JPS61217638A - 空気清浄装置 - Google Patents
空気清浄装置Info
- Publication number
- JPS61217638A JPS61217638A JP60032120A JP3212085A JPS61217638A JP S61217638 A JPS61217638 A JP S61217638A JP 60032120 A JP60032120 A JP 60032120A JP 3212085 A JP3212085 A JP 3212085A JP S61217638 A JPS61217638 A JP S61217638A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- space
- plenum chamber
- work space
- air
- passage space
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Ventilation (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は半導体の製造等に必要となる清浄な作業空間を
作り出すための空気清浄装置に関するものである。
作り出すための空気清浄装置に関するものである。
従来の技術
従来、この種の空気清浄装置は、第３図に示すような構
成であった。第３図において、作業台１が設置された作
業空間２の上部に清浄空気を供給するだめの高性能フィ
ルター３（以下ＨＥＰＡフィルターと呼ぶ）が設けられ
ている。このＨＥ ＰＡフィルター３を介して作業空間
２に送風する作業空間用ファ／６と、ＨＥＰＡフィルタ
ー３間には空気を均圧化するためのプレナムチャンバー
４が設けられている。また、作業空間２に接して通路空
間６があり、この通路空間に清浄空気を供給するために
、上記と同様なＨＥＰＡフィルター７９通路空間用ファ
ノ９．プレナムチャンバー８が設けられ、前記ＨＥＰＡ
フィルター７を通過した清浄空気を均一風速で通路空間
６に吹き出させるための整流板１ｏを通路空間６上部に
設置している。
成であった。第３図において、作業台１が設置された作
業空間２の上部に清浄空気を供給するだめの高性能フィ
ルター３（以下ＨＥＰＡフィルターと呼ぶ）が設けられ
ている。このＨＥ ＰＡフィルター３を介して作業空間
２に送風する作業空間用ファ／６と、ＨＥＰＡフィルタ
ー３間には空気を均圧化するためのプレナムチャンバー
４が設けられている。また、作業空間２に接して通路空
間６があり、この通路空間に清浄空気を供給するために
、上記と同様なＨＥＰＡフィルター７９通路空間用ファ
ノ９．プレナムチャンバー８が設けられ、前記ＨＥＰＡ
フィルター７を通過した清浄空気を均一風速で通路空間
６に吹き出させるための整流板１ｏを通路空間６上部に
設置している。
作業空間２および通路空間６の床はグレーチング床１２
であり、この床１２であり、この床１２を介して作業空
間２および通路空間６の空気をリターンダクト１３に送
り込み、このリターンダクト１３に設けられたプレフィ
ルタ−１１を通ってファン６．９の一次側に送シ込まれ
る循環経路を形成していた。
であり、この床１２であり、この床１２を介して作業空
間２および通路空間６の空気をリターンダクト１３に送
り込み、このリターンダクト１３に設けられたプレフィ
ルタ−１１を通ってファン６．９の一次側に送シ込まれ
る循環経路を形成していた。
発明が解決しようとする問題点
しかしながら従来の構成では、作業空間に清浄空気を供
給するファンと通路空間に清浄空気を供給するファン５
．９と、プレナムチャンバー４゜８がそれぞれ設けられ
ていたため、一定の空間に配置しようとすれば、各々の
プレナムチャンバーの容積は小さくなり、ＨＥＰＡフィ
ルター３．７に供給される空気の均圧化が不十分となり
、その結果、ＨＥＰＡフィルター３．７からの清浄空気
の吹出風速のばらつきが大きくなっていた。そのため、
作業空間２に通路空間６の空気が混入しないように作業
空間２と通路空間６への吹出速度の勾配にもばらつきが
生じていた。また、ＨＥＰＡフィルターからの吹出風速
を制御する場合、作業空間用ファン５と通路空間用７１
ン９を別々に制御しなくてはならず、そのだめのスペー
ス、工数、コストが大きかった。さらに、７１ン取り付
部が二系統あるため、前述したスペース、工数、コスト
が大きく、メンテナンスも難しい等の問題点を有してい
た。
給するファンと通路空間に清浄空気を供給するファン５
．９と、プレナムチャンバー４゜８がそれぞれ設けられ
ていたため、一定の空間に配置しようとすれば、各々の
プレナムチャンバーの容積は小さくなり、ＨＥＰＡフィ
ルター３．７に供給される空気の均圧化が不十分となり
、その結果、ＨＥＰＡフィルター３．７からの清浄空気
の吹出風速のばらつきが大きくなっていた。そのため、
作業空間２に通路空間６の空気が混入しないように作業
空間２と通路空間６への吹出速度の勾配にもばらつきが
