JPH01281142A - ハロゲン化非環式炭化水素化合物の光分解装置 - Google Patents
ハロゲン化非環式炭化水素化合物の光分解装置Info
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- JPH01281142A JPH01281142A JP10643688A JP10643688A JPH01281142A JP H01281142 A JPH01281142 A JP H01281142A JP 10643688 A JP10643688 A JP 10643688A JP 10643688 A JP10643688 A JP 10643688A JP H01281142 A JPH01281142 A JP H01281142A
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J19/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
- B01J19/08—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor
- B01J19/12—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor employing electromagnetic waves
- B01J19/122—Incoherent waves
- B01J19/123—Ultra-violet light
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はハロゲン化非環式炭化水素化合物、特にフッ化
炭化水素、塩素化炭化水素あるいはフッ化、塩素化混合
の非環式炭化水素化合物の分解装置に関する。
炭化水素、塩素化炭化水素あるいはフッ化、塩素化混合
の非環式炭化水素化合物の分解装置に関する。
従来の技術
ハロゲン化非環式炭化水素化合物は非常に安定な物質で
あるため、特別な処置を施さない限シ自然に分解するこ
とはない。この種の物質は大気中に放出されると成層圏
にまで拡散し、成層圏中にあるオゾン層において、初め
て分解される。この分解において、成層圏中のオゾンが
消費され、オゾンに吸収されている紫外線（短波長）が
、直接地表にふシそそぐことになる。その結果、生物に
有害な紫外線により遺伝子や細胞が傷つけられ生体系に
大きな影響をあたえることが憂慮されている。これらハ
ロゲン化炭化水素化合物を容易に分解する方法が強く望
まれ、大気中に排出する量を大巾に減少する方策がとら
れようとしている。
あるため、特別な処置を施さない限シ自然に分解するこ
とはない。この種の物質は大気中に放出されると成層圏
にまで拡散し、成層圏中にあるオゾン層において、初め
て分解される。この分解において、成層圏中のオゾンが
消費され、オゾンに吸収されている紫外線（短波長）が
、直接地表にふシそそぐことになる。その結果、生物に
有害な紫外線により遺伝子や細胞が傷つけられ生体系に
大きな影響をあたえることが憂慮されている。これらハ
ロゲン化炭化水素化合物を容易に分解する方法が強く望
まれ、大気中に排出する量を大巾に減少する方策がとら
れようとしている。
従来、この種の安定なハロゲン化非環式炭化水素化合物
を分解する方法としては、１０００℃以上の高温で燃焼
する方法がある。この方法は高温に耐える炉が必要であ
ること、燃焼によシ発生するハロゲン化水素例えば塩化
水素、フッ化水素に耐える炉が必要であることなどから
、大がかシな設備を要し高価になる欠点があった。この
ような欠点を解決する方法として、ハロゲン化芳香族化
合物と水酸化カリウムの共存下で加熱する方法が提案さ
れている（例えば、特公昭６１−３７８３１号公報）。
を分解する方法としては、１０００℃以上の高温で燃焼
する方法がある。この方法は高温に耐える炉が必要であ
ること、燃焼によシ発生するハロゲン化水素例えば塩化
水素、フッ化水素に耐える炉が必要であることなどから
、大がかシな設備を要し高価になる欠点があった。この
ような欠点を解決する方法として、ハロゲン化芳香族化
合物と水酸化カリウムの共存下で加熱する方法が提案さ
れている（例えば、特公昭６１−３７８３１号公報）。
発明が解決しようとする課題
このような従来の方法では、比較的低沸点であるハロゲ
ン化非環式炭化水素化合物に適用した場合分解率低くさ
