JPH08275944A - 配列型の超音波探触子 - Google Patents
配列型の超音波探触子Info
- Publication number
- JPH08275944A JPH08275944A JP7107925A JP10792595A JPH08275944A JP H08275944 A JPH08275944 A JP H08275944A JP 7107925 A JP7107925 A JP 7107925A JP 10792595 A JP10792595 A JP 10792595A JP H08275944 A JPH08275944 A JP H08275944A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 短軸方向での分解能を高め、感度及び画像を
良好にする配列型探触子を提供する。 【構成】 短冊状とした圧電素子をその幅方向に複数個
並べてなる配列型の超音波探触子において、前記圧電素
子の長さ方向を凹面として該凹面の表面に均一な厚みの
音響整合層を形成し、前記音響整合層の表面内に生体よ
り小さな音速の充填剤を埋設して平坦面にした構成とす
る。
良好にする配列型探触子を提供する。 【構成】 短冊状とした圧電素子をその幅方向に複数個
並べてなる配列型の超音波探触子において、前記圧電素
子の長さ方向を凹面として該凹面の表面に均一な厚みの
音響整合層を形成し、前記音響整合層の表面内に生体よ
り小さな音速の充填剤を埋設して平坦面にした構成とす
る。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は配列型の超音波探触子
(配列型探触子とする)を利用分野とし、特に音響レン
ズを不要とする配列型探触子に関する。
(配列型探触子とする)を利用分野とし、特に音響レン
ズを不要とする配列型探触子に関する。
【0002】
【発明の背景】配列型探触子、例えば医用や工業用の超
音波診断装置あるいは探傷装置に、超音波の送受波部と
して有用されている。一般には、短冊状とした微小幅の
圧電素子をその幅方向(長軸方向)に並べ、長軸方向を
電子的にリニアあるいはセクタ駆動する。そして、圧電
素子の長さ方向(短軸方向)に、音響レンズを被せて短
軸方向でも超音波を収束させ、同方向での分解能を向上
するようにしている。
音波診断装置あるいは探傷装置に、超音波の送受波部と
して有用されている。一般には、短冊状とした微小幅の
圧電素子をその幅方向(長軸方向)に並べ、長軸方向を
電子的にリニアあるいはセクタ駆動する。そして、圧電
素子の長さ方向(短軸方向)に、音響レンズを被せて短
軸方向でも超音波を収束させ、同方向での分解能を向上
するようにしている。
【0003】
【従来技術】第4図はこの種の従来例を説明する超音波
探触子の図で、同図(a)は正断面図、同図(b)は側
断面図である。超音波探触子は、バッキング材1上にP
ZT(ジルコン酸チタン酸鉛)等からなる短冊状の圧電
素子2を長軸方向に並べてなる。圧電素子2の両主面に
は電極3(ab)を有する。そして、圧電素子2の前面
には、生体(未図示)への超音波の伝搬効率を良好にす
る音響整合層4を設ける。また、短軸方向には、凸状の
音響レンズ5を接着して形成される。音響レンズ5は超
音波を収束させるため、生体より小さな音速の、例えば
厚み(最大部t)1mm程度のシリコン系樹脂が用いら
れる。
探触子の図で、同図(a)は正断面図、同図(b)は側
断面図である。超音波探触子は、バッキング材1上にP
ZT(ジルコン酸チタン酸鉛)等からなる短冊状の圧電
素子2を長軸方向に並べてなる。圧電素子2の両主面に
は電極3(ab)を有する。そして、圧電素子2の前面
には、生体(未図示)への超音波の伝搬効率を良好にす
る音響整合層4を設ける。また、短軸方向には、凸状の
音響レンズ5を接着して形成される。音響レンズ5は超
音波を収束させるため、生体より小さな音速の、例えば
