JPS61178026A - ハロゲン化炭化水素含有排ガスの処理方法 - Google Patents
ハロゲン化炭化水素含有排ガスの処理方法Info
- Publication number
- JPS61178026A JPS61178026A JP60017643A JP1764385A JPS61178026A JP S61178026 A JPS61178026 A JP S61178026A JP 60017643 A JP60017643 A JP 60017643A JP 1764385 A JP1764385 A JP 1764385A JP S61178026 A JPS61178026 A JP S61178026A
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- Japan
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- exhaust gas
- halogenated hydrocarbon
- air
- carbon
- gas containing
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、有毒な気相のハロゲン化炭化水素を含むガス
の処理方法に関する。
の処理方法に関する。
（従来技術とその問題点）
近年、島温での気相反応例えば揮発性の金属ハロゲン化
物、金属の有機化合物、炭化水素化合物等の熱分解、水
素還元及び置換反応によって、黒鉛、金属等の基材表面
に炭素、炭化物、珪化物等を蒸着する化学蒸着法が盛ん
に用いられている。
物、金属の有機化合物、炭化水素化合物等の熱分解、水
素還元及び置換反応によって、黒鉛、金属等の基材表面
に炭素、炭化物、珪化物等を蒸着する化学蒸着法が盛ん
に用いられている。
この中でハロゲン化炭化水素は、熱分解炭素の生成、炭
化珪素を析出させる為の炭素源等として幅広く用いられ
ている。
化珪素を析出させる為の炭素源等として幅広く用いられ
ている。
ハロゲン化炭化水素は有毒であり、又Ｓ １ｃｅ４等の
金属ハロゲン化物と異なり常温では空気中及び水中で安
定なものが多い。例えばジクロロエチン。
金属ハロゲン化物と異なり常温では空気中及び水中で安
定なものが多い。例えばジクロロエチン。
ジクロロエチレン、トリクロロエタン ）ＩＪジクロロ
エチレンテトラクロロエチレン又はそれらの誘導体がそ
うである。
エチレンテトラクロロエチレン又はそれらの誘導体がそ
うである。
しかし、ハロゲン化炭化水素を用いて気相反応を行なっ
た後の排ガス中には未反応のハロゲン化炭化水素が含ま
れているにもかかわらず、その効果的な処理が殆んど行
なわれていないのが現状である。例えば反応室を減圧に
保つ為のロータリーポンプ等の真空排気装置から排出さ
れる排ガスを水やブルカＩＪＩＩ液で処理する方法が知
られているが、この方法は塩化水素ガスには有効でもハ
ロゲン化炭化水素には効果がない。しかも有機塩化物の
排出規制はｐ、 ｐ、 ｂ、オーダーに及ぶ厳しいもの
であることを考えると、これらハロゲン化炭化水素は完
全に分解又は分離保存することが望まれる。
た後の排ガス中には未反応のハロゲン化炭化水素が含ま
れているにもかかわらず、その効果的な処理が殆んど行
なわれていないのが現状である。例えば反応室を減圧に
保つ為のロータリーポンプ等の真空排気装置から排出さ
れる排ガスを水やブルカＩＪＩＩ液で処理する方法が知
られているが、この方法は塩化水素ガスには有効でもハ
ロゲン化炭化水素には効果がない。しかも有機塩化物の
排出規制はｐ、 ｐ、 ｂ、オーダーに及ぶ厳しいもの
であることを考えると、これらハロゲン化炭化水素は完
全に分解又は分離保存することが望まれる。
一方ハロゲン化炭化水素によって真空排気装置が劣−化
するという問題もある。
するという問題もある。
（発明の目的）
本発明は、上記した問題を解消するノ・ロゲン化炭化水
素含有排ガスの処理方法に関する。
素含有排ガスの処理方法に関する。
（問題点を解決するための手段）
本発明は、ハロゲン化炭化水素を含有する排ガスを空気
と混合した後、６００℃以上に加熱した熱処理管の中を
３秒以上通すハロゲン化炭化水素含有排ガスの処理方法
に関する。
と混合した後、６００℃以上に加熱した熱処理管の中を
３秒以上通すハロゲン化炭化水素含有排ガスの処理方法
に関する。
本発明で、上記加熱温度は９００℃以上にすれはハロゲ
ン化炭化水素の分解が促進されて好ましい。熱処理管の
材質９寸法・形状について特に制限はないが、蛇管又は
螺旋管等を用いれば小さいスペースでガスが通過する熱
処理部を長くでき排ガスを充分に分解できるので好まし
い。前記熱処理においてノ・ロゲン化炭化水素は炭素及
びノ・ロゲン化水素に分解されるが、この炭素を熱処理
管内で酸化させてガス化して排出させるために、排ガス
を熱処理管に送る前に空気と混合させる。混合は、排ガ
スを例えば混合室に送９．混合室に設けた空気導入口か
ら流量調節弁を用いて適量の空気を導入し混合する。混
合は排ガスと空気が均一に混合できればよく、方法、偽
造等に制限はない。
ン化炭化水素の分解が促進されて好ましい。熱処理管の
材質９寸法・形状について特に制限はないが、蛇管又は
