JPS61169100A - 超音波送受波器 - Google Patents
超音波送受波器Info
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- JPS61169100A JPS61169100A JP1015785A JP1015785A JPS61169100A JP S61169100 A JPS61169100 A JP S61169100A JP 1015785 A JP1015785 A JP 1015785A JP 1015785 A JP1015785 A JP 1015785A JP S61169100 A JPS61169100 A JP S61169100A
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- JP
- Japan
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- acoustic matching
- matching layer
- porous polymer
- acoustic
- ultrasonic
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-
- G—PHYSICS
- G10—MUSICAL INSTRUMENTS; ACOUSTICS
- G10K—SOUND-PRODUCING DEVICES; METHODS OR DEVICES FOR PROTECTING AGAINST, OR FOR DAMPING, NOISE OR OTHER ACOUSTIC WAVES IN GENERAL; ACOUSTICS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G10K11/00—Methods or devices for transmitting, conducting or directing sound in general; Methods or devices for protecting against, or for damping, noise or other acoustic waves in general
- G10K11/02—Mechanical acoustic impedances; Impedance matching, e.g. by horns; Acoustic resonators
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
- Measurement Of Velocity Or Position Using Acoustic Or Ultrasonic Waves (AREA)
- Piezo-Electric Transducers For Audible Bands (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は空気中で超音波の送受を行なう超音波送受波器
に関するものである。
に関するものである。
従来の技術
最近、超音波送受波器は、距離計測又は位置計測用上ン
サあるいは表面形状検査用センサ等の分野で盛んに利用
されるようになってきた。この超音波送受波器は例えば
ＵＩ、ＴＲＡＳＯＮＩＣ８（ＶＯＬ、１ｅ ＳＥＰＴ
ＫＭＢＩＣＲ１９７８゜Ｐ１９７）や本出願人による特
願昭６８−４４９４７号明細書に記載されているように
シリコーン樹脂やエポキシ樹脂等の高分子樹脂を母材と
して、その中にガラス、炭素又はプラスチック等を球殻
とする微小中空球を混合した複合材料から成る薄層を音
響整合層として有する構成が知られている７以下第４図
を参照して従来の超音波送受波器について説明する。第
４図において、１は厚み振動を行なう圧電振動子、２は
シリコーン樹脂、エポキシ樹脂等の高分子樹脂母材６の
中に、フィラーとしてガラス、炭素又はプラスチック等
を球殻材料として気体を内包した平均粒径数１０μｍ程
度の微小中空球３を混合した複合材料であり、圧電振動
子１の超音波放射面４に接着されている。６は圧電振動
子１の第２の面に接着されたバッキング材である。
サあるいは表面形状検査用センサ等の分野で盛んに利用
されるようになってきた。この超音波送受波器は例えば
