JPS61174139A - 光フアイバ用ガラス母材の製造方法 - Google Patents
光フアイバ用ガラス母材の製造方法Info
- Publication number
- JPS61174139A JPS61174139A JP1513085A JP1513085A JPS61174139A JP S61174139 A JPS61174139 A JP S61174139A JP 1513085 A JP1513085 A JP 1513085A JP 1513085 A JP1513085 A JP 1513085A JP S61174139 A JPS61174139 A JP S61174139A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- base material
- glass
- raw materials
- supplied
- glass particles
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01413—Reactant delivery systems
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/80—Feeding the burner or the burner-heated deposition site
- C03B2207/85—Feeding the burner or the burner-heated deposition site with vapour generated from liquid glass precursors, e.g. directly by heating the liquid
- C03B2207/86—Feeding the burner or the burner-heated deposition site with vapour generated from liquid glass precursors, e.g. directly by heating the liquid by bubbling a gas through the liquid
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、加熱延伸して光ファイバを成形するためのガ
ラス母材を高速合成する方法に関する。
ラス母材を高速合成する方法に関する。
石英系光ファイバを製造する場合、一般には揮発性のガ
ラス形成原料を火炎中もしくは高温下で反応させてガラ
ス微粒子とし、このガラス微粒子を棒状あるいはパイプ
状の基材上に付着成長させて、多孔質母材をつくり、こ
の多孔質母材を透明ガラス化処理して得られた透明ガラ
ス微粒子を加熱延伸してファイバを成形する。そして近
年光７アイバの低価格化を目標として母材の高速合成に
関する技術が種々提案されている。
ラス形成原料を火炎中もしくは高温下で反応させてガラ
ス微粒子とし、このガラス微粒子を棒状あるいはパイプ
状の基材上に付着成長させて、多孔質母材をつくり、こ
の多孔質母材を透明ガラス化処理して得られた透明ガラ
ス微粒子を加熱延伸してファイバを成形する。そして近
年光７アイバの低価格化を目標として母材の高速合成に
関する技術が種々提案されている。
例えば気相回付法では出発基材である石英管内部に高周
波でプラズマを発生させ、活性状態にすることにより原
料を多量に供給した場合も反応が光分進むよう改善した
方法が提案されている。
波でプラズマを発生させ、活性状態にすることにより原
料を多量に供給した場合も反応が光分進むよう改善した
方法が提案されている。
また気相外付法及び気相軸付法においては、バーナーに
ガラス形成原料ガスと酸水素ガスを供給して酸水素火炎
中でガラス微粒子を形成して出発基材に付着成長する方
法であるため、反応率は火炎の状態やバーナーの構造に
大きく影響される。
ガラス形成原料ガスと酸水素ガスを供給して酸水素火炎
