JPS61178713A - 薄膜磁気センサ - Google Patents
薄膜磁気センサInfo
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- JPS61178713A JPS61178713A JP2051485A JP2051485A JPS61178713A JP S61178713 A JPS61178713 A JP S61178713A JP 2051485 A JP2051485 A JP 2051485A JP 2051485 A JP2051485 A JP 2051485A JP S61178713 A JPS61178713 A JP S61178713A
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- JP
- Japan
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- magnetic
- magnetic pole
- thin film
- recording
- film magnetic
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/33—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only
- G11B5/39—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects
- G11B5/3903—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects using magnetic thin film layers or their effects, the films being part of integrated structures
- G11B5/3906—Details related to the use of magnetic thin film layers or to their effects
- G11B5/3916—Arrangements in which the active read-out elements are coupled to the magnetic flux of the track by at least one magnetic thin film flux guide
- G11B5/3919—Arrangements in which the active read-out elements are coupled to the magnetic flux of the track by at least one magnetic thin film flux guide the guide being interposed in the flux path
- G11B5/3922—Arrangements in which the active read-out elements are coupled to the magnetic flux of the track by at least one magnetic thin film flux guide the guide being interposed in the flux path the read-out elements being disposed in magnetic shunt relative to at least two parts of the flux guide structure
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
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- G11B5/39—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects
- G11B5/3903—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects using magnetic thin film layers or their effects, the films being part of integrated structures
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は薄膜磁気センサに関し、特に磁気抵抗素子を用
