JPS61207904A - 穿孔装置による穿設孔の検査方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は穿設装置において、７レキシプルプリント回路
基板（以下ＦＰＣと称す）等の被加工物に穿設された穿
設孔を検査する検査方法に関する。

〔従来の技術〕

一般に、ＦＰＣは透明なベースフィルムおよびオーバー
レイフィルムと、これら両フィルム間に介在された導電
箔とからなるサンドウィッチ構造をなし、その装造工程
において多数のガイド孔が穿設される。このガイド孔は
、オーバーレイフィルムに穿設する孔の位置決め、オー
バーレイフィルムとベースフィルムとの接合用の位置決
めおよび４竜箔とオーバーレイフィルムが接合されたベ
ースフィルムから所定形状の製品を打抜くための位置決
めに使用されるほか、端子取付用として導電箔のラウン
ド部に対して穿設され、更には紫外線インキで被覆され
ているＦＰＣに穿設されるもので、その加工精度が製品
の歩留夛に直接影響を及ばずため、高精度加工が要求さ
れる。

このよりなガイド孔の穿孔装置としてはＦＰＣを挾んで
対向するポンチおよびダイスと、同じくＦＰＣを挾んで
対向しＦＰＣの被加工部、例えばラウンド部を撮影する
カメラおよび光源とを備えたものが知られている。その
場合、ポンチとカメラとを所定距離はなして配設し、カ
メラによりラランド部の中心を検出後ポンチをラウンド
部上方に移動させてパンチングする方法と、カメラとポ
ンチとを同一軸線上に配置しておき、ラウンド部の検出
時にポンチがカメラの視界を妨げないよう該ポンチを移
動させ、パンチング時に元の位置に戻す方法の２種類が
ある。

〔発明が解決しようとする問題点〕

ところで、上述し喪従来のパンチング方法はいずれもカ
メラが一台で済み、しかも真上から検出する九め光の屈
折による悪影響を受けないという長所がある反面、パン
チング時にポンチを移動させる必要があるため、歯車の
バンクラッシュ等による誤差が不可避で高い穴明精度が
得られない、マシンタイムが長くなる、パンチング後正
確に穴が明いたかどうかを検査したい場合にはカメラの
視界を妨げないようポンチを再び移動させなければなら
ず時間がかかる、穿設孔の精度検査のためのソフトウェ
アが複雑であるなどの不都合があった。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明に係る穿孔装置における穿設孔の検査方法は、上
述したような点に鑑みてなされたもので、相対的に前後
および左右方向に移動されるワーク載置台および穿孔機
を備え、この穿孔機に、穿孔位置をそれぞれ斜め上方か
ら撮影し、かつ前記ワーク載置台と穿孔機の前佼および
左右方向の相対的移動軸線上に９０°をなして変位する
第１および第２のイメージセンサをそれぞれ配設した穿
孔装置であって、前記穿孔機によりあらかじめ所定の穴
径を有する基準孔を穿設し、この基準孔を前記第１およ
び第２のイメージセンサで撮影し、その夫々の基準孔画
像内の長軸側各端部にそれぞれテストポイントを設定し
てその座標位置を制御装置に記憶し、しかる後前記穿孔
機により被加工物に穿設し九穿設孔を前記第１および第
２のイメージセンサで撮影すると共にその夫々の画面に
あらかじめ記憶した前記テストポイントを表示し、これ
らポイントが各穿設孔画像内に位置するか否かを検査す
るようにしたものである。

〔作用〕

本発明による検査方法においては、イメージセンサを斜
視させて穿孔機に搭載しているため、穿孔機がイメージ
センサの視界を穿設の瞬間以外は妨げることがなく、し
たがって穿設後そのままの状態で穿設孔の精度確認に移
行することができる。

〔実施例〕

以下、本発明を図面に示す実施例に基づいて詳細に説明
する。

第１図は本発明に係る検査方法を採用した穿孔装置の一
実施例を示す側断面図、第２図は同装置の要部一部破断
正面図、第３図は穿孔機とイメージセンサの相対的位置
関係を示す図、第４図は回路構成を示すブロック図であ
る。これらの図において、１はその上面後端部に略コ字
形の支持アーム２を一体的に配設してなる移動台で、こ
の移動台１は第１の駆動装置３の回転がボールネジ４を
介して伝達されることにより、所定の間隔を保って平行
に配設された左右方向に長い前波一対のレール５Ａ、５
Ｂに沿って左右方向、すなわちＸ方向に往復移動される
ように構成されている。