中でガラス微粒子を形成して出発基材に付着成長する方
法であるため、反応率は火炎の状態やバーナーの構造に
大きく影響される。
そこで原料、酸素、水素ガス等の供給ノズルの適切化に
よりＨ２Ｏの拡散を考慮した多重管バーナ−や、一度形
成された火炎の途中に再度酸水素ガスを供給して反応時
間を長くした二重火炎バーナー等が提案されている。
よりＨ２Ｏの拡散を考慮した多重管バーナ−や、一度形
成された火炎の途中に再度酸水素ガスを供給して反応時
間を長くした二重火炎バーナー等が提案されている。
前述したいずれの従来方法でも、合成速度を増加させる
ために原料供給量を増加させると、原料ガスの流速が速
くなり未反応の原料が生じてガラス微粒子の成長が不安
定となり、その結果母材の成長効率すなわちガラス微粒
子の収率が低下するという問題がある。
ために原料供給量を増加させると、原料ガスの流速が速
くなり未反応の原料が生じてガラス微粒子の成長が不安
定となり、その結果母材の成長効率すなわちガラス微粒
子の収率が低下するという問題がある。
母材のＳｉＯ２形成原料として５ｉ２ＣＡ！６を使用す
る。本発明において、必要とするＳｉＯ２量の全てを５
ｉ２Ｃ１６で供給してもよいし、あるいは従来使用され
ている５ｉ（ｌＩ４の一部を５ｊ−２０１６で代替して
もよい。
る。本発明において、必要とするＳｉＯ２量の全てを５
ｉ２Ｃ１６で供給してもよいし、あるいは従来使用され
ている５ｉ（ｌＩ４の一部を５ｊ−２０１６で代替して
もよい。
〔作 用〕
ＳｉＣｌ４、Ｓｉ２Ｃｌ６、ＧｅＣｌ４と５ｉ２Ｇ１６
の特性比較を第１表に示す。
の特性比較を第１表に示す。
５ｉ２０Ｊ ６は５ｉ（Ｉ４に比べて分子中のＳｉの濃
度が高いため、目標とするＳｉＯ２ガラス微粒子を生成
するだめに必要な原料供給量が少なくてよい。
度が高いため、目標とするＳｉＯ２ガラス微粒子を生成
するだめに必要な原料供給量が少なくてよい。
第 ７ 表
従って原料ガスの流速を従来法に比べて遅くすることが
可能となり、その結果反応時間が長くなり、ガラス微粒
子の収率が向上する。またＳｉ２Ｃｌ ｔｓの方が５１
０Ｊ４に比べて分解しやすいため、母材の合成速度が向
上する。
可能となり、その結果反応時間が長くなり、ガラス微粒
子の収率が向上する。またＳｉ２Ｃｌ ｔｓの方が５１
０Ｊ４に比べて分解しやすいため、母材の合成速度が向
上する。
以下本発明を図面に示した実施例について説明する。図
中／ないし３はガラス形成原料の貯蔵ボンベであり、−
例としてボンベ／ Ｋ ５ｉ２（Ｉ６ 、ボンベ２ Ｋ
５１０１＋、ボンベＪ Ｋ Ｇｅｃ１４がそれぞれ貯
蔵されている。
中／ないし３はガラス形成原料の貯蔵ボンベであり、−
例としてボンベ／ Ｋ ５ｉ２（Ｉ６ 、ボンベ２ Ｋ
５１０１＋、ボンベＪ Ｋ Ｇｅｃ１４がそれぞれ貯
蔵されている。
上記各ボンベ１，２．３にはキャリアガス供給管ｌを通
じてアルゴン、酸素等のキャリアガスが送給され、各ボ
ンベ／、２．３内で揮発した原料ガスはキャリアガスに
乗って石英製バーナーｊに原料ガス供給管ｔを通じて供
給される。またバーナー５には酸水素ガスが燃料ガス供
給管７を通じて供給され、酸水素火炎８が生成される。
じてアルゴン、酸素等のキャリアガスが送給され、各ボ
ンベ／、２．３内で揮発した原料ガスはキャリアガスに
乗って石英製バーナーｊに原料ガス供給管ｔを通じて供
給される。またバーナー５には酸水素ガスが燃料ガス供
給管７を通じて供給され、酸水素火炎８が生成される。
バーナー５に送給される各ガラス形成原料ガスは火炎８
中で加水分解されてガラス微粒子９となり、このガラス
微粒子９は図外の回転する出発基材上に付着成長して多
孔質母材ＩＯが生成される。各原料ボンベ／、２．３お
よび供給配管ｔは必要な原料の蒸気圧を確保し、安定な
状態で気相輸送すべくヒーターによって適切な温度に保
持されている。
中で加水分解されてガラス微粒子９となり、このガラス
微粒子９は図外の回転する出発基材上に付着成長して多
孔質母材ＩＯが生成される。各原料ボンベ／、２．３お
よび供給配管ｔは必要な原料の蒸気圧を確保し、安定な
