JPS6120227A - 光学式変位検出装置 - Google Patents
光学式変位検出装置Info
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- JPS6120227A JPS6120227A JP59139491A JP13949184A JPS6120227A JP S6120227 A JPS6120227 A JP S6120227A JP 59139491 A JP59139491 A JP 59139491A JP 13949184 A JP13949184 A JP 13949184A JP S6120227 A JPS6120227 A JP S6120227A
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- Japan
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- light
- hologram
- displacement
- photodetector
- lens
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/08—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers
- G11B7/09—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
- G11B7/0908—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following for focusing only
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
- G11B7/135—Means for guiding the beam from the source to the record carrier or from the record carrier to the detector
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Automatic Focus Adjustment (AREA)
- Optical Recording Or Reproduction (AREA)
- Optical Head (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、光軸方向における被検出物の変位とこの変位
の向きとを光学的に検出する為の光学式変位検出装置に
関するものである。
の向きとを光学的に検出する為の光学式変位検出装置に
関するものである。
背景技術とその問題点
例えば光デイスクプレーヤにおいては、光ディスクと光
学系とを所定の距離に保持する為のフォーカス・サーボ
が必要であるが、その為にはまずフォーカス誤差つまり
光ディスクの記録面の光軸方向における所定位置からの
変位とこの変位の向きとを検出する必要がある。
学系とを所定の距離に保持する為のフォーカス・サーボ
が必要であるが、その為にはまずフォーカス誤差つまり
光ディスクの記録面の光軸方向における所定位置からの
変位とこの変位の向きとを検出する必要がある。
フォーカス誤差を検出する方法としては、非点収差法や
ナイフ・エツジ法等の種々の方法が従来から知られてい
る。ところが、従来の方法は、何れも光検出器への入射
角を変化させることによって光検出器上でのスポットの
形状を変化させ、この形状の変化で光検出器の出力を変
化させ、これによってフォーカス誤差を検出している。
ナイフ・エツジ法等の種々の方法が従来から知られてい
る。ところが、従来の方法は、何れも光検出器への入射
角を変化させることによって光検出器上でのスポットの
形状を変化させ、この形状の変化で光検出器の出力を変
化させ、これによってフォーカス誤差を検出している。