前記支持アーム２の上端側水平部２人は下端側水平部２
Ｂよシも前方に長く延在し、前記レール５Ａ、５Ｂと平
行に配設された補強シャフト６により案内保持されてお
シ、また該水平部２人の前端には第１および第２のイメ
ージセンサ１０．１１を搭載してなる穿孔機Ｔが配設さ
れている。

穿孔機１は、俊速するワーク載置台２０の治具２０Ｂを
挾んで上下に同軸配置された周知のポンチ８およびダイ
ス９と、パンチング時に制御装［３０からの駆動信号に
よって駆動し前記ポンチ８を瞬間的に下降させるポンチ
用シリンダ１２と、同じくパンチング時に制御装置３０
からの駆動信号によって駆動し前記ダイス９を所定高さ
位置まで上昇移動させるダイス用シリンダ１３等で概ね
構成されている。

前記第１のイメージセンサ１０は前記穿孔機Ｔの前面に
、該穿孔機１の中心軸りを含み前記移動方向（Ｘ方向）
と直交する面内にあるようにかつ中心＠Ｌに対して前方
に傾いて取付けられることにより、第３図に示すように
その工具中心軸Ｌ１が前記穿孔機７の中心軸りから該穿
孔機Ｔの移動方向と直交する方向、換言すれば前記ワー
ク載置台２０の移動方向（矢印Ｙ方向）に角度θ１だけ
傾いている。一方、前記第２のイメージセンサ１１は前
記穿孔機Ｔの左側面（又は右側面）に、該穿孔機Ｉの中
心軸りを含み前記移動方向（Ｘ方向）と平行な面内にあ
るようにかつ中心軸りに対して左側に傾いて取付けられ
ることにより、その工具中心軸Ｌ！が前記第１のイメー
ジセンサ１０の工具中心軸り、と直交し、かつ前記中心
軸りから穿孔機７の移動方向（Ｘ方向）に角度θ２だけ
煩いている。そして、前記第１および第２のイメージセ
ンサ１０，１１の傾斜角度θ１　、θ２は、前記中心軸
りと工具中心軸Ｌ１ｙＬ１の延長線とが、穿孔機Ｉによ
る穿孔位置、すなわち前記ワーク載置台２０上に載置さ
れ前記穿孔機７によって穿孔されるシート状ワーク４０
の表面の一点Ｑにてほぼ交差するよう調整される。この
場合、本実施例においては傾斜角度σｌ　、θ２を共に
３０°に設定し穿孔位置をそれぞれ斜め上方から指向さ
せたが、かならずしも等しい角度でなくともよく、要は
ワーク４０上の一点ＱＫ？いて中心軸りと互いに交差す
るよう取付けられるものであればよい。まえ、本実施例
においてはＭｌおよび第２のイメージセンサ１０．１１
として共に「絵素Ｊ　（Ｐｉｃｃｅｌ　）が約横４００
個、約縦２５０個の固体素子カメラを採用している。

前記ワーク載置台２０は、第２の駆動装置４１の回転が
ポールネジ４２を介して伝達されることにより、所定の
間隔を保って平行に配設された前後方向に長い左右一対
のレール４３Ａ　、　４３Ｂに沿つて前後方向、すなわ
ちＹ方向に往復移動される略Ｕ形の治具受台２ＯＡと、
との治具受台２０Ａの上端面に蝶ねじ４４、図示しない
位置決めビン等によって固定され前記ポンチ８とダイス
９との間に介在される前記治具２０Ｂ等で構成され、治
具２ＯＢには真空ポンプに接続され前記ワーク４０を吸
引するための多数の吸気孔（図示せず）と、多数のガイ
ド孔形成用孔４５が形成されている。この場合、真空引
きに限らずアクリル板等の適宜な固定手段によって固定
してもよいことは勿論である。

前記第１および第２の駆動装置３，４１としてはパルス
モータ（またはサーボモータ）が使用され、前記制御装
置３０よシ駆動回路４１を介して送られてくるパルス信
号によＱそれぞれ別個独立に駆動制御される。