状態で気相輸送すべくヒーターによって適切な温度に保
持されている。
５ｉ２ＣＡ６は蒸気圧が低いため、従来の５ｉＯＪ４と
同程度の蒸気圧を確保するにはｉｏｏ℃以上に保温する
必要がある。
同程度の蒸気圧を確保するにはｉｏｏ℃以上に保温する
必要がある。
以下に具体的な数値例を示す。
原料として５ｉＣＡ！４を２７７分、５ｉ２（３１６を
２９７分１Ｇｅｃｌ＋を０．１９／分の割合でバーナー
に供給するとともに、同バーナーに燃料ガスとして水素
ＧｅＣｌ４を０．８ｇ／分の割合でバーナーに供給する
とともに、同バーナーに燃料ガスとして水素ざ２７分、
酸素１２２７分供給し、火災中で原料を加水分解反応さ
せてガラス微粒子を基材上に付着成長させた結果毎分へ
６ｇの合成速度が得られ、収率は約１０％であった。
２９７分１Ｇｅｃｌ＋を０．１９／分の割合でバーナー
に供給するとともに、同バーナーに燃料ガスとして水素
ＧｅＣｌ４を０．８ｇ／分の割合でバーナーに供給する
とともに、同バーナーに燃料ガスとして水素ざ２７分、
酸素１２２７分供給し、火災中で原料を加水分解反応さ
せてガラス微粒子を基材上に付着成長させた結果毎分へ
６ｇの合成速度が得られ、収率は約１０％であった。
原料として５ｉ２ＣＡ！６をダク／分、ＧｅＣｌ４０．
ざ９７分をバーナーに供給するとともに、水素７．ｊ
ｌ１分、酸素／２１／分を供給して上記と同様の母材の
付着成長を行なった結果、合成速度は毎分／３９で収率
は１３％であった。これに対して従来法通り５ｉ２ｃｚ
６を使用せず原料としてＳｉＣｌ４、Ｓｉ２Ｃｌ６、Ｇ
ｅＣｌ４とＧｅＣｌ４ のみを使用し、供給量ＳｉＣ／
４ ｌＩ９／分、ＧｅＣｊ１４０．１り７分、水素１．
！； １７分、酸素１２１／分の条件で前述と同様の母
材合成を行なった結果、合成速度は／、Ｊり７分で収率
は７０％であった。
ざ９７分をバーナーに供給するとともに、水素７．ｊ
ｌ１分、酸素／２１／分を供給して上記と同様の母材の
付着成長を行なった結果、合成速度は毎分／３９で収率
は１３％であった。これに対して従来法通り５ｉ２ｃｚ
６を使用せず原料としてＳｉＣｌ４、Ｓｉ２Ｃｌ６、Ｇ
ｅＣｌ４とＧｅＣｌ４ のみを使用し、供給量ＳｉＣ／
４ ｌＩ９／分、ＧｅＣｊ１４０．１り７分、水素１．
！； １７分、酸素１２１／分の条件で前述と同様の母
材合成を行なった結果、合成速度は／、Ｊり７分で収率
は７０％であった。
本発明によれば、光ファイバ用ガラス母材を火炎加水分
解反応で合成する際に、目標とするＳｉＯ２ガラス微粒
子を生成するために必要な原料供給量が従来よりも少な
くて済み、従って原料ガスの流速を従来に比べて相対的
に遅くすることができ、その結果反応時間が長くなって
ガラス微粒子の収率が向上する。
解反応で合成する際に、目標とするＳｉＯ２ガラス微粒
子を生成するために必要な原料供給量が従来よりも少な
くて済み、従って原料ガスの流速を従来に比べて相対的
に遅くすることができ、その結果反応時間が長くなって
ガラス微粒子の収率が向上する。
第１図は本発明の一実施例を示す断面図である。
／、２．３・・・・・・原料貯蔵ボンペグ・・・・・・
キャリアガス供給管 ３・・・・・・バーナー６・・・
・・・原料ガス供給管 ７・・・・・・燃料ガス供給骨
ｇ・・・・・・酸水素火炎 ９・・・・・・ガラス微粒
子１０・・・・・・多孔質母材 第１図
キャリアガス供給管 ３・・・・・・バーナー６・・・
・・・原料ガス供給管 ７・・・・・・燃料ガス供給骨
ｇ・・・・・・酸水素火炎 ９・・・・・・ガラス微粒
子１０・・・・・・多孔質母材 第１図
Claims (2)
- （１）揮発性のガラス形成原料を火炎中もしくは高温下
で反応させてガラス微粒子とし、該微粒子を基材に付着
成長させることにより光ファイバ用ガラス母材を製造す
る方法において、ＳｉＯ＿２形成原料の一部または全部
にＳｉ＿２Ｃｌ＿６を用いることを特徴とする光ファイ
バ用ガラス母材の製造方法。 - （２）特許請求の範囲第１項において、前記ガラス形成
原料は少なくともＳｉＣｌ＿４、Ｓｉ＿２Ｃｌ＿６、Ｇ
