JPS6124034A - 対物レンズ駆動装置 - Google Patents
対物レンズ駆動装置Info
- Publication number
- JPS6124034A JPS6124034A JP14420384A JP14420384A JPS6124034A JP S6124034 A JPS6124034 A JP S6124034A JP 14420384 A JP14420384 A JP 14420384A JP 14420384 A JP14420384 A JP 14420384A JP S6124034 A JPS6124034 A JP S6124034A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- objective lens
- mass
- support member
- intermediate holder
- recording
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/08—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers
- G11B7/09—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
- G11B7/0925—Electromechanical actuators for lens positioning
- G11B7/0932—Details of sprung supports
Landscapes
- Optical Recording Or Reproduction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は光情報記録再生装置における対物レンズ駆動装
置、特に光デイスクファイル、光ビデオディスク、コン
パクト、ディスクプレーヤ等に情報を記録し再生する際
、光をディスク面に焦点合せするために対物レンズを光
軸方向に駆動させる対物レンズ駆動装置に関するもので
ある。
置、特に光デイスクファイル、光ビデオディスク、コン
パクト、ディスクプレーヤ等に情報を記録し再生する際
、光をディスク面に焦点合せするために対物レンズを光
軸方向に駆動させる対物レンズ駆動装置に関するもので
ある。
円板上のディスクまたはシールに、1ミクロン前後の大
きさに光記録を行ない、この部分(これをピットと呼ぶ
)の位相もしくは振幅を他の部分と異ならせてビデオ信
号やディジタル情報を記録し再生する光情報記録再生装
置が開発されている。
きさに光記録を行ない、この部分(これをピットと呼ぶ
)の位相もしくは振幅を他の部分と異ならせてビデオ信
号やディジタル情報を記録し再生する光情報記録再生装
置が開発されている。
このような光情報記録、再生装置における対物レンズ駆
動装置としては、例えば肴恭実開昭57−122030
号公報に開示されているものがある。即ち、対物レンズ
系はフォーカシング方向にのみ変位する第1の弾性支持
部材としてのばねと、トラッキング方向にのみ変位する
第2の弾性支持部材としての支持ばねを用いて支持し、
これら2種類の支持ばねは固定支持部材と、面支持ばね
の動く方向を分離する働きをする中実形状の中間ホルダ
により両端が固定されている構造のものである。
動装置としては、例えば肴恭実開昭57−122030
号公報に開示されているものがある。即ち、対物レンズ
系はフォーカシング方向にのみ変位する第1の弾性支持
部材としてのばねと、トラッキング方向にのみ変位する
第2の弾性支持部材としての支持ばねを用いて支持し、
これら2種類の支持ばねは固定支持部材と、面支持ばね
の動く方向を分離する働きをする中実形状の中間ホルダ
により両端が固定されている構造のものである。
しかし、従来の駆動装置においては、駆動機構を構成し
ている各部材のうち、第1の支持ばねおよび第2の支持
ばねは2方向へ自由な動きが必要で、非常に柔くする必
要がある。このため面支持ばねは銅等のばね材料を用い
ているため、数百上にすてに参曲げ共振点を用いている
。
ている各部材のうち、第1の支持ばねおよび第2の支持
ばねは2方向へ自由な動きが必要で、非常に柔くする必
要がある。このため面支持ばねは銅等のばね材料を用い
ているため、数百上にすてに参曲げ共振点を用いている
。
即ち、ピット部に自動焦点を行なうため自動焦点駆動機
構を使用し、対物レンズをフォーカシング方向またはト
ラッキング方向に駆動した時、その力により、支持ばね
が励振され、前述のトラッキング方向またはフォカシン
グ方向に対物レンズ系が微小振動し、その結果、ビット
に対し良好な集束光が照射されなくなり、記録再生誤差
およびS/N比の低下となっていた。