ＵＩ、ＴＲＡＳＯＮＩＣ８（ＶＯＬ、１ｅ ＳＥＰＴ
ＫＭＢＩＣＲ１９７８゜Ｐ１９７）や本出願人による特
願昭６８−４４９４７号明細書に記載されているように
シリコーン樹脂やエポキシ樹脂等の高分子樹脂を母材と
して、その中にガラス、炭素又はプラスチック等を球殻
とする微小中空球を混合した複合材料から成る薄層を音
響整合層として有する構成が知られている７以下第４図
を参照して従来の超音波送受波器について説明する。第
４図において、１は厚み振動を行なう圧電振動子、２は
シリコーン樹脂、エポキシ樹脂等の高分子樹脂母材６の
中に、フィラーとしてガラス、炭素又はプラスチック等
を球殻材料として気体を内包した平均粒径数１０μｍ程
度の微小中空球３を混合した複合材料であり、圧電振動
子１の超音波放射面４に接着されている。６は圧電振動
子１の第２の面に接着されたバッキング材である。
以上のような構成において、次にその動作について説明
する。上記超音波送受波器を空気中で用いて超音波の送
受波を行なう場合、圧電振動子１と音響負荷として作用
する空気との間の音響インビーダンス整合を取るために
上記複合材料２が音響整合層として作用し、圧電振動子
単体で用いる場合に対し、送受波感度の向上をはかるこ
とができる。
する。上記超音波送受波器を空気中で用いて超音波の送
受波を行なう場合、圧電振動子１と音響負荷として作用
する空気との間の音響インビーダンス整合を取るために
上記複合材料２が音響整合層として作用し、圧電振動子
単体で用いる場合に対し、送受波感度の向上をはかるこ
とができる。
発明が解決しようとする問題点
しかし以上のような構成では、第１に音響整合層を形成
する複合材料２の母材である高分子樹脂母材６とシテ密
度１０００〜１３００Ｋｇ／Ｒのシリコーン樹脂あるい
はエポキシ樹脂等を用いており、母材６自体の密度が比
較的大きいために、上記複合材料２の密度を小さくする
ことができなかった。また、フィラーとして母材６に混
合する微小中空球３の密度は、従来用いていた粒径の比
較的小さいものでは１００〜６００ Ｋｇ ／ ｒｒｆ
程度の値であり、空気の常温における密度１．２Ｋｐ／
ｒｐ？と比較して極めて大きいため、これらをフィラー
として用いた複合材料２の密度を小さくすることは困難
であった。更に、母材６に上記微小中空球３を混合する
場合、平均粒径が数１０μ国の大きざを有するため、混
合体積比率を十分に大きくできず、従って複合材料２の
密度を小さくすることは困難であった。
する複合材料２の母材である高分子樹脂母材６とシテ密
度１０００〜１３００Ｋｇ／Ｒのシリコーン樹脂あるい
はエポキシ樹脂等を用いており、母材６自体の密度が比
較的大きいために、上記複合材料２の密度を小さくする
ことができなかった。また、フィラーとして母材６に混
合する微小中空球３の密度は、従来用いていた粒径の比
較的小さいものでは１００〜６００ Ｋｇ ／ ｒｒｆ
程度の値であり、空気の常温における密度１．２Ｋｐ／
ｒｐ？と比較して極めて大きいため、これらをフィラー
として用いた複合材料２の密度を小さくすることは困難
であった。更に、母材６に上記微小中空球３を混合する
場合、平均粒径が数１０μ国の大きざを有するため、混
合体積比率を十分に大きくできず、従って複合材料２の
密度を小さくすることは困難であった。
以上のように母材６の密度、微小中空球３の密度および
粒径の大きさのため、音響整合層として用いる複合材料
２の密度を小さくすることは困難であった。
粒径の大きさのため、音響整合層として用いる複合材料
２の密度を小さくすることは困難であった。
第２に微小中空球３の粒径は、上記複合材料２から成る
音響整合層を厚さ方向に伝播する超音波の波長に比べて
十分小さくないために微小中空球３によって超音波が散
乱され、音響整合層内の超音波減衰は大きいものになる
。
音響整合層を厚さ方向に伝播する超音波の波長に比べて
十分小さくないために微小中空球３によって超音波が散
乱され、音響整合層内の超音波減衰は大きいものになる
。
以上説明したように音響整合層として用いる複合材料２
の密度および超音波減衰を小さくすることができないた
め、超音波送受波器の送受波感度が低いという問題点を
有して７た０ 従来の貝、体的な実施例として密度１ｔｓｏｋＣｇ／ｉ
平均粒径約５０μｍの熱膨張性微小中空球３を密度１０