厚み(最大部t)1mm程度のシリコン系樹脂が用いら
れる。
【0004】このようなものでは、図示しない診断装置
側から、各圧電素子2に順次に高圧パルスが、あるいは
遅延した高圧パルスが印加される。そして、長軸方向に
対して電子的にリニア駆動やセクタ駆動される。また、
短軸方向では、音響レンズ5により、その中心部に超音
波を収束させることにより、同方向での分解能を高めて
いる。
側から、各圧電素子2に順次に高圧パルスが、あるいは
遅延した高圧パルスが印加される。そして、長軸方向に
対して電子的にリニア駆動やセクタ駆動される。また、
短軸方向では、音響レンズ5により、その中心部に超音
波を収束させることにより、同方向での分解能を高めて
いる。
【0005】
【従来技術の問題点】しかしながら、上記構成のもので
は、音響レンズ5としてシリコン系樹脂を使用するた
め、超音波の伝搬時に減衰を生じる。特に、生体等の表
面近傍に焦点を合わせる場合は、音響レンズの曲率を大
きくする(曲率半径を小さくする)必要がある。したが
って、その分厚みが大きくなって、超音波の減衰も大き
くなり、送受波利得(感度)を低下させる問題があっ
た。また、高周波数ほど減衰が大きく、周波数に対する
感度特性(周波数スペクトラム特性)低下させ、中心周
波数に対する帯域特性(比帯域幅)を狭くする問題もあ
った。
は、音響レンズ5としてシリコン系樹脂を使用するた
め、超音波の伝搬時に減衰を生じる。特に、生体等の表
面近傍に焦点を合わせる場合は、音響レンズの曲率を大
きくする(曲率半径を小さくする)必要がある。したが
って、その分厚みが大きくなって、超音波の減衰も大き
くなり、送受波利得(感度)を低下させる問題があっ
た。また、高周波数ほど減衰が大きく、周波数に対する
感度特性(周波数スペクトラム特性)低下させ、中心周
波数に対する帯域特性(比帯域幅)を狭くする問題もあ
った。
【0006】このため、例えば第5図に示したように、
バッキング材1の表面を凹面にし、これに倣った曲面の
圧電素子2及び音響整合層4を積層し、さらに均一な厚
みのシリコン系樹脂からなる保護膜7を接着する。この
ようにすれば、圧電素子2から放射される超音波は、凹
面内の中心部に向かって放射される。そして、圧電素子
2の曲率に応じた焦点を有して収束する。したがって、
音響レンズ5を不要にし、これによる超音波の減衰を防
止する。なお、保護膜7は、その膜厚が超音波周波数に
対してλ/4以下で極めて小さく(7.5MHzで約3
00μm以下)、これによる超音波の減衰は無視でき
る。
バッキング材1の表面を凹面にし、これに倣った曲面の
圧電素子2及び音響整合層4を積層し、さらに均一な厚
みのシリコン系樹脂からなる保護膜7を接着する。この
ようにすれば、圧電素子2から放射される超音波は、凹
面内の中心部に向かって放射される。そして、圧電素子
2の曲率に応じた焦点を有して収束する。したがって、
音響レンズ5を不要にし、これによる超音波の減衰を防
止する。なお、保護膜7は、その膜厚が超音波周波数に
対してλ/4以下で極めて小さく(7.5MHzで約3
00μm以下)、これによる超音波の減衰は無視でき
る。
【0007】しかし、このようなものでは、圧電素子2
を曲面状に形成しなければならず、特に曲率を大きくし
た場合は、音響整合層4の取付を困難とし、その製造が
危うくなる。また、超音波の放射面を凹面としているの
で、生体に当接する際、接触(密着)性が悪い。このた
め、生体に対して間隙を生じ、超音波が吸収あるいは反
射(散乱)して送受波しにくく、画像不良を生ずる問題
があった。
を曲面状に形成しなければならず、特に曲率を大きくし
た場合は、音響整合層4の取付を困難とし、その製造が
危うくなる。また、超音波の放射面を凹面としているの
で、生体に当接する際、接触(密着)性が悪い。このた
め、生体に対して間隙を生じ、超音波が吸収あるいは反
射(散乱)して送受波しにくく、画像不良を生ずる問題
