JPS61201671A - 高熱伝導体及びその製造方法 - Google Patents
高熱伝導体及びその製造方法Info
- Publication number
- JPS61201671A JPS61201671A JP60040824A JP4082485A JPS61201671A JP S61201671 A JPS61201671 A JP S61201671A JP 60040824 A JP60040824 A JP 60040824A JP 4082485 A JP4082485 A JP 4082485A JP S61201671 A JPS61201671 A JP S61201671A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- aluminum nitride
- aluminum
- sintered body
- periodic table
- powder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この発明は、窒化アルミニウムを主成分とする焼結体か
らなる高熱伝導体及びその製造方法に関するものである
。
らなる高熱伝導体及びその製造方法に関するものである
。
（従来技術とその問題点）
近年、電子部品の小型化・高集積化が者しく、それに伴
ってそれらの単位＠績当りの発熱ｔは増加の一途をたど
っている。電子部品にとって、熱をいかにして逃がすか
が設計上の重要なポイントでおり、熱伝４率の商い物質
で構成された基板の開発が望まれている。
ってそれらの単位＠績当りの発熱ｔは増加の一途をたど
っている。電子部品にとって、熱をいかにして逃がすか
が設計上の重要なポイントでおり、熱伝４率の商い物質
で構成された基板の開発が望まれている。
この目的のために、従来から多用されているアルミナ基
板に代るものとして炭化硅素焼結体や窒化アルミニウム
焼結体の基板が提案されている。しかし炭化硅素は、熱
伝導率は高いものの絶縁性に劣り、また緻密化するには
ホットプレスしなければならず、使用分野が限定されて
いる。−万窒化アルミニウム焼結体は、炭化硅素に比べ
て熱伝導率が劣るもののアルミナの２〜５倍であり、し
かもその絶縁性もアルミナ基で、かつ常圧焼結で緻密化
可能なため帆用性の高い材料と云える。
板に代るものとして炭化硅素焼結体や窒化アルミニウム
焼結体の基板が提案されている。しかし炭化硅素は、熱
伝導率は高いものの絶縁性に劣り、また緻密化するには
ホットプレスしなければならず、使用分野が限定されて
いる。−万窒化アルミニウム焼結体は、炭化硅素に比べ
て熱伝導率が劣るもののアルミナの２〜５倍であり、し
かもその絶縁性もアルミナ基で、かつ常圧焼結で緻密化
可能なため帆用性の高い材料と云える。
窒化アルミニウムは難焼結性物質であるため、緻密化し
た焼結体を得るには焼結助剤の添加が不可欠である。従
来から焼結助剤として、いろいろ提案されている。例え
は周期律表の第ＩＩａ族元素や第［１ａ族元素の酸化物
等があけられる。
た焼結体を得るには焼結助剤の添加が不可欠である。従
来から焼結助剤として、いろいろ提案されている。例え
は周期律表の第ＩＩａ族元素や第［１ａ族元素の酸化物
等があけられる。
（特公昭５８−４９５１０号公報、特公昭４８−７４８
６号公報） しかし、それらの助剤を用いた場合、緻密化不十分であ
ったり、色むらクラックが生ずるなどの不都合がしばし
ばおこる。
６号公報） しかし、それらの助剤を用いた場合、緻密化不十分であ
ったり、色むらクラックが生ずるなどの不都合がしばし
ばおこる。
たとえは周期律表第［１ａ族元素化合物を焼結助剤とし
て常圧焼結した場合に、助剤添加量が狭い範囲でしか緻
密化しにくい。緻密化する範囲においては焼結体は低い
熱伝導率（約８０ ｗ／ｍｋ ）しか示さない。周期律
衣第１ｅａ族元素の化合物を焼結助剤として用いると、
しばしは焼結体にじみや色むらを生ずる。炭＃に塩、硝
酸塩、しゆう改塩、水酸化物、フッ化物等を用いると、