しかし、この様に入射角の変化を光検出器によって直接
に検出する方法では、光検出器の僅かな位置ずれによっ
てもフォーカス誤差信号が出力されるので、精度の高い
フォーカス誤差信号を得ることは容易でない。一方、光
検出器に入射する光束の径を大きくすれば光検出器の位
置ずれによる精度の低下を少なくすることができるが、
その場合には感度の低いフォーカス誤差信号しか得るこ
とができない。
に検出する方法では、光検出器の僅かな位置ずれによっ
てもフォーカス誤差信号が出力されるので、精度の高い
フォーカス誤差信号を得ることは容易でない。一方、光
検出器に入射する光束の径を大きくすれば光検出器の位
置ずれによる精度の低下を少なくすることができるが、
その場合には感度の低いフォーカス誤差信号しか得るこ
とができない。
発明の目的
本発明は、上述の問題点に鑑み、精度及び感度良く変位
を検出することができる光学式変位検出装置を提供する
ことを目的としている。
を検出することができる光学式変位検出装置を提供する
ことを目的としている。
発明の概要
本発明は、第１及び第２のホログラムが表面に対して互
いに異なる角度で入射する光によって記録されている記
録媒体と、前記第１及び第２のホログラムによって収束
される被検出物からの光を検出する第１及び第２の光検
出器とを夫々具備し、光軸方向での前記被検出物の変位
による前記第１及び第２のホログラムへの入射角の変化
によってこれらのホログラムからの夫々の収束光と透過
光との比率を変化させ、これらの比率の変化によって前
記変位とこの変位の向きとを検出する様にした光学式変
位検出装置に係るものである。
いに異なる角度で入射する光によって記録されている記
録媒体と、前記第１及び第２のホログラムによって収束
される被検出物からの光を検出する第１及び第２の光検
出器とを夫々具備し、光軸方向での前記被検出物の変位
による前記第１及び第２のホログラムへの入射角の変化
によってこれらのホログラムからの夫々の収束光と透過
光との比率を変化させ、これらの比率の変化によって前
記変位とこの変位の向きとを検出する様にした光学式変
位検出装置に係るものである。
実施例
以下、光デイスクプレーヤに適用した本発明の一実施例
を第１図〜第５図を参照しながら説明する。
を第１図〜第５図を参照しながら説明する。
第１図は、本実施例の構成を示している。レーザダイオ
ード等の半導体レーザ１から射出されたコヒーレントな
光２は、ビームスプリンタ３を透過し、レンズ４によっ
て光ディスク５の記録面上へ収束される。
ード等の半導体レーザ１から射出されたコヒーレントな
光２は、ビームスプリンタ３を透過し、レンズ４によっ
て光ディスク５の記録面上へ収束される。
光ディスク・５の記録面で反射された光２は、再びレン
ズ４へ入射する。このレンズ４によって収束されビーム
スプリンタ３によって反射された光２は、ホログラムが
記録されている写真乾板等の記録媒体６へ入射し、この
記録媒体６を介して、光検出器７へ入射する。
ズ４へ入射する。このレンズ４によって収束されビーム
スプリンタ３によって反射された光２は、ホログラムが
記録されている写真乾板等の記録媒体６へ入射し、この
記録媒体６を介して、光検出器７へ入射する。
光検出器７は、配置位置によってその形状や面積を種々
に変更することができるが、本実施例では第２図に示す
様に正方形板を対角線方向へ夫々２分した４個の光検出
部７ａ〜７ｄから成っている。
に変更することができるが、本実施例では第２図に示す
様に正方形板を対角線方向へ夫々２分した４個の光検出
部７ａ〜７ｄから成っている。
記録媒体６に記録されているホログラムは、二重露光さ
れた第１及び第２のホログラムから成っている。第１の
ホログラムは、第３図Ａに示す様に光１１ａとｌｌｂと
の干渉によって記録されたものであり、第２のホログラ
ムは、第４図Ａに示ず様に光１２ａと１２ｂとの干渉に
よって記録されたものである。
れた第１及び第２のホログラムから成っている。第１の