構を使用し、対物レンズをフォーカシング方向またはト
ラッキング方向に駆動した時、その力により、支持ばね
が励振され、前述のトラッキング方向またはフォカシン
グ方向に対物レンズ系が微小振動し、その結果、ビット
に対し良好な集束光が照射されなくなり、記録再生誤差
およびS/N比の低下となっていた。
本発明は上記の事柄に基づいてなされたもので対物レン
ズ系をフォーカシング方向、あるいはトラッキング方向
へ駆動させる際に、フォーカシング方向、あるいはトラ
ッキング方向に発生する余分な振動をホさくし、記録再
生誤差の低減とS/N比の向上を図り、記録、再生時間
を高速にすることを目的とするものである。
ズ系をフォーカシング方向、あるいはトラッキング方向
へ駆動させる際に、フォーカシング方向、あるいはトラ
ッキング方向に発生する余分な振動をホさくし、記録再
生誤差の低減とS/N比の向上を図り、記録、再生時間
を高速にすることを目的とするものである。
対物レンズをフォーカシング方向あるいはトラッキング
方向に駆動したとき、弾性支持部材が励磁され、対物レ
ンズ系がトラッキング方向あるいはフォーカシング方向
に微小振動する。この方向達成振動をクロスアクション
と呼ぶ。このクロスアクション値CAを次式で定義する
。
方向に駆動したとき、弾性支持部材が励磁され、対物レ
ンズ系がトラッキング方向あるいはフォーカシング方向
に微小振動する。この方向達成振動をクロスアクション
と呼ぶ。このクロスアクション値CAを次式で定義する
。
(TR方向応答)/(TR方向駆動力) δt++/F
y*従来構造である2次元アクチュエータにおいてこの
方向達成振動の要因としては、 (1)中間ホルダなど対物レンズを支持している弾性支
持部材の可動側を支持している部材とレンズ部を質点−
ばね系とした振動系の特性゛ によるもの。
y*従来構造である2次元アクチュエータにおいてこの
方向達成振動の要因としては、 (1)中間ホルダなど対物レンズを支持している弾性支
持部材の可動側を支持している部材とレンズ部を質点−
ばね系とした振動系の特性゛ によるもの。
(2)弾性支持部材の弾性共振によるもの。
と大きく2つを考えることができる。
本発明は、クロスアクション低減のために特に上記(1
)の立場にたち、対物レンズを支持している弾性支持部
材の可動側を支持している部材を、質量低減と回転慣性
モーメント増加を図って構造としたものである。
)の立場にたち、対物レンズを支持している弾性支持部
材の可動側を支持している部材を、質量低減と回転慣性
モーメント増加を図って構造としたものである。
仮に従来構造において、中間ホルダで支持されている4
本の支持ばねのばね定数が等しく、完全対称構造である
とすると、クロスアクションは発生しない。クロスアク
ションは組立誤差や支持ばねの共振による等価な剛性が
非対称になることによって構造の対称性がくずれた状態
で発生するものである。
本の支持ばねのばね定数が等しく、完全対称構造である
とすると、クロスアクションは発生しない。クロスアク
ションは組立誤差や支持ばねの共振による等価な剛性が
非対称になることによって構造の対称性がくずれた状態
で発生するものである。
従来構造である2次元アクチュエータの中間ホルダと対
物レンズを2質点とし、各質点につき、フォーカシング
方向(X方向)、トラッキング方向(X方向)、とさら
にそれらに垂直な軸に関する回転(0方向)の3自由度
をもつ計6自由度系にモデル化する。
物レンズを2質点とし、各質点につき、フォーカシング
方向(X方向)、トラッキング方向(X方向)、とさら
にそれらに垂直な軸に関する回転(0方向)の3自由度
をもつ計6自由度系にモデル化する。
このモデルにおいて、クロスアクション発生の要因を調
べるために、中間ホルダの質量をml、中間ホルダのト
ラッキング方向の長さをao、フォーカシング方向の長
さをbl、中間ホルダの4枚の支持ばねの固定点に対す
る回転方向の慣性モーメントエ、1、対物レンズを有す
る被駆動体の質量をm2 とおく。
べるために、中間ホルダの質量をml、中間ホルダのト
ラッキング方向の長さをao、フォーカシング方向の長
さをbl、中間ホルダの4枚の支持ばねの固定点に対す
る回転方向の慣性モーメントエ、1、対物レンズを有す
る被駆動体の質量をm2 とおく。
このときのクロスアクションはフォーカシング方向駆動
時のトラッキング方向の達成振動による並進と、中間ホ
ルダの軸中心の回転をトラッキング方向とフォーカシン
グ方向へ分解した場合のトラッキング方向の変位の和で
表わされる。このクロスアクションを最小に導く方程式
は4本のばね定数が等しく、完全対称構造であるとする
と、Wit2=4kta/m2t Wto”=4kta
/I、Li=1,2.j2=x、yγ、、=m1a t
”/ I pit 7 ty=mtbt”/ I pi
