素
子としては、ホール素子や磁気抵抗素子、などがあるが
、これらはいずれも上記のプリントコイルよりもかなり
厚く、従来はこれらの磁気検出素子（８）を例えば第２
図ＣＢ）に示すようにコイルユニット（１２）の上に、
対峙する磁石（１０）につかえないようにギャップを大
きくして置いている。しかし磁気検出素子をこのように
配置したのでは磁石とコイルの距離が離れてしまい、せ
っか（の薄く巻けるというプリントコイルの特長が生か
されない。

また薄型化を狙って磁気検出素子を磁石の主磁束の外に
置（とこんどは磁気検出感度が低下し、磁気検出素子の
ための増幅器の高感度化が必要となりＳ／Ｎ比をとりに
くく、コストが高くなる。

（問題を解決するための手段・作用） 本発明は、薄い磁気検出素子を、プリントコイルの渦巻
状導体パターン以外の部分に埋め込むことにより上記問
題点を解決したものである。

すなわち本発明は同一平面上に１個以上の磁極が着磁さ
れた磁石に対峙して設置される１枚以上のプリントコイ
ルシートの単体または積層体からなる小型アクチェエー
タ用プリントコイルユニットであって、各プリントコイ
ルシートが同一平面上に１個以上の渦巻状導体パターン
を有し、かつ、厚みが各プリントコイルと同じかまたは
薄い１個以上の磁気検出素子がプリントコイルシートの
導体パターン以外の部分に埋め込まれていることを特徴
とする小型アクチュエータ用プリントコイルユニットで
ある。

第１図に本発明のプリントコイルユニットを組み込んだ
アクチュエータの１例を示す。

本発明に使用されるプリントコイルは、どんな製造法に
よったものでもよく、たとえばエツチング法やメッキ法
やそれらを組み合わせた方法で製造されたものでも良い
が、特開昭５７−９１５９０号公報に記載された製造法
により製造されたプリントコイルが好ましい。またその
大きさはいかなるものでも良いが、直径５〜４０ｍφ、
厚さは０．１〜２鶴が特に有効である。またコイル部の
線密度としては２〜２０本／鶴、さらに好ましくは５〜
２０本／鶴が良い。第３図に本発明に用いられるプリン
トコイルの１例を示す。磁石がＮ極５ｌｆＩ各ｎ個づつ
ある場合、２ｎ個の渦巻状パターン、（３）がプリント
コイル支持体（２）の両面に形成される。第３図は、磁
石がＮ極Ｓ極各４個着磁されている場合で８個の渦巻状
導体パターン（３）が配置されている例である。なおプ
リントコイル支持体（２）をはさんで表裏２個の渦巻状
導体パターンを１個の渦巻状導体パターンと数える。一
般に渦巻状導体パターン（３）は、同一平面上に配置さ
れ、中心は第１図に示したアクチュエータの軸（１１）
及び磁石（１０）の中心に一致する。

“必要に応じてスルーホール（６）により、プリントコ
イル支持体（２）をはさんで両側に存在する導体パター
ン（３）が導通ずるように接続される。プリントコイル
支持体（２）は電気絶縁性を存すれば何んでもよく、例
えばガラスエポキシ基板やポリイミドフィルムやエポキ
シ樹脂等が好ましく使用される。又、スルーホール（６
）の形成方法も何んでもよい。

第４図は本発明に用いられるリニアアクチュエータ用プ
リントコイルの１例である。１個以上の渦巻状導体パタ
ーンが摺動方向と同一の直線上に並んでおり、第４図は
渦巻状導体パターンが２個の場合を示している。リニア
アクチュエータ用プリントコイルも偏平型ブラシレスモ
ータと同様、必要に応じてスルーホール（６）により、
プリントコイル支持体（２）を挟んで両面に存在する導
体パターン３が導通するよう接続される。

磁気検出素子（８）は、コイルユニットを構成するプリ
ントコイルに埋め込む。ここでいう「埋め込む」という
状態は第５図（Ａ）、（Ｂ）に示すように磁気検出素子
の受感部（１４）がプリントコイルシートの厚みの中に
入っており、かつ該素子の外径のモールド部がプリント
コイル表面に全く飛び出していない状態をいう、ここで
受感部とは磁気検出素子のなかで磁場の強さを電気信号
に変換する能力のある場所をいう、磁気検出素子として
は磁場の変化を電気信号に変換できれば何でもよいが、
例えばホーシレ素子、磁気抵抗素子等が用いられる。

