JPS612255A - シングルエンド形高輝度放電ランプおよびその製造方法 - Google Patents
シングルエンド形高輝度放電ランプおよびその製造方法Info
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- JPS612255A JPS612255A JP60093960A JP9396085A JPS612255A JP S612255 A JPS612255 A JP S612255A JP 60093960 A JP60093960 A JP 60093960A JP 9396085 A JP9396085 A JP 9396085A JP S612255 A JPS612255 A JP S612255A
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- intensity discharge
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- electrical conductors
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- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
- H01J61/02—Details
- H01J61/36—Seals between parts of vessels; Seals for leading-in conductors; Leading-in conductors
- H01J61/366—Seals for leading-in conductors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/24—Manufacture or joining of vessels, leading-in conductors or bases
- H01J9/32—Sealing leading-in conductors
- H01J9/323—Sealing leading-in conductors into a discharge lamp or a gas-filled discharge device
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Vessels And Coating Films For Discharge Lamps (AREA)
- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の分野〕
本発明は、シングルエンド形低ワット数高輝度放電ラン
プおよびその製造方法に関し、特定すると比較的大きい
1熱間再点弧”能力を有するシングルエンド形低ワット
数高輝度放電ランプおよびその製造方法に関する。
プおよびその製造方法に関し、特定すると比較的大きい
1熱間再点弧”能力を有するシングルエンド形低ワット
数高輝度放電ランプおよびその製造方法に関する。
一般的に、高輝度放電ランプは、封止されている外囲器
内に配されている一対の離間した電極を有し、この電極
のまわりは、電極間に放電が起こる場合に光を放射する
゛ガスが取り囲んでいる。通常は、この電極は、ある種
の物質、たとえば石英で構成される管内に埋め込まれて
おり、”ピンチ1封止ど通常呼称されている部位を通っ
てすなわちその平坦部分を通り外囲器内へと延びている
。
内に配されている一対の離間した電極を有し、この電極
のまわりは、電極間に放電が起こる場合に光を放射する
゛ガスが取り囲んでいる。通常は、この電極は、ある種
の物質、たとえば石英で構成される管内に埋め込まれて
おり、”ピンチ1封止ど通常呼称されている部位を通っ
てすなわちその平坦部分を通り外囲器内へと延びている
。
このような高輝度放電ランプはダブルエンド形構造より
成ることが多く、この場合、中央配置の外囲器部分に関
して両側に配置されている一対の管部分の各々に電極が
埋め込まれている。この外囲器部分は、一対の6ピンチ
1封止部によって形成され、各電極は、″ピンチ”封止
部を通って外囲器内へ延びている。他方、一対の電気導
体が互いに離間しており、管部分内に埋め込まれ、単一
の1ピンチ8封止部を通ってガスが充填された外囲器内