i=l、2を導入し、m=mt+m、、:[、==
I、1+I、、とすることで を表わされる。この振動数方程式は w’ w’(Wte’ + (γ、* + 1 )
wxy” + (”y xy +1 )w、、2 )+
W” ((1+ 11.+ ’I 1y) Wlll
” Wly”+ Wta” (wxy”Wty”))W
xx” ’1i1y” Wx。′=0となり、各方向が
独立に振動するための条件はγ111+1→1 γ1.+1→1 ゛ γ□、+γ1.+1→1 であり、これは γ1 H2m a 1 ” / I F→0γ1 y
” mb 、” / I p→0時に0に近づけること
が、クロスアクション低減を表わすことを意味している
。中間ホルダの形状パ′について、これを考慮すれば、 (1)重量を軽くする。
時のトラッキング方向の達成振動による並進と、中間ホ
ルダの軸中心の回転をトラッキング方向とフォーカシン
グ方向へ分解した場合のトラッキング方向の変位の和で
表わされる。このクロスアクションを最小に導く方程式
は4本のばね定数が等しく、完全対称構造であるとする
と、Wit2=4kta/m2t Wto”=4kta
/I、Li=1,2.j2=x、yγ、、=m1a t
”/ I pit 7 ty=mtbt”/ I pi
i=l、2を導入し、m=mt+m、、:[、==
I、1+I、、とすることで を表わされる。この振動数方程式は w’ w’(Wte’ + (γ、* + 1 )
wxy” + (”y xy +1 )w、、2 )+
W” ((1+ 11.+ ’I 1y) Wlll
” Wly”+ Wta” (wxy”Wty”))W
xx” ’1i1y” Wx。′=0となり、各方向が
独立に振動するための条件はγ111+1→1 γ1.+1→1 ゛ γ□、+γ1.+1→1 であり、これは γ1 H2m a 1 ” / I F→0γ1 y
” mb 、” / I p→0時に0に近づけること
が、クロスアクション低減を表わすことを意味している
。中間ホルダの形状パ′について、これを考慮すれば、 (1)重量を軽くする。
(2)中心で支持する。
(3)回転慣性を大きくする。
を意味する。
これは、中間ホルダを有し、フォーカシング方向にのみ
変位する第1の弾性支持部材と、トラッキング方向にの
み変位する第2の弾性支持部材を備える駆動装置以外に
、例えば、中間ホルダをもたず被駆動体を、フォーカシ
ング方向およびトラッキング方向の2方向に変位する弾
性支持部材により支持した構造の駆動装置でも同様のこ
とがいえる。この場合、弾性支持部材の先端に固定され
ている被駆動体におけるレンズ支持体についてその形状
を考慮すれば、前記の中間ホルダと同様のことを意味す
る。
変位する第1の弾性支持部材と、トラッキング方向にの
み変位する第2の弾性支持部材を備える駆動装置以外に
、例えば、中間ホルダをもたず被駆動体を、フォーカシ
ング方向およびトラッキング方向の2方向に変位する弾
性支持部材により支持した構造の駆動装置でも同様のこ
とがいえる。この場合、弾性支持部材の先端に固定され
ている被駆動体におけるレンズ支持体についてその形状
を考慮すれば、前記の中間ホルダと同様のことを意味す
る。
中間ホルダや被駆動体の質量を下げ回転慣性を大きくす
ることは、両者の関係から相反することであるが、これ
は、中空状の構造とし、板厚や中空状部の大きさを変え
ずに質量を下げることで達成できる。このように本発明
は、クロスアクション低減のために、特に前記(1)の
立場にたち、対物レンズを支持している弾性支持部材の
可動側を支持している部材を、質量低減と回転慣性モー
メント増加を図って構造としたものである。
ることは、両者の関係から相反することであるが、これ
は、中空状の構造とし、板厚や中空状部の大きさを変え
ずに質量を下げることで達成できる。このように本発明
は、クロスアクション低減のために、特に前記(1)の
立場にたち、対物レンズを支持している弾性支持部材の
可動側を支持している部材を、質量低減と回転慣性モー
メント増加を図って構造としたものである。
以下、本発明の対物レンズ駆動装置の一実施例を第1図
、第2図により説明する6 対物レンズ1を含む光学系を有する被駆動体2は、フォ
ーカシング方向にのみ変位する4本の弾性支持部材であ
る板ばね3とトラッキング方向にのみ変位する4枚の弾
性支持部材である板ばね4により支持されている。
、第2図により説明する6 対物レンズ1を含む光学系を有する被駆動体2は、フォ
ーカシング方向にのみ変位する4本の弾性支持部材であ
る板ばね3とトラッキング方向にのみ変位する4枚の弾
性支持部材である板ばね4により支持されている。
上記の支持ばね3は、固定支持部材5と中間ホルダ6に
よりその両端が固定されており、また上記支持ばね4は