前記ダイス用シリンダ１３は前記移動台１の上面前端部
に縦設され、その可動板１３ａの前端に前記ダイス９が
光源ボックス５０を介して配設されている。前記光源ボ
ックス５０には、２つの電球５１．５２が前記各第１お
よび第２のイメージセンサ１０　、　ｊ　１の工具中心
軸Ｌ１．Ｌ１の延長線上に位置して配設されると共に各
電球５１．５２の上方にそれぞれスリガラス５３．５４
が配設されている。また光源ボックス５０は一対の垂直
な支柱５６．５７によって上下動自在に保持され、前記
ダイス用シリンダ１３の駆動により前記町動板１３ａと
一体的に昇降される。なお、可動板１３ａは所定高さ位
置まで上昇すると、前記ダイス９の上端部は前記治具２
０Ｂに設けられている成る一つのガイド孔形成用孔４５
に挿入され、ワーク４０の下面と近接対向、もしくは軒
く接触する。そして、この状態において、ポンチ用シリ
ンダ１２が駆動してポンチ８を下降させると、所定の孔
が前記ワーク４０に穿設される。なお、５８は穿設時に
おける可動板１３ａのたわみを防止するストツノク、５
９はワーク４０のカス受けである。

前記ワーク４０は、本実施例の場合第５図に示すように
透明なベースフィルム６０と、導電箔６１と、透明なオ
ーバーレイフィルム６２とを積層接着した３層構造のＦ
ＰＣとされ、その所定箇所には多数のラウンド形成部６
４と、ガイド孔形成部（図示せず）とが設けられておシ
、これらラウンド形成部６４とガイド孔形成部とが前記
治具２０Ｂの孔４５にそれぞれ対応位置するよう該ワー
ク。

すなわちＦＰＣ４Ｇが治具２０Ｂ上に位置決め載置され
前述した吸気孔による吸気作用により吸着固定されるよ
うになっている。前記導電箔６１の前記ラウンド形成部
６４およびガイド孔形成部にそれぞれ対応する箇所には
あらかじめ直径０，５〜１．０−程度の小孔６６が形成
されており、この小孔６６の中心と前記穿孔機７の中心
軸りとが一致すると、該穿孔機１により所定の径（例え
ば４　ｗｍ　）のラウンド孔もしくはガイド孔（穿設孔
）が穿設される。

また、前記小孔６６は前記第１および第２のイメージセ
ンサ１０．１１によってそれぞれ撮影され、その画像が
前記制御装［３０に送られる。小孔６６の撮影は、前記
各電球５１．５２から出た光が前記ベースフィルム６０
およびオーバーレイフィルム６２を透過するため十分可
能である。第１のイメージセンサ１０によって撮影され
た画像は、前述した通シ核センサ１０が前記中心軸りに
対してＹ軸方向に角度θ１だけ傾いているため、第６図
に示すようにＸ軸方向に長い楕円となる。一方、第２の
イメージセンサ１１によって撮影された画像は、該セン
サ１１が前記中心軸りに対してＸ軸方向に角度θ２だけ
傾いているためＭ７図に示すようにＹ軸方向に長い楕円
となる。

前記制御装置３０は、前述した通多ポンチ用シリンダ１
２およびダイス用シリンダ１３を駆動制御すると共に前
記第１およびＭ２のイメージセンサ１０，１１による画
像に基づきこれら画像の重心位置を演算し、この重心位
置とあらかじめ記憶している穿孔機７の中心軸りの位置
とのずれ量を算出し、そのずれ量に応じた信号を前記駆
動回路４１に送出して第１および第２の駆動装置３，４
１を駆動制御するためのもので、その次めマイクロコン
ピュータが使用される。前記各イメージセンサ１０，１
１からの情報はリアルタイムでフレームメモリーに取込
まれる。各イメージセンサ１０゜１１によって撮影され
た画像は、前記制御装に３０を介してカラーモニター４
８（第４図）に送られる。

次に上記構成からなる穿孔装置による穿孔動作および精
度確認について説明する。

先ずＦＰＣ４０への穿孔開始に先がけて制御装置３０に
より穿孔機Ｔの中心軸り位置を検出、記憶するため、第
８図に示すように元を透過しないペメのフィルムＴＯを
第１および第２イメージセンサ１０，１１の視野内にセ
ットし、前記穿孔機Ｔで所定の穴径（４ｍ）を有する基
準孔７１を穿設する。第１のイメージセンサ１０，１１
によってそれぞれ撮影される前記孔Ｔ１の画像（基準孔
画像）は第６図および第７図に示すようにＸ軸方向とＹ
軸方向に長い楕円７２．７３となり、これにより両楕円
７２．７３の重心位置ｐｘ（ｘａｙｙａ）ｙｐｙ（ｘＡ
、ｙＡ）を求める。この場合、座標は、全て画面左上の
点を原点０ｚｓＯｙとし、こＱ原点Ｏｘ　ｅＯｙからの
絵素数で示される。