へと延びているシングルエンド形構成を提供することが
より一層経済的で効率的な場合にも、数多の応用例が存
する。
成ることが多く、この場合、中央配置の外囲器部分に関
して両側に配置されている一対の管部分の各々に電極が
埋め込まれている。この外囲器部分は、一対の6ピンチ
1封止部によって形成され、各電極は、″ピンチ”封止
部を通って外囲器内へ延びている。他方、一対の電気導
体が互いに離間しており、管部分内に埋め込まれ、単一
の1ピンチ8封止部を通ってガスが充填された外囲器内
へと延びているシングルエンド形構成を提供することが
より一層経済的で効率的な場合にも、数多の応用例が存
する。
通常、電極間の放電は、外囲器内へと延びて電極として
働く電気導体間に適当な高電圧パルス電圧を印加するこ
とによって行なわれる。ある時間の間ターンオフされて
いたランプは比較的始動しやすいことが見出されている
が、これは比較的冷たいランプの外囲器内の圧力は、通
常大気圧よりも低いからである。それゆえ、約2 KV
ないし約10雇いう1冷間始動11電圧も、低ワット数
、高輝度放電ランプでは珍しくない。しかし、ある時間
動作していたランプが数気圧の圧力を有することが知ら
れている。それゆえ、ごく直前にターンオフされた放電
ランプを賦活するには比較的大きな1+熱間再点弧1電
圧を必要とし、直前まで動作KVないし約5o KVの
範囲の電圧を印加することも珍しくない。
働く電気導体間に適当な高電圧パルス電圧を印加するこ
とによって行なわれる。ある時間の間ターンオフされて
いたランプは比較的始動しやすいことが見出されている
が、これは比較的冷たいランプの外囲器内の圧力は、通
常大気圧よりも低いからである。それゆえ、約2 KV
ないし約10雇いう1冷間始動11電圧も、低ワット数
、高輝度放電ランプでは珍しくない。しかし、ある時間
動作していたランプが数気圧の圧力を有することが知ら
れている。それゆえ、ごく直前にターンオフされた放電
ランプを賦活するには比較的大きな1+熱間再点弧1電
圧を必要とし、直前まで動作KVないし約5o KVの
範囲の電圧を印加することも珍しくない。
それゆえ、ある時間の動作使用後にシングルエンド形高
輝度放電ランプに1熱間再点弧”電圧が印加される場合
に、望ましくないアーク発生に関連する問題に遭遇する
可能性のあることは容易に理解されよう。言い換えると
、一対の電気導体が互いに離間されており、同一端部か
らランプ内へと貫入しているシングルエンド形放電ラン
プは、このランプを賦活するに必要な比較的大きい”熱
間再点弧”電圧が採用される場合には、このランプの外
囲器の外部に望ましくないアークを起こしやすい。高輝
度放電ランプの外囲器外部の導線間の上記の望ましくな
いアークの発生を軽沖するための一つの周知の試みとし
て、先の電気導体間に絶縁物を挿入することが考えられ
た。より詳しくいえば、ガラス管の”ピンチ”封止端部
は、その内部に一対の離間された電気導体が埋め込まれ
ており、この電気導体の間のガラス管にのこぎりカット
を施し、こののこぎりカット部にマイカ片を挿入するの
である。しかし、”ピンチされた11管の切断は、先の
問題に対する賢明な解決法ではない。なぜなら、のこぎ
り引きさ4れた管は、望ましくない致命的なりラック故
障を呈しやすいからである。
輝度放電ランプに1熱間再点弧”電圧が印加される場合
に、望ましくないアーク発生に関連する問題に遭遇する
可能性のあることは容易に理解されよう。言い換えると
、一対の電気導体が互いに離間されており、同一端部か
らランプ内へと貫入しているシングルエンド形放電ラン
プは、このランプを賦活するに必要な比較的大きい”熱
間再点弧”電圧が採用される場合には、このランプの外
囲器の外部に望ましくないアークを起こしやすい。高輝
度放電ランプの外囲器外部の導線間の上記の望ましくな
いアークの発生を軽沖するための一つの周知の試みとし
て、先の電気導体間に絶縁物を挿入することが考えられ
た。より詳しくいえば、ガラス管の”ピンチ”封止端部
は、その内部に一対の離間された電気導体が埋め込まれ
ており、この電気導体の間のガラス管にのこぎりカット
を施し、こののこぎりカット部にマイカ片を挿入するの
である。しかし、”ピンチされた11管の切断は、先の
問題に対する賢明な解決法ではない。なぜなら、のこぎ
り引きさ4れた管は、望ましくない致命的なりラック故