いた薄膜磁気センサに関する。
いた薄膜磁気センサに関する。
（従 来 技 術）
近年、電子技術の発展に伴い情報信号の高品位高忠実度
の記録再生が可能な装置が登場している。この装置の一
例であるＰＣＭ記録再生装置、つまり、音声信号等のア
ナログ信号をデジタル信号に変換して磁気記録媒体等の
記録媒体に記録再生を行なう装置は、その記録再生方式
の観点から固定ヘッドを用いて記録再生を行なう方式の
装置と、回転ヘッドを用いて記録再生を行なう方式の装
置とに大きく分類される。
の記録再生が可能な装置が登場している。この装置の一
例であるＰＣＭ記録再生装置、つまり、音声信号等のア
ナログ信号をデジタル信号に変換して磁気記録媒体等の
記録媒体に記録再生を行なう装置は、その記録再生方式
の観点から固定ヘッドを用いて記録再生を行なう方式の
装置と、回転ヘッドを用いて記録再生を行なう方式の装
置とに大きく分類される。
上述した固定ヘッド方式の場合、例えば、伝送される音
声信号の品質が、 伝送チャンネル数・・・２チヤンネル、１チャンネル当
りの伝送ピット数・・・１６ビツト、サンプリング周波
数・・・４４．１ｋＨｚ以上、であるとすると、この音
声信号の総伝送レートは２ＭＢＰＳ （毎秒２Ｍビット
）以上となるため、安定した記録再生を行なうためには
複数のトラックを設け、１トラック当りの伝送レートを
低く設計する必要がある。そのため、上述した固定ヘッ
ド方式の場合は複数トラックを用いた記録再生、つまり
、マルチトラック記録再生を行なうことが必要である。
声信号の品質が、 伝送チャンネル数・・・２チヤンネル、１チャンネル当
りの伝送ピット数・・・１６ビツト、サンプリング周波
数・・・４４．１ｋＨｚ以上、であるとすると、この音
声信号の総伝送レートは２ＭＢＰＳ （毎秒２Ｍビット
）以上となるため、安定した記録再生を行なうためには
複数のトラックを設け、１トラック当りの伝送レートを
低く設計する必要がある。そのため、上述した固定ヘッ
ド方式の場合は複数トラックを用いた記録再生、つまり
、マルチトラック記録再生を行なうことが必要である。
また、マルチトラック記録再生を行なうための記録再生
ヘッドとして従来の巻線型の記録ヘッドを用いてもよい
が、トラック数が多いため、記録再生ヘッドと信号処理
回路・駆動回路との接続やヘッドの生産性及び記録密度
の高記録密度化の要求を考慮すると、従来のＩＣ（集積
回路）プロセス技術、特に、蒸着、スパッタリング、Ｃ
ｖＯ等の薄膜作成技術とドライエツチング等の微細加工
技術を用いた薄膜磁気ヘッド等で複数の記録または再生
ヘッドが一体的に形成されたマルチトラック記録または
再生ヘッドを用いて記録再生を行なうことが望ましい。
ヘッドとして従来の巻線型の記録ヘッドを用いてもよい
が、トラック数が多いため、記録再生ヘッドと信号処理
回路・駆動回路との接続やヘッドの生産性及び記録密度
の高記録密度化の要求を考慮すると、従来のＩＣ（集積
回路）プロセス技術、特に、蒸着、スパッタリング、Ｃ
ｖＯ等の薄膜作成技術とドライエツチング等の微細加工
技術を用いた薄膜磁気ヘッド等で複数の記録または再生
ヘッドが一体的に形成されたマルチトラック記録または
再生ヘッドを用いて記録再生を行なうことが望ましい。
上述した［１磁気ヘツドは従来のモノシリツク型磁気ヘ
ッドに比べて狭トラツク化、多トラツク化が可能で、ま
た、記録漏洩磁束が急峻で、短波長の記録再生特性に優
れているので記録密度の高密度化に適している。
ッドに比べて狭トラツク化、多トラツク化が可能で、ま
た、記録漏洩磁束が急峻で、短波長の記録再生特性に優
れているので記録密度の高密度化に適している。
また、生産性においても、ウェハー・プロセスを用いる
ので量産性に優れ、均質な磁気ヘッドを生産することが
できる。
ので量産性に優れ、均質な磁気ヘッドを生産することが
できる。
しかし、上述したように、高密度記録のための記録トラ
ックの狭トラツク化に伴ない磁気誘導型薄膜磁気ヘッド
を再生用薄膜磁気ヘッドとして用いた場合はコイルのタ
ーン数が充分にとれないため、再生用薄膜磁気ヘッドか
らの出力電圧が低く、狭トラツクに記録された記録情報
の再生が困難になっている。
ックの狭トラツク化に伴ない磁気誘導型薄膜磁気ヘッド
を再生用薄膜磁気ヘッドとして用いた場合はコイルのタ
ーン数が充分にとれないため、再生用薄膜磁気ヘッドか
らの出力電圧が低く、狭トラツクに記録された記録情報
の再生が困難になっている。
そこで、磁束の有無により抵抗値が変化する磁気抵抗素