次に、前記２つの楕円７２．７３をＭ９図に示すように
合成してその重心Ｐを求める。この重心Ｐは２つの楕円
７２．７３の面積が等しくなる縦と横の線Ｘ　ａ　ｅ　
Ｙ　Ａの交点Ｐ　（Ｘａ　ｅ　ＹＡ　）　　であル、従
って前記穿孔機７の中心軸りの座標はこの重心Ｐ　（Ｘ
ａ　ｅ　ＹＡ）として求められる。

更に第６図に示した基準孔画像よシ２つのテストポイン
ト（光の当る点）　ＴＰｌｅ　ＴＰｓを定める。

これらのテストポイン）　ＴＰｌｅ　ＴＰｓは穿設後の
穴精度を確認するためのもので、楕円１２の長袖Ｙａ上
であって重心Ｐｘを挾んで対称な位置にあシ、かつ該重
心Ｐｘからよい遠い位置にある任意の点を選ぶことが望
ましい。同様に第７図に示した基準孔画像より２つのテ
ストポイン）　ＴＰ　ｔ　ｐ　ＴＰ　４を定める。これ
らのテストポイントＴＰ　ｚ　ｅ　ＴＰ　ａも楕円７３
の長軸ＸＡ上であって重心Ｐｙを挾んで対称な位置にあ
シ、かつ該重心Ｐ７からよシ遠い位置にある任意の点が
選ばれる。

楕円７２の長径は４　ｗｍ　（ポンチＴの径）と判って
いるので、この長径を画素数Ｎ！で割れば、Ｘ軸方向の
１画素当シの距離Ｄｘ（Ｄｘ−４／Ｎｘ）が求まる。

同様に楕円γ３の長径も４ｔｍで、該長径を画素数ＮＹ
で割れば、Ｙ軸方向の１画素当シの距離ＤＹ（Ｄｙ＝’
／Ｎｙ）　　が求まる。

そこで、このようにして求めた情報Ｐ　ｐ　ＤＸ　＋　
Ｄｙ　＃ＴＰ１〜ＴＰ４を制御装置３０のメモリーに記
憶しておく。

制御装＆３０による情報記憶が終了すると、ＦＰＣ４０
を治Ａ　２０Ｂ上に位置決め固定し、穿孔機１による穿
孔を開始する。穿孔に際しては、ＦＰＣ４０の小孔６６
の中心をいかに正確にかつ速く探し出し、穿孔機Ｔの中
心軸りと一致させるかが重要なポイントとなるが、本装
置においてはあらかじめ記憶した前記情報Ｐ　１　＋　
Ｄ　ｘ　ｔ　Ｄ　ｙ　　を用いて中心合せを行なってい
るので、正確かつ迅速である。

すなわち、穿孔機１およびワーク載置台２０を駆動装置
３，４１によってＸ、Ｙ方向にそれぞれ所定距離移動さ
せて１番目の小孔６６を第１および第２のイメージセン
サ１０，１１の視野内に位置させる。この場合、当然の
ことながらＦＰＣ４０の各小孔６６は、あらかじめ定め
られた機械的原点位置からの距離として制御装置３０に
記憶されているものとする。

第１および第２のイメージセンサ１０．１１の視野内に
入った前記小孔６６は該センサ１０，１１によってそれ
ぞれ撮影され、その画像が制御装置３０に送られる。こ
の時、第１のイメージセンサ１０による画像の重心ｐｔ
は第１０図に示すようにＸａからΔＸだけＸ軸方向にず
れ、ｊＩ２のイメージセンサ１１による画像の重心Ｐ２
は第１１図に示すようにＹＡからΔｙだけＹ軸方向にず
れているものとする。制御装置３０は直ちにこれら両画
像を合成しその重心位置ＰＩを前述したと同様に求める
。すなわち、この重心位置Ｐ１は両画像の合成により、
その両画像の面積が等しくなるラインＸｊ　ｔＹＡｓの
交点で６．り、Ｌ７’ｃがってその座標Ｐ　＊　（ｘａ
、　ｙ　ＹＡｔ　　）が求められる。重心位置Ｐｔが求
まると、制御装置３０にあらかじめ記憶されている重心
位置Ｐ　（Ｘａ　ｅ　ＹＡ　）　　とのずれ量ΔＸ、Δ
ｙを算出する。ΔＸ＃ΔｙはＸａ−Ｘａ、　＊　ＹＡ−
ＹＡｔよル簡単に求めることができる。また、どちらに
ずれているかもその正負により判定される。