ｏｏＫｇ／ｄのシリコーン樹脂に重量比率０．１の割合
で混合した複合材料２の密度は約ｅａｏＫ４／ｙｄ、音
速は４２ＩＯＩＩ／８、超音波減衰はＩ ＭＨｚにおい
て約１０（１Ｂ／１１１１であった。
の密度および超音波減衰を小さくすることができないた
め、超音波送受波器の送受波感度が低いという問題点を
有して７た０ 従来の貝、体的な実施例として密度１ｔｓｏｋＣｇ／ｉ
平均粒径約５０μｍの熱膨張性微小中空球３を密度１０
ｏｏＫｇ／ｄのシリコーン樹脂に重量比率０．１の割合
で混合した複合材料２の密度は約ｅａｏＫ４／ｙｄ、音
速は４２ＩＯＩＩ／８、超音波減衰はＩ ＭＨｚにおい
て約１０（１Ｂ／１１１１であった。
本発明は従来技術の以上のような問題を解決するもので
密度および超音波減衰が小さい音響整合層材料を実現し
て空中用超音波送受波器の送受波感度を向上することを
目的とするものである。
密度および超音波減衰が小さい音響整合層材料を実現し
て空中用超音波送受波器の送受波感度を向上することを
目的とするものである。
問題点を解決するための手段
本発明は圧電振動子の超音波放射面に表面をラミネート
化した高分子多孔膜を接着して音響整合層とすることに
より上記目的を達成するものである。
化した高分子多孔膜を接着して音響整合層とすることに
より上記目的を達成するものである。
作用
本発明は上記構成により密度が小さくかつ超音波減衰の
少ない音響整合層を実現することにより圧電振動子と音
響負荷として作用する空気との間の音響インピーダンス
整合を効率よく行ない空中で用いる超音波送受波器の送
受波感度を向上するようにしたものである。
少ない音響整合層を実現することにより圧電振動子と音
響負荷として作用する空気との間の音響インピーダンス
整合を効率よく行ない空中で用いる超音波送受波器の送
受波感度を向上するようにしたものである。
実施例
以下、図面を参照しながら本発明の実施例について説明
する。
する。
第１図は本発明の第１の実施例における超音波送受波器
の断面図である。１ｏは厚み振動を行なう圧電振動子、
１２は超音波放射面１１に接着され音響整合層として作
用する高分子多孔膜、１３゜１４は高分子多孔膜１２の
圧電振動子１ｏ側、及びその反対側の表面にそれぞれ形
成されるラミネート膜、１６は圧電振動子１０の第２の
面に接着されるバッキング材、１６は高分子多孔膜１２
に形成された気孔である。高分子多孔膜１２は高分子樹
脂の中でも密度の小さいポリエチレン、ポリプロピレン
等のオレフィン系炭化水素を相分離法又は溶出法によっ
て多孔化したものであり、その膜厚は高分子多孔膜１２
の厚さ方向に伝播する超音波の波長の約％である。
の断面図である。１ｏは厚み振動を行なう圧電振動子、
１２は超音波放射面１１に接着され音響整合層として作
用する高分子多孔膜、１３゜１４は高分子多孔膜１２の
圧電振動子１ｏ側、及びその反対側の表面にそれぞれ形
成されるラミネート膜、１６は圧電振動子１０の第２の
面に接着されるバッキング材、１６は高分子多孔膜１２
に形成された気孔である。高分子多孔膜１２は高分子樹
脂の中でも密度の小さいポリエチレン、ポリプロピレン
等のオレフィン系炭化水素を相分離法又は溶出法によっ
て多孔化したものであり、その膜厚は高分子多孔膜１２
の厚さ方向に伝播する超音波の波長の約％である。
ラミネート膜１３．１４は高分子多孔膜１２中の気孔１
６が一般に貫通型であり液体などが高分子多孔膜１２中
に浸透するのを防ぐために設けたものであり、その厚さ
は薄いほどよく、通常、ラミネート膜１３．１４中を伝
播する音波長の約Ｚｏ以下の厚みになることが望ましい
。
６が一般に貫通型であり液体などが高分子多孔膜１２中
に浸透するのを防ぐために設けたものであり、その厚さ
は薄いほどよく、通常、ラミネート膜１３．１４中を伝
播する音波長の約Ｚｏ以下の厚みになることが望ましい
。
本実施例においては高分子多孔膜１２にはポリオレフィ
ル系多孔膜（例えば旭化成（２）ハイボア２００（１）
を用い、ラミネート膜１３．１４には厚み数μｍのプラ
スチックフィルム（例えばＰＥＴ樹脂樹脂２犀 オレフィン系多孔膜の音響インピーダンスは約１ 、８
Ｘ １ ０５Ｎ Ｓ ／ ｎｆであり、Ｉ ＭＨｚに
おける超音波減衰は約ａｄＢ／ｆｌと小さい。音速は約
ｅｏ。
ル系多孔膜（例えば旭化成（２）ハイボア２００（１）
を用い、ラミネート膜１３．１４には厚み数μｍのプラ