子を用いた１１ｍ磁気センサを再生用薄膜磁気ヘッドと
して用いて狭トラツクに記録された記録情報の再生を行
なうことが注目されており、このような理由から音声信
号に関するＰＣＨ記録再生を行なう記録再生装置では、
通常、記録再生用の磁気ヘッドとして多素子ＩＩ！ｌｉ
！気ヘッドが用いられている。また、記録用１ｍ１１１
磁気ヘツドとしては磁気誘導望薄ｉ磁気ヘッドが、再生
用薄ＷＡｖｉ１気ヘッドとしては磁気抵抗型磁気ヘッド
が用いられている。
子を用いた１１ｍ磁気センサを再生用薄膜磁気ヘッドと
して用いて狭トラツクに記録された記録情報の再生を行
なうことが注目されており、このような理由から音声信
号に関するＰＣＨ記録再生を行なう記録再生装置では、
通常、記録再生用の磁気ヘッドとして多素子ＩＩ！ｌｉ
！気ヘッドが用いられている。また、記録用１ｍ１１１
磁気ヘツドとしては磁気誘導望薄ｉ磁気ヘッドが、再生
用薄ＷＡｖｉ１気ヘッドとしては磁気抵抗型磁気ヘッド
が用いられている。
第２図（Ａ）は従来の磁気抵抗素子を用いた再生用１１
１１１磁気ヘツドの一例を示す図で、第２図（Ｂ）は第
２図（Ａ）中に示したＸ−Ｘ線に沿った断面を示す断面
図である。
１１１磁気ヘツドの一例を示す図で、第２図（Ｂ）は第
２図（Ａ）中に示したＸ−Ｘ線に沿った断面を示す断面
図である。
第２図（Ａ）及び第２図（Ｂ）に示すように従来の再生
用薄ＩＩ！磁気ヘッドは、例えば、フェライト等の磁性
材料で構成された基板１の表面に、例えば、円弧状の溝
を設け、この溝にガラス等で構成されたスペースグルー
プ２が充填されて形成されており、さらに、スペースグ
ループ２の上にはバイアス線３が形成され、バイアス１
３の上層には磁気抵抗素子（以下、ＨＲ素子と記す）４
が形成され、ＨＲ素子４の上層には、ギャップ部分がほ
ぼＨＲ素子４形成位置の上層に形成されるようにヨーク
５ａ、 ５ｂが形成されている。なお、ヨーク５ａ、
５ｂの端部、つまり、一対の磁極間に形成されるギャッ
プは所定間隔を有している。
用薄ＩＩ！磁気ヘッドは、例えば、フェライト等の磁性
材料で構成された基板１の表面に、例えば、円弧状の溝
を設け、この溝にガラス等で構成されたスペースグルー
プ２が充填されて形成されており、さらに、スペースグ
ループ２の上にはバイアス線３が形成され、バイアス１
３の上層には磁気抵抗素子（以下、ＨＲ素子と記す）４
が形成され、ＨＲ素子４の上層には、ギャップ部分がほ
ぼＨＲ素子４形成位置の上層に形成されるようにヨーク
５ａ、 ５ｂが形成されている。なお、ヨーク５ａ、
５ｂの端部、つまり、一対の磁極間に形成されるギャッ
プは所定間隔を有している。
また、ＨＲ素子４の両端部はり−ド６に接続されている
。
。
（解決すべき問題点）
しかし、従来のＨ６素子を用いた再生用薄膜磁気ヘッド
は第２図（Ａ）及び第２図（Ｂ）に示すようにバイアス
線３が必要なため、動作が不安定で、また、バイアス［
１３を形成するための工程が余分に必要で、コストが上
昇し、さらに、バイアス線３にバイアス電流を供給する
ための電流源を用意することが必要で、バイアス電流供
給端子、バイアス電流供給端子とバイアス線３との間の
接続を行なうためのリードパターンが必要であるため、
工程数が増加し、コストの低減化が図りにくいという問
題点も有していた。
は第２図（Ａ）及び第２図（Ｂ）に示すようにバイアス
線３が必要なため、動作が不安定で、また、バイアス［
１３を形成するための工程が余分に必要で、コストが上
昇し、さらに、バイアス線３にバイアス電流を供給する
ための電流源を用意することが必要で、バイアス電流供
給端子、バイアス電流供給端子とバイアス線３との間の
接続を行なうためのリードパターンが必要であるため、
工程数が増加し、コストの低減化が図りにくいという問
題点も有していた。
また、バイアス＄１３が不要なバーバーポール形の構成
とすると、工程数が増加し、歩留り、及び生産性が悪く
、コストも上昇するという問題点を有しており、また、
バイアス線３が不要なヘアライン加工法を用いても工程
数が増加し、生産性が悪く、性能が不安定になるという
問題点を有していた。
とすると、工程数が増加し、歩留り、及び生産性が悪く
、コストも上昇するという問題点を有しており、また、
バイアス線３が不要なヘアライン加工法を用いても工程
数が増加し、生産性が悪く、性能が不安定になるという
問題点を有していた。
さらに、硬磁性膜を形成し、これを着磁する方法も提案
されているが、工程数が増加し、性能も不安定になると
いう問題点を有していた。
されているが、工程数が増加し、性能も不安定になると
いう問題点を有していた。