障を呈しやすいからである。
本発明の目的は、従来技術の問題を除去することである
。本発明の他の目的は、改良されたシングルエンド形高
輝度放電ランプを提供することである。本発明のさらに
他の目的は、外部アークに対する抵抗性が改善された改
良形シングルエンド形高輝度放電ランプを提供すること
である。本発明のさらに他の目的は、耐アーク形シング
ルエンド形高輝度放電ランプ製造のための改良された方
法を提供することである。
。本発明の他の目的は、改良されたシングルエンド形高
輝度放電ランプを提供することである。本発明のさらに
他の目的は、外部アークに対する抵抗性が改善された改
良形シングルエンド形高輝度放電ランプを提供すること
である。本発明のさらに他の目的は、耐アーク形シング
ルエンド形高輝度放電ランプ製造のための改良された方
法を提供することである。
上記の目的や利点は、本発明の一側面において、シング
ルエンド形低ワット数高輝度放電ランプであって、 一端に1ピンチ“封止部を有する充填ガスを含む石英外
囲器と、 この1ピンチ1封止部内に封止されてこの封止部を貫通
している一対の電気導体と、 この1組の電気導体の一方(もしくは両方)を包含する
ように嵌められ、石英外囲器の”ピンチ1封止部に融着
され、石英外囲器の膨脹係数と同様の膨脹係数を有する
絶縁物質から構成されるスリーブとを有するものによっ
て達成される。
ルエンド形低ワット数高輝度放電ランプであって、 一端に1ピンチ“封止部を有する充填ガスを含む石英外
囲器と、 この1ピンチ1封止部内に封止されてこの封止部を貫通
している一対の電気導体と、 この1組の電気導体の一方(もしくは両方)を包含する
ように嵌められ、石英外囲器の”ピンチ1封止部に融着
され、石英外囲器の膨脹係数と同様の膨脹係数を有する
絶縁物質から構成されるスリーブとを有するものによっ
て達成される。
本発明の他の側面において、シングルエンド形高輝度放
電ランプは、 石英と同様の膨脹係数を有する電気絶縁性物質のスリー
ブを、一対の電気導体の一方に嵌め、これらの電気導体
を石英管内に離間関係で配置し、 電気導体を埋め込み、電気導体の一部が貫通している外
囲器を形成し、かつ絶縁物質のスリーブを石英管に融着
するように石英管を封止し、充填ガスを外囲器内へと導
入し、 外囲器を1ピンチ”封止部とは反対の端部で封止して、
高輝度放電ランプを提供する 諸段階より製造される。
電ランプは、 石英と同様の膨脹係数を有する電気絶縁性物質のスリー
ブを、一対の電気導体の一方に嵌め、これらの電気導体
を石英管内に離間関係で配置し、 電気導体を埋め込み、電気導体の一部が貫通している外
囲器を形成し、かつ絶縁物質のスリーブを石英管に融着
するように石英管を封止し、充填ガスを外囲器内へと導
入し、 外囲器を1ピンチ”封止部とは反対の端部で封止して、
高輝度放電ランプを提供する 諸段階より製造される。
図面を参照しながら本発明の好ましい実施例を説明する
。
。
第1図は、シングルエンド形低ワット数高輝度放電ラン
プ6を例示している。このランプ3は石英管より形成さ
れ、その一端部に0ピンチ”封止部7を有する外囲器5
を提供するように賦形される。一対の電気導体9.11
が1ピンチ1封止部7内に埋め込まれ、互いに離間し、
外囲器5の外テ少すくトも約0.64 cln (1/
4in)の間隔”X”である。各電気導体9.11は、
各々電極部分16.15を有し、この電極部分はプレス
封止部7から外囲器5へと伸びている。箔部材17.1
9が電極部分16.15に接続し、石英管のプレス封止
部7内に配置されている。一対の導線21.23が箔部
材17.19に接続し、石英管の”ピンチ1封止部7内
に埋め込まれており、ここから外に延びて、電極部分1
3.15と外部賦活源(図示せず)との電気的結合を形
成する。
プ6を例示している。このランプ3は石英管より形成さ
れ、その一端部に0ピンチ”封止部7を有する外囲器5
を提供するように賦形される。一対の電気導体9.11
が1ピンチ1封止部7内に埋め込まれ、互いに離間し、
外囲器5の外テ少すくトも約0.64 cln (1/
4in)の間隔”X”である。各電気導体9.11は、
各々電極部分16.15を有し、この電極部分はプレス
封止部7から外囲器5へと伸びている。箔部材17.1
9が電極部分16.15に接続し、石英管のプレス封止