生じていた。また、ＨＥＰＡフィルターからの吹出風速
を制御する場合、作業空間用ファン５と通路空間用７１
ン９を別々に制御しなくてはならず、そのだめのスペー
ス、工数、コストが大きかった。さらに、７１ン取り付
部が二系統あるため、前述したスペース、工数、コスト
が大きく、メンテナンスも難しい等の問題点を有してい
た。
本発明は上記問題点に鑑み、作業空間と通路空間への吹
出風速の均一化を図るとともに、省スペース、工数削減
、コストダウンを達成し、メンテナンスの容易な空気清
浄装置を提供することを目的とするものである。
出風速の均一化を図るとともに、省スペース、工数削減
、コストダウンを達成し、メンテナンスの容易な空気清
浄装置を提供することを目的とするものである。
問題点を解決するための手段
上記目的を達成するために、本発明は、吹き出し側にフ
ィルターを備えた作業空間用プレナムチャ／パーと通路
空間用プレナムチャンバーを設け、これらのプレナムチ
ャンバーとを風量調節ダンパーを介して連結するととも
に、前記作業空間用プレナムチャンバー側にファンを連
結した構成である０ 作 用 以上の構成によれば、ファンよシ送風された空気は作業
用空間用プレナムチャンバーに流れ込み、さらに風量調
節ダンパーによって風量を制御されたのち通路空間用プ
レナムチャンバーに流れ込み、それぞれのフィルターを
介して作業空間および通路空間に清浄空気が吹き出され
る。
ィルターを備えた作業空間用プレナムチャ／パーと通路
空間用プレナムチャンバーを設け、これらのプレナムチ
ャンバーとを風量調節ダンパーを介して連結するととも
に、前記作業空間用プレナムチャンバー側にファンを連
結した構成である０ 作 用 以上の構成によれば、ファンよシ送風された空気は作業
用空間用プレナムチャンバーに流れ込み、さらに風量調
節ダンパーによって風量を制御されたのち通路空間用プ
レナムチャンバーに流れ込み、それぞれのフィルターを
介して作業空間および通路空間に清浄空気が吹き出され
る。
実施例
以下本発明の一実施例を第１図および第２図にもとづき
説明する。
説明する。
、第１図において、作業台１が設置された作業空間２お
よび通路空間６の上部にはＨＥＰＡフィルター３．７が
設けられている。このＨＥＰＡフィルター３．７の上部
には、それぞれ作業空間用プレナムチャンバー２０と通
路空間用プレナムチャンバー２２が風量調節ダンパー２
１を介して分離されている。また、作業空間２および通
路空間６の空気はグレーチング床１２を介してリターン
ダクト１３に流れ込み、そしてプレフィルタ−１１を通
ってフ７；／１９Ｏ−次側に送り込まれる循環経路を形
成している。
よび通路空間６の上部にはＨＥＰＡフィルター３．７が
設けられている。このＨＥＰＡフィルター３．７の上部
には、それぞれ作業空間用プレナムチャンバー２０と通
路空間用プレナムチャンバー２２が風量調節ダンパー２
１を介して分離されている。また、作業空間２および通
路空間６の空気はグレーチング床１２を介してリターン
ダクト１３に流れ込み、そしてプレフィルタ−１１を通
ってフ７；／１９Ｏ−次側に送り込まれる循環経路を形
成している。
次に、風量調節ダンパー２１を第２図に基づいて説明す
る。同図において、ダンパー５１の中心にダンパー軸棒
５３が設けられ、このダンパー軸棒６３の端に傘歯車、
５４を固定し、これと噛合する傘歯車６Ｂは通路空間６
に連なる軸棒６６の一端に固定されている。また、軸棒
６６の他端をボルト６８により軸支され、この軸棒６６
はネジ５９により回転させられる。
る。同図において、ダンパー５１の中心にダンパー軸棒
５３が設けられ、このダンパー軸棒６３の端に傘歯車、
５４を固定し、これと噛合する傘歯車６Ｂは通路空間６
に連なる軸棒６６の一端に固定されている。また、軸棒
６６の他端をボルト６８により軸支され、この軸棒６６
はネジ５９により回転させられる。
上記構成において、７１／１９が運転されると、通路空
間６および作業空間２内の空気がグレーチング床１２．
リターン空気通路１３．ブレフィルター１１を経て、ま
ず作業空間用プレナムチャツバ−２０に入り、一部の空
気は風量調節ダンパー２１を通シ通路空間用グレナムチ
ャンバー２２に送られ各々作業空間用ＨＥＰＡフィルタ
ー３１通路空間用Ｉ（ＥＰＡフィルター７を通過し清浄
空気として、各々作業空間２９通通路間６に供給される
０ ここで風量調節ダンパー２１を通過して通路空間用ブレ
ナムキャンバ−に送られる空気量は、通路空間６側から
、ネジ６９で軸棒６６を介して傘歯車５４．５５を回転
させる。そして、ダンパー軸棒６３は回転してダンパー
５２の角度を可変させ、任意に通路用プレナムチャンバ
ー２２への風量を調節することができるものである。
間６および作業空間２内の空気がグレーチング床１２．
リターン空気通路１３．ブレフィルター１１を経て、ま
ず作業空間用プレナムチャツバ−２０に入り、一部の空
気は風量調節ダンパー２１を通シ通路空間用グレナムチ
ャンバー２２に送られ各々作業空間用ＨＥＰＡフィルタ
