JPS61198639A - ボンデイング装置 - Google Patents
ボンデイング装置Info
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- JPS61198639A JPS61198639A JP60036548A JP3654885A JPS61198639A JP S61198639 A JPS61198639 A JP S61198639A JP 60036548 A JP60036548 A JP 60036548A JP 3654885 A JP3654885 A JP 3654885A JP S61198639 A JPS61198639 A JP S61198639A
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- linear motor
- bonding
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- H01L24/741—Apparatus for manufacturing means for bonding, e.g. connectors
- H01L24/743—Apparatus for manufacturing layer connectors
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- H01L2224/783—Means for applying energy, e.g. heating means by means of pressure
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- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/00014—Technical content checked by a classifier the subject-matter covered by the group, the symbol of which is combined with the symbol of this group, being disclosed without further technical details
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- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01012—Magnesium [Mg]
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01039—Yttrium [Y]
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
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- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Die Bonding (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明はりニアモータを用いたボンディング装置の改良
に関する。
に関する。
半導体装置の製造におけるボンディング装置としてペレ
ットとリードとを金線などで連結配線するワイヤボンダ
や回路基板にペレットなどを接着剤で固着するチップマ
クンタなどが知られている。
ットとリードとを金線などで連結配線するワイヤボンダ
や回路基板にペレットなどを接着剤で固着するチップマ
クンタなどが知られている。
これらの装置の要部は１例えばペレットを固着したリー
ドフレームとか回路基板とかを間欠移送する搬送路の傍
にＸＹテーブルを設け、この上に支持部材を取付けてス
イングアームをこの支持部材で揺動自在に支持して構成
し、このスイングアームに、ワイヤを保持するキャピラ
リとか、接着剤を噴射して塗布するディスペンサなどの
ようなボンディング用治具を取付けて構成されている。
ドフレームとか回路基板とかを間欠移送する搬送路の傍
にＸＹテーブルを設け、この上に支持部材を取付けてス
イングアームをこの支持部材で揺動自在に支持して構成
し、このスイングアームに、ワイヤを保持するキャピラ
リとか、接着剤を噴射して塗布するディスペンサなどの
ようなボンディング用治具を取付けて構成されている。
そして従来は支持部材やスイングアームはアルミニウム
合金からなっていて、スイングアームノ運動はカム機構
により駆動されるのが一般的である。
合金からなっていて、スイングアームノ運動はカム機構
により駆動されるのが一般的である。
次にワイヤポンダを例に最近の事情を述べると近時キャ
ピラリだ非常な高速性と複雑な加圧力の制御などが要求