これらの蒸発や分解が焼結過程においておこり、ｌｌＩ
！ｉ！密化を阻害するなどの不都合を生する。また周期
律表第ＩＩａ展元素系酸化物は加水分解性があり、保存
性に問題がめる。
て常圧焼結した場合に、助剤添加量が狭い範囲でしか緻
密化しにくい。緻密化する範囲においては焼結体は低い
熱伝導率（約８０ ｗ／ｍｋ ）しか示さない。周期律
衣第１ｅａ族元素の化合物を焼結助剤として用いると、
しばしは焼結体にじみや色むらを生ずる。炭＃に塩、硝
酸塩、しゆう改塩、水酸化物、フッ化物等を用いると、
これらの蒸発や分解が焼結過程においておこり、ｌｌＩ
！ｉ！密化を阻害するなどの不都合を生する。また周期
律表第ＩＩａ展元素系酸化物は加水分解性があり、保存
性に問題がめる。
本発明の目的は、これらの欠点を改良し、均一で、高熱
伝導性であす、シかもしみ、色むらひひわれなどがなく
、また製造において歩貿りの尚い輩化アルミニウム焼結
体からなる高熱伝導体及び その製造方法を提供するも
のである。
伝導性であす、シかもしみ、色むらひひわれなどがなく
、また製造において歩貿りの尚い輩化アルミニウム焼結
体からなる高熱伝導体及び その製造方法を提供するも
のである。
（問題点を解決するための＋段）
本発明は、窒化アルミニウム粉末に、アルミニウムと周
期律表の第１１ａ族元素及び／又は周期律表第１１１
ａ族元素を含む多成分金属複合酸化物粉末を０．１〜１
５電量チ含有する成形焼結体からなる窒化アルミニウム
系高熱伝導体（第１発明）及び 窒化アルミニウム粉末に、アルミニウムと周期律表の第
■ａ族元素及び／又は第１［１ａ ＃ｃの元素を含む多
成分金属複合酸化物粉末を０．１〜１５重貴チ添加、混
合した後、底形し、その成形体を非蛾化性カス雰囲気下
、温度１６００〜２０００℃で焼結することを％値とす
る輩化アルミニウム糸尚熱伝導体の製造方法（ｌｅｇ２
発明）である。
期律表の第１１ａ族元素及び／又は周期律表第１１１
ａ族元素を含む多成分金属複合酸化物粉末を０．１〜１
５電量チ含有する成形焼結体からなる窒化アルミニウム
系高熱伝導体（第１発明）及び 窒化アルミニウム粉末に、アルミニウムと周期律表の第
■ａ族元素及び／又は第１［１ａ ＃ｃの元素を含む多
成分金属複合酸化物粉末を０．１〜１５重貴チ添加、混
合した後、底形し、その成形体を非蛾化性カス雰囲気下
、温度１６００〜２０００℃で焼結することを％値とす
る輩化アルミニウム糸尚熱伝導体の製造方法（ｌｅｇ２
発明）である。
以下、史にくわしく本発明を説明する。
窒化アルミニウム粉末としては、市販のものが使用され
るが、少賃の不純物を含むものであっても工い。その粒
度は、平均粒径（マイクロトラックで測定）で１０μｍ
以下、好ｌしくに３μｍ以下でるる事が望ましい。アル
ミニウム粉末と周期律表の第１１ａ朕元素及び／又は第
１ｉｌａ族元素の多戚分金Ｍ複合酸化物としてはカルシ
ウムアルミニウムオキサイド（ＣａＯ−Ａ１．ｏｓ ｌ
Ｃａ０・２Ａ！４０３ ＃ Ｃａ０ ・６Ａ１ｔＯｓ
）、バリウムアルミニウムオキサイド（ＢａＯ−ｕｔ
ｏａ ＋ ＢａＯ−６Ｎ、ｔＯｓ ） 、ベリリウムア
ルミニウムオキサイド（ＢｅＯ・Ａ！ｔｏｓ ）、スト
ロンチウムアルミニウムオキサイド（ＳｒＯ・Ａｇ２Ｏ
３ｒ ＳｒＯ’ ＺＡ＆！１０３ ＊ ＳｒＯＨ６Ａ１
．１０ｓ ） 、ランタンアルミニウムオキサイド（Ｌ
ａ、ｏ３・Ｕ、Ｏ８）、セリウムアルミニウムオキサイ
ド（Ｃｅ２０３・Ｕ、Ｏ８χスカンジウムアルミニウム
オキサイド（ＳＣｚＯｓ・Ｎａ Ｏｓ ）、イツトリウ
ムアルミニウムオキサイド（ＭｔＯｓ・ｕ、Ｏ，）、カ
ルシウムイツトリウムアルミニウムオキサイ（（２Ｃａ
Ｏ−ＹｔＯｓ ・ＭｔＯｓ ）、カルシウムランタンア
ルミニウムオキサイド（２ｃｍ□・ｔ、ａ２Ｏ，・Ｕ、
Ｏ３） などが使用できる。これらの複合酸化物は、各
々の酸化物粉末を混合して高温で炉底しても得ることが
でき、それを粉砕して平均′８径（マイクロトラックで
測定）で１０μｍ以下好ましくは３μｍ以下にする拳が
望ましい。
るが、少賃の不純物を含むものであっても工い。その粒