そこで本発明は１！極の磁、極面に対して少なくとも一
部分が傾斜角を有する磁気抵抗素子を設けることにより
、バイアス手段が不要で、工程数が減少し、コスト、歩
留り、生産性も向上し、従来より安定動作が可能で性能
も向上する１膜磁気センサを提供することを目的とする
。
部分が傾斜角を有する磁気抵抗素子を設けることにより
、バイアス手段が不要で、工程数が減少し、コスト、歩
留り、生産性も向上し、従来より安定動作が可能で性能
も向上する１膜磁気センサを提供することを目的とする
。
（問題点を解決するための手段）
本発明は上述の問題点を解決するために第１図に示す如
き薄膜磁気センサを提供する。第１図は本発明になる薄
膜磁気センサの一実施例を示す図で、第１図に示した薄
膜磁気センサは、一対の磁極の磁極面であるヨーク５ａ
、 ５ｂの端部に対して少なくとも一部分が傾斜角を有
する磁気抵抗素子７を備えて構成される。
き薄膜磁気センサを提供する。第１図は本発明になる薄
膜磁気センサの一実施例を示す図で、第１図に示した薄
膜磁気センサは、一対の磁極の磁極面であるヨーク５ａ
、 ５ｂの端部に対して少なくとも一部分が傾斜角を有
する磁気抵抗素子７を備えて構成される。
（実 施 例）
第１図（Ａ）は本発明になる薄膜磁気センサの一実施例
の平面図、第１図（Ｂ）は第１図（Ａ＞中に示したＹ−
Ｙ線に沿った断面の断面図である。
の平面図、第１図（Ｂ）は第１図（Ａ＞中に示したＹ−
Ｙ線に沿った断面の断面図である。
第１図（Ａ）及び第１図（Ｂ）において第２図（Ａ）及
び第２図（Ｂ）と同一の構成要素には同一の符号を付し
てその説明を省略する、第１図（Ａ）及び（Ｂ）に示す
ように、例えば、フェライト等の磁性体で構成された基
板１の表面に、例えば、円弧状の溝を設け、この溝にガ
ラス等で構成されるスペースグループ２を充填して形成
し、スペースグループ２の上層にジグザグのパターンの
ＨＲ素子７を形成し、ＨＲ素子７の上層には、ギャップ
部分がほぼＨＲ素子７形成位置の上層に形成されるよう
にヨーク５ａ、 ５ｂを形成する。なお、ヨーク５ａ、
５ｂの端部、つまり、一対の磁極間に形成されるギャ
ップは所定間隔を有している。
び第２図（Ｂ）と同一の構成要素には同一の符号を付し
てその説明を省略する、第１図（Ａ）及び（Ｂ）に示す
ように、例えば、フェライト等の磁性体で構成された基
板１の表面に、例えば、円弧状の溝を設け、この溝にガ
ラス等で構成されるスペースグループ２を充填して形成
し、スペースグループ２の上層にジグザグのパターンの
ＨＲ素子７を形成し、ＨＲ素子７の上層には、ギャップ
部分がほぼＨＲ素子７形成位置の上層に形成されるよう
にヨーク５ａ、 ５ｂを形成する。なお、ヨーク５ａ、
５ｂの端部、つまり、一対の磁極間に形成されるギャ
ップは所定間隔を有している。
また、ＨＲ素子７の両端部はリード６に接続されている
。
。
なお、ＨＲ素子７の形状はギャップを形成するヨーク５
ａ、 ５ｂの端部、つまり、磁極の磁極面に対して平行
とならない角度になるように、つまり、傾斜角を有する
ように形成されている。
ａ、 ５ｂの端部、つまり、磁極の磁極面に対して平行
とならない角度になるように、つまり、傾斜角を有する
ように形成されている。
次に、ＨＲ素子７をジグザクのパターンに形成すること
により、言換えれば、ＨＲ素子７の形状がギャップを形
成するヨーク５ａ、 ５ｂの端部、つまり、磁極の磁極
面に対して平行とならない角度になるように、つまり、
傾斜角を有するように形成することによりバイアス手段
が不要となる理由を説明する。
により、言換えれば、ＨＲ素子７の形状がギャップを形
成するヨーク５ａ、 ５ｂの端部、つまり、磁極の磁極
面に対して平行とならない角度になるように、つまり、
傾斜角を有するように形成することによりバイアス手段
が不要となる理由を説明する。
例えば、ＨＲ素子７を従来と同様に第３図（Ａ）に示す
ようにギャップを形成するヨーク５ａ、 ５ｂの端部、
つまり、磁極の磁極面と平行に形成した場合、ＨＲ素子
７は形状異方性で磁化容易軸ａもギャップを形成するヨ
ーク５ａ、 ５ｂの端部、つまり、磁極の磁極面と平行
になる。
ようにギャップを形成するヨーク５ａ、 ５ｂの端部、
つまり、磁極の磁極面と平行に形成した場合、ＨＲ素子
７は形状異方性で磁化容易軸ａもギャップを形成するヨ
ーク５ａ、 ５ｂの端部、つまり、磁極の磁極面と平行
になる。
この際、第３図（Ａ）に示す磁界Ｈを加えると、ＨＲ素
子７中を流れる電流のベクトルはＨＲ素子７の磁化容易
軸ａと磁界Ｈとの合成ベクトルとなり、この状態で薄膜
磁気センサとしての機能が作動する。