ホログラムは、第３図Ａに示す様に光１１ａとｌｌｂと
の干渉によって記録されたものであり、第２のホログラ
ムは、第４図Ａに示ず様に光１２ａと１２ｂとの干渉に
よって記録されたものである。
光１１ａは、第１図に示した光２の収束点Ｆの位置をレ
ンズ４から２の距離とすると２−ΔＺ（Δ２は光ディス
ク５の変位限界）の距離に位置する光ディスク５の記録
面で反射されて記録媒体６へ入射する光２の入射角に相
当する角度θ、で、第１図における記録媒体６の光２の
入射面とは反対側の面へビームスプリンタ１３を介して
入射する光である。光１１ｂは、レンズ１４、シート状
の絞り１５及びビームスプリンタ１３を介して記録媒体
６へ入射する光である。
ンズ４から２の距離とすると２−ΔＺ（Δ２は光ディス
ク５の変位限界）の距離に位置する光ディスク５の記録
面で反射されて記録媒体６へ入射する光２の入射角に相
当する角度θ、で、第１図における記録媒体６の光２の
入射面とは反対側の面へビームスプリンタ１３を介して
入射する光である。光１１ｂは、レンズ１４、シート状
の絞り１５及びビームスプリンタ１３を介して記録媒体
６へ入射する光である。
絞り１５には第３図Ｂに示す様に楕円形の開口１５ａが
設けられており、この為に、光１１ｂによる記録媒体６
上のスポットは楕円形である。従って、光１１ａとｌｌ
ｂとの干渉によって記録される第１のホログラムも、開
口１５ａと相似の楕円形である。
設けられており、この為に、光１１ｂによる記録媒体６
上のスポットは楕円形である。従って、光１１ａとｌｌ
ｂとの干渉によって記録される第１のホログラムも、開
口１５ａと相似の楕円形である。
光１２ａは、レンズ４から２＋Δ２の距離に位置する光
ディスク５の記録面で反射されて記録媒体６へ入射する
光２の入射角に相当する角度θ２で、第１図における記
録媒体６の光２の入射面とは反対側の面へビームスプリ
ッタ１３を介して入射する光である。レンズの結像公式
からも明らかな様に、角度θ２は上記の角度θ、よりも
大きい。
ディスク５の記録面で反射されて記録媒体６へ入射する
光２の入射角に相当する角度θ２で、第１図における記
録媒体６の光２の入射面とは反対側の面へビームスプリ
ッタ１３を介して入射する光である。レンズの結像公式
からも明らかな様に、角度θ２は上記の角度θ、よりも
大きい。
光１２ｂは、レンズ１４、シート状の絞り１６及びビー
ムスプリンタ１３を介して記録媒体６へ入射する光であ
る。
ムスプリンタ１３を介して記録媒体６へ入射する光であ
る。
絞り１６には第４図Ｂに示す様に開口１５ａとは直角な
方向へ長い楕円形の開口１６ａが設けられており、この
為に、光１２ｂによる記録媒体６上のスポットは楕円形
である。従って、光１２ａと１２ｂとの干渉によって記
録される第２のホログラムも、開口１６ａと相似の楕円
形である。
方向へ長い楕円形の開口１６ａが設けられており、この
為に、光１２ｂによる記録媒体６上のスポットは楕円形
である。従って、光１２ａと１２ｂとの干渉によって記
録される第２のホログラムも、開口１６ａと相似の楕円
形である。
なお、上述の開口部１５ａ、１６ａは、透孔でな（とも
よく、例えば光を散乱させる様な部材から成っていても
よい。
よく、例えば光を散乱させる様な部材から成っていても
よい。
ホログラムはその記録方式によってくいくつかに分類さ
れるが、本実施例では位相ホログラムを使用している。
れるが、本実施例では位相ホログラムを使用している。
位相ホログラムは位゛相変調によって再生光を回折させ
るものであり、本実施例ではこの回折によって光を収束
させる様にしている。
るものであり、本実施例ではこの回折によって光を収束
させる様にしている。
そして、位相ホログラムでは、記録媒体６に対する記録
光である光１１ａ、ｌｌｂ、１２ａ１１２ｂの強度と露
光時間との選択によって、再生光の利用率を１００％と
することも可能である。
光である光１１ａ、ｌｌｂ、１２ａ１１２ｂの強度と露
光時間との選択によって、再生光の利用率を１００％と
することも可能である。