スチックフィルム（例えばＰＥＴ樹脂樹脂２犀 オレフィン系多孔膜の音響インピーダンスは約１ 、８
Ｘ １ ０５Ｎ Ｓ ／ ｎｆであり、Ｉ ＭＨｚに
おける超音波減衰は約ａｄＢ／ｆｌと小さい。音速は約
ｅｏ。
ｍ ／ ｓであり、１ＭＨ２におけるハ波長厚は約１６
０μｍとなる。また、ハイボア２００ｏに内包される気
孔の空孔率は約７０％であり、その平均孔径は０．１５
μｍであり、空孔率は高く、気孔の直径は極めて小さい
。
０μｍとなる。また、ハイボア２００ｏに内包される気
孔の空孔率は約７０％であり、その平均孔径は０．１５
μｍであり、空孔率は高く、気孔の直径は極めて小さい
。
ラミネート膜１３．１４の厚みが極めて薄いため、ラミ
ネート膜１ ３ 、 １ ４ｉ有したポリオレフィン系
多孔膜の音響特性もラミネート膜のない場合と殆んど変
化しない。一方、圧電振動子１０から空中に超音波を放
射する場合に１層の音響整合層として望ましい音響イン
ピーダンスは約１．１×１０５ Ｎ３７ｍであり、この
場合、超音波送受波器としての送受波感度は向上する。
ネート膜１ ３ 、 １ ４ｉ有したポリオレフィン系
多孔膜の音響特性もラミネート膜のない場合と殆んど変
化しない。一方、圧電振動子１０から空中に超音波を放
射する場合に１層の音響整合層として望ましい音響イン
ピーダンスは約１．１×１０５ Ｎ３７ｍであり、この
場合、超音波送受波器としての送受波感度は向上する。
本実施例におけるラミネート膜１３．１４を有する高分
子多孔膜１２の音響インピーダンスは従来のシリコーン
ゴムなどよりはるかに小さく、かつ音響整合層として望
ましい値に近い特性になる。
子多孔膜１２の音響インピーダンスは従来のシリコーン
ゴムなどよりはるかに小さく、かつ音響整合層として望
ましい値に近い特性になる。
第２図に本実施例における音響整合層を用いた場合と、
従来例の高分子材料を母材として微小中空球を混合した
複合材料から成る音響整合層を用いて一層整合構造とし
たときの送受波感度の計算を行なった結果を示す。曲線
２０．２１はおのおの本実施例における音響整合層を用
いた場合、従来の複合材料から成る音響整合層を用いた
場合である。これらの結果から分るように本実施例は、
従来例に比べて送受波感度のピーク値は約６ｄＢ向上し
ていることが分る。
従来例の高分子材料を母材として微小中空球を混合した
複合材料から成る音響整合層を用いて一層整合構造とし
たときの送受波感度の計算を行なった結果を示す。曲線
２０．２１はおのおの本実施例における音響整合層を用
いた場合、従来の複合材料から成る音響整合層を用いた
場合である。これらの結果から分るように本実施例は、
従来例に比べて送受波感度のピーク値は約６ｄＢ向上し
ていることが分る。
以上の実施例から明らかなように、本実施例によれば密
度の小さいポリオレフィン樹脂を用い相分離法によって
多孔化された高分子多孔膜１２とその両面にラミネート
膜１ ３ 、 １ ４’ｉ設けた構造による音響整合層
を有することによシ送受波感度が向上した高感度の超音
波送受波器を実現することができる。
度の小さいポリオレフィン樹脂を用い相分離法によって
多孔化された高分子多孔膜１２とその両面にラミネート
膜１ ３ 、 １ ４’ｉ設けた構造による音響整合層
を有することによシ送受波感度が向上した高感度の超音
波送受波器を実現することができる。
また、本実施例は少なくとも圧電振動子１０側にラミネ
ート膜１３を設けることにより、多孔性高分子膜１２の
圧電撮動子１ｏへの接着時に接着感度な送受波感度を維
持できるとともに製造時の特性のバラツキ全低減できる
。
ート膜１３を設けることにより、多孔性高分子膜１２の
圧電撮動子１ｏへの接着時に接着感度な送受波感度を維
持できるとともに製造時の特性のバラツキ全低減できる
。
更に多孔性高分子膜１２の圧電振動子１０と反対側の主
面にラミネート膜１４を設けることにより、空気中のほ
こりなどがその表面に吸着されることなく、また外力に
よって多孔性高分子膜１２０表面や周辺部が部分的に剥
離きれることもない。
面にラミネート膜１４を設けることにより、空気中のほ
こりなどがその表面に吸着されることなく、また外力に
よって多孔性高分子膜１２０表面や周辺部が部分的に剥
離きれることもない。
第３図は本発明の第２の実施例における超音波送受波器
の断面図である。
の断面図である。