次に、このずれ童ΔＸ、ΔｙにそれぞれＤ　ｘ　ｅ　Ｄ
　ｙを乗じると、穿孔機γの中心軸りと小孔６６の実際
にずれている距離’ｘｗｓ（、ｔｘ＝ΔＸ　Ｘ　Ｄ　Ｘ
　）　＊　１７１１Ｂ（Ｌｙ＝ΔｙＸＤｙ）が求まる。

そこで、この距離ｔｘｔ１ｙに相応する信号を駆動回路
４Ｔに送出して第１およびに２の駆動装置３．４１を駆
動し、これによ多穿孔Ｍ＆１およびワーク載置台２０を
それぞれＸ方向、Ｙ方向に所定の距離ｌｘ　ｅ　ｔ７だ
け移動させれば、穿孔機１の中心軸りと小孔６６の中心
とが正確に一致する。さらにこの時点で画像を取シ込み
再度Ｐ！を求め、ΔＸ＝Δｙ＝Ｑ　　となったことを確
認する。そして、この状態において穿孔機１による穿孔
が行なわれる。このようにして１番目の小孔６６に対す
る穿孔が終了すると、２番目の小孔に対する穿孔に移行
するわけであるが、この時穿孔された孔のＮ度確認が行
なわれる。

精度確認は、穿孔機Ｔが第１および第２のイメージセン
サ１０．１１の視界を妨げないため穿孔終了直後のその
ままの状態で行なわれるもので、第１２図および第１３
図に示すように前記制御装置３０に記憶され次前記テス
トポイントＴＰｔ〜ＴＰ４が全て穿設孔の画像内にある
か否か、換言すれば明るいか否かでチェックし、全ての
テストポイン）ＴＰ１〜ＴＰ４が明るければ画像内に位
置するため合格、１つでも暗ければ画像の外に位置する
ため穿設された孔がずれの許容限度以上にずれているも
のと判定し不合格とする。この場合、どのテストポイン
トが穿設孔画像よシどれだけはみ出しているかによりそ
のずれの方向と変位量を確認することができる。

このようにして１番目の小孔６６に対する穿孔および穿
孔機の精度Ｎ認が終了すると、ワーク載置台２０が所定
距離移動して次の小孔を第１および第２のイメージセン
サ１０．１１の視１１１Ｆ内に位置させる。そして、そ
の後の位置合わせ、穴明は加工およびその＃１反確認は
上述したと全く同様であるため、説明を省略する。

穿孔機Ｔの中心軸りと小孔６６のズレを計算する時間は
、０．０５〜０．２秒程度、パンチング後の精度確＆！
に要する時間は、５０μ（８）程度で、十分実用に耐え
得るものである。また、ずれ量ΔＸ、Δｙによって中心
合せを行ない、フィードバンクさせれば機構的誤差によ
る位置ずれを解消でき、高精度な孔加工を行なうことが
できる。また、２台のイメージセンサ１０．１１を直交
させて配置し、その画像を合成して重心位置を求めてい
るため、光の屈折により影響されることがなく、高精度
に重心位置を測定できる。

また、特に穿孔された孔を透過する光以外イメージセン
サ１Ｇ、１１には入光しないように条件設定しておけば
、その直径を求めるン７トウエアが非常に簡単となシ、
処理時間を短縮できる上、トラブル発生時の対応にも有
利である。

なお、上記実施例はワークとして３層構造のＦＰｏを使
用した場合について説明したが、本発明はこれに何ら特
定されることなく、ベースフィルムと導電箔とから成る
ＦＰＣのラウンド孔加工、更には一般のリジットなプリ
ント基板、鉄板、木材等の加工に本応用し得ることは勿
論である。

また、上記実施例は各イメージセンサ１０．１１に対応
して光源（を球５１．５２）を配設したが、ワークの被
加工部が、その周囲と明確に区別して撮影されるもので
あれば、かならずしも透過光源を必要とするものではな
い。

