JPS61240528A - ガス放電パネルの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概要〕 放電領域を画定するためにセル層を設けたガス放電パネ
ルに於いて、このセル層内にゲッタ材料を添加すること
で、この放電パネル内に生じる残留ガスをゲッタ材料に
吸着させて除去し、パネルの動作マージンを大きくした
ガス放電パネルの製造方法。

〔産業上の利用分野〕

本発明はガス放電パネルの製造方法に係り、特に放電領
域を画定するためにセル層を設けたガス放電パネルに於
いて、パネル内の残留ガスを除去できるようにしたガス
放電パネルの製造方法ムこ関する。

誘電体層内に埋設された透明電極と、誘電体層内に埋設
され数字等のパターンが形成された不透明電極を有する
一対のガラス基板を、放電ガスが充瑛された放電空間を
隔てて対向配置し、対向せる電極間に所定の電圧を印加
して、数字等の記号を表示するニューメリンク型のガス
放電パネルは、電子計算機の出力装置等に広く利用され
ている。

このようなニューメリック型パネルは、放電領域の周囲
を誘電体よりなるセル層にて囲み、放電点が隣接する他
の領域と明確に区別できるような構造が採られている。

このようなパネルに於いては、パネル内の残留ガスを除
去してパネルの動作マージンを増大させることが要望さ
れている。

〔従来の技術〕

本図はこのようなガス放電パネルの断面図で、図示する
ように表示面側となる一方のガラス基板１に、透明なイ
ンジウム−錫酸化物（ＩＴＯ）層よりなる導電層が、基
板１上に一文字全体を覆うような透明電極２に形成され
、その上にはスクリーン印刷法を用いて低融点ガラスが
塗布された後、焼成されて誘電体層３が形成されている
。更に誘電体Ｎ３の上には、スクリーン印刷法で低融点
ガラスが塗布され、所定パターンのセル層４が形成され
ている。

更にパネルの裏面側となる他方のガラス基板５には、銀
よりなる金属層がスクリーン印刷法により数字等の所定
の記号のパターンの電極６に形成され、その上には、低
融点ガラスを用いてスクリーン印刷法により誘電体Ｎ７
が形成されている。

そしてこのガラス基板１とガラス基板５とが所定の放電
空間を隔てて対向配置され、低融点ガラスよりなる封止
材８により、所定の放電空間内９を隔てて封止されてい
る。

〔発明が解決しようとする問題点〕

ところで、このようなパネルを製造する際、ガラス基板
１．５を封止してから、放電空間９内を排気し、基板１
．５を加熱ベーキングして、パネル内に吸蔵されている
残留ガス（例えばＨ２Ｏ、Ｃ０２ガス）を除去するよう
にしている。

ここで本発明者等は、このような残留ガスは前記したセ
ル層４に最も多く含有されていることを実験的に確かめ
ている。

そのため、上記したパネル内を排気して基板を加熱ベー
キングする方法を用いても、前記したパネル内の残留ガ
スを充分除去することは困難である。

このような残留ガスがパネル内にあると、パネルを駆動
させるための最小放電電圧と、最大放電電圧との差が小
さくなり、パネルの駆動電圧のマージンが小さくなる問
題がある。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明は上記した問題点を解決するガス放電パネルの製
造方法を提供するもので、残留ガスが多く含まれている
セル層４に、このような残留ガスを吸着するゲッタ材料
を添加したものである。

〔作用〕

即ち、本発明のガス放電パネルの製造方法は、セルＮ４
にゲッタ材料を添加し、パネルを排気しながらベーキン
グする工程で、このゲッタ材料によってセル層４より排
出される残留ガスを吸着するようにしたものである。

〔実施例〕

以下、図面を用いながら本発明の一実施例につき詳細に
説明する。

本図に示すように、本発明のガス放電パネルの製造方法
は、前記した如く一方のガラス基板１にＩＴＯ５よりな
る透明な電極２を形成し、その上に低融点ガラス層をス
クリーン印刷を用いて塗布後、焼成して誘電体層３を形
成する。更にその上に、低融点ガラス層をスクリーン印
刷法を用いて所定のパターンに塗布後、焼成してセルＮ
４を形成している。

更に他方のガラス基板５上に銀よりなり、数字等の記号
の形状の不透明な電極６を形成し、その上に低融点ガラ
ス層をスクリーン印刷を用いて所定のパターンに塗布後
、焼成して誘電体層７を形成する。

このセル層４が形成されているガラス基板１を蒸着装置
内に導入し、バリウム−アルミニウム、（Ｂａ−〜）、
バリウム−マグネシウム（Ｂａ−八Ｑ）の合金を蒸着源
としてマスク蒸着法を用いてバリウムの酸化物をセル層
に含有させる。

また別の方法としてセル層をスクリーン印刷法で塗布形
成する際、このセル層形成用低融点ガラスを溶解するペ
ーストに炭酸バリウム（ＢａＣＯ３’）を溶解せしめ、
これをセル層を形成する時に塗布するようにしてもよい
。

このようにすれば、ガラス基板をパネルに組み立てた後
、排気してヘーキングする工程に於いて、セル層より排
出される残留ガスが、このゲソク材料によって吸着され
て残留ガスが除去される。

なお、以上の実施例に於いては、ゲソク材料としてＢａ
の化合物を用いたが、その他元素周期率表でＵａ族元素
の化合物を適宜用いてもよい。

また本実施例ではセル層を有するガス放電パネルとして
ニューメリック型ガス放電パネルに例を用いて述べたが
、その他、セル層を有するガス放電パネルに於いて、本
発明の方法が適用できることは熱論である。

〔発明の効果〕

以上述べたように本発明のガス放電パネルの製造方法に
よれば、セル層に吸蔵されている残留ガスが除去される
ので動作マージンの大きいガス放電パネルが得られる効
果がある。

【図面の簡単な説明】

本図は、本発明のガス放電パネルの製造方法を説明する
ために用いたパネル構造の断面図である。 図に於いて、 １．５はガラス基板、２ば透明電極、３．７は誘電体層
、４はセル層、６は不透明電極、８は封止材、９は放電
空間を示す。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 それぞれ誘電体（３、７）で被覆された放電電極（２、
   ６）を有する一対のガラス基板（１、５）を、所定の放
   電空間（９）を隔てて対向配置してなるパネルの製造に
   於いて、 前記対向する放電電極（２、６）によって形成される放
   電領域を画定するために、前記誘電体膜（３）上に設け
   られているセル層（４）に、前記パネル内の残留ガスを
   吸着するゲッタ材料を添加することを特徴とするガス放
   電パネルの製造方法。