部7内に配置されている。一対の導線21.23が箔部
材17.19に接続し、石英管の”ピンチ1封止部7内
に埋め込まれており、ここから外に延びて、電極部分1
3.15と外部賦活源(図示せず)との電気的結合を形
成する。
重要なことは、絶縁物質のスリーブ25、たとえば4石
英管もしくはニューヨーク・コーニングのコーニング・
ガラス社(Corning Glass Compan
y )より入手可能なバイコール(Vycor、 )と
して周知の物質が、一対の電気導体9.11の少なくと
も一方を包含するように嵌められ、石英管内に融着され
ていることである。必要に応じこの絶縁物質25は約0
.5誼の肉厚と約1.211mの範囲の外径を有するこ
とが好ましい。
英管もしくはニューヨーク・コーニングのコーニング・
ガラス社(Corning Glass Compan
y )より入手可能なバイコール(Vycor、 )と
して周知の物質が、一対の電気導体9.11の少なくと
も一方を包含するように嵌められ、石英管内に融着され
ていることである。必要に応じこの絶縁物質25は約0
.5誼の肉厚と約1.211mの範囲の外径を有するこ
とが好ましい。
特に、バイコール(Vycor )物質もしくはこれと
同様の物質で、石英管とほぼ同様の膨脹係数を有し、石
英よりも加工温度の低い物質が好ましい。
同様の物質で、石英管とほぼ同様の膨脹係数を有し、石
英よりも加工温度の低い物質が好ましい。
一般的に、製造上、絶縁物質25の直接加熱は許容され
ず、石英管を通じてのその二次加熱によって、絶縁物質
25と石英管との間の所望の融着を達成しているので、
低い加工温度の物質が、望ましい絶縁物質25であるこ
とは容易に理解されよう。
ず、石英管を通じてのその二次加熱によって、絶縁物質
25と石英管との間の所望の融着を達成しているので、
低い加工温度の物質が、望ましい絶縁物質25であるこ
とは容易に理解されよう。
さらに、絶縁物質25と石英管との融着は、単なる機械
的接合と比較すると電気導体9.11間のパスにわたる
アーク発生を減少させるために必要であることにも注意
されたい。さらに、代替実施例では、導線23への絶縁
物質25の予封止とアーク管が組み立てられた後にこの
絶縁物質25を石英管に融着させている。
的接合と比較すると電気導体9.11間のパスにわたる
アーク発生を減少させるために必要であることにも注意
されたい。さらに、代替実施例では、導線23への絶縁
物質25の予封止とアーク管が組み立てられた後にこの
絶縁物質25を石英管に融着させている。
さらに、アルゴンおよび水銀および1つまたはそれ以上
の金属ハロゲン化物等の充填ガスが高輝度放電ランプ3
の外囲器5内に収容される。この充填ガスは、′1ピン
チ0封止部7とは反対の外囲器5の端部に配されている
チップオフされた排気管部分24によって外囲器5内に
維持されている。
の金属ハロゲン化物等の充填ガスが高輝度放電ランプ3
の外囲器5内に収容される。この充填ガスは、′1ピン
チ0封止部7とは反対の外囲器5の端部に配されている
チップオフされた排気管部分24によって外囲器5内に
維持されている。
さらにこの充填ガスの圧力は、たとえば約40Wないし
約1ooWの範囲のワット数の高輝度放電ランプ6が、
約2 KVないし約1oKVの範囲の”冷間6始動電圧
および約s KVないし約5oKVの範囲の11熱間再
点弧″電圧を有するとされる。
約1ooWの範囲のワット数の高輝度放電ランプ6が、
約2 KVないし約1oKVの範囲の”冷間6始動電圧
および約s KVないし約5oKVの範囲の11熱間再
点弧″電圧を有するとされる。
上述のシングルエンド形低ワット数高輝度放電ランプの
好ましい製造方法に関して、第2図は、石英とほぼ同様
の膨脹係数の絶縁物質から成るスリーブが、一対の電気
導体の少なくとも一方を包含するように嵌められる諸段
階を例示している。
好ましい製造方法に関して、第2図は、石英とほぼ同様
の膨脹係数の絶縁物質から成るスリーブが、一対の電気
導体の少なくとも一方を包含するように嵌められる諸段
階を例示している。
この一対の電気導体は、互いに離間関係で中空の石英管
内に配置される。その後石英管は、一対の離間した電気
導体をここに埋め込むように”ピンチ+1封止され、外
囲器を形成し、石英管と同様の膨脹係数の絶縁物質から
なるスリーブを石英管に融着させる。
内に配置される。その後石英管は、一対の離間した電気