磁気検出素子の厚さは、その素子が取り付けられるプリ
ントコイルシートの厚さ以下であることが必須である。

素子がプリントコイルの厚さより薄ければ、コイルユニ
ット内のその素子が取り付けられているプリントコイル
以外のプリントコイルの渦巻状導体パターンをその素子
の位置や形状にあわせて変形させる必要がなく渦巻状導
体パターンの設計に自由度が増す。特に本発明に用いる
磁気検出素子としては、フェイスダウンボンディングま
たはリードボンディングされたホール素子が特に好まし
い、このような素子は、０．６鶴以下の厚みのものも作
製可能であり、０．４ｍより薄いものまで作製し得る。

また素子の形状も何んでも良いが、特に素子を外周に面
した、渦巻状導体パターンの角を丸味を持たせて変形さ
せた領域に配置する時は、五角形や三角形が好ましい。

磁気検出素子（８）は、コイルユニットを構成するどの
プリントコイルに埋め込んでもよいが、コイルユニット
を構成するプリントコイルのうち１枚の中に全部を埋め
込むことが好ましい、磁気検出素子を１枚のコイルに埋
め込むと、磁石から各磁気検出素子への距離が正確に一
致し、各素子が受ける磁場の強さが一定になる。また、
１枚のプリントコイル上に金型を用いて全ての磁気検出
素子を位置決めして埋め込むための穴を一遍に開けられ
るので、磁気検出素子相互の位置精度も高くできる。そ
の結果、各コイルに流す電流の切り換えタイミングが正
確になり、回転ムラやリニアアクチュエータの推力のム
ラを低（抑えることがでる。

さらに、磁気検出素子を埋め込んだプリントコイルは、
コイルユニットの中で最も磁石に近い側に配置すること
が好ましい、このように配置することにより、磁気検出
素子が受ける磁場が強くなり、磁気検出素子の出力が高
くなって電流の切り換えタイミングが正確になる。さら
に磁石に最も近いプリントコイルに磁気検出素子を埋め
込むことにより、そのコイルのトルクに寄与する部分を
一部除去し、トルクへの寄与を減じて、各プリントコイ
ル間の磁石へのトルク寄与のバランスをとることができ
る。そのためトルクむらを減じる効果を期待できる。

偏平型ブラシレスモータの場合、磁気検出素子を埋め込
むプリントコイル上の位置は、以下の２つの条件を同時
に満すことが好ましい、その第１の条件は、第６図（Ｂ
）に示すアクチュエータの中心からの距離と磁場の強さ
の関係のグラフかられかる様に、マグネフトの内径をｒ
、、外径をｒ２とした時、磁石の中心から、磁気検出素
子の受感部の中心への距離をＲとした時、ＲがｒｌＸ１
．２≦Ｒ≦ｒｚＸ１．１．更にｒｌ　Ｘ　１．４≦Ｒ≦
ｒｔＸ　１．０を満足することである。Ｒは小さくても
大きくても磁場が弱くなり磁石位置検出精度が低下する
。磁気検出素子を埋め込む位置の第２の条件は、渦巻状
導体パターン（３）とその中央部（５）を除いた場所で
渦巻状導体パターンどうしの間や内周及び外周に面した
部分がよいことである。磁気検出素子はその駆動方法に
応じて２個以上配置するが、多くの場合その円周方向配
列ピッチは、渦巻状導体パターンの配列ピッチとは一致
しない。つまり１個の磁気検出素子を渦巻状導体パター
ンどうしの間の空いているスペースに配置しても他の磁
気検出素子の位置は渦巻状導体パターンと重なる。そこ
で渦巻状導体パターンのアクチュエータトルクに寄与す
る部分を一部犠牲にしてパターンを少し変形させ、そこ
に磁気検出素子を埋め込む。例えば第７図（Ａ、）、（
Ｂ）、（Ｃ）或いは（Ｄ）のようにすればよい。