度は、平均粒径（マイクロトラックで測定）で１０μｍ
以下、好ｌしくに３μｍ以下でるる事が望ましい。アル
ミニウム粉末と周期律表の第１１ａ朕元素及び／又は第
１ｉｌａ族元素の多戚分金Ｍ複合酸化物としてはカルシ
ウムアルミニウムオキサイド（ＣａＯ−Ａ１．ｏｓ ｌ
Ｃａ０・２Ａ！４０３ ＃ Ｃａ０ ・６Ａ１ｔＯｓ
）、バリウムアルミニウムオキサイド（ＢａＯ−ｕｔ
ｏａ ＋ ＢａＯ−６Ｎ、ｔＯｓ ） 、ベリリウムア
ルミニウムオキサイド（ＢｅＯ・Ａ！ｔｏｓ ）、スト
ロンチウムアルミニウムオキサイド（ＳｒＯ・Ａｇ２Ｏ
３ｒ ＳｒＯ’ ＺＡ＆！１０３ ＊ ＳｒＯＨ６Ａ１
．１０ｓ ） 、ランタンアルミニウムオキサイド（Ｌ
ａ、ｏ３・Ｕ、Ｏ８）、セリウムアルミニウムオキサイ
ド（Ｃｅ２０３・Ｕ、Ｏ８χスカンジウムアルミニウム
オキサイド（ＳＣｚＯｓ・Ｎａ Ｏｓ ）、イツトリウ
ムアルミニウムオキサイド（ＭｔＯｓ・ｕ、Ｏ，）、カ
ルシウムイツトリウムアルミニウムオキサイ（（２Ｃａ
Ｏ−ＹｔＯｓ ・ＭｔＯｓ ）、カルシウムランタンア
ルミニウムオキサイド（２ｃｍ□・ｔ、ａ２Ｏ，・Ｕ、
Ｏ３） などが使用できる。これらの複合酸化物は、各
々の酸化物粉末を混合して高温で炉底しても得ることが
でき、それを粉砕して平均′８径（マイクロトラックで
測定）で１０μｍ以下好ましくは３μｍ以下にする拳が
望ましい。
窒化アルミニウム粉末に、前記複合酸化物粉体を０．１
〜１５重ｔ％好ましくは１〜１０Ｍｔ％を混合する。０
．１］ｉ：ｆ％未撚では＆缶化せず、１５’ｊ［ｉｉ％
〕、える乙焼結体の変形が著しく、またはクラックが入
りやすい。
〜１５重ｔ％好ましくは１〜１０Ｍｔ％を混合する。０
．１］ｉ：ｆ％未撚では＆缶化せず、１５’ｊ［ｉｉ％
〕、える乙焼結体の変形が著しく、またはクラックが入
りやすい。
この混合粉体に有機バインダー、例えばポリスチレンポ
リビニルアルコール、ポリビニルブチラール、ポリメチ
ルメタクリレート、ポリメタクリレート、パラフィン等
を、（必要に応じて溶媒を添加して）添加して混合した
後、成形する。成形方法としては、金型を使ったコール
ドプレス、ドクターブレードを使用したテープ成形、押
出成形、射出成形等、製品の形状に応じた方法をとるこ
とができる。
リビニルアルコール、ポリビニルブチラール、ポリメチ
ルメタクリレート、ポリメタクリレート、パラフィン等
を、（必要に応じて溶媒を添加して）添加して混合した
後、成形する。成形方法としては、金型を使ったコール
ドプレス、ドクターブレードを使用したテープ成形、押
出成形、射出成形等、製品の形状に応じた方法をとるこ
とができる。
次に成形時に添加した有機バインダーをｇ８成分解した
後、窒素、アルゴン、ヘリウム等の非酸化性カス雰囲気
下、温度１６００〜２０００℃望ましくは１７００〜１
９００℃で加熱焼成する。宍結時間は３０分以上、好ま
しくは３０分〜３時間である。
後、窒素、アルゴン、ヘリウム等の非酸化性カス雰囲気
下、温度１６００〜２０００℃望ましくは１７００〜１
９００℃で加熱焼成する。宍結時間は３０分以上、好ま
しくは３０分〜３時間である。
本発明により均一性の高い、ひひ、しみ等の少ない良好
な焼結体が得られる理由は定かではないが、あらかじめ
既知の焼結助剤とアルミナとの複合酸化物を形成するこ
とにより、焼成過程で、複合酸化物と窒化アルミニウム
表面に存在すると考えられている酸素とアルミニウムか
ら過当な融点をもつ物質を生じるためでろろうと推定さ
れる。
な焼結体が得られる理由は定かではないが、あらかじめ
既知の焼結助剤とアルミナとの複合酸化物を形成するこ
とにより、焼成過程で、複合酸化物と窒化アルミニウム
表面に存在すると考えられている酸素とアルミニウムか
ら過当な融点をもつ物質を生じるためでろろうと推定さ
れる。
セリウムの酸化物は室温では４価の形で安定であるが、
非酸化性カス算囲気中では高温では３価の形で安定であ
るため、ＣｅＯ２を焼結助剤として使用する場合には、
高温で酸素を放出する。−万、ＣｅＯ２とアルミナを不