子７中を流れる電流のベクトルはＨＲ素子７の磁化容易
軸ａと磁界Ｈとの合成ベクトルとなり、この状態で薄膜
磁気センサとしての機能が作動する。
そこで、ＨＲ素子７をギャップを形成するヨーク５ａ、
５ｂの端部、つまり、磁極の磁極面と平行に形成して
、磁界Ｈを加えるかわりに、第３図（Ｂ）に示すように
ＨＲ素子７をギャップを形成するヨーク５ａ、 ５ｂの
端部、つまり、磁極の磁極面に対して平行とならない角
度をもたせて、言換れば、傾斜角を有するように配置し
て形成すると、磁化はギャップを形成するヨーク５ａ、
５ｂの端部、つまり、磁極に近付く方向に矢印すのよ
うに傾いて発生し、バイアスがかかった状態と同様な効
果を生ずるので、バイアス手段が不要となる。
５ｂの端部、つまり、磁極の磁極面と平行に形成して
、磁界Ｈを加えるかわりに、第３図（Ｂ）に示すように
ＨＲ素子７をギャップを形成するヨーク５ａ、 ５ｂの
端部、つまり、磁極の磁極面に対して平行とならない角
度をもたせて、言換れば、傾斜角を有するように配置し
て形成すると、磁化はギャップを形成するヨーク５ａ、
５ｂの端部、つまり、磁極に近付く方向に矢印すのよ
うに傾いて発生し、バイアスがかかった状態と同様な効
果を生ずるので、バイアス手段が不要となる。
また、ＨＲ素子７を第４図（Ａ）に示すような形状に形
成しても第３図（Ｂ）と同様な効果が得られる。
成しても第３図（Ｂ）と同様な効果が得られる。
さらに、ＨＲ素子７を第４図（Ａ）に示すような形状に
形成するかわりに、第４図（Ｂ）に示すようにヨーク５
ａ、 ５ｂの端部の形状をジグザグに形成しても第３図
（Ｂ）と同様な効果が得られる。
形成するかわりに、第４図（Ｂ）に示すようにヨーク５
ａ、 ５ｂの端部の形状をジグザグに形成しても第３図
（Ｂ）と同様な効果が得られる。
なお、上記実施例ではＮ膜磁気センサをＰＧＭ記録再生
装置の再生用薄膜磁気ヘッドとして用いる場合を説明し
たが、本発明は磁束の変化を検出するＨＲ素子を用いた
磁気センサ一般に適用することが可能である。
装置の再生用薄膜磁気ヘッドとして用いる場合を説明し
たが、本発明は磁束の変化を検出するＨＲ素子を用いた
磁気センサ一般に適用することが可能である。
また、ＨＲ素子７（あるいはギャップを形成するヨーク
５ａ、 ５ｂの端部、つまり、磁極）の形状は上述した
ジグザグの形状だけに限定されることなく、三角波状、
鋸歯状、サイン波状等のギャップを形成するヨーク５ａ
、 ５ｂｇ）端部、つまり、磁極の磁極面（あるいはＨ
Ｒ素子７）に対して少なくとも平行、とならない角度に
配置されるような傾斜角をもつ部分を有していればよく
、さらに、上記実施例では、平面内、つまり、ＨＲ素子
７（あるいはギャップを形成するヨーク５ａ、 ５ｂの
端部、つまり、磁極の磁極面）が形成されている平面内
で少なくとも傾斜角をもつ部分を有するように形成した
場合を説明したが、ＨＲ素子７（あるいはギャップを形
成するヨーク５ａ、 ５ｂの端部、つまり、磁極の磁極
面）の厚み方向に傾斜部分を形成してもよい。
５ａ、 ５ｂの端部、つまり、磁極）の形状は上述した
ジグザグの形状だけに限定されることなく、三角波状、
鋸歯状、サイン波状等のギャップを形成するヨーク５ａ
、 ５ｂｇ）端部、つまり、磁極の磁極面（あるいはＨ
Ｒ素子７）に対して少なくとも平行、とならない角度に
配置されるような傾斜角をもつ部分を有していればよく
、さらに、上記実施例では、平面内、つまり、ＨＲ素子
７（あるいはギャップを形成するヨーク５ａ、 ５ｂの
端部、つまり、磁極の磁極面）が形成されている平面内
で少なくとも傾斜角をもつ部分を有するように形成した
場合を説明したが、ＨＲ素子７（あるいはギャップを形
成するヨーク５ａ、 ５ｂの端部、つまり、磁極の磁極
面）の厚み方向に傾斜部分を形成してもよい。
また、従来は安定に動作をさせるためにＨＲ素子７の長
手方向にも磁場をかける場合があったが、本発明になる
薄膜磁気センサではＨＲ素子７の長手方向にも磁場がか
かる構成となっているので、動作が安定し、性能が向上
する。
手方向にも磁場をかける場合があったが、本発明になる
薄膜磁気センサではＨＲ素子７の長手方向にも磁場がか
かる構成となっているので、動作が安定し、性能が向上
する。
（発明の効果）
本発明は上述の如き構成であるので、従来必要であった
バイアス手段が不要で、単に磁気抵抗素子あるいはヨー
クの端部である磁極の磁極面のパターンを変更するのみ
でよく、工程数が減少し、コスト、歩留り、生産性も向
上し、また、磁気抵抗素子の長手方向にも磁場がかかる
構成であるので、従来に比べて、動作が安定し、性能が