ー３１通路空間用Ｉ（ＥＰＡフィルター７を通過し清浄
空気として、各々作業空間２９通通路間６に供給される
０ ここで風量調節ダンパー２１を通過して通路空間用ブレ
ナムキャンバ−に送られる空気量は、通路空間６側から
、ネジ６９で軸棒６６を介して傘歯車５４．５５を回転
させる。そして、ダンパー軸棒６３は回転してダンパー
５２の角度を可変させ、任意に通路用プレナムチャンバ
ー２２への風量を調節することができるものである。
発明の効果
以上のように本発明によれば、作業空間用プレナムチャ
／パーと通路空間用プレナムテヤンバ−との間に風量調
節ダンパーを設けるといった簡単な構成で作業空間と通
路空間の吹き出し風速を制御できるため、工数削減およ
びコストダウンを行なうことができる。また、ファンを
１つしか用いていないため、一定空間内におけるプレナ
ムチャンバーの容積を大きくとれ、よって清浄空気の吹
出風速の均一化を図ることができる。さらに、風量制御
においてもファンが１つであるため、制御手段も１つで
済み、省スペース、工数削減、コストダウンが達成でき
るとともに、メンテナンスも容易となシ、その効果は犬
なるものがある。
／パーと通路空間用プレナムテヤンバ−との間に風量調
節ダンパーを設けるといった簡単な構成で作業空間と通
路空間の吹き出し風速を制御できるため、工数削減およ
びコストダウンを行なうことができる。また、ファンを
１つしか用いていないため、一定空間内におけるプレナ
ムチャンバーの容積を大きくとれ、よって清浄空気の吹
出風速の均一化を図ることができる。さらに、風量制御
においてもファンが１つであるため、制御手段も１つで
済み、省スペース、工数削減、コストダウンが達成でき
るとともに、メンテナンスも容易となシ、その効果は犬
なるものがある。
第１図は本発明の一実施例による空気清浄装置の概要図
、第２図は同部分詳細図、第３図は従来の空気清浄装置
の概要図である。 ２・・・・・・作業空間、３・・・・・・作業空間用フ
ィルター、６・・・・・・通路空間、７・・・・・・通
路空間用フィルター、１９・・・・・・ファン、２０・
・・・・・作業空間用プレナムチャンバー、２１・・・
・・・風量調節ダンパー、２２・・・・・・通路空間用
プレナムチャンバー。 第２図
、第２図は同部分詳細図、第３図は従来の空気清浄装置
の概要図である。 ２・・・・・・作業空間、３・・・・・・作業空間用フ
ィルター、６・・・・・・通路空間、７・・・・・・通
路空間用フィルター、１９・・・・・・ファン、２０・
・・・・・作業空間用プレナムチャンバー、２１・・・
・・・風量調節ダンパー、２２・・・・・・通路空間用
プレナムチャンバー。 第２図
Claims (1)
- 吹き出し側にフィルターを備えた作業空間用プレナムチ
ャンバーと通路空間用プレナムチャンバーを設け、これ
らのプレナムチャンバーは風量調節ダンパーを介して連
結させるとともに、前記作業空間用プレナムチャンバー
に送風する単一のファンを備えてる空気清浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60032120A JPS61217638A (ja) | 1985-02-20 | 1985-02-20 | 空気清浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60032120A JPS61217638A (ja) | 1985-02-20 | 1985-02-20 | 空気清浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61217638A true JPS61217638A (ja) | 1986-09-27 |
Family
ID=12350029
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60032120A Pending JPS61217638A (ja) | 1985-02-20 | 1985-02-20 | 空気清浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61217638A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56162335A (en) * | 1980-05-16 | 1981-12-14 | Hitachi Ltd | Air conditioner |
-
1985
- 1985-02-20 JP JP60032120A patent/JPS61217638A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56162335A (en) * | 1980-05-16 | 1981-12-14 | Hitachi Ltd | Air conditioner |
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