らにパッチ処理が必要であるという欠点を有している。
ン化非環式炭化水素化合物に適用した場合分解率低くさ
らにパッチ処理が必要であるという欠点を有している。
本発明はこのような点を改良するためになされたもので
、ハロゲン化非環式炭化水素化合物を高い分解率で連続
的に分解する装置を提供することを目的とする。
、ハロゲン化非環式炭化水素化合物を高い分解率で連続
的に分解する装置を提供することを目的とする。
課題を解決するだめの手段
本発明は上記課題を解決するだめの技術的な手段は、空
気あるいは酸素共存化でハロゲン化非環式炭化水素化合
物に紫外線を照射しハロゲンと炭素の結合を切断し、同
時に空気あるいは酸素の紫外線照射で生成したオゾンを
ハロゲンと炭素の結合を切断し生成した化合物に反応さ
せ酸化分解するものである。さらに、ハロゲン化非環式
炭化水素化合物を酸化触媒共存下において紫外光を照射
し触媒表面にハロゲン化非環式炭化水素化合物を吸着さ
せ酸化分解を容易におこなわせるものである。
気あるいは酸素共存化でハロゲン化非環式炭化水素化合
物に紫外線を照射しハロゲンと炭素の結合を切断し、同
時に空気あるいは酸素の紫外線照射で生成したオゾンを
ハロゲンと炭素の結合を切断し生成した化合物に反応さ
せ酸化分解するものである。さらに、ハロゲン化非環式
炭化水素化合物を酸化触媒共存下において紫外光を照射
し触媒表面にハロゲン化非環式炭化水素化合物を吸着さ
せ酸化分解を容易におこなわせるものである。
作 用
本発明によれば、ハロゲン化非環式炭化水素化合物を酸
素存在下で紫外光を照射するかあるいは酸化触媒の共存
下に紫外光を照射することにより高い分解率で、連続的
に分解することが可能となる。従って、このような方法
を用いてハロゲン化非環式炭化水素化合物の処理設備を
構築し、単独の分解装置や回収装置の未回収部分の分解
装置として機能させれば、例えば、半導体工場における
洗浄工程に使用されているハロゲン化非環式炭化水素化
合物を大気中に放出する量を大巾に削減することができ
、成層圏のオゾン層破壊に歯止めを欠けることが可能と
なる。
素存在下で紫外光を照射するかあるいは酸化触媒の共存
下に紫外光を照射することにより高い分解率で、連続的
に分解することが可能となる。従って、このような方法
を用いてハロゲン化非環式炭化水素化合物の処理設備を
構築し、単独の分解装置や回収装置の未回収部分の分解
装置として機能させれば、例えば、半導体工場における
洗浄工程に使用されているハロゲン化非環式炭化水素化
合物を大気中に放出する量を大巾に削減することができ
、成層圏のオゾン層破壊に歯止めを欠けることが可能と
なる。
実施例
以下本発明の実施例を図面と共に説明する。図面は本発
明の方法を証明するために使用した装置の模式図である
。図中１は分解反応容器、２は低圧水銀ランプ、３はス
クラバー、４は中和槽、５はガス導入口、６はガス排出
口を示す。
明の方法を証明するために使用した装置の模式図である
。図中１は分解反応容器、２は低圧水銀ランプ、３はス
クラバー、４は中和槽、５はガス導入口、６はガス排出
口を示す。
（実施例１）
上記の装置を用いて、１１００ＰＰのジクロロジフロロ
メタンを含む空気（１００ｌ／ｈｒｓ ） ヲ５の導入
口から分解反応容器に導入し低圧水銀灯による紫外光を
照射した。８のガス排出口から排出されるガス成分をガ
スクロマトグラムにより分析した結果、−酸化炭素、二
酸化炭素、メタン、水および１２ＰＰＭのジクロロジフ
ロロメタンであった。このような分解反応装置を多段に
設置か、オゾン供給量を増やせば効率よく分解すること
が可能であるのは自明である。
メタンを含む空気（１００ｌ／ｈｒｓ ） ヲ５の導入
口から分解反応容器に導入し低圧水銀灯による紫外光を
照射した。８のガス排出口から排出されるガス成分をガ
スクロマトグラムにより分析した結果、−酸化炭素、二
酸化炭素、メタン、水および１２ＰＰＭのジクロロジフ
ロロメタンであった。このような分解反応装置を多段に
設置か、オゾン供給量を増やせば効率よく分解すること
が可能であるのは自明である。
（実施例２）゛
分解反応容器内に二酸化マンガンの粒子を設置した以外
は実施例１の条件と同様で、ジクロロジフロロメタンを
供給し、分解を行った。ジクロロジフロロメタンの量を
測定すると０．Ｉ ＰＰＭに減少していた。
は実施例１の条件と同様で、ジクロロジフロロメタンを
供給し、分解を行った。ジクロロジフロロメタンの量を
測定すると０．Ｉ ＰＰＭに減少していた。
（比較例）
実施例２と同様の条件で、空気の供給を停止し、アルゴ