向上するという利点を有している。
バイアス手段が不要で、単に磁気抵抗素子あるいはヨー
クの端部である磁極の磁極面のパターンを変更するのみ
でよく、工程数が減少し、コスト、歩留り、生産性も向
上し、また、磁気抵抗素子の長手方向にも磁場がかかる
構成であるので、従来に比べて、動作が安定し、性能が
向上するという利点を有している。
第１図は本発明になる薄膜磁気センサの一実施例を示す
図、第２図は従来の薄膜磁気センサの一例を示す図、第
３図は本発明になる薄膜磁気センサの一実施例の動作原
理を説明するための図、第４図は本発明になる薄膜磁気
センサの他の実施例を説明するための図である。 １・・・基板、２・・・スペースグループ、５ａ、 ５
ｂ・・・ヨーク、６・・・リード、７・・・ＨＲ（！ｉ
気低抵抗素子。 ５１２！；５６ 第１］ ４ Δ １′２ 廓 ふ ９ 才５ （Ａ） オｌ （Ｂ＋ 組 目
図、第２図は従来の薄膜磁気センサの一例を示す図、第
３図は本発明になる薄膜磁気センサの一実施例の動作原
理を説明するための図、第４図は本発明になる薄膜磁気
センサの他の実施例を説明するための図である。 １・・・基板、２・・・スペースグループ、５ａ、 ５
ｂ・・・ヨーク、６・・・リード、７・・・ＨＲ（！ｉ
気低抵抗素子。 ５１２！；５６ 第１］ ４ Δ １′２ 廓 ふ ９ 才５ （Ａ） オｌ （Ｂ＋ 組 目
Claims (1)
- 一対の磁極間に配置された磁気抵抗素子を備えた薄膜磁
気センサにおいて、前記磁極の磁極面に対して少なくと
も一部分が傾斜角を有する前記磁気抵抗素子を備えた薄
膜磁気センサ。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2051485A JPS61178713A (ja) | 1985-02-05 | 1985-02-05 | 薄膜磁気センサ |
| DE19863603292 DE3603292A1 (de) | 1985-02-05 | 1986-02-04 | Magneto-widerstandsaufnehmer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2051485A JPS61178713A (ja) | 1985-02-05 | 1985-02-05 | 薄膜磁気センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61178713A true JPS61178713A (ja) | 1986-08-11 |
Family
ID=12029263
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2051485A Pending JPS61178713A (ja) | 1985-02-05 | 1985-02-05 | 薄膜磁気センサ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61178713A (ja) |
| DE (1) | DE3603292A1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61240424A (ja) * | 1985-04-17 | 1986-10-25 | Sanyo Electric Co Ltd | 磁気抵抗効果型磁気ヘツド |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2822646B2 (ja) * | 1989-10-11 | 1998-11-11 | 松下電器産業株式会社 | 磁気抵抗型ヘッドおよびその製造方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS56137519A (en) * | 1980-03-26 | 1981-10-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Thin film magnetic head |
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Also Published As
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|---|---|
| DE3603292A1 (de) | 1986-08-07 |
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