螺旋管等を用いれば小さいスペースでガスが通過する熱
処理部を長くでき排ガスを充分に分解できるので好まし
い。前記熱処理においてノ・ロゲン化炭化水素は炭素及
びノ・ロゲン化水素に分解されるが、この炭素を熱処理
管内で酸化させてガス化して排出させるために、排ガス
を熱処理管に送る前に空気と混合させる。混合は、排ガ
スを例えば混合室に送９．混合室に設けた空気導入口か
ら流量調節弁を用いて適量の空気を導入し混合する。混
合は排ガスと空気が均一に混合できればよく、方法、偽
造等に制限はない。
均一混合の為には混合行程をある程度長くしたり攪拌す
ることが好ましい。空気量は炭素との反応に必要な量よ
り過剰に加える。
ることが好ましい。空気量は炭素との反応に必要な量よ
り過剰に加える。
本発明において、熱処理管の加熱温度が６００℃未満及
び排ガスを通す時間が３秒未満であるとハロゲン化炭化
水素は分散されるが１分解して生成した炭素微粉を酸化
させるには不充分である。
び排ガスを通す時間が３秒未満であるとハロゲン化炭化
水素は分散されるが１分解して生成した炭素微粉を酸化
させるには不充分である。
本発明の方法は化学蒸着法と併用して用いることが好ま
しい。化学蒸着における気相反応は減圧しながら原料ガ
スをキャリアーガスと共に送って行なうのが一般である
から、化学蒸着装置の反応室と減圧装置との間に空気混
合室及び熱処理管を付加すればよい。併用しない場合は
送（排）気ポンプ、アスピレータ−等を付加してガスの
流れをよくすることが好ましい。
しい。化学蒸着における気相反応は減圧しながら原料ガ
スをキャリアーガスと共に送って行なうのが一般である
から、化学蒸着装置の反応室と減圧装置との間に空気混
合室及び熱処理管を付加すればよい。併用しない場合は
送（排）気ポンプ、アスピレータ−等を付加してガスの
流れをよくすることが好ましい。
（実施例）
第１図は化学蒸着法と本発明の方法とを併用した場合の
工程図を示す。真空ポンプ８を稼動させ。
工程図を示す。真空ポンプ８を稼動させ。
減圧調節弁７を用いて反応室１０を減圧してから。
流量調節弁１ｔ−開いてハロゲン化炭化水素を含むガス
とキャリアーガスとの混合ガス人を反応室１０に導く。
とキャリアーガスとの混合ガス人を反応室１０に導く。
基材２は高周波誘導コイル３によって直接的に加熱され
、導入された混合ガス中のハロゲン化炭化水素を含むガ
スは前記加熱された基材に接触して反応し、基材２の上
に析出物Ｂを付着させる。以後流量調節弁１及び減圧調
節弁７を適宜操作して反応室１０を減圧に保ち上記反応
を継続させる。反応室１０を通過した排ガスは混合室１
１に導かれ、空気導入口１３から流量調節弁１２を通っ
て流入してくる空気Ｃと混合され、電気炉５で加熱され
た管内径１０ａｎ、巻数２０回の螺旋管４を通る過程で
炭素とハロゲン化水素に分解され、炭素は螺旋管中で直
ちに空気中の酸素によって炭酸ガスとなり、真空ポンプ
８により排ガスＧとして排出される。真空ポンプの容量
は混合室１１に流入する空気量及び排ガス量の和より充
分に大きいものとする。９はガス検知器、１４は逆流防
止弁である。
、導入された混合ガス中のハロゲン化炭化水素を含むガ
スは前記加熱された基材に接触して反応し、基材２の上
に析出物Ｂを付着させる。以後流量調節弁１及び減圧調
節弁７を適宜操作して反応室１０を減圧に保ち上記反応
を継続させる。反応室１０を通過した排ガスは混合室１
１に導かれ、空気導入口１３から流量調節弁１２を通っ
て流入してくる空気Ｃと混合され、電気炉５で加熱され
た管内径１０ａｎ、巻数２０回の螺旋管４を通る過程で
炭素とハロゲン化水素に分解され、炭素は螺旋管中で直
ちに空気中の酸素によって炭酸ガスとなり、真空ポンプ
８により排ガスＧとして排出される。真空ポンプの容量
は混合室１１に流入する空気量及び排ガス量の和より充
分に大きいものとする。９はガス検知器、１４は逆流防
止弁である。
上記方法において、混合ガスＡに１．１．１− トＩＪ
クロロエタン（和光細条製試薬１級）２０容量チ及びキ
ャリアーガスとしてアルゴン８０容量チ。
クロロエタン（和光細条製試薬１級）２０容量チ及びキ
ャリアーガスとしてアルゴン８０容量チ。
基材２にピツチ：−クス系人造黒鉛を用い２反応室１０
内の圧力’（１０ｍａ＋Ｈｇ、混合ガスＡの流量を毎分
２００ ｍ／、基材２のｍ度を８００℃として反応を行
なわせ、熱分解炭素を基材２の上に析出させた。排ガス
を分解させる螺旋’＄ｆ４の温度を１０００℃として、
導入空気Ｃの流量、螺旋管４の通過時間、螺旋管通過後
の炭素微粉の発生率及び残留したハロゲン化炭化水素の
濃度の関係を第１表にボした。炭素微粉の発生率は螺旋
管４の出口にガラス稙轍の織布を張ったフィルターを連
結して（図示せず）トラップし、空気Ｃｔ−導入口１３
から導入しない場合の炭素微粉量を１００とした場合の
値を求めた。間第１表において導入空気流量は混合ガス
Ａ中のハロゲン化炭化水素の量の倍率を示す。残留ハロ
ゲン化炭化水素の量を検知するガス検知器９は日立ガス
クロマトグラフ０２３型を用いた。
内の圧力’（１０ｍａ＋Ｈｇ、混合ガスＡの流量を毎分
２００ ｍ／、基材２のｍ度を８００℃として反応を行
なわせ、熱分解炭素を基材２の上に析出させた。排ガス
を分解させる螺旋’＄ｆ４の温度を１０００℃として、
