JPS61186223A - 誘電体微粉末の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は誘電体微粉末の製造方法に関し、とくに高純度
で反応性の高い誘電体微粉末を有利に得ることについて
の開発成果を提案しようとするものである。

エレクトロセラミック部品の小型化、高性能化に伴い高
純度で粒径分布の狭い微粉末原料に対する要求が高まり
つつあり、たとえばドクターブレード法などにより薄膜
を形成する際には表面粗さなどを改善し、また膜の品質
向上のために優れた微粉末を必要とするからである。

一般的にＰｂ、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｎｂ、Ｍｇ、Ｍｎ、Ｂａ、
Ｓｒなどの酸化物から構成される誘電体微粉末は、圧電
材料、焦電材料、強誘電材料などのエレクトロセラミッ
クスを製造する場合の原料として重要である。

（従来の技術） 誘電体粉末の製造方法としては、従来、Ｐｂ、Ｚｒ。

Ｔｉ＋Ｎｂ、Ｍｇ、Ｍｎ、ＢａないしはＳｒなどの酸化
物、炭酸塩その他の化合物粉末を、目的の組成となるよ
うに秤量混合後、仮焼し、さらに粉砕仮焼による固相反
応を何度も繰り返して製造するいわゆる同相法によって
いたが、粉砕時に混入する不純物のために高純度の粉末
の製造が困難であった上、とくに粉砕により、効率よく
得られる粉末の粒径は、数μＭ程度が限界であって、し
かもその粒径も不均一になり勝ちなため、反応性に劣る
欠点があった。

これらの同相法の欠点を改良する方法として溶液を出発
原料として粉末を製造する共沈法が知られていて、この
方法によれば、一般に粒度分布の狭い微粉末が得られる
利点はある。

（発明が解決しようとする問題点） 微粉末の調製に有用な共沈法の適用についても出発原料
溶液として硝酸溶液、硫酸溶液、塩酸溶液などの無機酸
を用いた場合に、沈殿物中に残留する硫酸塩や塩化物な
どの無機アニオン不純物を除去するため、出発原料溶液
から沈殿生成の後に、ろ過洗浄工程を経るのが一般的で
あるところ、とくにＭｇ成分の如きはろ過洗浄工程で溶
出しやすく目的とする組成のものが得られ難い欠点を伴
った。

もちろん無機アニオン不純物のないしゅう酸などの有ａ
、酸溶液やアルコキシド溶液を出発溶液とすることで洗
浄工程を省き得るが有機酸溶液はＭｇ。

Ｍｎ＋Ｎｂ＋Ｚｒ＋Ｔ＋＋ＢａないしはＳｒなどに関し
低濃度の溶液しか調製できないため非常に高価につき、
またアルコキシド溶液を用いる場合には、それぞれの成
分をアルコキシドとして合成しなければならないなど操
作が複雑である。

なおろ過洗浄工程における上記Ｍｇ成分などの溶出を防
ぐためには、アルコールなどの有４！！溶媒による洗浄
や、強アルカリ液による洗浄なども考えられるが、洗浄
工程で無機アニオンを完全に除去するためにはその使用
量が多量必要である。

従っていずれも実用的な方法と言い難い。そこで上記の
ような難点を伴うことなしに誘電体微粉を適切に得る方
法を与えることがこの発明の目的である。

（問題点を解決するための手段） 発明者らはＰｂ、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｎｂ、Ｍｇ＋Ｍｎ、Ｂａ
ないしはＳｒなどの酸化物から構成される粒径分布が狭
く純度の高い誘電体微粉末を効率よく工業的規模で製造
する方法について、検討した結果、共沈法の利点である
粒径分布の狭い微粉末が製造可能な点に着目し、この利
点を有利に生かす製造方法を確立し本発明に至った。

すなわち、本発明は、 Ｎｂイオンを含む酸性溶液を金属Ｍｎと反応させて得ら
れた溶液を、ｐＨ５，５以上の条件で沈殿剤と反応させ
、生成した沈殿物を４５０〜１２００℃で仮焼し、Ｎｂ
を含む粉末を得る工程、 Ｚｒ４ｉ＋Ｍｎ＋ＢａおよびＳｒよりなる群のうちから
選んだ少くとも１種の金属イオンを含む酸性溶液と沈殿
剤とをｐｌ（４以上で反応させ、生成した沈殿物を洗浄
した′４１Ｌ４５０〜１２００℃で仮焼し、金属酸化物
粉末を得る工程 上記両工程の少くとも一方による粉末を、Ｐｂ。