があった。
【0008】そして、いずれの場合でも、音響レンズ5
あるいは保護膜7を音響整合層4上に接着により形成す
る。したがって、接着剤(未図示)の塗布具合等によ
り、両者間に気泡等を生じ、前述同様に超音波が吸収あ
るいは反射(散乱)して、画像不良を生ずる問題もあっ
た。
あるいは保護膜7を音響整合層4上に接着により形成す
る。したがって、接着剤(未図示)の塗布具合等によ
り、両者間に気泡等を生じ、前述同様に超音波が吸収あ
るいは反射(散乱)して、画像不良を生ずる問題もあっ
た。
【0009】
【発明の目的】本発明は、短軸方向での分解能を高め、
感度及び画像を良好にする配列型探触子を提供すること
を目的とする。
感度及び画像を良好にする配列型探触子を提供すること
を目的とする。
【0010】
【解決手段】本発明は、圧電素子の短軸長方向を凹面と
してその表面に均一な厚みの音響整合層を形成し、その
表面内に生体より小さな音速の充填剤を埋設して平坦面
としたことを解決手段とする。以下、本発明の一実施例
をその作用とともに説明する。
してその表面に均一な厚みの音響整合層を形成し、その
表面内に生体より小さな音速の充填剤を埋設して平坦面
としたことを解決手段とする。以下、本発明の一実施例
をその作用とともに説明する。
【0011】第1図は本発明の一実施例を説明する配列
型探触子の断面図である。なお、前従来例図と同一部分
には同番号を付与し、その説明は省略。配列型探触子
は、前述(従来例の後者)同様に、バッキング材1の短
軸方向を凹面とした表面上に、これに倣った曲面の圧電
素子2及び音響整合層4を積層して、長軸方向に配列さ
れる。そして、この実施例では、音響整合層4の凹面と
なる表面内に生体より小さな音速の充填材8を埋設して
平坦面にする。例えば、音響レンズ5と同質のシリンコ
ン系樹脂を凹面内に塗布して硬化させ、表面を平坦にし
た(所謂コーティング)構成とする。
型探触子の断面図である。なお、前従来例図と同一部分
には同番号を付与し、その説明は省略。配列型探触子
は、前述(従来例の後者)同様に、バッキング材1の短
軸方向を凹面とした表面上に、これに倣った曲面の圧電
素子2及び音響整合層4を積層して、長軸方向に配列さ
れる。そして、この実施例では、音響整合層4の凹面と
なる表面内に生体より小さな音速の充填材8を埋設して
平坦面にする。例えば、音響レンズ5と同質のシリンコ
ン系樹脂を凹面内に塗布して硬化させ、表面を平坦にし
た(所謂コーティング)構成とする。
【0012】このようなものでは、前述したように、圧
電素子2からの超音波は、その曲率に応じた凹面内の中
心部に放射されて収束するので、音響レンズを不要に
し、短軸方向での分解能を高めることができる。
電素子2からの超音波は、その曲率に応じた凹面内の中
心部に放射されて収束するので、音響レンズを不要に
し、短軸方向での分解能を高めることができる。
【0013】そして、この実施例では、凹面内に充填材
8を埋設して平坦面としたので、生体との接触を良好に
する。また、充填材8は音響整合層4の凹面内に、接着
剤を使用することなく、コーティングにより形成したの
で、両者間に気泡等を生じにくい。したがって、超音波
の伝搬経路内に間隙を生じにくい、超音波の送受波を良
好にする。このことから、画像不良を防止できる。
8を埋設して平坦面としたので、生体との接触を良好に
する。また、充填材8は音響整合層4の凹面内に、接着
剤を使用することなく、コーティングにより形成したの
で、両者間に気泡等を生じにくい。したがって、超音波
の伝搬経路内に間隙を生じにくい、超音波の送受波を良
好にする。このことから、画像不良を防止できる。
【0014】また、圧電素子2は、音響レンズに対し
て、1/2以下程度の曲率で同等の焦点距離を得られる
ので、凹面の曲率が小さくなる。したがって、凹面内に
おける充填材8の厚みは小さくできる。厚みが例えば1
mm程度の音響レンズを必要とした場合には、深さ(最