活性カス雰囲気下で高温で焼成する墨に工す、Ｃ５ｕ０
３をあらかじめ合成しておくと、Ｃａｕ０３は室温にお
いても酸化嘔れに＜＜、これを焼結助剤として使用する
事にＬす、色むらや焼結密度、熱伝導率の低下がおこり
にくくなる。
非酸化性カス算囲気中では高温では３価の形で安定であ
るため、ＣｅＯ２を焼結助剤として使用する場合には、
高温で酸素を放出する。−万、ＣｅＯ２とアルミナを不
活性カス雰囲気下で高温で焼成する墨に工す、Ｃ５ｕ０
３をあらかじめ合成しておくと、Ｃａｕ０３は室温にお
いても酸化嘔れに＜＜、これを焼結助剤として使用する
事にＬす、色むらや焼結密度、熱伝導率の低下がおこり
にくくなる。
Ｃａ 、 Ｂａ 、 Ｓｒ の酸化物は加水分解性が
あり、保存中に水分や炭ぽカスを吸層して化学変化をお
こし、これらの化学変化した物質を用いると焼結過程で
不Ｓ会を生じるが、たとえはＣａ０・６ＡｔｔＯ８の工
うな複合酸化物を用いれは、水分や炭酸カスによる焼結
助剤の化学変化はさけることができ、良質な焼結体が得
られる。
あり、保存中に水分や炭ぽカスを吸層して化学変化をお
こし、これらの化学変化した物質を用いると焼結過程で
不Ｓ会を生じるが、たとえはＣａ０・６ＡｔｔＯ８の工
うな複合酸化物を用いれは、水分や炭酸カスによる焼結
助剤の化学変化はさけることができ、良質な焼結体が得
られる。
またＣａ ＋ Ｂａ ｔ Ｓｒの酸化物を焼結助剤とし
て用いると、これらの酸化物がアルミナと低温の共通点
を持つため添加量がある特定の狭い範囲でしか焼結体が
緻密化せず、ひびわれが発生しやすい。従って安定した
性状の幣結体が得られにくい。これに対してＣａＯ・Ｍ
２０３ ＊ ＣａＯＨ２Ａｔ２０Ｂ ＋ＣＩＬ０ ・６
Ａ１ｇ ＤＢ ＊ ＢａＯ’ Ｍｌｏｇ ＊ ＢａＯ’
６Ａ１１０３ ＊ＳｒＯ’ Ｍｌｏｇ ｒ ＳｒＯ’
２Ａ１＠Ｏ，ｒ ＳｒＯ’ ６Ａｔ２０３ 等の複
合酸化物を用いると、（焼結過程で低温で液相が生じな
いためと推測される。）前記の工うな欠点がなく、安定
した物性の焼結体が得られる。
て用いると、これらの酸化物がアルミナと低温の共通点
を持つため添加量がある特定の狭い範囲でしか焼結体が
緻密化せず、ひびわれが発生しやすい。従って安定した
性状の幣結体が得られにくい。これに対してＣａＯ・Ｍ
２０３ ＊ ＣａＯＨ２Ａｔ２０Ｂ ＋ＣＩＬ０ ・６
Ａ１ｇ ＤＢ ＊ ＢａＯ’ Ｍｌｏｇ ＊ ＢａＯ’
６Ａ１１０３ ＊ＳｒＯ’ Ｍｌｏｇ ｒ ＳｒＯ’
２Ａ１＠Ｏ，ｒ ＳｒＯ’ ６Ａｔ２０３ 等の複
合酸化物を用いると、（焼結過程で低温で液相が生じな
いためと推測される。）前記の工うな欠点がなく、安定
した物性の焼結体が得られる。
（実施例）
以下実施例をあげて具体的に説明する。
実施例１
市販の酸化セリウム粉本（Ｃｅｎｔ） （平均程径約４
μｍ）と酸化アルミニウム粉末（平均粒往約４μｆｎ）
を、モル比で１＝１になる↓うに配合して混会し、電気
炉にて窒素カス９６時間、温度１３５０℃に加熱した。
μｍ）と酸化アルミニウム粉末（平均粒往約４μｆｎ）
を、モル比で１＝１になる↓うに配合して混会し、電気
炉にて窒素カス９６時間、温度１３５０℃に加熱した。
これを粉砕してＣｅＡｊＯｓを主成分とする粉末を得た
。この粉末を第１表に示す割合で市販の窒化アルミニウ
ム粉末に添加し、混合粉砕した後、これにポリメチルメ
タクリレート（ＰＭＭ入）の５東竜チトルエン溶液を混
合粉末１００１［置部に対して１５重量部添加し混合し
た。このスラリーを４０φ厚さ３■の円板状に５００
Ｋｐ／ｉでプレス成形し、Ｎｔ 中濃度５００℃３時
間焼成してＰＭＭ＆を分解除去した後黒鉛抵抗加熱炉に
より、第１表に示す条件（実験漱１〜９）で暁紹した。
。この粉末を第１表に示す割合で市販の窒化アルミニウ
ム粉末に添加し、混合粉砕した後、これにポリメチルメ
タクリレート（ＰＭＭ入）の５東竜チトルエン溶液を混
合粉末１００１［置部に対して１５重量部添加し混合し
た。このスラリーを４０φ厚さ３■の円板状に５００
Ｋｐ／ｉでプレス成形し、Ｎｔ 中濃度５００℃３時