Ｍｎ、ＢａおよびＳｒよりなる群のうちから選んだ少く
とも１種の金属ないしはその化合物粉末と混合した上で
６００〜１０００℃で焼成することを特徴とする、誘電
体微粉末の製造方法（第１発明）−並びに、■イオンを
含む酸性溶液を金属Ｍｎおよび金属Ｍｇ又は金属Ｍｇと
反応させて得られた溶液を、ｐＨ１２以上もしくは、沈
殿助剤の存在下にｐｉ　５．５以上の条件で沈殿剤と反
応させ、生成した沈殿物を４５０〜１２００℃で仮焼し
、Ｎｂを含む粉末を得る工程、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｍｎ、ｌ’
ｌａおよびＳｒよりなる群のうちから選んだ少くとも１
種の金属イオンを含む酸性溶液と沈殿剤とをｐＨ４以上
で反応させ、生成した沈殿物を洗浄した後４５０〜１２
００℃で仮焼し、金属酸化物粉末を得る工程、 上記両工程のうち少くとも一方による粉末を、Ｐｂ、　
Ｍｎ、　ＢａおよびＳｒよりなる群のうちから選んだ少
くとも１種の金属ないしはその化合物粉末と混合した上
で６００〜１０００℃で焼成することを特徴とする、誘
電体微粉末の製造方法（第２発明）である。

まずＮｂイオンを含む酸性溶液と、金属Ｍｇ及び／又は
金属Ｍｎとを反応させてＮｂとＭｇ及び／又はＭｎの金
属イオンを含む溶液を調製する。

Ｎｂイオンを含む酸性溶液の例としてはぶつ酸、酒石酸
、しゅう酸などの溶液があげられる。なお必要に応じて
Ｂａ、Ｓｒを含む酸性（塩酸、硝酸）又はＢａ、Ｓｒな
どの金属を上記のように調製した溶液中に添加すること
もできる。

次いで、Ｎｂイオンを含む酸性溶液と、とくに金属Ｍｇ
とを反応させた溶液については、沈殿剤と反応させるに
際して、沈殿助剤の存在下にｐＨ　５．５以上で反応さ
せるがｐ　ｌ＋　１２以上であれば沈殿助剤は必ずしも
必要としない。沈殿助剤の具体例としては、メタノール
、エタノールなどのアルコール類、アセトンなどのケト
ン類、その他ベンゼン、ｌルエン、キシレン、トリクレ
ン、クロロセン、などがあげられるが、これらに限られ
るものではなく、前記の金属Ｍｇの沈殿物の溶解度を低
下させるものであればよい。

沈殿助剤の添加量は、金属Ｍｇ沈殿物の９５モル％以上
が沈殿する量をもって適量とし、たとえばエタノールを
用いた場合には、１０〜６０容量％添加することが適当
である。

すでに明らかなように沈殿助剤の添加量は沈殿剤との反
応ｐＨによってもかわり、一般にｐＨが低いほどＭｇの
溶出を防ぐために必要な添加量は増加する。金属Ｍｇの
溶出が少量で具体的には仕込みモル量の２０％以下の場
合にはＮｂイオンを含む酸性溶液を、金属Ｍｇ及び／又
は金属Ｍｎとを反応させて得られる溶液の調製に際して
、溶出量に見合った量のＭｇを過剰添加することにより
組成を制御すればよい。

次に沈殿剤としては、アンモニア水などの無機塩基、炭
酸アンモニウムなどの各種塩類などかあげられる。反応
ｐｎは５．５以上が必要でｐ）１７以上がさらに好まし
く、前記のように特にＭｇイオンを含む溶液から沈殿助
剤を添加せずに沈殿を生成する際には、ＰＨ１２以上と
する。

共沈法としては、沈殿剤でｐＨを保持した共沈槽内に、
沈殿助剤を添加する場合も含めて充分攪拌を行ないなが
ら、Ｎｂイオンを含む酸性溶液と金属Ｍｇ及び／又は金
属Ｍｎとを反応させて得られた溶液を噴霧するなどの方
法で導入する手法が適合する。