ンガスで希釈したジクロロジフロロメタンを供給し低圧
水銀ランプのみで実験を行うと、ジクロロジフロロメタ
ンの排出量は９６ｉＰＰＭで、ｔ）った。
ンガスで希釈したジクロロジフロロメタンを供給し低圧
水銀ランプのみで実験を行うと、ジクロロジフロロメタ
ンの排出量は９６ｉＰＰＭで、ｔ）った。
空気の供給によシ高い分解率を得ることが可能であるの
は、空気中の酸素から生成するオゾンがジクロロジフロ
ロメタンに作用し、紫外線により分解しやすい酸化物あ
るいは過酸化物を生成し、それら化合物が紫外線を吸収
し分解する過程も含まれていると推定される。酸化触媒
の存在が分解効率を上げることが可能であるのは、触媒
に吸着した分子が紫外光を吸収しやすくなったシ、ある
いは酸素やオゾンと反応しやすくなるためと推定される
。ジクロロジフロロメタンについて説明したが、他のハ
ロゲン化非環式炭化水素化合物においても、有効である
ことは自明である。また反応槽を多段にし分解率を向上
させることも可能である。さらに、紫外光照射手段につ
いて、外部に取シ付ける方式を説明したが、内部に導入
する方法においても同様の分解を行うことは可能である
。
は、空気中の酸素から生成するオゾンがジクロロジフロ
ロメタンに作用し、紫外線により分解しやすい酸化物あ
るいは過酸化物を生成し、それら化合物が紫外線を吸収
し分解する過程も含まれていると推定される。酸化触媒
の存在が分解効率を上げることが可能であるのは、触媒
に吸着した分子が紫外光を吸収しやすくなったシ、ある
いは酸素やオゾンと反応しやすくなるためと推定される
。ジクロロジフロロメタンについて説明したが、他のハ
ロゲン化非環式炭化水素化合物においても、有効である
ことは自明である。また反応槽を多段にし分解率を向上
させることも可能である。さらに、紫外光照射手段につ
いて、外部に取シ付ける方式を説明したが、内部に導入
する方法においても同様の分解を行うことは可能である
。
発明の効果
以上のように本発明の装置によれば、ハロゲン化非環式
炭化水素化合物を高い効率で分解することが可能である
。
炭化水素化合物を高い効率で分解することが可能である
。
ハロゲン化非環式炭化水素化合物を洗浄工程に使用する
半導体工場などにおいて、排ガス中に含まれる前述の化
合物を処理することが可能となり、成層圏におけるオゾ
ン層破壊に歯止めをかけることが可能となるなど産業上
極めて有益な発明である。
半導体工場などにおいて、排ガス中に含まれる前述の化
合物を処理することが可能となり、成層圏におけるオゾ
ン層破壊に歯止めをかけることが可能となるなど産業上
極めて有益な発明である。
図面は本発明の一実施例に用いた分解装置の略図である
。 １・・・・・・分解反応容器、２・・・・・・低圧水銀
ランプ、３・・・・・・スクラバー、４・・・・・・中
和槽、６・・・・・・ガス取入口、６・・・・・・ガス
排出口。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名手続
補正書働側 ｌ事件の表示 昭和６３年特許願第 １０６４３６号 ２発明の名称 ハロゲン化非環式炭化水素化合物の光分解装置３補正を
する者 事件との関係 特 許 出 願 人
住 所 大阪府門真市大字門真１００６番地名 称
（５８２）松下電器産業株式会社代表者 谷
井 昭 雄 ４代理人 〒５７１ 住 所 大阪府門真市大字門真１００６番地松下電器
産業株式会社内
。 １・・・・・・分解反応容器、２・・・・・・低圧水銀
ランプ、３・・・・・・スクラバー、４・・・・・・中
和槽、６・・・・・・ガス取入口、６・・・・・・ガス
排出口。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名手続
補正書働側 ｌ事件の表示 昭和６３年特許願第 １０６４３６号 ２発明の名称 ハロゲン化非環式炭化水素化合物の光分解装置３補正を
する者 事件との関係 特 許 出 願 人
住 所 大阪府門真市大字門真１００６番地名 称
（５８２）松下電器産業株式会社代表者 谷
井 昭 雄 ４代理人 〒５７１ 住 所 大阪府門真市大字門真１００６番地松下電器
産業株式会社内
Claims (2)
- （１）ハロゲン化非環式炭化水素化合物を含む気体を導
入するガス取入口、分解生成ガスを排出するガス排出口
および紫外光を照射する手段を備えたハロゲン化非環式
炭化水素化合物を含む気体の分解空間となる分解反応容
器と、前記排出口から排出される分解生成ガス中に含ま