間焼成してＰＭＭ＆を分解除去した後黒鉛抵抗加熱炉に
より、第１表に示す条件（実験漱１〜９）で暁紹した。
得られた焼結体はじみやクランクの発生は認められなか
った。
った。
その焼結体の密度と熱伝導率とを測定したところ第１表
に示す値が得られた。なお熱伝導軍は１０載φＸ２日
に加工した試料をレーザーフラッシュ熱定数測定装置に
工す測冗した。
に示す値が得られた。なお熱伝導軍は１０載φＸ２日
に加工した試料をレーザーフラッシュ熱定数測定装置に
工す測冗した。
また表中の相対密度とは焼結体の密度を、焼結体の各原
料粉体の密度と配合比率から計算した児かけ上の埋崗密
度で割った数値でめる。
料粉体の密度と配合比率から計算した児かけ上の埋崗密
度で割った数値でめる。
実施例２
市販の酸化カルシウムと酸化アルミニウムとを用いて実
施例１と１司様に行いｃａｎ、ｏ４の粉本 ゛を得た。
施例１と１司様に行いｃａｎ、ｏ４の粉本 ゛を得た。
次いでこれを第１弐冥験縄１０〜１９に示す割合で用い
た以外は実施例１と同様に行った。
た以外は実施例１と同様に行った。
これらの条件及び結果を第１表に示す。
実施例３
各′ａ複合酸化物と窒化アルミニウム粉末を、第２衣の
割合で配合し、混合粉砕した。この混金粉体１００重童
部に対して、トリクレン／ブタノール／テトラクロロエ
チレン３／１／１重量比の混合浴剤を７５１童部、ポリ
ビニルブチラールを８重ｔｓ１ブチルフタロイルブチル
グリコール４重量部、トリオレイン酸グリセリン１ム童
部を加えてボールミルで２０時間混合し、得られたスラ
リーをドクターブレード方式により厚さ１ｍ１ｌＩのシ
ート状に成形した。このシート１に５０ｗｍＸ５０■の
サイズに切り取り、３枚槓１ｍ して熱圧層した懐、４
５０℃で２時間窒素中で加熱し有機物を除去した。これ
をアルゴン雰囲気中でＩ４２表に記載の条件（実験部２
０〜３１）で焼結し、得られた焼結体はしみやクラック
の発生は認められなかった。またその密度及び熱伝導率
を測定した。結果を第２表に示す。
割合で配合し、混合粉砕した。この混金粉体１００重童
部に対して、トリクレン／ブタノール／テトラクロロエ
チレン３／１／１重量比の混合浴剤を７５１童部、ポリ
ビニルブチラールを８重ｔｓ１ブチルフタロイルブチル
グリコール４重量部、トリオレイン酸グリセリン１ム童
部を加えてボールミルで２０時間混合し、得られたスラ
リーをドクターブレード方式により厚さ１ｍ１ｌＩのシ
ート状に成形した。このシート１に５０ｗｍＸ５０■の
サイズに切り取り、３枚槓１ｍ して熱圧層した懐、４
５０℃で２時間窒素中で加熱し有機物を除去した。これ
をアルゴン雰囲気中でＩ４２表に記載の条件（実験部２
０〜３１）で焼結し、得られた焼結体はしみやクラック
の発生は認められなかった。またその密度及び熱伝導率
を測定した。結果を第２表に示す。
比較例
焼結助剤をＣａ０１ ＊ Ｃａ０１ ＣｅＡＬＯ＠ ＋
ＣａＡ１１０４とした場合の比較例（実験部３２〜４
３）を第３表に示す。他の条件は実施例１の実験部１と
同様に行った。
ＣａＡ１１０４とした場合の比較例（実験部３２〜４
３）を第３表に示す。他の条件は実施例１の実験部１と
同様に行った。
１）本発明によれば均一で高熱伝導性であり、しかもし
み、色むら、ひひわれ等のない外観良好でるる窒化アル
ミニウム焼結体が得られる。
み、色むら、ひひわれ等のない外観良好でるる窒化アル
ミニウム焼結体が得られる。
２）窒化アルミニウムの焼結助剤としてアルミニウムと
周期停六の第［ａ族元素及び／又は第１ＩＮζ族元素と
を含有する多成分金属複合酸化物粉末を用いることに工
す歩留り工〈前記の商品質の焼結体が得られる。
周期停六の第［ａ族元素及び／又は第１ＩＮζ族元素と
を含有する多成分金属複合酸化物粉末を用いることに工
す歩留り工〈前記の商品質の焼結体が得られる。
Claims (2)
- （１）窒化アルミニウム粉末に対して、アルミニウムと
周期律表第IIａ族元素及び／又は周期律表第IIIａ族元
素とを含有する多成分金属複合酸化物粉末を０．１〜１
５重量％含有する成形焼結体からなる窒化アルミニウム