前述の被駆動体2と中間ホルダ6によりその両端が固定
されている。
よりその両端が固定されており、また上記支持ばね4は
前述の被駆動体2と中間ホルダ6によりその両端が固定
されている。
前述の被駆動体2は、固定側に設けられた磁石と可動側
の被駆動体2に設けられた駆動コイル7からなるフォー
カシング方向駆動機構、および固定側に設けられた磁石
と可動側の被駆動体2に設けられた駆動コイル8からな
るトラッキング方向駆動機構により駆動される。中間ホ
ルダ6は第2図に示すように、中空状構造になっている
。この中空部のトラッキング方向の長さをa□′、フォ
ーカシング方向の長さをb1′ とする。特にa t
= b x ta1′=b1′の正方形の場合を考えれ
ば。
の被駆動体2に設けられた駆動コイル7からなるフォー
カシング方向駆動機構、および固定側に設けられた磁石
と可動側の被駆動体2に設けられた駆動コイル8からな
るトラッキング方向駆動機構により駆動される。中間ホ
ルダ6は第2図に示すように、中空状構造になっている
。この中空部のトラッキング方向の長さをa□′、フォ
ーカシング方向の長さをb1′ とする。特にa t
= b x ta1′=b1′の正方形の場合を考えれ
ば。
となり、これは、すなわち、クロスアクションを低減さ
せることは中空部をできるだけ大きくすることを意味す
る。
せることは中空部をできるだけ大きくすることを意味す
る。
また、クロスアクションは、中間ホルダ6の対称性がく
ずれた状態で生じることから、中空形も軸を中心に対称
な形となるようにする。
ずれた状態で生じることから、中空形も軸を中心に対称
な形となるようにする。
第1図、第2図に示した実施例においては、中間ホルダ
6を、中心から線対称の中空形とし従来形の質量の1/
2程度とするために、中空部の長さくa1′およびb1
′)を−辺の長さくalおよびa2)の0.7程度とし
たものである。
6を、中心から線対称の中空形とし従来形の質量の1/
2程度とするために、中空部の長さくa1′およびb1
′)を−辺の長さくalおよびa2)の0.7程度とし
たものである。
これは、回転慣性モーメントが、中間ホルダ6の質量だ
けでなく板厚の影響を受けることに注意して、板厚を従
来のまま保持することで、質量低下による、回転慣性モ
ーメントの低下をおさえたものであり、中間ホルダ6の
質量低下、回転慣性モーメント増加、中心支持の効果に
よりトラツキ・ング方向とフォーカシング方向の達成運
動をおさえ、クロスアクションを低減することができる
。
けでなく板厚の影響を受けることに注意して、板厚を従
来のまま保持することで、質量低下による、回転慣性モ
ーメントの低下をおさえたものであり、中間ホルダ6の
質量低下、回転慣性モーメント増加、中心支持の効果に
よりトラツキ・ング方向とフォーカシング方向の達成運
動をおさえ、クロスアクションを低減することができる
。
その結果、情報続出誤差、S/N比の低減につながる。
上記の実施例における中空状構造の中間ホルダ6と、従
来形における中実構造の中間ホルダにおいて、その各固
有振動モードにおけるクロスアクションを1票希↓有限
要素法において比較したものを第3図に示す。図中、実
線矢印で示すものは11.、有限要素法による 値である。
来形における中実構造の中間ホルダにおいて、その各固
有振動モードにおけるクロスアクションを1票希↓有限
要素法において比較したものを第3図に示す。図中、実
線矢印で示すものは11.、有限要素法による 値である。
第3図において、クロスアクションを矢印で表したのは
、振動モードごとにおけるクロスアクションのとる範囲
を表したためである。
、振動モードごとにおけるクロスアクションのとる範囲
を表したためである。
第3図により明白なとおり、本実施例のように中間ホル
ダ6を中空状構造にすることにより、春゛
、望ましい結果が得られる。
ダ6を中空状構造にすることにより、春゛
、望ましい結果が得られる。
以上により、中間ホルダ6の質量を減少させ、回転慣性
モーメントを大きくする構造、例えば、中間ホルダ6を
、中間ホルダ6の重心に対して対称を形の中空部を有す
る中空状構造とすることで、対物レンズ駆動装置のクロ
スアクションを低減す仝ことができ、S/N比の向上、
記録、再生誤差の低減につながることが明らかとなった
。
モーメントを大きくする構造、例えば、中間ホルダ6を
、中間ホルダ6の重心に対して対称を形の中空部を有す
る中空状構造とすることで、対物レンズ駆動装置のクロ
スアクションを低減す仝ことができ、S/N比の向上、
記録、再生誤差の低減につながることが明らかとなった
。
第4図〜第6図は、本発明の駆動装置における中間ホル
ダの他の構造を示したものである。
ダの他の構造を示したものである。
第4図に示す構造は、質量低減と回転慣性モーメントの