本実施例は前記第１の実施例のラミネート膜１３と圧電
振動子１ｏとの間に第１の整合層１７を設け、高分子多
孔膜１２ｉ第２の整合層としたものである。
振動子１ｏとの間に第１の整合層１７を設け、高分子多
孔膜１２ｉ第２の整合層としたものである。
本実施例においては第１整合層として音響インピーダン
スが約３Ｘ １ ０’ Ｎ Ｓ／ｖｆのエポキシ樹脂
を、厚みに波長部とし、第２整合層である高分子多孔膜
１２としては第１の実施例と同様にポリオレフィン系多
孔性高分子膜を用いる。
スが約３Ｘ １ ０’ Ｎ Ｓ／ｖｆのエポキシ樹脂
を、厚みに波長部とし、第２整合層である高分子多孔膜
１２としては第１の実施例と同様にポリオレフィン系多
孔性高分子膜を用いる。
このような構造による超音波送受波器動作は第１の実施
例と全く同様であり、高感度の送受波特性を有する。
例と全く同様であり、高感度の送受波特性を有する。
更に、二層の音響整合層構造により、周波数帯域特性が
向上し、パルス応答特性がよくなり、距離分解能のよい
超音波送受波器となる。
向上し、パルス応答特性がよくなり、距離分解能のよい
超音波送受波器となる。
以上の実施例において、高分子多孔膜１２の両面に設け
たラミネート膜１３．１４の内、超音波を空中に放射す
る側の一面のラミネート膜１４は特になくてもよいが、
このラミネート膜１４により、湿気の浸透などを防ぎ保
護膜として高分子多孔膜１２の経時変化を防止できる。
たラミネート膜１３．１４の内、超音波を空中に放射す
る側の一面のラミネート膜１４は特になくてもよいが、
このラミネート膜１４により、湿気の浸透などを防ぎ保
護膜として高分子多孔膜１２の経時変化を防止できる。
なお、本実施例ではラミネート膜１３．１４として、高
分子多孔膜１２と異なる材料を用いたが、これは高分子
多孔膜１２と同じ材料を用いてもよい。例えば、ポリエ
チレン系高分子多孔膜において、片面、或いは両面を熱
溶融や、溶剤などにより、薄くラミネート化することが
できる。この場合も、先の実施例と全く同様の効果が得
られる。
分子多孔膜１２と異なる材料を用いたが、これは高分子
多孔膜１２と同じ材料を用いてもよい。例えば、ポリエ
チレン系高分子多孔膜において、片面、或いは両面を熱
溶融や、溶剤などにより、薄くラミネート化することが
できる。この場合も、先の実施例と全く同様の効果が得
られる。
更に、本実施例において、圧電振動子は平板型を用いて
いるが、これは凹面振動子や凹面振動子など他の形状の
振動子を用いてもよい。また厚み振動以外の他の振動モ
ードを使用してもよい。
いるが、これは凹面振動子や凹面振動子など他の形状の
振動子を用いてもよい。また厚み振動以外の他の振動モ
ードを使用してもよい。
発明の効果
以上のように本発明は波長に比べて十分に小さい気孔を
内包する、はぼ％波長の厚さの高分子多孔膜と、その片
面、或いは両面にラミネート膜を設けた構造からなる音
響整合層を圧電振動子の音響整合層として用いることに
より、従来の微少中空球を高分子材料に混合した複合材
を音響整合層として用いた超音波送受波器に比べて送受
波感度を向上させることが出来る。
内包する、はぼ％波長の厚さの高分子多孔膜と、その片
面、或いは両面にラミネート膜を設けた構造からなる音
響整合層を圧電振動子の音響整合層として用いることに
より、従来の微少中空球を高分子材料に混合した複合材
を音響整合層として用いた超音波送受波器に比べて送受
波感度を向上させることが出来る。
更に、ラミネート膜によって音響整合層の接着を行う場
合の接着剤の高分子多孔膜への浸透を防ぐことができ、
送受波感度の低下や、製造時の特性のバラツキを低減で
きる。
合の接着剤の高分子多孔膜への浸透を防ぐことができ、
送受波感度の低下や、製造時の特性のバラツキを低減で
きる。
従来例における超音波送受波器の周波数に対する送受波
感度の計算の１例を示す図、第３図は本発明の第２の実
施例における超音波送受波器の断面図、第４図は従来の
超音波送受波器の断面図であ壱・ １ｏ・・・・・・圧電振動子、１１・・・・・・超音波
放射面、１２・・・・・・多孔性高分子膜、１３，１４
・・・・・・ラミネート膜、１５・・・・・・バッキン
グ材、１６・・・・・・気孔。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 ＜ｏ−Ｆ−釦勧ト ｆｆ−、［會濱飲術面 ｆ２−一ケ孔狂高分）狭 ｆ３．ｔ４’−−７Ｓネート■（ ｆ５−−−）ｆづ千ンフ゛杆 ず６−−−気孔