されている。第２図０ンは縦軸にキャピラリのペレット
表面に対する変位をとシ、横軸に時間をとった線図で、
第２図６：Ｉ）は縦軸にキャビ２りの加圧力をとり、横
軸に時間をとったものであるが、先端にボールが形成さ
れたワイヤを保持したキャピラリは高速下降でペレット
表面に近づき（曲線ａ）、さらに減速して接近しく曲線
ｂ）。
ピラリだ非常な高速性と複雑な加圧力の制御などが要求
されている。第２図０ンは縦軸にキャピラリのペレット
表面に対する変位をとシ、横軸に時間をとった線図で、
第２図６：Ｉ）は縦軸にキャビ２りの加圧力をとり、横
軸に時間をとったものであるが、先端にボールが形成さ
れたワイヤを保持したキャピラリは高速下降でペレット
表面に近づき（曲線ａ）、さらに減速して接近しく曲線
ｂ）。
ペレット表面にワイヤを圧接する（曲線Ｃ）。ここでワ
イヤとペレットとを接合した後、急速に上昇離間する（
曲線ｄ）。次に曲線ｅ、 ｆ、 ｙ、 ｈｌＣ沿って同
様にリードにワイヤを接合して切断する。
イヤとペレットとを接合した後、急速に上昇離間する（
曲線ｄ）。次に曲線ｅ、 ｆ、 ｙ、 ｈｌＣ沿って同
様にリードにワイヤを接合して切断する。
そして１曲線Ｃ，ｆの部分では第２図←）に曲線ｍ。
ｎで示すように所定の加圧力がキャピラリに加えられる
ようＫなっている。上述のようにスイングアームは高速
で回動し、かつ複雑な加圧力をタイミングよく加えるの
で、カムによる駆動では十分く作動させることが困難と
なり１例えば特開昭５６−３０７３５号に開示されてい
るようにリニアモータで駆動し、その電流により運動を
制御することが行なわれるようになった。
ようＫなっている。上述のようにスイングアームは高速
で回動し、かつ複雑な加圧力をタイミングよく加えるの
で、カムによる駆動では十分く作動させることが困難と
なり１例えば特開昭５６−３０７３５号に開示されてい
るようにリニアモータで駆動し、その電流により運動を
制御することが行なわれるようになった。
しかるく、生産性向上に伴う厳しい要求から一方ではり
ニアモータの可動側は、極力軽く形成し。
ニアモータの可動側は、極力軽く形成し。
他方制御電流は大とな）つつあるのが現状で、このため
、可動部分をアルミニウム合金−で構成しても負荷が大
とな９リニアモータのコイルが焼損するという手放がし
ばしば起り、リニアモータの長所を十分利用できないと
いう不都合があった。
、可動部分をアルミニウム合金−で構成しても負荷が大
とな９リニアモータのコイルが焼損するという手放がし
ばしば起り、リニアモータの長所を十分利用できないと
いう不都合があった。
本発明は上述の事情Ｋかんがみてなされたもので、高速
で作動してもリニアモータの焼損などがなく十分その長
所の発揮できるボンディング装置を提供することを目的
とする。
で作動してもリニアモータの焼損などがなく十分その長
所の発揮できるボンディング装置を提供することを目的
とする。
本発明はＸＹテーブルおよびボンディング用治具をもっ
たスイングアームをリニアモータで駆動するボンディン
グ装置において、少なくともＸＹテーブル上のスイング
アームおよびこれを回動自在に支持する支持部材をマグ
ネシウム合金で構成したことを特徴とするボンディング
装置である。
たスイングアームをリニアモータで駆動するボンディン
グ装置において、少なくともＸＹテーブル上のスイング
アームおよびこれを回動自在に支持する支持部材をマグ
ネシウム合金で構成したことを特徴とするボンディング
装置である。
以下本発明の詳細を第１図に示す一実施例としてのワイ
ヤボンダにより説明する。第１図は本実施例の要部であ
るボンディングヘッドの主要構成のみを示し、他の部分
は従来のものと同様なので詳細な図示は省略する。第１
図において、（１）はＸＹテーブルで１図示しないリニ
アモータによりＸ方向、Ｙ方向に適宜駆動され、アルミ
ニウム合金から々っている。この上に支持部材（２）が
取付けられている。これは箱状く形成されていて、ペレ
ッ［３）、 リード（４）などを有する被ボンデイング
部材（５）側の前面およびこれに対向した後面には大き
な開口が設けられており、上面、下面および両側面はほ
ぼ平坦な取付は面になっている。そしてマグネシウム合
金１例えばＪＩ８規格［Ｍｃ−９Ｊで構成されている。
ヤボンダにより説明する。第１図は本実施例の要部であ
るボンディングヘッドの主要構成のみを示し、他の部分
は従来のものと同様なので詳細な図示は省略する。第１
図において、（１）はＸＹテーブルで１図示しないリニ
アモータによりＸ方向、Ｙ方向に適宜駆動され、アルミ
ニウム合金から々っている。この上に支持部材（２）が
取付けられている。これは箱状く形成されていて、ペレ
ッ［３）、 リード（４）などを有する被ボンデイング
部材（５）側の前面およびこれに対向した後面には大き
な開口が設けられており、上面、下面および両側面はほ
ぼ平坦な取付は面になっている。そしてマグネシウム合