またリニアアクチュエータの場合、磁気検出素子を埋め
込むプリントコイル上の位置は、２つの条件を同時に満
たす必要があり、その第１の条件は、第８図（Ｂ）に示
した磁石の中心からの距離と磁場の強さの関係のグラフ
かられかるように、磁石の幅方向の中Ｃ，から磁気検出
素子（８）の受！ 患部の中心までの距離をＲとした時、Ｒ≦−＋ｄ（ｄは
磁石とコイル間の距離）を満足することでＲが−＋ｄよ
り大きいと磁場が弱くなり磁石位置検出精度が低下する
。磁気検出素子を埋め込む位置の第２の条件は、渦巻状
導体パターン（３）上及び導体パターン中央部（５）を
除いた部位であることであり、第９図（Ａ）、（Ｂ）に
示すように、外側に面した部分が好ましい。

磁気検出素子をプリントコイルへ埋め込む方法は、例え
ばプリントコイルシートにプレス機で穴を開け、素子を
入れて接着剤で固定すればよい。

穴は素子の外形、例えば三角形や長方形と同一形状に開
けると位置精度が向上するので好ましい。

最も簡便でしかも高精度な例としては、第１０図に示す
様に三角形の磁気検出素子を用いプリントコイルシート
の外周部の一部に素子の外形に合うｖ形の切りこみ（１
５）を、プリントコイルの内外両種の金型加工時に同時
に設け、そのＶ形切り欠き部（１５）に三角形の磁気検
出素子を埋め込んで接着剤で固定する手法が挙げられる
。磁気検出素子のプリントコイルへの固定には液状また
はシート状のエポキシ系やフェノール系の接着剤などが
使用される。また、磁気検出素子を挿入する穴または切
りこみを金型で打ち抜く時の位置合わせは、プリントコ
イルのフォトマスクに予め印を入れておいて、それを使
って行うと、磁気検出素子のコイルに対する位置精度も
著しく向上する。

以上の様にして磁気検出素子を埋め込んだプリントコイ
ルどうし、あるいはそれと磁気検出素子を含まないプリ
ントコイルとを複数枚積層してコイルユニットを形成す
る。場合によっては磁気検出素子を埋め込んだプリント
コイル単体で用いてもよい。この積層にはコイルの固定
ができてコイル間の絶縁がとれれば何を使ってもよいが
、例えばエポキシ系やフェノール系の接着剤でも、また
、絶縁フィルムの両面に接着剤を半硬化の状態にして塗
布しである接着剤シートを用いても良い。

以下に本発明のプリントコイルユニットの実施態様を掲
げるが、本発明はこれらの実施態様になんら限定される
ものではない。

〈実施例１〉 フォトリソグラフィ技術および電解銅メッキにより、外
径２０龍φ、内径７龍φの偏平ドーナツ型で中心角４５
°に分割した各領域に渦巻状導体パターンを絶縁層を挟
んで表裏両面に８極ずつ配置したプリントコイルを２枚
作成した。各プリントコイルともに両面の渦巻状導体パ
ターンの１極を小さくし、コイルシートの外周側にホー
ル素子を埋め込むための場所を開けた。各渦巻状導体パ
ターンは中心部に設けられたスルーホールにより絶縁層
を挟んで対向するパターンどうしを電気的に接続してあ
り、また同一面上の互いに隣り合うパターンどうしはコ
イルの巻き方向を逆にした。プリントコイルの両面には
絶縁用オーバーコート樹脂を塗布した。プリントコイル
の厚みは２枚ともオーバーコート層を含めて０．３鶴で
あった。

次に、同一基板上に形成された上記のプリントコイルを
ブツシュバック型の金型で１個１個の偏平ドーナツ状プ
リントコイルに切断分離した。この時、同時に外周側の
所定箇所に一辺が２．３０、厚みが０．３Ｈの正三角形
のホール素子をその受感部が軸中心から９鶴の位置にく
るように埋め込むための切り火きを金型によって切断形
成した。