系高熱伝導体。 - （２）窒化アルミニウム粉末に対し、アルミニウムと周
期律表第IIａ族元素及び／又は周期律表第IIIａ族元素
とを含有する多成分金属複合酸化物粉末を０．１〜１５
重量％添加混合した後、成形し、次いでその成形体を非
酸化性ガス雰囲気下、温度１６００〜２０００℃で焼結
することを特徴とする窒化アルミニウム系高熱伝導体の
製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60040824A JPS61201671A (ja) | 1985-03-01 | 1985-03-01 | 高熱伝導体及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60040824A JPS61201671A (ja) | 1985-03-01 | 1985-03-01 | 高熱伝導体及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61201671A true JPS61201671A (ja) | 1986-09-06 |
Family
ID=12591408
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60040824A Pending JPS61201671A (ja) | 1985-03-01 | 1985-03-01 | 高熱伝導体及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61201671A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62176960A (ja) * | 1986-01-30 | 1987-08-03 | ティーディーケイ株式会社 | 金属電極を有する窒化アルミニウム焼結体およびその製造方法 |
| JPS6325278A (ja) * | 1986-07-18 | 1988-02-02 | 株式会社トクヤマ | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
| JPS63134569A (ja) * | 1985-10-31 | 1988-06-07 | 京セラ株式会社 | 窒化アルミニウム焼結体 |
| JPH01167279A (ja) * | 1987-12-22 | 1989-06-30 | Elektroschmelzwerk Kempten Gmbh | 窒化アルミニウムを主成分とする多結晶焼結体とその製造方法 |
| JPH01183469A (ja) * | 1988-01-19 | 1989-07-21 | Toshiba Corp | 窒化アルミニウム焼結体 |
| JPH0238367A (ja) * | 1988-07-28 | 1990-02-07 | Toshiba Corp | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
| JPH1067560A (ja) * | 1996-03-18 | 1998-03-10 | Fuji Electric Co Ltd | 高熱伝導率セラミックスおよびその製造方法 |
-
1985
- 1985-03-01 JP JP60040824A patent/JPS61201671A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63134569A (ja) * | 1985-10-31 | 1988-06-07 | 京セラ株式会社 | 窒化アルミニウム焼結体 |
| JPS62176960A (ja) * | 1986-01-30 | 1987-08-03 | ティーディーケイ株式会社 | 金属電極を有する窒化アルミニウム焼結体およびその製造方法 |