記録媒体６としては通常は既述の如く写真乾板等が用い
られているが、位相ホログラムでは上記の利用率に応じ
てその媒体の材質が適宜選択される。そして、通常の写
真乾板で用いられる銀塩に比してより高い利用率を得る
為には、ゼラチンが媒体として用いられる。
られているが、位相ホログラムでは上記の利用率に応じ
てその媒体の材質が適宜選択される。そして、通常の写
真乾板で用いられる銀塩に比してより高い利用率を得る
為には、ゼラチンが媒体として用いられる。
ゼラチンを媒体として用いた場合には、感光材の材質に
もよるが、記録光である光１１ａ、１１ｂ、１２ａ、１
２ｂと再生光である光２とは通常は異なる波長のものが
使用される。例えば、光２の波長が、０．８μｍ近傍の
帯域であるのに対して、光１１ａ、ｌｌｂ、１２ａ、１
２ｂの波長はこの帯域よりも短波長の帯域である。
もよるが、記録光である光１１ａ、１１ｂ、１２ａ、１
２ｂと再生光である光２とは通常は異なる波長のものが
使用される。例えば、光２の波長が、０．８μｍ近傍の
帯域であるのに対して、光１１ａ、ｌｌｂ、１２ａ、１
２ｂの波長はこの帯域よりも短波長の帯域である。
波長が互いに異なる光をホログラムへ入射させた場合、
入射角が同じでも出射角が互いに異なるので、同一の収
束点を得る為には、波長が互いに異なる光に対しては入
射角も異ならせる必要がある。
入射角が同じでも出射角が互いに異なるので、同一の収
束点を得る為には、波長が互いに異なる光に対しては入
射角も異ならせる必要がある。
ところで、記録媒体６の中心を原点とすると共にこの記
録媒体６に垂直な方向を２軸方向とする直交座標をとり
、光１１ｂまたは１２ｂが記録媒体６がら空気中のみを
逆に進んで収束する点の座標を（Ｘ＋ 、 ）ｌ＋ 、
Ｚ＋ ） 、光１１ａまたは１２ａの光源の座標を（
Ｐ＋、Ｑ＋、ｒｌとし、第１図の光２が記録媒体６上の
ホログラムによって収束される点の座標を（χ２．ｙ２
．Ｚ２）、ホログラムを単に透過してレンズ４の作用に
よってのみ収束される点の座標を（Ｐｚ、Ｑｚ、ｒｚ）
とし、また記録光である光１１ａ、ｌｌｂ、１２ａ、１
２ｂの波長をλ１、再生光である光２の波長をλ２とし
た場合、記録後におけるホログラムの引伸し倍率をｍと
すると、ホログラムの結像公式は、−−−−−−−−■ −−−−−−−−−−−−−−−■ −＝−−−−−−−−−−−−−−− そして、第３図及び第４図に示した様に記録媒体６上の
ホログラムをオン・アクシス・ホログラムとすると、光
１１ｂまたは１２ｂが記録媒体６がら空気中のみを逆に
進んで収束する点の位置つまり第１図の光検出器７の記
録媒体６に対する位置関係を０式のみから決定すること
ができる。
録媒体６に垂直な方向を２軸方向とする直交座標をとり
、光１１ｂまたは１２ｂが記録媒体６がら空気中のみを
逆に進んで収束する点の座標を（Ｘ＋ 、 ）ｌ＋ 、
Ｚ＋ ） 、光１１ａまたは１２ａの光源の座標を（
Ｐ＋、Ｑ＋、ｒｌとし、第１図の光２が記録媒体６上の
ホログラムによって収束される点の座標を（χ２．ｙ２
．Ｚ２）、ホログラムを単に透過してレンズ４の作用に
よってのみ収束される点の座標を（Ｐｚ、Ｑｚ、ｒｚ）
とし、また記録光である光１１ａ、ｌｌｂ、１２ａ、１
２ｂの波長をλ１、再生光である光２の波長をλ２とし
た場合、記録後におけるホログラムの引伸し倍率をｍと
すると、ホログラムの結像公式は、−−−−−−−−■ −−−−−−−−−−−−−−−■ −＝−−−−−−−−−−−−−−− そして、第３図及び第４図に示した様に記録媒体６上の
ホログラムをオン・アクシス・ホログラムとすると、光
１１ｂまたは１２ｂが記録媒体６がら空気中のみを逆に
進んで収束する点の位置つまり第１図の光検出器７の記
録媒体６に対する位置関係を０式のみから決定すること
ができる。
記録媒体６には上述の様にして光１１ａ、１１ｂ及び１
２ａ、１２ｂによって回折格子であるホログラムが記録
されるが、回折光の強度は回折格子に対する光の入射角
に応じて変化し、ブラッグ角条件に一致したときに最高