なおＭｎの沈殿の溶出を防ぐ目的で過酸化水素水を添加
するのは効果的である。

こうして得られた沈殿物は、ろ過などの方法によって溶
液部分を除去した後あるいはそのまま、噴霧乾燥法、振
動流動乾燥法、ドラムドライヤー乾燥法、フィルムエバ
ポレーター乾燥法により乾燥を行った後、さらに４５０
°〜１２００℃で仮焼する。

ここに粉末同士の凝集を防くことは、微粉末を得る際に
重要であるが、この点、仮焼の前及び／又は後にボール
ミル、振動ボールミル、ジェットミルなどによる解砕を
行なうことは有効である。この際ボールミルなどの材質
はナイロン等の有機物の方が金属不純物の混入がないた
め好ましい。仮焼温度は、４５０℃より低い温度では沈
殿物中の水分等を除去することが不充分であり、後の工
程において秤量仕込みする際に目的組成とすることが困
難となる。また、温度１２００℃より高い場合には、粉
末同志の焼結などによる凝集が起こり反応性が低下する
難点がある。またエネルギー的にも高温での仮焼は、実
際的でない。従って仮焼温度は４５０〜１２００℃、好
ましくは６００〜１０００℃である。

次に、Ｚｒ、Ｔｉ＋Ｍｎ、Ｂａ及びＳｒよりなる群のう
ち少くとも１種の金属イオンを含む酸性溶液の調製法と
しては、Ｚｒ４ｉ＋Ｍｒ＋＋Ｂａ及びＳｒを含む塩化物
、硝酸塩、硫酸塩などの塩類を水に溶解して調製する一
般的方法でよい。なお、塩類の具体例については後でま
とめて述べる。

沈殿剤としてはすでに触れたアンモニア水などの無機塩
基、炭酸アンモニウムやさらにしゅう酸アンモニウムな
どの各種塩類その他メチルアミン、エチルアミンなどの
有機塩基などがあげられる。

沈殿剤との反応ｐＨは、ｐ）ｌが４より低い場合には、
沈殿の溶出が起きやすく組成制御が困難となり、沈殿粒
子の大きさはｐｉが４以上で高い程、小さくなる傾向が
あるが、ｐＨを高くするには一般に沈殿剤の使用量が増
し工業的に得策でない。沈殿生成後の洗浄は水（ｐＨ６
〜１２）あるいは希アンモニア水を用いることが、コス
ト面でも有利であるため沈殿生成ｐＨの値は４以上であ
ればよく、せいぜい高くとも９以下でよい。

沈殿物の洗浄は、水又は希アンモニア水で沈殿物中のＣ
１−やＮＯ３−などの不純物を除去するため充分行なう
ことが望ましい。また不純物除去後、エタノールやアセ
トンなどで洗浄することによって沈殿粒子同志の凝集を
防ぐことも有効である。

この場合も仮焼の前及び／又は後の解砕を行なうことも
有効である。仮焼温度は４５０〜１２００℃好ましくは
６００〜１０００℃であるが、このように限定した理由
は４５０℃未満の低い温度では組成制御が困難であり、
反面１２００℃をこえる場合には、凝集が起こり反応性
が低下する難点があるためである。

次にＰｂ、Ｍｎ、ＢａおよびＳｒよりなる群のうちから
選んだ少くとも１種の金属ないしはその化合物粉末と混
合するがその化合物については例えばｐｂｏ。

ＭｎＯ２，ＲａＱ、　ＳｒＯや、ＭｎＯ，ＭｎｚＯ：＋
＋　Ｍｎ０ｚ　・ｔｌｚｏ　、　ＭｎｚＯ７゜Ｍｎ３Ｏ
４さらにＰｂ０ｚ、Ｐｂｚ０３．Ｐｂ３Ｏ４などの酸化
物、ＰｂＣＯ３，ＭｎＣ０＊、ＢａＣ０：＋およびＳｒ
ＣＯ３などの炭酸塩、Ｐｂ５ＣＯ３（０１１）　２など
の塩基性炭酸塩、Ｐｂ（Ｏ）Ｉ）ｚ。

