JPS61192473A

JPS61192473A - 研磨装置

Info

Publication number: JPS61192473A
Application number: JP60030284A
Authority: JP
Inventors: Junji Nakada; 順二中田
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1985-02-20
Filing date: 1985-02-20
Publication date: 1986-08-27

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔発明の技術分野〕本発明は、断面円形部品の外周面を研磨するだめの研磨
装置に関する。

〔発明の技術的背景とその間頭点〕

従来、第５図に示すような円柱体をなす加工物（Ｗ）の
外周面の研磨方法の一つとして、第６図に示すような外
周部が歯車となっているキャリヤ（５）に加工物（ｖＶ
）・・・を転動自在に保持させた状態で、上、下定盤（
Ｂ）　、　（Ｃ１間に介装させて研磨している。

そうして、キャリヤ（６）は、内歯車と太陽歯車に歯合
して、自転及び公転駆動される。

しかしながら、上記従来の研磨方法においてはキャリヤ
四の回転により加工物（Ｗ）の軸線と、上下定盤（ＩＩ
Ｇ　、　（Ｑの回転軌跡の接線方向とが一致すると加工
物（Ｗ）の転動が一時的洗とまる。そのため加工物（Ｗ
）と上、下定盤（ｌ、０との間にすべりが生じる。そし
て、加工物Ｃ′Ｗ）のすべりが生じた部位と他部位とは
加工量が不均一となり、加工精度が低下する問題を生じ
ている。

〔発明の目的〕

本発明は、上記事情を参酌してなされたもので加工物の
転動を停止させることなく、均一に研磨することのでき
る研磨装置を提供することを目的とする。

〔発明の概要〕

円柱状の加工物を転動自在に保持する円柱状の保持板に
一定の角度範囲で回動自在忙キャリヤプレートに取付け
、上記キャリヤプレートを遊星運動させながら、一対の
定盤により加工物を挾圧することＫより加工物の外周面
を研磨するよう例したものである。

〔発明の実施例〕

以下、本発明の一実施例を図面を参照して詳述するっ第１図乃至第４図は、この実施例の研磨装置を示してい
る。この研磨装置においては、円柱状の太陽歯車（１）
と、この太陽歯車（１）を同軸例囲繞して設けられた円
環状の内歯車（２）とφ廁、これら両者に遊星歯車とし
て歯合して自転しながら公転するヤプレート（３）は、
第２図乃至第４　＋６に示すように、外周部が平歯車（
４）となっている円板状の本体（５）と、この本体（５
）に等配して転動自在に嵌着された４個の円板状保持板
（６）・・・とからなっている。しかして上記本体（５
）　Ｋは、４個の円形状の透孔（７）・・・が穿設され
ている。そして、各透孔（力山の本体（５）の中心側周
縁部には、切欠（８）・・・が凹設されている。また本
体（５）の上面側透孔（力・・・周縁部には段差部（９
）・・・が形成されている。一方、保持板（６）・・・
は、透孔（力・・・に遊嵌されているっそして、保持体
（６）の上面側には鍔部αｌが突設され、この鍔部α〔
が段差部（９）に回転自在に遊嵌することにより、保持
板（６）が本体（５）Ｋ係止されている。また、本体（
５）の透孔（力山周縁部には、円環状の押え板（５ａ）
が一部を段差部（９）側に突設させて本体（５）に固着
されていて、保持板（６）の本体（５）からの離脱を防
止するようになっている。

さらＫ、保持板（６）催には、切欠（８）・・・に遊挿
される突片圓・・・が突設されている。これら突片α１
Ｊ・・・が切欠（８）・・・に当接することにより、保
持板（６）・・・は、その回動量が一定範囲内となるよ
うに規制されている。また、保持板（６）・・・の中央
部には、長方形をなす保持穴（６ａ）・・・が突設され
ている。しかして、キャリヤプレート（３）・・・の上
下には、鋳鉄製で円柱状をなす上定盤０りと下定盤０と
が配設されている。

これら、上定盤αりと下定盤０には、中央に貫通孔（１
２ａ）、（１３ａ）が同軸に穿設されている。そして、
これら上定盤α２と下定盤α３の互に対向する面とは反
対側の背面には、主軸αａ、αりが同軸に連結されてい
る０これら主軸α４）　、　Ｃ１５１は図示せぬ回転駆
動源に接続され、上定盤０のと下定盤α国とを回転駆動
するようＫ　、ｔっている。そして、下定盤０の主軸α
９には、太ｌＶｈｍ車＋１）が同軸に嵌着され下定盤α
りと一体的に回転するようになっている。また、上定盤
（６）の主軸（８）は、昇降自在に設けられているっま
た、上定盤（６）には、研磨剤を研磨部位に供給するた
めの供給孔ｕｅ・・・が穿設されている。