の回折効率が得られる。
２ａ、１２ｂによって回折格子であるホログラムが記録
されるが、回折光の強度は回折格子に対する光の入射角
に応じて変化し、ブラッグ角条件に一致したときに最高
の回折効率が得られる。
つまり、第１図に示す様に光ディスク５の記録面で反射
された光２が記録媒体６へ入射すると、第１のホログラ
ムについては、この第１のホログラムを単に透過して光
１１ａとは逆に進む光とこの第１のホログラムによって
収束されて光１１ｂとは逆に進む断面が楕円形の光とに
分離され、第２のホログラムについては、この第２のホ
ログラムを単に透過して光１２ａとは逆に進む光とこの
第２のホログラムによって収束されて光１２ｂとは逆に
進む断面が楕円形の光とに分離される。
された光２が記録媒体６へ入射すると、第１のホログラ
ムについては、この第１のホログラムを単に透過して光
１１ａとは逆に進む光とこの第１のホログラムによって
収束されて光１１ｂとは逆に進む断面が楕円形の光とに
分離され、第２のホログラムについては、この第２のホ
ログラムを単に透過して光１２ａとは逆に進む光とこの
第２のホログラムによって収束されて光１２ｂとは逆に
進む断面が楕円形の光とに分離される。
第１のホログラムについては、光ディスク５の記録面が
レンズ４から２−Δ２の距離に位置しており光２が角度
θ１で記録媒体６へ入射するときに、ホログラムの角度
選択性によって、透過光に対する収束光の比率が最も高
い。これに対して、第２のホログラムについては、光デ
ィスク５の記録画がレンズ４から２＋Δ２の距離に位置
しており光２が角度θ２で記録媒体６へ入射するときに
、透過光に対する収束光の比率が最も高い。
レンズ４から２−Δ２の距離に位置しており光２が角度
θ１で記録媒体６へ入射するときに、ホログラムの角度
選択性によって、透過光に対する収束光の比率が最も高
い。これに対して、第２のホログラムについては、光デ
ィスク５の記録画がレンズ４から２＋Δ２の距離に位置
しており光２が角度θ２で記録媒体６へ入射するときに
、透過光に対する収束光の比率が最も高い。
そして、第２図に示す様に、第１のホログラムによる収
束光のスポット２１を光検出部７ａ及び７ｂによって検
出し、第２のホログラムによる収束光のスポット２２を
光検出部７ｃ、及び７ｄによって検出することができる
様に、光検出器７はスボソ１−２１及び２２の収束点の
近傍に配置されている。従って、光検出部７ａ及び７ｂ
からは第５図の曲線Ｓ１で示される出力が得られ、光検
出部７ｃ及び７ｄからは第５図の曲線Ｓ２で示される出
力が得られる。
束光のスポット２１を光検出部７ａ及び７ｂによって検
出し、第２のホログラムによる収束光のスポット２２を
光検出部７ｃ、及び７ｄによって検出することができる
様に、光検出器７はスボソ１−２１及び２２の収束点の
近傍に配置されている。従って、光検出部７ａ及び７ｂ
からは第５図の曲線Ｓ１で示される出力が得られ、光検
出部７ｃ及び７ｄからは第５図の曲線Ｓ２で示される出
力が得られる。
なお、ホログラム記録時に、ビームスプリッタ１３の代
わりに鏡等を用いてもよい。
わりに鏡等を用いてもよい。
以上の様な本実施例では、光２の収束点Ｆが光ディスク
５の記録面上に位置しているとき、つまり光ディスク５
の記録面がレンズ４から２の距離に位置しているときに
、曲！’ｓ＋ で示されている出力と曲線Ｓ２で示され
ている出力との差がゼロになる。従って、この差の絶対
値で光ディスク５の変位を検出することができ、またこ
の差の符号で変位の向きを検出することができるので、
これらの結果に基づいてフォーカス調節を行うことがで
きる。
５の記録面上に位置しているとき、つまり光ディスク５
の記録面がレンズ４から２の距離に位置しているときに
、曲！’ｓ＋ で示されている出力と曲線Ｓ２で示され
ている出力との差がゼロになる。従って、この差の絶対
値で光ディスク５の変位を検出することができ、またこ
の差の符号で変位の向きを検出することができるので、