大部)を0.3〜0.5mm程度とすることにより同等
の焦点距離を得られる。このことから、充填材8とし
て、音響レンズ5と同じシリコン系樹脂を用いても、超
音波の減衰を大幅に軽減できる。したがって、感度を良
好にする。そして、比帯域幅も向上する。
て、1/2以下程度の曲率で同等の焦点距離を得られる
ので、凹面の曲率が小さくなる。したがって、凹面内に
おける充填材8の厚みは小さくできる。厚みが例えば1
mm程度の音響レンズを必要とした場合には、深さ(最
大部)を0.3〜0.5mm程度とすることにより同等
の焦点距離を得られる。このことから、充填材8とし
て、音響レンズ5と同じシリコン系樹脂を用いても、超
音波の減衰を大幅に軽減できる。したがって、感度を良
好にする。そして、比帯域幅も向上する。
【0015】なお、充填材8は、中央部の厚みが大き
く、音響レンズとしても機能するので、圧電素子2の曲
率で決定される焦点距離をさらに小さくできる。したが
って、圧電素子2の曲率をさらに小さくでき、音響整合
層等の取付が容易になる。
く、音響レンズとしても機能するので、圧電素子2の曲
率で決定される焦点距離をさらに小さくできる。したが
って、圧電素子2の曲率をさらに小さくでき、音響整合
層等の取付が容易になる。
【0016】
【他の事項】上記実施例では、単に配列型探触子として
説明したが、長軸方向の中央部を凸状した曲面状の所謂
コンベックス型(第2図)あるいは中央部を凹状とした
(コーンケープ型(未図示)の探触子にも適用できる。
また、第1図等では、充填材8を両側面にまで塗布して
コーテングしたが、第3図に示したように、凹面内のみ
に埋設してその厚みを最小限に抑えてもよいことは勿論
である。要は、音響レンズ5に替え、圧電素子2を凹面
状としてその表面内に充填材8を埋設して平坦面とし、
生体との接触を良好にして超音波の減衰を抑圧するよう
にしたものは本発明の技術的範囲に属し、その趣旨を逸
脱しない範囲内で適宜変更できるものである。
説明したが、長軸方向の中央部を凸状した曲面状の所謂
コンベックス型(第2図)あるいは中央部を凹状とした
(コーンケープ型(未図示)の探触子にも適用できる。
また、第1図等では、充填材8を両側面にまで塗布して
コーテングしたが、第3図に示したように、凹面内のみ
に埋設してその厚みを最小限に抑えてもよいことは勿論
である。要は、音響レンズ5に替え、圧電素子2を凹面
状としてその表面内に充填材8を埋設して平坦面とし、
生体との接触を良好にして超音波の減衰を抑圧するよう
にしたものは本発明の技術的範囲に属し、その趣旨を逸
脱しない範囲内で適宜変更できるものである。
【0017】
【発明の効果】本発明は、圧電素子の短軸長方向を凹面
としてその表面に均一な厚みの音響整合層を形成し、そ
の表面内に生体より小さな音速の充填剤を埋設して平坦
面としたので、短軸方向での分解能を高め、感度及び画
像を良好にする配列型探触子を提供できる。
としてその表面に均一な厚みの音響整合層を形成し、そ
の表面内に生体より小さな音速の充填剤を埋設して平坦
面としたので、短軸方向での分解能を高め、感度及び画
像を良好にする配列型探触子を提供できる。
【図1】本発明の一実施例を説明する配列型探触子の側
断面図である。
断面図である。
【図2】本発明の他の実施例を説明するコンベックス型
とした配列型探触子の断面斜視図である。
とした配列型探触子の断面斜視図である。
【図3】本発明のさらに他の実施例を説明する配列型探
触子の側断面図である。
触子の側断面図である。
【図4】従来例を説明する図で、同図(a)は配列型探
触子の正断面図、同図(b)は側断面図である。
触子の正断面図、同図(b)は側断面図である。
【図5】他の従来例を説明する配列型探触子の側断面図
である。
である。
1 バッキング材、2 圧電素子、3 電極、4 音響
整合層、5 音響レンズ、6 音響結合防止材、7 保
護膜、8 充填材.