導体をここに埋め込むように”ピンチ+1封止され、外
囲器を形成し、石英管と同様の膨脹係数の絶縁物質から
なるスリーブを石英管に融着させる。
次に、例えば前述のアルゴンおよび水銀および1または
それ以上の金属ハロゲン化物のような充填ガスが外囲器
5内に導かれる。その後、外囲器5はチップオフされて
、密閉封止容器すなわち高輝度放電ランプが提供される
。
それ以上の金属ハロゲン化物のような充填ガスが外囲器
5内に導かれる。その後、外囲器5はチップオフされて
、密閉封止容器すなわち高輝度放電ランプが提供される
。
このようにして、新規な高輝度放電ランプおよびその製
造方法が形成され、この場合ランプの外囲器外での電気
導体間の望ましくないアーク発生は実質上除去されるか
もしくは少なくとも太幅に減縮される。さらに、このア
ーク発生の減縮は、放電ランプの”ピンチ1制止部分の
危険な変形をせずにしかもランプ費用と部材費用の増加
をできるかぎり押さえるように行われる。
造方法が形成され、この場合ランプの外囲器外での電気
導体間の望ましくないアーク発生は実質上除去されるか
もしくは少なくとも太幅に減縮される。さらに、このア
ーク発生の減縮は、放電ランプの”ピンチ1制止部分の
危険な変形をせずにしかもランプ費用と部材費用の増加
をできるかぎり押さえるように行われる。
第1図は、本発明の実施例の断面図における正面図であ
る。 第2図は、第1図の実施例を製造するための好ましい方
法を示す流れ図である。 図面の各番号が示す名称を以下に誉げろ。 3: シングルエンド形低ワット数高輝度放電ランプ 5: 外囲器 7: 11ピンチ11封止部 9.11: ゛南、気導体 16.15:電極部分 17.19:箔部材 21.23:導線 24: 排気管部分 25: スリーブ
る。 第2図は、第1図の実施例を製造するための好ましい方
法を示す流れ図である。 図面の各番号が示す名称を以下に誉げろ。 3: シングルエンド形低ワット数高輝度放電ランプ 5: 外囲器 7: 11ピンチ11封止部 9.11: ゛南、気導体 16.15:電極部分 17.19:箔部材 21.23:導線 24: 排気管部分 25: スリーブ
Claims (16)
- (1)一端部に“ピンチ”封止部を有する石英外囲器と
、 前記外囲器内の充填ガスと、 外囲器の“ピンチ”封止部内に封止され該封止部を貫通
する一対の離間された電気導体と、石英外囲器とほぼ同
様の膨脹係数の絶縁物質から成るスリーブと を備え、 前記スリーブは、一対の離間された電気導体の少なくと
も一方を包含するように嵌められており、さらに石英外
囲器の“ピンチ”封止部内に融着されており、これによ
り前記外囲器の外部の一対の離間された電気導体間のア
ーク発生が阻止されているシングルエンド形低ワット数
高輝度放電ランプ。 - (2)前記絶縁物質からなるスリーブは石英外囲器とほ
ぼ同様の膨脹係数を有しておりさらに石英外囲器よりも
低い加工温度を有している特許請求の範囲第1項記載の
シングルエンド形低ワット数高輝度放電ランプ。 - (3)一対の電気導体は、石英外囲器外部で少なくとも
約0.64cm(1/4in)の間隔で互いに離間して
いる特許請求の範囲第1項記載のシングルエンド形低ワ
ット数高輝度放電ランプ。 - (4)前記ランプは、約2KVないし約10KVの範囲
の“冷間始動”電圧および約5KVないし約10KVの
範囲の“熱間再点弧”電圧で作動できる特許請求の範囲
第1項記載のシングルエンド形低ワット数高輝度放電ラ
ンプ。 - (5)絶縁物質から成るスリーブは石英スリーブの形態
である特許請求の範囲第1項記載のシングルエンド形低
ワット数高輝度放電ランプ。 - (6)充填ガスは金属ハロゲン化物から成る特許請求の
範囲第1項記載のシングルエンド形低ワット数高輝度放
電ランプ。 - (7)前記ランプは、外囲器の外で少なくとも約0.6
4cm(1/4in)の範囲の間隔で離間されている一
対の電気導体を有し、一対の電気導体の少なくとも一方
は石英スリーブで被覆されている40Wの金属ハロゲン
化物ランプである特許請求の範囲第1項記載のシングル
エンド形低ワット数高輝度放電ランプ。 - (8)前記ランプは、約40Wないし約100Wの範囲
のワット数である特許請求の範囲第1項記載のシングル
エンド形低ワット数高輝度放電ランプ。 - (9)絶縁物質から成るスリーブは、約0.5mmの肉