これらの結果に基づいてフォーカス調節を行うことがで
きる。
なお、以上の実施例では光ディスク５がレンズ４から２
−Δ２及びＺ＋Δ２の夫々の距離に位置する場合に対応
させて第１及び第２のホログラムを二重露光によって記
録したが、２−Δ２及び２の夫々の距離に位置する場合
、Ｚ及び２＋Δ２の夫々の距離に位置する場合に対応さ
せて第１及び第２のホログラムを記録しても、フォーカ
ス調節を行うことができる。
−Δ２及びＺ＋Δ２の夫々の距離に位置する場合に対応
させて第１及び第２のホログラムを二重露光によって記
録したが、２−Δ２及び２の夫々の距離に位置する場合
、Ｚ及び２＋Δ２の夫々の距離に位置する場合に対応さ
せて第１及び第２のホログラムを記録しても、フォーカ
ス調節を行うことができる。
また、上記の実施例では第１及び第２のホログラムによ
って収束される夫々の光の収束点を同一としたが、これ
らの収束点を光軸方向へ互いに分離させてもよい。この
分離の為には、第６図に示す様に、絞り１５または１６
を貼付したがガラス板２３をレンズ１４とビームスプリ
ンタ１３との間に介在させるのみでよい。
って収束される夫々の光の収束点を同一としたが、これ
らの収束点を光軸方向へ互いに分離させてもよい。この
分離の為には、第６図に示す様に、絞り１５または１６
を貼付したがガラス板２３をレンズ１４とビームスプリ
ンタ１３との間に介在させるのみでよい。
そして、分離された収束点の中間に光検出器７を位置さ
せれば、２つの収束点に対する光検出器７の位置ずれが
平均化されるので、位置ずれによる検出精度の低下を少
なくすることができる。
せれば、２つの収束点に対する光検出器７の位置ずれが
平均化されるので、位置ずれによる検出精度の低下を少
なくすることができる。
また、上記の実施例では記録媒体６に記録する第１及び
第２のホログラムを互いに直角な方向へ長い楕円形とし
たが、これら第１及び第２のホログラムは楕円形以外で
も例えば円とこの円に外接する環の様に互いに異なるパ
ターンであればよい。
第２のホログラムを互いに直角な方向へ長い楕円形とし
たが、これら第１及び第２のホログラムは楕円形以外で
も例えば円とこの円に外接する環の様に互いに異なるパ
ターンであればよい。
また、光検出器７がホログラムによる収束光のみを受光
してホログラムからの透過光の影響を受けない様にする
為には、光１１ａとｌｌｂ同士及び光１２ａと１２ｂ同
士を同軸状とはせずに、夫夫の光軸を互いに傾斜させて
、オフ・アクシス・ホログラムとすればよい。
してホログラムからの透過光の影響を受けない様にする
為には、光１１ａとｌｌｂ同士及び光１２ａと１２ｂ同
士を同軸状とはせずに、夫夫の光軸を互いに傾斜させて
、オフ・アクシス・ホログラムとすればよい。
また、上記の実施例ではレンズ４を使用したが、第１及
び第２のホログラムに加えてレンズ作用を有するホログ
ラムを記録媒体６上に多重露光し、この記録媒体６をレ
ンズ４の代わりに用いてもよい。
び第２のホログラムに加えてレンズ作用を有するホログ
ラムを記録媒体６上に多重露光し、この記録媒体６をレ
ンズ４の代わりに用いてもよい。
なお、以上においては、本発明を光デイスクプレーヤに
適用した実施例について説明したが、本発明が光デイス
クプレーヤ以外にも適用可能であることは勿論である。
適用した実施例について説明したが、本発明が光デイス
クプレーヤ以外にも適用可能であることは勿論である。
発明の効果
上述の如く、本発明による光学式変位検出装置によれば
、光検出器によって入射角の変化を直接に検出している
のではな（、光検出器がホログラムからの収束光の強弱
自体を検出することによって、光軸方向における被検出
物の変位とこの変位の向きとを検出する様にしているの
で、光検出器へ入射する光束の径を小さくしても光検出
器の位置ずれによって出力される変位検出信号が少なく
、精度及び感度良く変位を検出することができる。
、光検出器によって入射角の変化を直接に検出している
のではな（、光検出器がホログラムからの収束光の強弱
