JPS61207012A - 拡散炉用石英ボ−ト - Google Patents

拡散炉用石英ボ−ト

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Publication number
JPS61207012A
JPS61207012A JP4770785A JP4770785A JPS61207012A JP S61207012 A JPS61207012 A JP S61207012A JP 4770785 A JP4770785 A JP 4770785A JP 4770785 A JP4770785 A JP 4770785A JP S61207012 A JPS61207012 A JP S61207012A
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JP
Japan
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boat
quartz
quartz boat
diffusion furnace
diffusion
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Pending
Application number
JP4770785A
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English (en)
Inventor
Tadashi Nishigoori
西郡　忠
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Filing date
Publication date
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
    • H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
    • H01L21/22—Diffusion of impurity materials, e.g. doping materials, electrode materials, into or out of a semiconductor body, or between semiconductor regions; Interactions between two or more impurities; Redistribution of impurities

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、とくに半導体ＬＳＩを製造する拡散＠酸化工
程で便用される拡散炉用の石英ボートに関するものであ
る。
〔従来の技術〕
従来、拡散炉用の石英ボートは第２図に示すように石英
６００両端例にボートハンガーで支える部分７０を有し
、一方の面から溝８０を有する構造となっており、この
石英ボートにウェハーを載せて、拡散炉の中で拡散・は
化り程を行なっている。
〔発；周が肩天しようとする問題点〕
上述した従来の拡散炉用石英ボートは高温の拡散工程に
おいては、作業回数を重ねるにつれ、高温のために載せ
ているウェハーの荷電によって第３図に示すように変形
していき、その耐用回数が少なくなっ【しまう。あるい
はウェハーの立て替えに支障が出るといった欠点がある
。
本発明の目的は、高温の拡散工程において、変形を少な
くするような拡散炉用石英ボートを提供することにある
。
〔間一点を解決するための手段〕
本発明の拡散炉用石英ボートは、第１図にその実施例を
示すようにボートの表側と裏側に互い違いに溝をつける
ことを特許とするものである。
高温の拡散上框において、石英ボートは作業回数を重ね
るにつれて、高温のために載せているウェハーの荷重に
よって変形してしまうので、一工程あるいは数工程が終
了する毎に石英ボートの表側と裏−をひっくり返して１
史用することによって前回までの工程におい【生じた微
少の変形を修正しながら使用することが可能になる。表
側と裏側の溝を互い違いにつけるのは、石英ボートの強
度を考瀘して開用に耐え得る強度を有した構造にするた
めである。
以上のように本発明にか力Ｓる拡散炉用の石英ボートは
、高温の拡販工程において、ボートの変形を少なくする
ような便用方法がｃＩＪ’　能な構造になっている。
〔実施例〕
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の一笑施例の側面図である。１０は石英
、２０．３０はボートハンガーを支える部分でボートの
表側と裏側にそれぞれついている。
４０．５０ｒｉボートの溝で強度を考えて表側より互い
違いにつけである。
〔発明の効果〕
前述したように、従来の拡散炉用石英ボートでは、高温
の拡散工程において、使用回数を重ねるにつれてボート
が変形してしまうという欠点を持ったが、本発明におけ
る石英ボートではボートの変形を少なくするような便用
方法が可能であるために、石英ボートの耐用回数が増え
、またウェハーの立て替え作条がスムーズに行なうこと
ができるという効果を有する。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明にかかる実施例の側面図である。 第２図は従来の拡散炉用ボートの側面図である。 第３図は高温のために変形した従来の拡散炉用ボートの
側面図である。 １０．６０・・・・・・石英（ＳｉＯｚ）、　２０，３
０゜７０・・・・・・ボートハンガーで支える部分、４
０　、５０　。 ８０・−・・・・ボートの溝。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 　高温用拡散炉のウェハーを支える石英ボートにおいて
    、ボートの表側と裏側に互い違いに溝をつけたことを特
    徴とする拡散炉用石英ボート。
JP4770785A 1985-03-11 1985-03-11 拡散炉用石英ボ−ト Pending JPS61207012A (ja)

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