厚を有する特許請求の範囲第1項記載のシングルエンド
形低ワット数高輝度放電ランプ。 - (10)絶縁物質から成るスリーブは、約1.2mmの
範囲の外径を有する特許請求の範囲第1項記載のシング
ルエンド形低ワット数高輝度放電ランプ。 - (11)前記ランプは、金属ハロゲン化物を含む充填ガ
スを有し、約0.5mmの肉厚と約1mmの外径を有す
る絶縁物質から成るスリーブが、一対の離間された電気
導体の少なくとも一方を包含するように嵌められ、石英
外囲器の“ピンチ”封止部に融着されている特許請求の
範囲第1項記載のシングルエンド形低ワット数高輝度放
電ランプ。 - (12)石英とほぼ同様の膨脹係数を有する絶縁物質か
ら成るスリーブを、一対の電気導体の少なくとも一方を
包含するように嵌め、 一対の電気導体を、中空の石英管内に離間関係で配置し
、 石英管を“ピンチ”封止して、一対の電気導体を石英管
内に埋め込み、この一対の離間された電気導体の一部が
貫通する外囲器を形成し、絶縁物質から成るスリーブを
外囲器の外部で石英管に融着し、 外囲器内に充填ガスを導き、 ピンチ封止された端部とは反対側の外囲器の端部を封止
して、前記高輝度放電ランプを形成する諸段階より成る
シングルエンド形低ワット数高輝度放電ランプの製造方
法。 - (13)絶縁物質から成るスリーブは石英の形態である
特許請求の範囲第12項記載のシングルエンド形低ワッ
ト数高輝度放電ランプの製造方法。 - (14)前記一対の電気導体の配置の段階は、この一対
の電気導体を外囲器の外で少なくとも互いに約0.64
cm(1/4in)で配置する段階から成る特許請求の
範囲第12項記載のシングルエンド形低ワット数高輝度
放電ランプの製造方法。 - (15)前記シングルエンド形低ワット数高輝度放電ラ
ンプは、約40Wないし約100Wの範囲のワット数を
有する金属ハロゲン化物ランプ形式である特許請求の範
囲第12項記載のシングルエンド形低ワット数高輝度放
電ランプの製造方法。 - (16)電気導体は、外囲器の外で少なくとも互いに約
0.64cm(1/4in)の範囲で配置され、前記放
電ランプは約5KVないし約10KVの範囲の“熱間再
点弧”電圧を有する特許請求の範囲第12項記載のシン
グルエンド形低ワット数高輝度放電ランプの製造方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US06/608,310 US4631446A (en) | 1984-05-04 | 1984-05-04 | Single-ended high intensity discharge lamp |
US608310 | 1984-05-04 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS612255A true JPS612255A (ja) | 1986-01-08 |
Family
ID=24435929
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60093960A Pending JPS612255A (ja) | 1984-05-04 | 1985-05-02 | シングルエンド形高輝度放電ランプおよびその製造方法 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4631446A (ja) |
EP (1) | EP0160316B1 (ja) |
JP (1) | JPS612255A (ja) |
AU (1) | AU588805B2 (ja) |
CA (1) | CA1246656A (ja) |
DE (1) | DE3575238D1 (ja) |
ZA (1) | ZA853248B (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2022510122A (ja) * | 2018-12-05 | 2022-01-26 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | 高電圧真空フィードスルー |
Families Citing this family (9)
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