増加を図るため、中空部の一辺の長さくa1′およびb
1′)を−辺の長さくalおよびbt)の0.85程度
に大きくし、板厚を薄くしたものである。この構造によ
り、質量は1/2程度、回転慣性モーメントは増加する
ことができ、第1図および第2図に示した構造同様の効
果が期待できる。
増加を図るため、中空部の一辺の長さくa1′およびb
1′)を−辺の長さくalおよびbt)の0.85程度
に大きくし、板厚を薄くしたものである。この構造によ
り、質量は1/2程度、回転慣性モーメントは増加する
ことができ、第1図および第2図に示した構造同様の効
果が期待できる。
その他に、中間ホルダ6は第5図および第6図に示すよ
うな構造にしても、上記構造と同様の効果を得ることで
きる。
うな構造にしても、上記構造と同様の効果を得ることで
きる。
以上の説明では、中間ホルダを有し、フォーカシング方
向にのみ変位する第1の弾性支持部材と、トラッキング
方向にのみ変位する第2の弾性支持部材とにより被駆動
体を支持している構造について説明したが、他に中間ホ
ルダを有しない構造の駆動装置についても実現できる。
向にのみ変位する第1の弾性支持部材と、トラッキング
方向にのみ変位する第2の弾性支持部材とにより被駆動
体を支持している構造について説明したが、他に中間ホ
ルダを有しない構造の駆動装置についても実現できる。
この場合は、対物レンズを含む被駆動体をフォーカシン
グおよびトラッキング方向に駆動させるための弾性支持
部材に対して、その支持部材の可動側をささえている部
材において、その部材の質量を減少させ1回転慣性モー
メントを大きくする構造、たとえば、中空形にすること
で、第3図で示したものと同様の結果を導くことができ
る。
グおよびトラッキング方向に駆動させるための弾性支持
部材に対して、その支持部材の可動側をささえている部
材において、その部材の質量を減少させ1回転慣性モー
メントを大きくする構造、たとえば、中空形にすること
で、第3図で示したものと同様の結果を導くことができ
る。
第7図は、中間ホルダを有しない対物レンズ駆動装置に
おける要部を示す図である。
おける要部を示す図である。
中間ホルダを有しない装置においては、対物レンズ1を
有する被駆動体2を、フォーカシング方向とトラッキン
グ方向の2方向に駆動するために2方向に自由度をもつ
弾性支持部材としての支持ばね9で、支持しているもの
である。7は被駆動体くをフォーカシング方向に駆動す
るための駆動機構を構成する駆動コイル、8は被駆動体
2をトラッキング方向に駆動するための駆動機構を構成
する駆動コイルである。この場合、クロスアクション低
減のために、質量低減、回転慣性モーメント増大を考慮
するのは、対物レンズ、コイルを含む被駆動体2である
。このため、第7図に示すように、対物レンズ1および
駆動コイル7.8の支持部材10を、板状に形成するこ
とにより、被駆動体2を中空状構造としている。これに
より、前述の実施例と同様に、S/N比向上向上録、再
生誤差の低減を図ることができる。
有する被駆動体2を、フォーカシング方向とトラッキン
グ方向の2方向に駆動するために2方向に自由度をもつ
弾性支持部材としての支持ばね9で、支持しているもの
である。7は被駆動体くをフォーカシング方向に駆動す
るための駆動機構を構成する駆動コイル、8は被駆動体
2をトラッキング方向に駆動するための駆動機構を構成
する駆動コイルである。この場合、クロスアクション低
減のために、質量低減、回転慣性モーメント増大を考慮
するのは、対物レンズ、コイルを含む被駆動体2である
。このため、第7図に示すように、対物レンズ1および
駆動コイル7.8の支持部材10を、板状に形成するこ
とにより、被駆動体2を中空状構造としている。これに
より、前述の実施例と同様に、S/N比向上向上録、再
生誤差の低減を図ることができる。
本発明によれば、対物レンズ駆動装置において対物レン
ズを含む被駆動体を支持する弾性支持部材の可動側の質
量低減と、回転慣性モーメント増加により、クロスアク
ションを低減できるので、対物レンズ駆動において、S
/N比の向上と、記録再生誤差を低減するという効果が
有る。
ズを含む被駆動体を支持する弾性支持部材の可動側の質
量低減と、回転慣性モーメント増加により、クロスアク
ションを低減できるので、対物レンズ駆動において、S
/N比の向上と、記録再生誤差を低減するという効果が
有る。
第1図は本発明の対物レンズ駆動装置の一例を示す斜視
図、第2図は第1図の要部を説明する図、第3図は本発
明の詳細な説明する図、第4図〜第6図は本発明の一例
における中間ホルダの他の例を示す図、第7図は本発明
の対物レンズ駆動装置の他の例における要部を示す図で
ある。 1・・・対物レンズ、2・・・被駆動体、3・・・第1
の弾性部材、4・・・第2の弾性部材、6・・・中間ホ