自体を検出することによって、光軸方向における被検出
物の変位とこの変位の向きとを検出する様にしているの
で、光検出器へ入射する光束の径を小さくしても光検出
器の位置ずれによって出力される変位検出信号が少なく
、精度及び感度良く変位を検出することができる。
しかも、互いに異なる角度で入射する光を第１及び第２
のホログラムによって互いに分離したり或いは分離交差
したりする様に収束させることができるので、これらの
収束光同士の影響を少なくできて、更に精度及び感度良
く変位を検出することができる。
のホログラムによって互いに分離したり或いは分離交差
したりする様に収束させることができるので、これらの
収束光同士の影響を少なくできて、更に精度及び感度良
く変位を検出することができる。
第１図は本発明の一実施例を示す概略的な側面図、第２
図は第１図に示した実施例で使用されている光検出器を
示す概略的な平面図、第３図及び第４図は第１図に示し
た実施例で使用されているホログラムの記録方法を示す
概略的な側面図、第５図は第２図に示した光検出器の出
力を示すグラフ、第６図は第１図に示した実施例の変形
例を示す概略的な側面図である。 なお図面に用いられた符号において、 ２へ光 ５−−＝ −光ディスク ロ −−−記録媒体 ７− 光検出器 ７８〜７ｄ −’−−光検出部 １１ａ、１２ａ −光 ２Ｌ２２ − スポット である。
図は第１図に示した実施例で使用されている光検出器を
示す概略的な平面図、第３図及び第４図は第１図に示し
た実施例で使用されているホログラムの記録方法を示す
概略的な側面図、第５図は第２図に示した光検出器の出
力を示すグラフ、第６図は第１図に示した実施例の変形
例を示す概略的な側面図である。 なお図面に用いられた符号において、 ２へ光 ５−−＝ −光ディスク ロ −−−記録媒体 ７− 光検出器 ７８〜７ｄ −’−−光検出部 １１ａ、１２ａ −光 ２Ｌ２２ − スポット である。
Claims (1)
- 第１及び第２のホログラムが表面に対して互いに異な
る角度で入射する光によって記録されている記録媒体と
、前記第１及び第２のホログラムによって収束される被
検出物からの光を検出する第１及び第２の光検出器とを
夫々具備し、光軸方向での前記被検出物の変位による前
記第１及び第２のホログラムへの入射角の変化によって
これらのホログラムからの夫々の収束光と透過光との比
率を変化させ、これらの比率の変化によって前記変位と
この変位の向きとを検出する様にした光学式変位検出装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59139491A JPS6120227A (ja) | 1984-07-05 | 1984-07-05 | 光学式変位検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59139491A JPS6120227A (ja) | 1984-07-05 | 1984-07-05 | 光学式変位検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6120227A true JPS6120227A (ja) | 1986-01-29 |
Family
ID=15246497
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59139491A Pending JPS6120227A (ja) | 1984-07-05 | 1984-07-05 | 光学式変位検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6120227A (ja) |
-
1984
- 1984-07-05 JP JP59139491A patent/JPS6120227A/ja active Pending
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