金１例えばＪＩ８規格［Ｍｃ−９Ｊで構成されている。
そしてこの支持部材（２）の側面を貫通して支持軸（８
）が回転自在に取付けられていて、これにスイングアー
ム（９）が固定されている。スイングアーム（９）はマ
グネシウム合金１” ＭＣ−９Ｊからなりていて、キャ
ピラリＩを先端に有して超音波発振器ヲもったボンディ
ングツールｕａが取付けられている。また後部にはリニ
アモータ峙の可動部が取付けられていて、リニアモータ
ａ３の固定部が支持部材（２）Ｋ取付けられている。こ
のリニアモータ（２）によりスイングアーム（９）は揺
動する。キャピラリａｍ）Ｋ上方から臨んで位置検出装
置としてのＩＴＶカメラ崗が設けられていて、これはブ
ラケットαのを介して支持部材（２）の側面に取付けら
れており。
）が回転自在に取付けられていて、これにスイングアー
ム（９）が固定されている。スイングアーム（９）はマ
グネシウム合金１” ＭＣ−９Ｊからなりていて、キャ
ピラリＩを先端に有して超音波発振器ヲもったボンディ
ングツールｕａが取付けられている。また後部にはリニ
アモータ峙の可動部が取付けられていて、リニアモータ
ａ３の固定部が支持部材（２）Ｋ取付けられている。こ
のリニアモータ（２）によりスイングアーム（９）は揺
動する。キャピラリａｍ）Ｋ上方から臨んで位置検出装
置としてのＩＴＶカメラ崗が設けられていて、これはブ
ラケットαのを介して支持部材（２）の側面に取付けら
れており。
ＸＹテーブル（１）と一体的に移動する。ブラケットａ
ｆｊはマグネシウム合金ＭＣ−９で構成されている。
ｆｊはマグネシウム合金ＭＣ−９で構成されている。
その他ワイヤαηを繰出すワイヤ供給部Ｑｌがブラケッ
ト（１６１に取付けられておシ、またワイヤクランパａ
場がスイングアーム（９）に取付けられている。ｉ之ス
イングアーム（９）はその重心が支持軸（８）の中心軸
線上に位置するように構成されてお）、さらにまた図示
しないが、ワイヤガイド、スイングアーム（９）の回転
速度を検出するセンナなども取付けられているが説明を
省略する。
ト（１６１に取付けられておシ、またワイヤクランパａ
場がスイングアーム（９）に取付けられている。ｉ之ス
イングアーム（９）はその重心が支持軸（８）の中心軸
線上に位置するように構成されてお）、さらにまた図示
しないが、ワイヤガイド、スイングアーム（９）の回転
速度を検出するセンナなども取付けられているが説明を
省略する。
次に作動を略述すると、 ＩＴＶカメラＱＳを用いて実
際にボンディングすべき位置が検出されると。
際にボンディングすべき位置が検出されると。
図示しないリニアモータによりＸＹテーブル（１）カ駆
動されて、キャピラリ（１１）は所定の位置に移動され
、第２図（イ）に示す変位曲線に沿って移動するように
リニアモータａ３の電流が制御さね、ワイヤα乃の先端
がペレット（３）上に当接するとりニアモータ峙の電流
制御により曲［ｉｌｍに示すように所定の加圧力が発生
してペレット（３）へのボンディングが終シ、続いて同
様に曲線ｅ −ｈに沿って作業がなされ、リード（４）
へのボンディングが終りワイヤを切断して１個所のワイ
ヤボンディングが完了する。
動されて、キャピラリ（１１）は所定の位置に移動され
、第２図（イ）に示す変位曲線に沿って移動するように
リニアモータａ３の電流が制御さね、ワイヤα乃の先端
がペレット（３）上に当接するとりニアモータ峙の電流
制御により曲［ｉｌｍに示すように所定の加圧力が発生
してペレット（３）へのボンディングが終シ、続いて同
様に曲線ｅ −ｈに沿って作業がなされ、リード（４）
へのボンディングが終りワイヤを切断して１個所のワイ
ヤボンディングが完了する。
本実施例においてはスイングアーム（９）はマグネシウ
ム合金で構成され、しかも重心の位置が支持軸（８）と
一致するので慣性モーメントは小さく、その揺動運動は
従来のものに比べて非常に軽＜、、ｌＪニアモータの負
荷が少ない。またプラタン）（ｌＧ、支持部材（２）も
マグネシウム合金で構成したので、ＸＹテーブルのりニ
アモータにかかる負荷も少なくなシ、敏速９円滑に位置
ぎめができる。
ム合金で構成され、しかも重心の位置が支持軸（８）と
一致するので慣性モーメントは小さく、その揺動運動は
従来のものに比べて非常に軽＜、、ｌＪニアモータの負
荷が少ない。またプラタン）（ｌＧ、支持部材（２）も
マグネシウム合金で構成したので、ＸＹテーブルのりニ
アモータにかかる負荷も少なくなシ、敏速９円滑に位置
ぎめができる。
以上詳述したように、本発明のボンディング装置は、少
なくともスイングアームとこれを支持する支持部材とを
マグネシウム合金で構成したので。
なくともスイングアームとこれを支持する支持部材とを
マグネシウム合金で構成したので。
従来のアルミニウム合金のものに比ベスイングアームを
制御するりニアモータの負荷が著しく小さくなシ、スイ
ングアームを大きな加速度で制御しても事故を起すこと
は全くない。また支持部材も非常に軽量化されたので、