Ｍｎ　（ＯＨ）　ｚ、　Ｍｎ０（Ｏｌｌ）　、　Ｂａ　
（Ｏｉｌ）　２．８ａ　（０１１）　２　・８１１ｚ帆
５ｒ（ＯＨ）ｚ、５ｒ（Ｏｆｆ）ｚ　’　０Ｈ２０など
の水酸化物、ＰｂＣ２０ｔ＋ＭｎＣｇ０４．ＢａＣｚＯ
ｓ、５ｒＣＪａなどのしゅう酸塩、ＰｂＣ０，、ＭｎＣ
０，、ＢａＣ０，、５ｒＣＯ，などのぎ酸塩、ＰｂＣ］
ａ。

ＰｂＣｌ２．ＰｂＣ］、　・ＰｂＯ，ＭｎＣｌ２．Ｍｎ
Ｃ１・４ｔｌｚＯ，５ｒＣ１２゜ＢａＣ１，ＢａＣ１ｚ
　・２８２０．ＳｒＣ１ｇ　・６Ｈ２０などの塩化物お
よびＰｂ　（ＮＯ３）　！、　Ｍｎ　（ＮＯ３）　ｚ　
・６１１ｇ０．　Ｂａ　（ＮＯ３）　２および５ｒ（Ｎ
（ｈ）ｚなどの硝酸塩の如き各種塩類などが挙げられ、
これら化合物粉末はその特性として混合性のよい微粉末
を用いることが好ましい。

次に混合め方法としては乳鉢やボールミルなどによる一
般的方法で良いが、乾式混合よりもアルコール、アセト
ン、クロロセンなどを用いた湿式混合の方が効率も良く
好ましい。

混合に当たってはたとえばｐｂの化合物について目的と
する相を形成すべき化学量論量よりも８モル％以下の過
剰量を混合することが組形成のためにも、また粉末の反
応性を高めるためにも有効であり、またＭｎ、　Ｂａお
よびＳｒを含む化合物粉末の添加量はｐｂ化合物１モル
に対してそれぞれ０．２モル以下が好ましくそれという
のは添加量が限度をこえるときは誘電体微粉末を用いて
製造される誘電体の電気的特性が所望の特性となり難い
からである。

なお、この混合工程においては、本発明に従いすでに述
べた仮焼により得られるＮｂを含む粉末および化合物粉
末のうち少くとも一方に、Ｍｎ、　ＢａおよびＳｒから
選んだ少くとも１種の金属又はその化金物粉末を予め混
合し、ついで仮焼を施したのちに、ｐｂ粉末又はｐｂ化
合物粉末をあとから混合してもよい。さらにこの混合工
程においては、本発明の誘電体を構成するＰｂ、　Ｍｎ
、　Ｓｒ、以外の成分すなわちＮｂ、Ｍｇ、Ｚｒ、Ｔｉ
の化合物粉末を添加することも考えられる。

上記のような混合工程を経たのちの焼成温度は、６００
℃より低い温度では、誘電体固溶体形成反応の効率が低
り１０００′Ｃより高い温度では、鉛化合物が融解など
を起こしやすいので粉末同志の凝集を形成するおそれが
あって少くとも微粉末となりにくい。したがって焼成温
度は６００〜１０００℃を要し、なかでも７００〜９０
０℃がより好ましく、さらに７５０〜８５０℃が一層好
ましい。

（実施例） 実施例　１ 水酸化ニオブ沈殿を用いて金属濃度０．５２８　ｍｏｌ
／ｊ！、しゅう酸濃度１．３６２　ｍｏｌ／　Ｉｌのニ
オブのしゅう酸溶液を調製した。この溶液を攪拌しなが
ら金属Ｍｇ粉末及び金属Ｍｎ粉末をＮｂ　：　Ｍｇ　：
　Ｍｎの原子比で２０：１０：１となるように加え、２
日間放置とたとこる透明溶液となった。

この溶液をエタノール及びアンモニア水で、ｐＨ７．０
に保持された共沈槽内εこ攪拌しながら噴霧して沈殿を
生成させた。このときのエタノール添加量は５０容量％
であった。生成した沈殿物をろ過し、８０℃で乾燥した
。ろ液中に溶出する金属成分を分析したが溶出は認めら
れなかった。乾燥物を解砕後６５０℃で１時間仮焼して
粒径０．３μｍ程度の均一な粒径のＮｂを含む粉末を得
た。