導入空気Ｃの流量、螺旋管４の通過時間、螺旋管通過後
の炭素微粉の発生率及び残留したハロゲン化炭化水素の
濃度の関係を第１表にボした。炭素微粉の発生率は螺旋
管４の出口にガラス稙轍の織布を張ったフィルターを連
結して（図示せず）トラップし、空気Ｃｔ−導入口１３
から導入しない場合の炭素微粉量を１００とした場合の
値を求めた。間第１表において導入空気流量は混合ガス
Ａ中のハロゲン化炭化水素の量の倍率を示す。残留ハロ
ゲン化炭化水素の量を検知するガス検知器９は日立ガス
クロマトグラフ０２３型を用いた。
第１表
１１人上
第１表から明らかなように、螺旋管の中を１秒。
通せばハロゲン化炭化水素は全て分解され、３秒以上通
せは分解生成物の炭素は殆んど分解される。
せは分解生成物の炭素は殆んど分解される。
（発明の効果）
不発明によれば、有毒なハロゲン化炭化水素を完全に除
去することが可能となる。また分解生成物には（ロ）彫
物が殆んどないので装置の保守が簡単である。
去することが可能となる。また分解生成物には（ロ）彫
物が殆んどないので装置の保守が簡単である。
第１図は本発明の実施例における排ガス処理を示す工程
図である。 符号の説明 １・・・流量調節弁 ２・・・基材３・・・高周
波誘導コイル ４・・・螺旋管５・・・電気炉
７・・・減圧調節弁８・・・真空ポンプ ９
・・・ガス検知器ｌＯ・・・反応室 １１・・
・混合室１２・・・流量調節弁 １３・・・空気導
入口１４・・・逆流防止弁
図である。 符号の説明 １・・・流量調節弁 ２・・・基材３・・・高周
波誘導コイル ４・・・螺旋管５・・・電気炉
７・・・減圧調節弁８・・・真空ポンプ ９
・・・ガス検知器ｌＯ・・・反応室 １１・・
・混合室１２・・・流量調節弁 １３・・・空気導
入口１４・・・逆流防止弁
Claims (1)
- １、ハロゲン化炭化水素を含有する排ガスを空気と混合
した後、６００℃以上に加熱した熱処理管の中を３秒以
上通すことを特徴とするハロゲン化炭化水素含有排ガス
の処理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60017643A JPS61178026A (ja) | 1985-01-31 | 1985-01-31 | ハロゲン化炭化水素含有排ガスの処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60017643A JPS61178026A (ja) | 1985-01-31 | 1985-01-31 | ハロゲン化炭化水素含有排ガスの処理方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61178026A true JPS61178026A (ja) | 1986-08-09 |
Family
ID=11949537
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60017643A Pending JPS61178026A (ja) | 1985-01-31 | 1985-01-31 | ハロゲン化炭化水素含有排ガスの処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61178026A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2382788A (en) * | 2001-07-24 | 2003-06-11 | Bosch Gmbh Robert | Process for preventing or removing deposits in the exhaust gas region of a vacuum installation |
-
1985
- 1985-01-31 JP JP60017643A patent/JPS61178026A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2382788A (en) * | 2001-07-24 | 2003-06-11 | Bosch Gmbh Robert | Process for preventing or removing deposits in the exhaust gas region of a vacuum installation |
| GB2382788B (en) * | 2001-07-24 | 2004-02-25 | Bosch Gmbh Robert | Process for preventing or removing deposits in the exhaust gas region of a vacuum installation |
| US6874511B2 (en) | 2001-07-24 | 2005-04-05 | Robert Bosch Gmbh | Method of avoiding or eliminating deposits in the exhaust area of a vacuum system |
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