厚さｌ　ｍｍケイ素剛板を切断して得たヨーク板上に厚
さ４２μの日東電工社製接着シートにトフィックス＠　
Ｔ　Ｋ−２５３２）を敷き、その上に上記プリントコイ
ルをのせ、その切り欠き部にホール素子をプリントコイ
ル面から飛び出さないように、かつ凹まないように嵌め
込み、さらにその上に前述の接着シートを敷き、２枚目
のプリントコイルを１枚目のプリントコイルに対し中心
角を２２．５°ずらしてのせ、先と同様にしてホール素
子を嵌め込んだ積層体を加熱プレス機に挟み、１２０℃
、１０ｋＪ／−の条件下で１時間加熱圧着した。

このようにして、得られたコイルユニットとヨーク板の
積層体を、外径１９鶴φ、内径８鶴φ、厚さ１鶴の希土
類焼結磁石（サマリウム−コバルト２−１７系、最大エ
ネルギー積２０ＭＧＯｅ（メガガウスエルステッド））
を円周方向に４５°ずつ分割し、面に垂直な方向にＮ極
、Ｓ極を４極ずつ交互に着磁した磁石と０．５鶴の隙間
を開けて対峙させ、磁石の上端からプリントコイルユニ
ットを経てヨーク板の下端までの総厚みが３．Ｉｎ＋、
磁石とヨーク板の間の距離（ギャップ）が１．１１の偏
平ブラシレスモーフを１０台得た。

これらのモータを、モータ特性の評価法の１つである他
のモータによって被測定モータを一定の回転数で回転さ
せ、その際モータコイルから生じる起電圧を測定する逆
起電圧測定法により、磁石に近い側のコイルと遠い側の
コイルの逆起電圧を測定したところ、２＋４０Ｏｒ、ｐ
、６１．においてモータの全体のトルクを示す指標であ
る両プリントコイルの逆起電圧の和は１０台のモータの
平均で２．０８Ｖ、また２つのプリントコイルのモータ
トルクへの寄与の差を示す両逆起電圧の差は１０台のモ
ータの平均で０．１７４Ｖであった。

また、上記各電圧の測定中ホール素子に５ｍＡの電流を
流して出力電圧のピーク間電圧を測定したところ、１０
台のモータの平均値は磁石に近シ）側のコイル用のホー
ル素子の出力が２８０ｍＶ、　磁石に遠い側のコイル用
のホール素子の出力が２４８ｍＶであった。

く比較例１〉 一辺が２．３ｆｉ、厚みが世路０．９鶴の正三角形のホ
ール素子２個をその受感部が軸中心から９ｆｉで素子相
互の中心角が２２．５°になるように磁石に近い側のプ
リントコイルシートの１極の渦巻状導体パターン上にロ
ックタイト社製瞬間接着剤タックパック１で接着した点
以外は実施例１と全く同様な偏平型ブラシレスモータを
３台作製した。得られたモータの磁石上端からヨーク板
下端までの総厚みはいずれも４．０　ｍ　、磁石とヨー
ク板の間の距離（ギャップ）はいずれも２．ＯＮであっ
た。

これらのモータについてモータ特性の評価を行ったとこ
ろ、２．４０Ｏｒ、ｐ、ｍ、におけるモータ内の２つの
プリントコイルの逆起電圧の和は３台のモータの平均で
１．４９Ｖであった。

また上記各電圧の測定中にホール素子に５ｍＡの電流を
流して両方のプリントコイル用のホール素子の出力電圧
のピーク間電圧を測定したところ、３台のモータの平均
テ２４０ｍＶと２４３１１ｖテアツタ、すお、出力波形
の位相差から計算される±−ル素子間の中心角は角モー
ター毎に２１．８°、２２．６°、２３．１゜であった
。

〈実施例２〉 フォトリソグラフィ技術および電解銅メッキにより、外
径２０鶴φ、内径７鶴φの偏平ドーナツ型で中心角４５
°に分割した各領域に渦巻状導体パターンを絶縁層を挟
んで表裏両面に８極ずつ配置したプリントコイルを２枚
作成した。１枚のプリントコイルは８掻の渦巻状導体パ
ターンを均等に並べ、他の１枚は両面の渦巻状導体パタ
ーンの１極を小さくし、コイルシートの外周側にホール
素子を埋め込むための場所を開けた。各渦巻状導体パタ
ーンは中心部に設けられたスルーホールにより絶縁層を
挟んで対向するパターンどうしを電気的に接続してあり
、また同一面上の互いに隣り合うパターンどうしはコイ
ルの巻き方向を逆にした。