ルダ、7゜8・・・駆動コイル。
図、第2図は第1図の要部を説明する図、第3図は本発
明の詳細な説明する図、第4図〜第6図は本発明の一例
における中間ホルダの他の例を示す図、第7図は本発明
の対物レンズ駆動装置の他の例における要部を示す図で
ある。 1・・・対物レンズ、2・・・被駆動体、3・・・第1
の弾性部材、4・・・第2の弾性部材、6・・・中間ホ
ルダ、7゜8・・・駆動コイル。
Claims (1)
- 対物レンズを含む光学系を有する被駆動体と、この被駆
動体を支持し、互いに直交する二方向に駆動する弾性支
持部材を備える対物レンズ駆動装置において、前記対物
レンズを支持している弾性支持部材の先端側を支持して
いる部材を、質量低減と回転慣性モーメント増加を図つ
た構造としたことを特徴とする対物レンズ駆動装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14420384A JPS6124034A (ja) | 1984-07-13 | 1984-07-13 | 対物レンズ駆動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14420384A JPS6124034A (ja) | 1984-07-13 | 1984-07-13 | 対物レンズ駆動装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6124034A true JPS6124034A (ja) | 1986-02-01 |
Family
ID=15356619
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14420384A Pending JPS6124034A (ja) | 1984-07-13 | 1984-07-13 | 対物レンズ駆動装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6124034A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5726968A (en) * | 1991-11-07 | 1998-03-10 | U.S. Philips Corporation | Electro-optical scanning device, hinge element for use in the scanning device, and optical player comprising the scanning device |
WO2021219339A1 (en) * | 2020-04-27 | 2021-11-04 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Assembly, in particular in a microlithographic projection exposure apparatus |
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1984
- 1984-07-13 JP JP14420384A patent/JPS6124034A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5726968A (en) * | 1991-11-07 | 1998-03-10 | U.S. Philips Corporation | Electro-optical scanning device, hinge element for use in the scanning device, and optical player comprising the scanning device |
WO2021219339A1 (en) * | 2020-04-27 | 2021-11-04 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Assembly, in particular in a microlithographic projection exposure apparatus |
US12105434B2 (en) | 2020-04-27 | 2024-10-01 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Assembly, in particular in a microlithographic projection exposure apparatus |
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