ｅＣｌ＿４の三種を含むことを特徴とする光ファイバ用
ガラス母材の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1513085A JPS61174139A (ja) | 1985-01-29 | 1985-01-29 | 光フアイバ用ガラス母材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1513085A JPS61174139A (ja) | 1985-01-29 | 1985-01-29 | 光フアイバ用ガラス母材の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61174139A true JPS61174139A (ja) | 1986-08-05 |
Family
ID=11880236
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1513085A Pending JPS61174139A (ja) | 1985-01-29 | 1985-01-29 | 光フアイバ用ガラス母材の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61174139A (ja) |
-
1985
- 1985-01-29 JP JP1513085A patent/JPS61174139A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CA2037102C (en) | Method of making fused silica | |
| JP4089922B2 (ja) | 液状反応物の燃焼により溶融シリカを作成する方法および装置 | |
| CN103987670A (zh) | 合成石英玻璃的制备方法和用作光纤的包覆材料的石英玻璃 | |
| JPH06305736A (ja) | 合成石英ガラス部材の製造方法 | |
| JPS61174139A (ja) | 光フアイバ用ガラス母材の製造方法 | |
| JP4230074B2 (ja) | アルミニウム添加石英系多孔質母材の製造方法 | |
| JPH038737A (ja) | 光ファイバ用母材の製造方法 | |
| JP2517052B2 (ja) | グレ―デットインデックス型光ファイバ―母材の製造方法 | |
| JPS60264338A (ja) | 光フアイバ母材の製造方法 | |
| JP3133392B2 (ja) | 光ファイバ用スート母材の製造方法 | |
| JPH0247414B2 (ja) | Hikarifuaibabozainoseizohoho | |
| JP3078590B2 (ja) | 合成石英ガラスの製造方法 | |
| JPH01126236A (ja) | 光ファイバープリフォームの製造方法 | |
| KR930001938B1 (ko) | 광파이버용 다공질모재의 제조방법 | |
| JPS62162637A (ja) | 光フアイバ母材の製造方法 | |
| JPS61183140A (ja) | 光フアイバ母材の製造方法 | |
| JPH06157049A (ja) | 合成石英ガラス部材の製造方法 | |
| JPH10330129A (ja) | 光ファイバ用多孔質ガラス体の製造方法 | |
| JPS6168337A (ja) | 光フアイバ母材の製造方法 | |
| JPS5978943A (ja) | 弗素含有ガラスの製造方法 | |
| JPH0561210B2 (ja) | ||
| JPS62113731A (ja) | 光フアイバ母材の製造方法 | |
| JPS62162639A (ja) | Ｗ型シングルモ−ド光フアイバ母材の製造方法 | |
| JPS60221335A (ja) | 光フアイバ母材の製造方法 | |
| JPS5978947A (ja) | 光学系ガラスの堆積方法 |