プリントコイルの両面には絶縁用オーバーコート樹脂を
塗布した。プリントコイルの厚みは２枚ともオーバーコ
ート層を含めて０．３ｍであった。

次に、同一基板上に形成された上記のプリントコイルを
ブツシュバック型の金型で１個１個の偏平ドーナツ状プ
リントコイルに切断分離した。この時、ホール素子を埋
め込む方のプリントコイルは同時に外周側の所定箇所に
一辺が２．３Ｉｌ１ｍ、厚みが０．３鶴の正三角形のホ
ール素子２個をそれぞれの受感部が軸中心から９ｆｉの
位置で、素子相互の中心角が２２．５°になるように埋
め込むための切り欠きを金型によって切断形成した。

厚さ１ｆｉケイ素剛板を切断して得たヨーク板上に厚さ
４２μの日東電工社製接着シートにトフィックス■Ｔ　
Ｋ−２５３２）を敷き、その上に上記の切り欠きを設け
ない方のプリントコイルをのせ、その上に前述の接着シ
ートを敷き、２枚目の切り欠き部を設はプリントコイル
を１枚目のプリントコイルに対し中心角を２２．５°ず
らしてのせ、その切り欠き部にホール素子をプリントコ
イル面から飛び出さないように、かつ凹まないように嵌
め込んだ積層体を加熱プレス機に挟み、１２０℃、１０
に３／ｃｄの条件下で１時間加熱圧着した。

このようにして得られたコイルユニットとヨーク板の積
層体を、外径１９鶴φ、内径８ｆｉφ、厚さ１鶴の希土
類焼結磁石（サマリウム−コバルト２−１７系、最大エ
ネルギー積２０ＭＧＯｅ（メガガウスエルステッド））
を円周方向に４５°ずつ分割し、面に垂直な方向にＮ極
、Ｓ極を４極ずつ交互に着磁した磁石と０．５ｆｌの隙
間をあけて対峙させ、磁石の上端からプリントコイルユ
ニットを経てヨーク板の下端までの総厚みが３．１１ｍ
、磁石とヨーク板の間の距離（ギャップ）が１．１１１
Ｉの偏平ブラシレスモータを１０台得た。

これらのモータについてモータ特性の評価を行ったとこ
ろ、２＋４０Ｏｒ、ｐ、ｍ、におけるモータ内の２つの
プリントコイルの逆起電圧の和は１０台のモータの平均
で２．０９Ｖであり、また両コイルの逆起電圧の差は１
０台のモータの平均で０．０３８Ｖであった。

また上記各電圧の測定中にホール素子に５＋Ａの電流を
流して出力両方のプリントコイル用のホール素子の電圧
のピーク間電圧を測定したところ、１０台のモータの平
均で２８８ｍＶと２７９ｍＶであった。

なお、出力波形の位相差から計算されるホール素子間の
中心角は１０台とも２２．５±０．３°に入っていた。

（発明の効果） 本発明のプリントコイルユニットは、そツユニットを構
成する各プリントコイルが薄い上に、その中にプリント
コイルシートの厚み以下の磁気検出素子が埋め込まれて
いるので、アクチュエータに組み立てた場合に磁石とヨ
ーク板の間のギャップを十分に小さくすることができ、
超薄型のアクチェエータが得られる。