れる有害物質を除去する手段とを備えたことを特徴とす
るハロゲン化非環式炭化水素化合物の光分解装置。 - （２）分解容器内に酸化触媒を充填したことを特徴とす
る請求項１に記載のハロゲン化非環式炭化水素化合物の
光分解装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10643688A JPH01281142A (ja) | 1988-04-28 | 1988-04-28 | ハロゲン化非環式炭化水素化合物の光分解装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10643688A JPH01281142A (ja) | 1988-04-28 | 1988-04-28 | ハロゲン化非環式炭化水素化合物の光分解装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01281142A true JPH01281142A (ja) | 1989-11-13 |
Family
ID=14433598
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10643688A Pending JPH01281142A (ja) | 1988-04-28 | 1988-04-28 | ハロゲン化非環式炭化水素化合物の光分解装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01281142A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002136867A (ja) * | 2000-05-30 | 2002-05-14 | Canon Inc | 吸着材の再生処理方法及びその装置 |
| JP2004313832A (ja) * | 2003-04-11 | 2004-11-11 | Mitsui Eng & Shipbuild Co Ltd | 光化学反応方法、液体の処理方法、および液体処理装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6159779A (ja) * | 1984-08-30 | 1986-03-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 薄膜トランジスタ |
| JPS62191025A (ja) * | 1986-02-14 | 1987-08-21 | Nec Corp | 排ガスの処理方法 |
| JPH01143630A (ja) * | 1987-11-27 | 1989-06-06 | Ebara Res Co Ltd | フロンの処理方法 |
-
1988
- 1988-04-28 JP JP10643688A patent/JPH01281142A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6159779A (ja) * | 1984-08-30 | 1986-03-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 薄膜トランジスタ |
| JPS62191025A (ja) * | 1986-02-14 | 1987-08-21 | Nec Corp | 排ガスの処理方法 |
| JPH01143630A (ja) * | 1987-11-27 | 1989-06-06 | Ebara Res Co Ltd | フロンの処理方法 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002136867A (ja) * | 2000-05-30 | 2002-05-14 | Canon Inc | 吸着材の再生処理方法及びその装置 |
| JP2004313832A (ja) * | 2003-04-11 | 2004-11-11 | Mitsui Eng & Shipbuild Co Ltd | 光化学反応方法、液体の処理方法、および液体処理装置 |
| JP4667724B2 (ja) * | 2003-04-11 | 2011-04-13 | 三井造船株式会社 | 光化学反応方法、液体の処理方法、および液体処理装置 |
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