ＸＹテーブルを制御するりニアモータの負荷が軽減され
、外部からの指令に対して応答性がよく１位置決め速度
、精度がともに向上し、マグネシウム合金の採用により
初めてリニアモータの長所を十分発揮したボンディング
装置が得られた。
制御するりニアモータの負荷が著しく小さくなシ、スイ
ングアームを大きな加速度で制御しても事故を起すこと
は全くない。また支持部材も非常に軽量化されたので、
ＸＹテーブルを制御するりニアモータの負荷が軽減され
、外部からの指令に対して応答性がよく１位置決め速度
、精度がともに向上し、マグネシウム合金の採用により
初めてリニアモータの長所を十分発揮したボンディング
装置が得られた。
カか本実施例においては、スイングアーム、支持部材お
よびブラケットなどをマグネシウム合金で構成したが、
その他の部材をマグネシウム合金で構成してもよいこと
はもちろんである。
よびブラケットなどをマグネシウム合金で構成したが、
その他の部材をマグネシウム合金で構成してもよいこと
はもちろんである。
またワイヤボンダにつき詳述したが、チップマクンタで
もよいことはもちろんである。
もよいことはもちろんである。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例の構成図、第２図ヒ）。
（Ｅ−）はボンディング作業を説明するための線図であ
る。 （１） ： Ｘ Ｙテーブル （２）：支持部材。 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 （ほか１名） 第２図
る。 （１） ： Ｘ Ｙテーブル （２）：支持部材。 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 （ほか１名） 第２図
Claims (3)
- （１）ＸＹテーブルに支持部材を取付けボンディング用
治具を保持したスイングアームを上記支持部材で揺動自
在に支持しかつ上記ＸＹテーブルおよび上記スイングア
ームをリニアモータにより駆動して半導体装置のボンデ
ィング作業を行なうボンディング装置において、少なく
とも上記支持部材とスイングアームとをマグネシウム合
金で構成したことを特徴とするボンディング装置。 - （２）ボンディング用治具はボンディングワイヤを保持
するキャピラリであることを特徴とする特許請求の範囲
第１項記載のボンディング装置。 - （３）ボンディング用治具は接着剤を塗布するディスペ
ンサであることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
のボンディング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60036548A JPH0691121B2 (ja) | 1985-02-27 | 1985-02-27 | ボンデイング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60036548A JPH0691121B2 (ja) | 1985-02-27 | 1985-02-27 | ボンデイング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61198639A true JPS61198639A (ja) | 1986-09-03 |
| JPH0691121B2 JPH0691121B2 (ja) | 1994-11-14 |
Family
ID=12472818
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60036548A Expired - Fee Related JPH0691121B2 (ja) | 1985-02-27 | 1985-02-27 | ボンデイング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0691121B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05299464A (ja) * | 1992-07-30 | 1993-11-12 | Kaijo Corp | Ｘｙテーブル |
-
1985
- 1985-02-27 JP JP60036548A patent/JPH0691121B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05299464A (ja) * | 1992-07-30 | 1993-11-12 | Kaijo Corp | Ｘｙテーブル |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0691121B2 (ja) | 1994-11-14 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |