JPS6119587B2 - - Google Patents
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- JPS6119587B2 JPS6119587B2 JP54113958A JP11395879A JPS6119587B2 JP S6119587 B2 JPS6119587 B2 JP S6119587B2 JP 54113958 A JP54113958 A JP 54113958A JP 11395879 A JP11395879 A JP 11395879A JP S6119587 B2 JPS6119587 B2 JP S6119587B2
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Description
本発明はガラスや金属と接合し組合せて使用す
る電気絶縁材や電子部品関係のICパツケージ基
板等に適し、又断熱材料や高温中で使用する治具
等の基材として有用な緻密で高強度のフツ素雲母
セラミツクス焼結体に関するものである。 従来の雲母セラミツク製造技術にはリン酸ボン
ドセラミツクス法やガラスボンドセラミツクス法
やガラスセラミツクス法があり、これらの製造技
術では生密度が向上せず、焼結性の悪いものであ
り、かつ焼成中に雲母のフツ素蒸発を防ぐために
急熱急冷焼成法を採用してテストピース程度の大
きさの製品しか出来ず、それに加え焼結体の耐熱
性が300〜500℃と低かつた。 そのために最大粒径3μ以下のフツ素雲母を主
成分とする成形体をフツ素含有量1〜10重量%の
耐火粉末中で埋め焼きするフツ素雲母セラミツク
ス焼結体の製造法を特願昭54−42135にて出願中
であり、この特許では抗折強度が最大で700Kg/
cm2と低かつた。故に最大粒径3μ以下のフツ素雲
母に対し、焼結助剤として、フツ化物の混合物を
フツ素雲母に対し5〜60重量%添加した成形体を
フツ素含有の耐火粉末中で埋焼する製造法を特願
昭54−91763にて出願中であるが、この特許の抗
折強度は720〜1300Kg/cm2であり緻密な焼結体を
得ることが出来たが、本研究者はこの強度に満足
出来ず更に別の焼結助剤の研究を推進して、アル
カリ金属、亜鉛及び/又はアルカリ土類金属の酸
化物−リン酸系フリツトがより効果があることが
判明した。このリン酸系フリツトはフツ素雲母を
よく濡らし、且つ抗折強度を向上することがわか
つた。 即ち本発明は、最大粒径3μ以下のフツ素雲母
粉末に焼結助剤として、アルカリ金属、亜鉛及
び/又はアルカリ土類金属の酸化物−リン酸系フ
リツトを10〜50重量%含有せしめ、フツ素含有量
1〜10重量%の耐火粉末中で埋め焼きし焼結する
ことを特徴とする高強度フツ素雲母セラミツクス
焼結体の製造方法を提供する。 以下本発明について詳述する。 加圧プレス成形により発生するキレを無くし異
方性のないものを得るために、先ずフツ素雲母粉
末の最大粒径を3μ以下にした。また、別にリン
酸系フリツト組成としては、望ましくはP2O540
〜75モル%と、CaO0〜55、BaO0〜40、ZNO0〜
20、K2O0〜20、B2O30〜20、Al2O30〜20及び
MgO0〜20モル%より選ばれた一種以上20〜55モ
ル%とを含有し、かつ、これらの合量がフリツト
の90モル%以上とし、その他、不純物としてフリ
ツトに混入しやすいSiO2、Fe2O3、Na2O等が10
モル%以下混入しても、抗折強度への影響は少な
く差しつかえないものである。 以上のフリツトが、フツ素雲母粉末に10〜50重
量%添加されたものである。 以上のリン酸系フリツト組成に於いて、P2O5
が40セル%に満たないか、又はP2O5以外の酸化
物が55モル%を超えると、フリツトが溶融しがた
くフリツトとしての効果が発揮し難く、他方
P2O5以外の酸化物が20モル%に満たないいか又
は、P2O575モル%を超えるときは、夫々、フリ
ツトが不安定で著しく耐火性に欠け、水洗フリツ
トにすると急速に水和することが判明したために
上記範囲に限定した。 また、フリツト添加量5重量%以下では、有意
の効果はなく、55重量%以上では目的とする高強
度が得られず、10〜50重量%の添加量が良好であ
つた。 本発明は、上記のフリツト組成及び添加量にお
いて使用し、フツ素雲母成形体をフツ素含有量1
〜10重量%の耐火粉末中で埋め焼きすることによ
り得られた焼結体は、極めて高い強度を有するも
のが得られ、その抗折力は800〜1500Kg/cm2の範
囲であつた。 以下に本発明の実施例を記述する。 フツ素雲母粉末に添加する焼結助剤としては、
第1表に示す試料A〜Eの組成となるよう、
H3PO4、BaCO3、CaCO3、MgCO3、ZnO、
K2CO3、H3BO3、Al2O3を用いて評量混合し、該
混合物を1300〜1400℃でアルミナルツボ中にて溶
解し、溶融物を急水冷してフリツトを得た。得ら
れたフリツト試料の特性値も第1表に示す。 上記フリツトを予め調整した最大粒径3μ以下
のフツ素金雲母、カリ四ケイ素雲母粉末に下記第
2表に示す組成比になる様に調合し混合したもの
を、巾12×長さ40×厚み4mmの成型体をプレス圧
800Kg/cm2にて加圧成型し、成型体を昇温300℃/
Hr、焼成温度700〜1200℃の範囲で焼成時間4時
間にて、フツ素を含有し
る電気絶縁材や電子部品関係のICパツケージ基
板等に適し、又断熱材料や高温中で使用する治具
等の基材として有用な緻密で高強度のフツ素雲母
セラミツクス焼結体に関するものである。 従来の雲母セラミツク製造技術にはリン酸ボン
ドセラミツクス法やガラスボンドセラミツクス法
やガラスセラミツクス法があり、これらの製造技
術では生密度が向上せず、焼結性の悪いものであ
り、かつ焼成中に雲母のフツ素蒸発を防ぐために
急熱急冷焼成法を採用してテストピース程度の大
きさの製品しか出来ず、それに加え焼結体の耐熱
性が300〜500℃と低かつた。 そのために最大粒径3μ以下のフツ素雲母を主
成分とする成形体をフツ素含有量1〜10重量%の
耐火粉末中で埋め焼きするフツ素雲母セラミツク
ス焼結体の製造法を特願昭54−42135にて出願中
であり、この特許では抗折強度が最大で700Kg/
cm2と低かつた。故に最大粒径3μ以下のフツ素雲
母に対し、焼結助剤として、フツ化物の混合物を
フツ素雲母に対し5〜60重量%添加した成形体を
フツ素含有の耐火粉末中で埋焼する製造法を特願
昭54−91763にて出願中であるが、この特許の抗
折強度は720〜1300Kg/cm2であり緻密な焼結体を
得ることが出来たが、本研究者はこの強度に満足
出来ず更に別の焼結助剤の研究を推進して、アル
カリ金属、亜鉛及び/又はアルカリ土類金属の酸
化物−リン酸系フリツトがより効果があることが
判明した。このリン酸系フリツトはフツ素雲母を
よく濡らし、且つ抗折強度を向上することがわか
つた。 即ち本発明は、最大粒径3μ以下のフツ素雲母
粉末に焼結助剤として、アルカリ金属、亜鉛及
び/又はアルカリ土類金属の酸化物−リン酸系フ
リツトを10〜50重量%含有せしめ、フツ素含有量
1〜10重量%の耐火粉末中で埋め焼きし焼結する
ことを特徴とする高強度フツ素雲母セラミツクス
焼結体の製造方法を提供する。 以下本発明について詳述する。 加圧プレス成形により発生するキレを無くし異
方性のないものを得るために、先ずフツ素雲母粉
末の最大粒径を3μ以下にした。また、別にリン
酸系フリツト組成としては、望ましくはP2O540
〜75モル%と、CaO0〜55、BaO0〜40、ZNO0〜
20、K2O0〜20、B2O30〜20、Al2O30〜20及び
MgO0〜20モル%より選ばれた一種以上20〜55モ
ル%とを含有し、かつ、これらの合量がフリツト
の90モル%以上とし、その他、不純物としてフリ
ツトに混入しやすいSiO2、Fe2O3、Na2O等が10
モル%以下混入しても、抗折強度への影響は少な
く差しつかえないものである。 以上のフリツトが、フツ素雲母粉末に10〜50重
量%添加されたものである。 以上のリン酸系フリツト組成に於いて、P2O5
が40セル%に満たないか、又はP2O5以外の酸化
物が55モル%を超えると、フリツトが溶融しがた
くフリツトとしての効果が発揮し難く、他方
P2O5以外の酸化物が20モル%に満たないいか又
は、P2O575モル%を超えるときは、夫々、フリ
ツトが不安定で著しく耐火性に欠け、水洗フリツ
トにすると急速に水和することが判明したために
上記範囲に限定した。 また、フリツト添加量5重量%以下では、有意
の効果はなく、55重量%以上では目的とする高強
度が得られず、10〜50重量%の添加量が良好であ
つた。 本発明は、上記のフリツト組成及び添加量にお
いて使用し、フツ素雲母成形体をフツ素含有量1
〜10重量%の耐火粉末中で埋め焼きすることによ
り得られた焼結体は、極めて高い強度を有するも
のが得られ、その抗折力は800〜1500Kg/cm2の範
囲であつた。 以下に本発明の実施例を記述する。 フツ素雲母粉末に添加する焼結助剤としては、
第1表に示す試料A〜Eの組成となるよう、
H3PO4、BaCO3、CaCO3、MgCO3、ZnO、
K2CO3、H3BO3、Al2O3を用いて評量混合し、該
混合物を1300〜1400℃でアルミナルツボ中にて溶
解し、溶融物を急水冷してフリツトを得た。得ら
れたフリツト試料の特性値も第1表に示す。 上記フリツトを予め調整した最大粒径3μ以下
のフツ素金雲母、カリ四ケイ素雲母粉末に下記第
2表に示す組成比になる様に調合し混合したもの
を、巾12×長さ40×厚み4mmの成型体をプレス圧
800Kg/cm2にて加圧成型し、成型体を昇温300℃/
Hr、焼成温度700〜1200℃の範囲で焼成時間4時
間にて、フツ素を含有し
【表】
【表】
【表】
た耐火粉末アルミナ中にて埋め焼にて焼成した。
そのフツ素を含有した耐火粉末アルミナは、耐火
粉末アルミナ最大粒径10μにフツ素源として、フ
ツ化アルミニウムとフツ化カリウムを3:3の等
量混合して使用した。その焼結体の曲げ強度
(Kg/cm2)を第2表に示す。 第2表の曲げ強度は、支持スパン20mm、2等分
1点荷重(三点法)法にて測定して求めた。 上記第2表の他に、フリツトとして硼ケイ酸ガ
ラス(a=45×10-7)等を添加して焼結したが、
曲げ強度は630Kg/cm2程度と低かつた。 第2表のNo.5焼結体の試料につき、表面及び破
面の組織をSEM(走査電子顕微鏡)で観察した
ところ、特願昭−91763の試料よりピンホールも
少なく、雲母粉末とフリツトがよく濡れている事
が判明した。又No.5の試料の熱膨脹係数は88×
10-7(r,t〜500℃)と高膨張のセラミツクス
であり、特願昭54−42135の試料の熱膨脹係数90
×10-7と近似であつた。更に耐熱性も温度800℃
まで変化せず、スポーリング抵抗も強いことが判
明した。 以上の如く本発明の雲母焼結体は従来のものよ
り強度的に向上し、焼結品の機械加工や完成品の
使用に際して破損するものが殆んど無くなり、又
熱膨脹係数が通常のガラスや金属と類似している
ために、これらのガラスや金属と接合し組合せて
使用するのに適しており、又、断熱材料や電気絶
縁材や電子部品としてのICパツケージ基板や高
温治具の基材に使用出来る。
そのフツ素を含有した耐火粉末アルミナは、耐火
粉末アルミナ最大粒径10μにフツ素源として、フ
ツ化アルミニウムとフツ化カリウムを3:3の等
量混合して使用した。その焼結体の曲げ強度
(Kg/cm2)を第2表に示す。 第2表の曲げ強度は、支持スパン20mm、2等分
1点荷重(三点法)法にて測定して求めた。 上記第2表の他に、フリツトとして硼ケイ酸ガ
ラス(a=45×10-7)等を添加して焼結したが、
曲げ強度は630Kg/cm2程度と低かつた。 第2表のNo.5焼結体の試料につき、表面及び破
面の組織をSEM(走査電子顕微鏡)で観察した
ところ、特願昭−91763の試料よりピンホールも
少なく、雲母粉末とフリツトがよく濡れている事
が判明した。又No.5の試料の熱膨脹係数は88×
10-7(r,t〜500℃)と高膨張のセラミツクス
であり、特願昭54−42135の試料の熱膨脹係数90
×10-7と近似であつた。更に耐熱性も温度800℃
まで変化せず、スポーリング抵抗も強いことが判
明した。 以上の如く本発明の雲母焼結体は従来のものよ
り強度的に向上し、焼結品の機械加工や完成品の
使用に際して破損するものが殆んど無くなり、又
熱膨脹係数が通常のガラスや金属と類似している
ために、これらのガラスや金属と接合し組合せて
使用するのに適しており、又、断熱材料や電気絶
縁材や電子部品としてのICパツケージ基板や高
温治具の基材に使用出来る。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 最大粒径3μ以下のフツ素雲母粉末に焼結助
剤として、アルカリ金属、亜鉛及び/又はアルカ
リ土類金属の酸化物−リン酸系フリツトを10〜50
重量%含有せしめ、フツ素含有量1〜10重量%の
耐火粉末中で埋め焼きし焼結することを特徴とす
る高強度フツ素雲母セラミツクス焼結体の製造
法。 2 前記アルカリ金属、亜鉛及び/アルカリ土類
金属の酸化物−リン酸系フリツトがフリツトに対
しP2O540〜75モル%と、CaO、BaO、ZnO、
K2O、B2O3、MgO及びAl2O3のうちから選ばれる
一種以上20〜55モル%とを含有し、かつ、これら
の合量が前記フリツトの90モル%以上であること
を特徴とする特許請求の範囲第1項記載の高強度
フツ素雲母セラミツクス焼結体の製造法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11395879A JPS5637271A (en) | 1979-09-05 | 1979-09-05 | High strength fluorine mica ceramic sintered body |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11395879A JPS5637271A (en) | 1979-09-05 | 1979-09-05 | High strength fluorine mica ceramic sintered body |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5637271A JPS5637271A (en) | 1981-04-10 |
JPS6119587B2 true JPS6119587B2 (ja) | 1986-05-17 |
Family
ID=14625462
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11395879A Granted JPS5637271A (en) | 1979-09-05 | 1979-09-05 | High strength fluorine mica ceramic sintered body |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5637271A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62152954U (ja) * | 1986-03-18 | 1987-09-28 |
-
1979
- 1979-09-05 JP JP11395879A patent/JPS5637271A/ja active Granted
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62152954U (ja) * | 1986-03-18 | 1987-09-28 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS5637271A (en) | 1981-04-10 |
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