JPS61206136A - 液体金属イオン源 - Google Patents
液体金属イオン源Info
- Publication number
- JPS61206136A JPS61206136A JP60047312A JP4731285A JPS61206136A JP S61206136 A JPS61206136 A JP S61206136A JP 60047312 A JP60047312 A JP 60047312A JP 4731285 A JP4731285 A JP 4731285A JP S61206136 A JPS61206136 A JP S61206136A
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- JP
- Japan
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- crucible
- emitter chip
- liquid metal
- ion source
- metal ion
- Prior art date
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- Pending
Links
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J27/00—Ion beam tubes
- H01J27/02—Ion sources; Ion guns
- H01J27/26—Ion sources; Ion guns using surface ionisation, e.g. field effect ion sources, thermionic ion sources
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
液体金属イオン源に関し、更に詳しくはニードル型液体
金属イオン源に関する。
金属イオン源に関する。
[従来技術]
液体金属イオン源は、ニードル型とキャピラリ型がある
。この内ニードル型の液体金属イオン源では、イオン化
金属をエミッタチップに付着させ、エミッタチップを直
接加熱して溶融する為、高蒸気圧の金属は直ぐに蒸発し
てしまい、イオン化が効率よく、安定して行い得ないと
いう欠点があった。
。この内ニードル型の液体金属イオン源では、イオン化
金属をエミッタチップに付着させ、エミッタチップを直
接加熱して溶融する為、高蒸気圧の金属は直ぐに蒸発し
てしまい、イオン化が効率よく、安定して行い得ないと
いう欠点があった。
[発明の目的]
本発明の目的は、高蒸気圧の金属でも安定して効率よく
イオン化できるニードル型液体金属イオン源を提供する
ことにある。
イオン化できるニードル型液体金属イオン源を提供する
ことにある。
[発明の構成]
この目的は、密閉型るつぼおよびるつぼの下方末端の中
心穴に固定されたエミッタチップから成り、エミッタチ
ップ周囲のるつぼ部分に、るつぼ内からエミッタチップ
に臨むように少なくとも1つの穴が設けられており、る
つぼの周囲に加熱用手段が配置されていることを特徴と
するニードル型液体金属イオン源により達成される。
心穴に固定されたエミッタチップから成り、エミッタチ
ップ周囲のるつぼ部分に、るつぼ内からエミッタチップ
に臨むように少なくとも1つの穴が設けられており、る
つぼの周囲に加熱用手段が配置されていることを特徴と
するニードル型液体金属イオン源により達成される。
本発明の液体金属イオン源を、図面を参照して説明する
。
。
第1図は、本発明の液体金属イオン源の縦断面図である
。るつぼ1はタンタル、タングステン等の高融点物質で
作られる。
。るつぼ1はタンタル、タングステン等の高融点物質で
作られる。
るつぼ1の周囲には、加熱用手段、たとえばタングステ
ン線などのヒータ線2が巻き付けられている。
ン線などのヒータ線2が巻き付けられている。
るつぼの下方末端の中心の穴には、タングステンなどで
作られたエミッタチップ3が、たとえばスポット溶接な
どの方法で接続されている。さらに、エミッタチップに
臨むように、エミッタチップ周囲のるつぼ部分に少なく
とも1つ、好ましくは少な(とも2つの穴4が設けられ
ている。穴の数は、任意であり、イオン化金属の種類に
より選択すればよい。この穴は、エミッタチップ周囲に
対象に設けるのが好ましい。穴は、放電加工などにより
容易に開けることができる。
作られたエミッタチップ3が、たとえばスポット溶接な
どの方法で接続されている。さらに、エミッタチップに
臨むように、エミッタチップ周囲のるつぼ部分に少なく
とも1つ、好ましくは少な(とも2つの穴4が設けられ
ている。穴の数は、任意であり、イオン化金属の種類に
より選択すればよい。この穴は、エミッタチップ周囲に
対象に設けるのが好ましい。穴は、放電加工などにより
容易に開けることができる。
るつぼ1の上端は、るつぼふた5で閉じ、イオン化金属
を密閉し、蒸発を防ぐ。
を密閉し、蒸発を防ぐ。
ヒータ線2に電流を通じ、るっぽ1を加熱すると、イオ
ン化金属6は溶融し、溶融した金属は、穴4を通ってエ
ミッタデツプ3に導かれ、引き出し電極7によりビーム
として引き出される。
ン化金属6は溶融し、溶融した金属は、穴4を通ってエ
ミッタデツプ3に導かれ、引き出し電極7によりビーム
として引き出される。
本発明の液体金属イオン源は、イオンプローブマイクロ
アナライザー、イオン注入装置に利用することができる
。
アナライザー、イオン注入装置に利用することができる
。
し発明の効果コ
本発明のニードル型液体金属イオン源では、るつぼが密
閉型である上、溶融した金属は直ぐにエミッタチップに
供給されてイオン化されるので、高蒸気圧の金属でも蒸
発による損失が防げ、安定なイオン化が行え、しかもイ
オン源の寿命が長くなる。
閉型である上、溶融した金属は直ぐにエミッタチップに
供給されてイオン化されるので、高蒸気圧の金属でも蒸
発による損失が防げ、安定なイオン化が行え、しかもイ
オン源の寿命が長くなる。
第1図は、本発明の液体金属イオン源の縦断面図である
。 1・・・るつぼ、2・・・ヒータ線、3・・・エミッタ
チップ、4・・・穴、5・・・るつぼふた、6”・・イ
オン化金属、7・・・引き出し電極。
。 1・・・るつぼ、2・・・ヒータ線、3・・・エミッタ
チップ、4・・・穴、5・・・るつぼふた、6”・・イ
オン化金属、7・・・引き出し電極。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、密閉型るつぼおよびるつぼの下方末端の中心穴に固
定されたエミッタチップから成り、エミッタチップ周囲
のるつぼ部分に、るつぼ内からエミッタチップに臨むよ
うに少なくとも1つの穴が設けられており、るつぼの周
囲に加熱用手段が配置されていることを特徴とするニー
ドル型液体金属イオン源。 2、少なくとも2つの穴がエミッタチップの軸に対して
対象に設けられている特許請求の範囲第1項記載の液体
金属イオン源。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60047312A JPS61206136A (ja) | 1985-03-08 | 1985-03-08 | 液体金属イオン源 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60047312A JPS61206136A (ja) | 1985-03-08 | 1985-03-08 | 液体金属イオン源 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61206136A true JPS61206136A (ja) | 1986-09-12 |
Family
ID=12771772
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60047312A Pending JPS61206136A (ja) | 1985-03-08 | 1985-03-08 | 液体金属イオン源 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61206136A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9791003B2 (en) | 2013-02-07 | 2017-10-17 | Fanuc Corporation | Electromagnetic brake which has shaft drop prevention function, electric motor, and machine |
-
1985
- 1985-03-08 JP JP60047312A patent/JPS61206136A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9791003B2 (en) | 2013-02-07 | 2017-10-17 | Fanuc Corporation | Electromagnetic brake which has shaft drop prevention function, electric motor, and machine |
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