特に、コイルユニットを構成するプリントコイルのうち
、１枚のプリントコイル中に全ての磁気検出素子を埋め
込むことにより、磁気検出素子の受ける磁場を等しくさ
せ、各素子の出力電圧をそろえ、さらに磁気検出素子を
埋め込んだプリントコイルを磁石に最も近い側に配置す
れば、磁気検出素子を埋め込むためにコイルパターンを
変形させることにより磁石に最も近い側のプリントコイ
ルのアクチュエータトルクへの寄与を減じであるので、
各プリントコイルのトルクへの寄与も同時に揃えること
が可能となり、その結果高回転安定性を持つ小型薄型ア
クチュエータが得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ本発明のプリントコイ
ルユニットを組み込んだ小型アクチェエータの１例を示
す組立分解図と断面図であり、第２図（Ａ）、（Ｂ）は
それぞれ従来の小型アクチェエータの組立分解図と断面
図である。第３図（Ａ）。 （Ｂ）、（Ｃ）は本発明に使用されるプリントコイルの
１例で、順に表平面図、表平面図、及びＡ−Ａ′矢視図
である。第４図（Ａ）、　（Ｂ）は本発明に用いられる
リニアアクチュエータ用プリントコイルの１例で、それ
ぞれ表平面図、Ａ−Ａ　’矢視図である。第５図は（Ａ
）、（Ｂ）、ＣＣ’）は本発明でいうプリントコイルユ
ニットに磁気検出素子を「埋め込む」状態を説明する断
面図、第６図並びに第８図の（Ａ）、ＣＢ）はそれぞれ
本発明のプリントコイルユニットを組み込んだアクチェ
エータの断面図、及びアクチェエータ中心からの距離と
磁場の強さの関係を示すグラフである。第７図並びに第
９図は好ましい磁気検出素子の埋め込み位置の例を示す
プリントコイルの表面図である。 第１０図は磁気検出素子を埋め込むための切り欠き部を
設けたプリントコイルの表面図である。第１Ｉ図並びに
第１３図、（Ａ）、ＣＢ）、（Ｃ）は順に実施例１並び
に２で得られた小型ブラシレスモータの断面図、磁石に
近い側のプリントコイルの平面図、磁石に遠い側のプリ
ントコイルの平面図であり、第１２図（Ａ）、（Ｂ）、
（Ｃ）は順に比較例１で得られた小型ブラシレスモータ
の断面図、磁石に近い側のプリントコイルの平面図、磁
石に遠い側のプリントコイルの平面図である。 １、ｌａ、ｌｂ　−・・・プリントコイル２・−・−・
プリントコイル支持体 ３　−−−−−・渦巻状導体パターン ４・−・スルーホールランド ５・−・−渦巻状導体パターンの中央部６−・スルーホ
ール ７　・−・外部接続用端子 ８−・・磁気検出素子 ９・−・絶縁用オーバーコート樹脂 １０−−一−−磁石 １１−　軸 １２−・コイルユニット １３−・−ヨーク板 １４−・磁気検出素子内の受感部 １５−・磁気検出素子埋め込み用切り欠き部特許出願人
　旭化成工業株式会社 第１図 （Ａ） （Ｂ） 第２図 （Ａ） （Ｂ） ｑ＼Ｊ 第４図 （Ａ）（Ｂ） （Ａ）　　　　　　　　（Ｂ） 第６因 （Ａ） （Ｂ） ｒｉ　　ｎ）（１，２ｒｚ　ｒｚＸｌ、１５１１石の中
ｌ吃直軸）力゛５の距離Ｒ→６ 第８図 （Ａ） （Ｂ） 第９図 （Ａ） （Ｂ） 第１０図 第１２図 第１３図

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）同一平面上に１個以上の磁極が着磁された磁石に
   対峙して設置される１枚以上のプリントコイルシートの
   単体または積層体からなる小型アクチュエータ用プリン
   トコイルユニットであって、各プリントコイルシートが
   同一平面上に１個以上の渦巻状導体パターンを有し、か
   つ、厚みが各プリントコイルと同じかまたは薄い１個以
   上の磁気検出素子がプリントコイルシートの導体パター
   ン以外の部分に埋め込まれていることを特徴とする小型
   アクチュエータ用プリントコイルユニット。
2. （２）磁気検出素子を２個以上埋め込む場合に全ての磁
   気検出素子が同一のプリントコイルに、磁石面からの距
   離が実質的に同一となるように埋め込まれている特許請
   求の範囲第１項記載の小型アクチュエータ用プリントコ
   イルユニット。
3. （３）全ての磁気検出素子が、磁石に最も近いプリント
   コイルに埋め込まれている特許請求の範囲第２項記載の
   小型アクチュエータ用プリントコイルユニット。