感度の計算の１例を示す図、第３図は本発明の第２の実
施例における超音波送受波器の断面図、第４図は従来の
超音波送受波器の断面図であ壱・ １ｏ・・・・・・圧電振動子、１１・・・・・・超音波
放射面、１２・・・・・・多孔性高分子膜、１３，１４
・・・・・・ラミネート膜、１５・・・・・・バッキン
グ材、１６・・・・・・気孔。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 ＜ｏ−Ｆ−釦勧ト ｆｆ−、［會濱飲術面 ｆ２−一ケ孔狂高分）狭 ｆ３．ｔ４’−−７Ｓネート■（ ｆ５−−−）ｆづ千ンフ゛杆 ず６−−−気孔
Claims (4)
- （１）圧電振動子と、前記圧電振動子の一主面に直接ま
たは他の層を介して設けられた音響整合層とを備え、前
記音響整合層が、少なくとも圧電振動子側の表面にラミ
ネート膜を有する高分子多孔膜であることを特徴とする
超音波送受波器。 - （２）高分子多孔膜はオレフィン系樹脂であることを特
徴とする特許請求の範囲第１項記載の超音波送受波器。 - （３）高分子多孔膜は相分離法又は溶出法によって製造
したことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の超音
波送受波器。 - （４）ラミネート膜が高分子多孔膜と異なる材料からな
ることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の超音波
送受波器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1015785A JPS61169100A (ja) | 1985-01-22 | 1985-01-22 | 超音波送受波器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1015785A JPS61169100A (ja) | 1985-01-22 | 1985-01-22 | 超音波送受波器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61169100A true JPS61169100A (ja) | 1986-07-30 |
| JPH0378039B2 JPH0378039B2 (ja) | 1991-12-12 |
Family
ID=11742439
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1015785A Granted JPS61169100A (ja) | 1985-01-22 | 1985-01-22 | 超音波送受波器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61169100A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0361757A2 (en) * | 1988-09-29 | 1990-04-04 | British Gas plc | A matching member |
| US6788620B2 (en) | 2002-05-15 | 2004-09-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Acoustic matching member, ultrasound transducer, ultrasonic flowmeter and method for manufacturing the same |
| JP2005198261A (ja) * | 2003-12-09 | 2005-07-21 | Toshiba Corp | 超音波プローブ及び超音波診断装置 |
| JP2008193539A (ja) * | 2007-02-07 | 2008-08-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 音響整合部材とそれを用いた超音波送受波器と超音波流速流量計 |
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