これとは別に金属濃度１．０３ｍｏｌ／　ｉｔの塩化ジ
ルコニル水溶液と、金属濃度２．１８　ｍｏｌ／　１２
の四塩化チタン水溶液とを、Ｚｒ：Ｔｉの原子比で０．
１２５　：　０．４３７５となるように混合し、この混
合溶液をアンモニア水で、ｐ　Ｈ７、０に保持した共沈
槽内に攪拌しながら噴霧して沈殿を生成させたのち、純
水を用いて、充分な洗浄とろ過をくり返してＣＩを除い
たのち、噴霧乾燥を行った。

乾燥物を解砕後温度７００℃で１時間仮焼して粒径０．
３　μｗ程度の均一な粒径のジルコニウム及びチタンを
含む粉末を得た。次に前記工程で得たＮｂを含む粉末４
５．９１００　ｇとジルコニウム及びチタンを含む粉末
５０．３５００　ｇ及び−酸化鉛（ＰｂＯ）　２２３．
２０００ｇをアセトンを用いて湿式混合したのち温度７
８０℃で１時間焼成して誘電体粉末を得た。この粉末は
、走査型電子顕微鏡観察の結果０．３μｍ程度の非常に
粒径の均一な微粉末であった。

この粉末３．０ｇを成形圧力１０００ｋｇ　／　ｃｍ２
で直径２０ｍｍのディスク状に成形し、温度１１５０℃
で１時間焼成を行った。その結果焼結密度は７−９４ｇ
　／ｃｍ’であり、はぼ理論密度の焼結体を得た。また
この粉末の不純物分析を行ったところ炭素、塩素及び金
属は、１０　ｐｐｍ以下で高純度であることが判明した
。

実施例　２ Ｎｂ、Ｍｇ、Ｍｎを含むしゅう酢酸性溶液の共沈ｐＨを
１０．０とし、エタノール添加量を２０容量％とした以
外は実施例１と同様に行ったところほぼ同様の結果を得
た。

実施例　３ 実施例１で得られたＮｂを含む粉末を用いこれとは別に
、金属濃度１．０３ｍｏ！／　７！の塩化ジルコニル水
溶液、金属濃度２．１８　ｍｏｌ／　βの四塩化チタン
水溶液、金属濃度１．０１ｍｏ１７７！の塩化ストロン
チウム水溶液をＺｒ：Ｔｉ：Ｓｒの原子比で０．１２５
：０．４３７５：０．０５となるように混合溶液を調製
し炭酸アンモニウムでｐＨ９．０に保持した共沈槽内に
攪拌しながら噴霧して沈殿を生成させたのち、粉炭酸ア
ンモニウム水溶液を用いて充分洗浄及びろ過をくり返し
てＣＩを除いたのち噴霧乾燥を行った。乾燥物を解砕後
７００℃で１時間仮焼して粒径０．３μＷ程度の均一な
粒径のジルコニウム、チタン、ストロンチウムを含む粉
末を得た。

次に前記Ｎｂを含む粉末４５．９１００　ｇとジルコニ
ウム、チタン、ストロンチウムを含む粉末５５．５３１
０ｇ及び−酸化鉛（ＰｂＯ）２１２．０４００　ｇを７
’セ）：／ヲ用いて湿式混合したのち、７８０℃で１時
間焼成して誘電体粉末を得た。この粉末の特性は実施例
１と同様であった。

実施例　４ 実施例１で得られたＮｂを含む粉末４５．９１００　ｇ
及びジルコニウム、チタン、を含む粉末５０゜３５００
　ｇと炭酸ストロンチウム粉末７．３８１０　　ｇ及び
−酸化鉛２１２．４００　ｇをアセトンを用いて湿式混
合したのち温度７８０℃で１時間焼成して誘電体粉末を
得た。

この粉末の特性は実施例１とほぼ同様であった。

実施例　５ 実施例１で用いたニオブのしゅう酢酸性溶液にＮｂ：Ｍ
ｇの原子比が２＝１となるように金属Ｍｇ粉末を攪拌し
ながら加え、２日間放置したところ透明溶液となった。

以下実施例１同様の操作でＮｂを含む粉末を得た。この
粉末は、０．３μｍ程度の粒度のそろった微粉末であっ
た。このＮｂを含む粉末４４．６４２２　ｇ及び実施例
１で得られたジルコニウム、チタンを含む粉末５０．３
５００　ｇ及び分級して調製した粒径１μ以下の二酸化
マンガン粉末１．２６７８ｇをアセトンを用いて湿式混
合したのち温度９４０℃で５時間焼成して得られた粉末
４８．１３００　ｇと一酸粗鉛１０６．０２００ｇをア
セトンを用いて湿式混合したのち温度７８０℃で１時間
焼成して誘電体粉末を得た。

