JPS61235987A - 画像計測記憶装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は画像計測記憶装置に係り、特にフロッピー磁気
ディスクなどの記憶媒体に、必要画像の多数の計測デー
タを収納記憶することのできる画像計測記憶装置に関す
る。

〔発明の背景〕

ＬＳＩなどの微細パターンの線幅測定などのような画像
計測を行う場合は、従来は画像処理装置もしくは画像計
測装置により画像の計測を行ない、この計測データをデ
ジタルメモリに収納していたが、この場合これらの計測
データは通常全画面を対象としていた。しか□しながら
、一般に画像の画素数は極めて多いため、収納する媒体
として廉価で取扱い容易なフロッピー磁気ディスクなど
を用いると、１枚のディスクに最大３〜４画面しか記録
できず、実用上２０〜３０個所の記録を特徴とする請求
に応じられないという問題があった。

〔発明の目的〕

本発明の上述した点に鑑みてなされたもので、その目的
とするところは、廉価で取扱い容易な記録媒体に、多数
の必要画像の計測データを収納記憶することのできる画
像計測記憶装置を提供するにある。

〔発明の概要〕

本発明は、モニタテレビ上の計測すべき画像の所望部分
のみを、このモニタテレビの画面上で移動可能に設けた
少なくとも２本のカーソル線で限定し、この限定された
部分のみを計測して、別に設は起磁気ディスクにデジタ
ル信号として記録する＋うに、画像計測記録装置を構成
することにより、所期の目的を達成するようになしたも
のである。

〔発明の実施例〕

以下、本発明に係る画像計測記憶装置の一実施例を、図
面を参照して説明する。

第１図、第２図及び第３図に本発明の一実施例を示す。

第１図は画像計測システム図であり、１は走査電子顕微
鏡、または光学顕微鏡にテレビ撮像手段を加えたものな
どのように、像信号を時系列的に伝達する装置である。

この装置１により発せられた像信号はＡＤコンバータ２
によりディジタル信号に変換され、フレームデジタルメ
モリ３に記憶される。この記憶された像信号は読み出し
操作によってモニタテレビ４上に映し出される。

５はマイクロコンピュータであり、６は画像の記憶、読
み出し、像の処理などの操作を行なう操作盤である。７
は後述するモニタテレビ４上を移動するカーソル線の操
作キー、８は前記ディジタル信号をフロッピー磁気ディ
スク９に送るためのインタフェース部である。

上述したように構成された本実施例により、ＬＳＩパタ
ーン１０の線幅測定を行う測定例を第２図及び第３図に
より以下に説明する。モニタテレビ４の画面上に表示さ
れた斜線で示す３本のパターンｌｏａ、１０ｂ及び１０
ｃのうち、測定を必要とする部分を、モニタテレビ４の
画面上を移動する縦横それぞれ２本の互いに直交するカ
ーソル線Ｘ工、ｘ２及びＹｌ、Ｙ２により、操作キー７
を操作してこれらのカーソル線を移動して限定する。こ
のようにして限定されたパターンが例えば第２図に示す
ように１０ｂの一部であった場合、このパターン１０ｂ
の周辺部との境界線の判定は、カーソル線Ｙ、、Ｙ２に
平行にビームの強度の分布を見てゆき、ある所定の強度
に達した所をパターン１０ｂの境界線と判定し、これを
例えば第２図の黒点で示す。この場合、正しいパターン
１０ｂの幅は、Ｘｌ及びｘ２のカーソル線の間隔から、
前述のようにして求めたカーソル線ｘ１及びｘ２からパ
ターン１０ｂの境界線に至る距離の和を差引いた差であ
る。このときの測定条件はモニタテレビ４の画面の一部
に表示されている。この表示にはこの他に測長平均値や
偏差値などをマイクロコンピュータ５により計算して表
示することがある。このようにして、パターン１０の線
幅の測定が必要なパターン１０ｂの、第３図に示す４本
のカーソルｍｘｔ　、　ｘ２．　ｙｌ及びＹ２で囲まれ
た部分において測定を行えばよく、その他の部分のパタ
ーン幅測定を省略しても問題はない。

第３図に示す４本のカーソル線の位置は、デジタルメモ
リ上で既知であるから、操作盤６によりこの範囲のみ指
令してフロッピーディスク９に収納することは容易であ
る。また、測定条件、カーソル線、その他の数値データ
は別個に記憶すればよい。

上述したように、本実施例によれば画素数の多い全画面
についての測定データを記憶しなくても必要画像のみに
制限して測定データをとり込むことにより、データとし
ての画像をフロッピーディスク９に収納することができ
る。

本実施例においては、画像を制限する手段として４本の
カーソル線Ｘ１．Ｘ、、Ｙｌ、Ｙ、を用いた例について
説明したが、実用上Ｘ１．　Ｘ、またはＹ、、Ｙ２のみ
の指定する範囲でも同様の目的を達成することができる
。特にカーソル線Ｙ１゜Ｙ２の指定は実用上フレームメ
モリ３上の位置指定により簡単に達成できるので便利で
ある。このようにして全画面の１１５〜１／１ｏ程度の
画素数で所期の目的を達成することができる。

〔発明の効果〕

上述した通り、本発明によれば、モニタテレビ上の計測
すべき画像を少なくとも２本のカーソル線で必要部分の
みを限定して計測し、磁気ディスクに記憶させるように
したものであるから、データとしての画像を数多くフロ
ッピー磁気ディスクに記憶収納できるようになった。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る画像計測記憶装置の一実施例のシ
ステムを示すフロー図、第２１１！ｌ及び第３図は本実
施例による計測の一例を示すモニタテレビの正面図であ
る。 ３・・・フレームデジタルメモリ、４・・・モニタテレ
ビ、Ｘｌ、Ｘ、、Ｙｌ、Ｙ、−・・カーソル線、９・・
・磁気ディスク。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、画像の計測を行ない、この計測されたデータをデジ
   タルメモリに収納する画像計測記憶装置において、モニ
   タテレビ上の前記画像の所望部分のみを、このモニタテ
   レビの画面上で移動可能に設けた少なくとも２本のカー
   ソル線で限定し、この限定された部分のみを計測して、
   別に設けた磁気ディスクにデジタル信号として記録する
   ように構成したことを特徴とする画像計測記憶装置。