また、上記実施例はＦＰｏ　４０を吸引して治具２０Ｂ
上に固定したが、適宜な抑圧部材で抑圧固定したシ、周
囲を引張ったりして固定するなど、種々の変更が可能で
ある。

さらに、上記実施例は穿孔機７をＸ軸方向に、ワーク載
置台２ＧをＹ軸方向に移動させるように構成し友が、例
えば穿孔機１とワーク載置台２゜のいずれか一方をＸお
よびＹ軸方向に移動させ、他方を固定してもよい。

また、上記実施例はポンチ８とダイス９で穿孔機Ｔを構
成したが、ドリルを用いてもよい。

［発明の効果〕 以上説明しえように本発明に係る穿孔装置による穿設孔
の検査方法は、穿孔位置をそれぞれ斜め上方から指向し
、かつ９０°回転した位置関係を保つことＫよりワーク
載置台と穿孔機の前後および左右方向の相対的移動軸線
上に位置する第１および第２のイメージセンサを前記穿
孔機に配設し、穿孔機によってあらかじめ基準孔を穿設
し、この基準孔を第１および第２のイメージセンサで撮
影し、その夫々の基準孔画像の内側で長軸側各端部にそ
れぞれテストポイントを定めてその座標位置を制御装置
に記憶し、しかる後穿孔機にたシ被加工物に穿設し九穿
設孔を前記第１および第２のイメージセンサで撮影し、
その夫々の画面にあらかじめ記憶した前記テストポイン
トを表示し、これらポイントが各穿設孔画像内に位置す
るか否かを検査するようＫしたので、パンチング後の状
態で穿孔機を移動させることなく穿設孔の精度確認を行
なうことができ、したがって精度確認に要する時間を大
幅に短縮できる。

また、穿設され喪孔を透過する光のみをイメージセンサ
で検出するようにすると、ン７トウェア゛を簡素化でき
、処理時間の短縮が可能であるほかトラブル発生時の対
応も容易である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る検査方法を採用した穿孔装置の一
実施例を示す側断面図、第２図は同装置の要部正面図、
第３図は穿孔機とイメージセンサの相対的位置関係を示
す図、第４図は電気回路のブロック図、第５図はワーク
の要部断面図、第６図は第１図のイメージセンサによる
画像を示す図、第７図は第２のイメージセンサによる画
像を示す図、第８図はフィルムへの穿孔を示す図、第９
図は２つの画像を合成した図、第１０図は第１のイメー
ジセンサによる画像を示す図、第１１図は第２のイメー
ジセンサによる画像を示す図、第１２図および第１３図
はパンチングされた孔の精度確認を説明するための図で
ある。 ３・・・・第１の駆動装置、７・・・・穿孔機、１０・
・・−第１のイメージセンサ、１１・・・・第２のイメ
ージセンサ、２０・・−・ワーク１７１゜置台、３０・
・・・制御装置、４０・・・・ワーク、Ｌ・・・轡中心
軸、Ｌｌ　＊　Ｌ２　・・・・工具中６軸、Ｐ＃ＰＸ＃
Ｐ７　　＠’１　拳”重心、ＴＰ＋ゝＴＰ４”−・・テ
ストポイント。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 相対的に前後および左右方向に移動されるワーク載置台
   および穿孔機と、この穿孔機に、該穿孔機による穿孔位
   置をそれぞれ斜め上方から撮影し、かつ前記ワーク載置
   台と穿孔機の前後および左右方向の相対的移動軸線上に
   ９０°をなしてそれぞれ配設された第１および第２のイ
   メージセンサを備えた穿孔装置であつて、あらかじめ所
   定の穴径を有する基準孔を前記穿孔機にて穿設し、この
   基準孔を前記第１および第２のイメージセンサで撮影し
   、その夫々の基準孔画像はそれぞれＸ軸、Ｙ軸方向に長
   い楕円で、各基準孔画像内長軸側各端部にそれぞれテス
   トポイントを設定してその座標位置を制御装置に記憶し
   、しかる後前記穿孔機により被加工物に穿設した穿設孔
   を前記第１および第２のイメージセンサで撮影すると共
   にその夫々の画面にあらかじめ記憶した前記テストポイ
   ントを表示し、これらポイントが各穿設孔画像内に位置
   するか否かを判定検査するようにしたことを特徴とする
   穿設孔の検査方法。