しかして、上記構成の研磨装置において、第５図に示す
加工物（Ｖ’／）を両面研磨加工する場合、まず加工物
（Ｖ’／）をキャリヤプレート（３）・・・の保持穴（
６ａ）・・に遊挿させた後、上定盤（１２を下降させ、
加工物（Ｗ）・・を上、下定盤（１２，、Ｃ３によシ挾
着する。しかして、主ｍａａ、α９を回転させると、キ
ャリヤプレート（３）・・・は、太陽歯車（１）の回転
にともなって自転しながら公転する。これにともない加
工物（Ｗ）は、上。

下定盤圓、α４間を転動する。このとき例えばコロ　　
　□イダイシリ力系の研磨剤を供給孔ａ２・・・より研
磨部位に供給する。その結果、回転している上、下定盤
αり、α謙によるラップ圧及び研磨剤により上、下定盤
αａ、α３間を転動している加工物（Ｗ）の外周面がラ
ッピング（研磨）される。この研磨中において、保持板
（６）・・・は、キャリヤプレート（３）・・・の自転
及び公転運動に追従して、切欠（８）・・・により規制
されている回動範囲内で正逆方向に回動する。したがっ
て、キャリヤプレート（３）・・・の回転にともなって
、保持板（６）・・・に保持されている加工物（Ｗ）山
の軸線が上、下定盤αの、αＪの回転軌跡の接線方向と
一致しても、保持板（６）・・・は、本体（５）・・・
に回動自在に嵌着されているので、加工物（Ｗ）・・・
は、それらの軸線が上、下定盤ａ’ａ　、　ａ、ｉの回
転方向の接線方向０国と加工物（Ｗ）・・・との間にす
べ９を生じることはなく、外周面が均一に研磨される。

よって、例えば真円度、円筒度等の加工精度が向上する
。

なお、上記実施例においては、キャリヤプレート（３）
に、保持板（６）・・・を４個我着させているが、その
故は任意でよい。さらに１本体（５）に切欠を設ける代
りに、保持板（６）測知切欠を設けるとともに。

本体（５）側に切欠に係合する突片を突設させるように
してもよい。さらにまた、押え板（５β）の代りに本体
（５）の透孔（力内周壁に保持板（６）を軸支させるよ
うにしてもよい。ざらに、両面研磨方式としては図示の
ものに制約されることなく、たとえば、太陽歯車（１）
を主軸αυからは独立した回転駆動源に接続してもよい
。また、上定盤については、下定盤側に同軸設置され先
端に歯車が形成された回転駆動軸に上定盤を螺挿させる
ことにより上定盤を回転、駆動させるようにしてもよい
。

〔発明の効果〕

本発明の研磨装置は、遊星運動するキャリヤプレートだ
保持板を一定の範囲内で回動自在に取付け、この保持板
に円柱状の加工物を保持させるようにしたので、加工物
は、上下定盤間において挾圧された状態で中断すること
なく転動する。したがって、上下定盤と加工物との間に
すべりを生じることがなく、加工物の外周面は均一に加
工され例えば真円度、円筒度等の加工精度が向上する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の研磨装置の縦断正面図、第
２図及び第３図は同じくキャリヤプレートを示す要部平
面図、第４図は保持板の断面構造を示す図、３５図は加
工物の斜視図、第６図は従来の研磨装置における加工物
保持方式を示す断面図である。（１）・・・太陽ｍ車、　（２）・・・内歯車、（３）
・・・キャリヤプレート、　（５）・・・本体。（６）・・・保持板、　　（６ａ）・・・保持穴、α２
・・・上定盤、　　（１３・・・下定盤。代理人　弁理士　　則　近　憲　佑（ほか１名）第１図第３図第　２　図

Claims

【特許請求の範囲】

軸線のまわりに回転駆動される太陽歯車と、この太陽歯
車を同軸に囲繞して設けられた円環状の内歯車と、上記
太陽歯車と上記内歯車とに歯合し上記太陽歯車の回転に
従って遊星運動する円板状の本体及び上記本体に上記本
体の主面に直交する軸線のまわりに一定の範囲内で回動
自在に取付けられ且つ円柱状の加工物を転動自在に保持
する保持孔が穿設された円板状の保持板を有するキャリ
ヤプレートと、上記キャリヤプレートの両主面側に配設
され上記キャリヤプレートに保持されている加工物を挾
圧する一対の定盤とを具備することを特徴とする研磨装
置。