| JPS6325278A (ja) * | 1986-07-18 | 1988-02-02 | 株式会社トクヤマ | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
| JPH01167279A (ja) * | 1987-12-22 | 1989-06-30 | Elektroschmelzwerk Kempten Gmbh | 窒化アルミニウムを主成分とする多結晶焼結体とその製造方法 |
| JPH01183469A (ja) * | 1988-01-19 | 1989-07-21 | Toshiba Corp | 窒化アルミニウム焼結体 |
| JPH0238367A (ja) * | 1988-07-28 | 1990-02-07 | Toshiba Corp | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
| JPH1067560A (ja) * | 1996-03-18 | 1998-03-10 | Fuji Electric Co Ltd | 高熱伝導率セラミックスおよびその製造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7122490B2 (en) | Aluminum nitride materials and members for use in the production of semiconductors | |
| TWI351392B (en) | Dielectric ceramic composition having wide sinteri | |
| US4539298A (en) | Highly heat-conductive ceramic material | |
| JPS61201671A (ja) | 高熱伝導体及びその製造方法 | |
| TWI326676B (ja) | ||
| JP2547767B2 (ja) | 高熱伝導性窒化アルミニウム焼結体 | |
| JPH07503695A (ja) | 防湿性窒化アルミニウム粉末及びその製造方法及び使用方法 | |
| KR20140132866A (ko) | 고강도 질화알루미늄 소결체 및 이의 저온 소결방법 | |
| JP2807430B2 (ja) | 窒化アルミニウム焼結体およびその製造方法 | |
| JPS6217076A (ja) | 窒化アルミニウム粉末組成物 | |
| JPS61227967A (ja) | 高熱伝導性セラミツクス及びその製造法 | |
| JP2577378B2 (ja) | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 | |
| JP2742600B2 (ja) | 窒化アルミニウム質焼結体およびその製造方法 | |
| JPH0566339B2 (ja) | ||
| JPS59207883A (ja) | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 | |
| JPH01183469A (ja) | 窒化アルミニウム焼結体 | |
| JP3434963B2 (ja) | 窒化アルミニウム質焼結体及びその製造方法 | |
| JPH0312363A (ja) | 窒化アルミニウム質焼結体およびその製造方法 | |
| JPS6110073A (ja) | 窒化アルミニウム焼結体 | |
| JP2742599B2 (ja) | 窒化アルミニウム質焼結体およびその製造方法 | |
| JP2879864B2 (ja) | 誘電体磁器組成物の製造方法 | |
| JPH0345034B2 (ja) | ||
| JPH0545553B2 (ja) | ||
| JPH0881266A (ja) | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 | |
| JPS61146766A (ja) | 窒化アルミニウム焼結体およびその製造方法 |