この粉末の特性は実施例１と同様であった。

実施例　６ 実施例４で炭酸ストロンチウム粉末のかわりに炭酸バリ
ウム粉末９．８６７０　ｇを用いた以外実施例４と同様
に行ないその結果同様の粉末特性を得た。

実施例　７ 実施例１で調製したＮｂのしゅう耐酸性溶液にＮｂ：Ｍ
ｇの原子比で２：１となるように金属Ｍｎ粉末を攪拌し
ながら加え、２日間放置したところ透明溶液となった。

この溶液を炭酸アンモニウムでｐＨ８．０に保持された
共沈槽内に攪拌しながら噴霧して沈殿を生成させたこの
際沈殿スラリー１００　ｍｌに対して５ｍｌの割合で過
酸化水素水を加えた。生成した沈殿をろ過し８０℃で乾
燥した。ろ液中に溶出する金属成分を分析したが溶出は
認められなかった。

乾燥物を解砕後６５（１’Ｃで１時間仮焼してＮｂを含
む粉末を得た。この粉末は実施例１同様走査型顕微鏡に
より観察したところ粒径０．３μｍ程度の粒度のそろっ
た微粉末であった。この粉末５１．４４２８ｇと実施例
１で得られたジルコニウム、チタン、を含む粉末５０．
３５００　ｇ及び−酸化鉛（ＰｂＯ）　２２３．２００
０ｇをアセトンを用いて湿式混合したのち温度７８０℃
で１時間焼成して誘電体粉末を得た。この粉末の特性は
実施例１とほぼ同様であった。

（発明の効果） 本発明によれば高純度で、粒径が小さくかつ均一であり
、反応性に優れ、低温焼結可能なＰｂ、　Ｍｇ。

Ｍｎ＋Ｎｂ＋Ｚｒ４ｉ、ＢａおよびＳｎなど１種以上を
含む酸化物から構成された誘電体粉末を効率的にしかも
安価に製造することができる。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、Ｎｂイオンを含む酸性溶液を金属Ｍｎと反応させて
   得られた溶液を、ｐＨ５．５以上の条件で沈殿剤と反応
   させ、生成した沈殿物を４５０〜１２００℃で仮焼し、
   Ｎｂを含む粉末を得る工程、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｍｎ、Ｂａお
   よびＳｒよりなる群のうちから選んだ少くとも１種の金
   属イオンを含む酸性溶液と沈殿剤とをｐＨ４以上で反応
   させ、生成した沈殿物を洗浄した後４５０〜１２００℃
   で仮焼し、金属酸化物粉末を得る工程 上記両工程の少くとも一方による粉末を、 Ｐｂ、Ｍｎ、ＢａおよびＳｒよりなる群のうちから選ん
   だ少くとも１種の金属ないしはその化合物粉末と混合し
   た上で６００〜１０００℃で焼成することを特徴とする
   、誘電体微粉末の製造方法。 ２、Ｎｂイオンを含む酸性溶液を金属Ｍｎおよび金属Ｍ
   ｇ又は金属Ｍｇと反応させて得られた溶液を、ｐＨ１２
   以上もしくは、沈殿助剤の存在下にｐＨ５．５以上の条
   件で沈殿剤と反応させ、生成した沈殿物を４５０〜１２
   ００℃で仮焼し、Ｎｂを含む粉末を得る工程、 Ｚｒ、Ｔｉ、Ｍｎ、ＢａおよびＳｒよりなる群のうちか
   ら選んだ少くとも１種の金属イオンを含む酸性溶液と沈
   殿剤とをｐＨ４以上で反応させ、生成した沈殿物を洗浄
   した後４５０〜１２００℃で仮焼し、金属酸化物粉末を
   得る工程、 上記両工程のうち少くとも一方による粉末 を、Ｐｂ、Ｍｎ、ＢａおよびＳｒよりなる群のうちから
   選んだ少くとも１種の金属ないしはその化合物粉末と混
   合した上で６００〜１０００℃で焼成することを特徴と
   する、誘電体微粉末の製造方法。