整合層、5 音響レンズ、6 音響結合防止材、7 保
護膜、8 充填材.
Claims (1)
- 【請求項1】 短冊状とした圧電素子をその幅方向に複
数個並べてなる配列型の超音波探触子において、前記圧
電素子の長さ方向を凹面として該凹面の表面に均一な厚
みの音響整合層を形成し、前記音響整合層の表面内に生
体より小さな音速の充填剤を埋設して平坦面にしたこと
を特徴とする配列型の超音波探触子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7107925A JPH08275944A (ja) | 1995-04-07 | 1995-04-07 | 配列型の超音波探触子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7107925A JPH08275944A (ja) | 1995-04-07 | 1995-04-07 | 配列型の超音波探触子 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08275944A true JPH08275944A (ja) | 1996-10-22 |
Family
ID=14471533
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7107925A Pending JPH08275944A (ja) | 1995-04-07 | 1995-04-07 | 配列型の超音波探触子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH08275944A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1999013327A1 (fr) * | 1997-09-08 | 1999-03-18 | Osaka Gas Co., Ltd. | Sonde de focalisation ultrasonique a ondes longitudinales destinee a l'inspection d'une matiere polymere, et systeme d'evaluation de defauts |
JP2001029319A (ja) * | 1999-05-18 | 2001-02-06 | Seiko Instruments Inc | 圧電トランスデューサ、圧電トランスデューサの製造方法、及び圧電トランスデューサを用いた脈波検出装置 |
WO2004064643A1 (ja) * | 2003-01-23 | 2004-08-05 | Hitachi Medical Corporation | 超音波深触子及び超音波診断装置 |
JP2012060634A (ja) * | 2010-09-06 | 2012-03-22 | Samsung Medison Co Ltd | 超音波診断装置用プローブ |
JP2017023184A (ja) * | 2015-07-16 | 2017-02-02 | ヤーマン株式会社 | 皮膚用クレンジング具及び音波美容器 |
-
1995
- 1995-04-07 JP JP7107925A patent/JPH08275944A/ja active Pending
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1999013327A1 (fr) * | 1997-09-08 | 1999-03-18 | Osaka Gas Co., Ltd. | Sonde de focalisation ultrasonique a ondes longitudinales destinee a l'inspection d'une matiere polymere, et systeme d'evaluation de defauts |
JP2001029319A (ja) * | 1999-05-18 | 2001-02-06 | Seiko Instruments Inc | 圧電トランスデューサ、圧電トランスデューサの製造方法、及び圧電トランスデューサを用いた脈波検出装置 |
WO2004064643A1 (ja) * | 2003-01-23 | 2004-08-05 | Hitachi Medical Corporation | 超音波深触子及び超音波診断装置 |
CN100450444C (zh) * | 2003-01-23 | 2009-01-14 | 株式会社日立医药 | 超声波探头与超声波诊断设备 |
US7678054B2 (en) | 2003-01-23 | 2010-03-16 | Hitachi Medical Corporation | Ultrasonic probe and ultrasonic diagnosing device |
JP2012060634A (ja) * | 2010-09-06 | 2012-03-22 | Samsung Medison Co Ltd | 超音波診断装置用プローブ |
JP2017023184A (ja) * | 2015-07-16 | 2017-02-02 | ヤーマン株式会社 | 皮膚用クレンジング具及び音波美容器 |
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