JPS61169099A - 超音波送受波器 - Google Patents
超音波送受波器Info
- Publication number
- JPS61169099A JPS61169099A JP1015685A JP1015685A JPS61169099A JP S61169099 A JPS61169099 A JP S61169099A JP 1015685 A JP1015685 A JP 1015685A JP 1015685 A JP1015685 A JP 1015685A JP S61169099 A JPS61169099 A JP S61169099A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ultrasonic transducer
- acoustic matching
- acoustic
- matching layer
- ultrasonic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G10—MUSICAL INSTRUMENTS; ACOUSTICS
- G10K—SOUND-PRODUCING DEVICES; METHODS OR DEVICES FOR PROTECTING AGAINST, OR FOR DAMPING, NOISE OR OTHER ACOUSTIC WAVES IN GENERAL; ACOUSTICS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G10K11/00—Methods or devices for transmitting, conducting or directing sound in general; Methods or devices for protecting against, or for damping, noise or other acoustic waves in general
- G10K11/02—Mechanical acoustic impedances; Impedance matching, e.g. by horns; Acoustic resonators
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は空気中で超音波の送受を行なう超音波送受波器
に関するものである。
に関するものである。
従来の技術
最近、超音波送受波器は、距離計測又は位置計測用セン
サあるいは表面形状検査用センサ等の分野で盛んに利用
されるようになってきた。この超音波送受波器は例えば
、ＵＬＴＲム５ＯＮＩＣ５（ＶＯＬ、１６．Ｓ］ＣＰＴ
ＫＭＢＫＲ，１９７Ｂ。
サあるいは表面形状検査用センサ等の分野で盛んに利用
されるようになってきた。この超音波送受波器は例えば
、ＵＬＴＲム５ＯＮＩＣ５（ＶＯＬ、１６．Ｓ］ＣＰＴ
ＫＭＢＫＲ，１９７Ｂ。
Ｐ１９γ）や本出願人による特願昭５８−４４９４７号
明細書に記載されているようにシリコーン樹脂やエポキ
シ樹脂等の高分子樹脂を母材として、その中にガラス、
炭素又はプラスチック等を球殻とする微小中空球を混合
した複合材料から成る薄層を音響整合層として有する構
成が知られている。
明細書に記載されているようにシリコーン樹脂やエポキ
シ樹脂等の高分子樹脂を母材として、その中にガラス、
炭素又はプラスチック等を球殻とする微小中空球を混合
した複合材料から成る薄層を音響整合層として有する構
成が知られている。
以下第４図をツ照して従来の超音波送受波器について説
明する。第４図において、１は厚み微動を行なう圧電振
動子、２はシリコーン樹脂、エポキシ樹脂等の高分子樹
脂母材６の中に、フィラーとしてガラス、炭素又はプラ
スチック等を球殻材料として気体を内包した平杓粒径数
１０μｍ程度の微小中空球３を混合した複合材料であり
、圧電振動子１の超音波放射面４に接着されている。６
は圧電振動子１の第２の面に接着されたバッキング材で
ある。
明する。第４図において、１は厚み微動を行なう圧電振
動子、２はシリコーン樹脂、エポキシ樹脂等の高分子樹
脂母材６の中に、フィラーとしてガラス、炭素又はプラ
スチック等を球殻材料として気体を内包した平杓粒径数
１０μｍ程度の微小中空球３を混合した複合材料であり
、圧電振動子１の超音波放射面４に接着されている。６
は圧電振動子１の第２の面に接着されたバッキング材で
ある。
以上のような構成において次に、その動作について説明
する。上記超音波送受波器を空気中で用いて超音波の送
受波を行なう場合、圧電振動子１と音響負荷として作用
する空気との間の音響インピーダンス整合を取るために
上記複合材料２が音響整合層として作用し、圧電振動子
単体で用いる場合に対し、送受波感度の向上をはかるこ
とができる。
する。上記超音波送受波器を空気中で用いて超音波の送
受波を行なう場合、圧電振動子１と音響負荷として作用
する空気との間の音響インピーダンス整合を取るために
上記複合材料２が音響整合層として作用し、圧電振動子
単体で用いる場合に対し、送受波感度の向上をはかるこ
とができる。
発明が解決しようとする問題点
しかし以上のような構成では第１に音響整合層を形成す
る複合材料２の母材である高分子樹脂母材６として密度
１０００〜１３００に２７ｍ５のシリコーン樹ｆｒｆＩ
あるいはエポキシ樹脂等を用いており、母材５自体の密
度が比較的大きいために、上記複合材料２の密度を小さ
くすることができなかった。また、フィラーとして母材
６に混合する微小中空球３の密度は、従来用いていた粒
径の比較的小さいものでは１００〜ｅｏｏＫｙ／ｍ’
程度の値であり、空気の常温における密度１．２ＫＰ
／ｍ５と比較して極めて大きいため、これらをフィラー
として用いた複合材料２の密度を小さくすることは困難
であった。更に、母材５に上記微小中空球３ｔ−混合す
る場合、平均粒径が数１０μｍの大きさを有するため、
混合体積比率を十分に大きくできず、従って複合材料２
の密度を小さくすることは困難であった。
る複合材料２の母材である高分子樹脂母材６として密度
１０００〜１３００に２７ｍ５のシリコーン樹ｆｒｆＩ
あるいはエポキシ樹脂等を用いており、母材５自体の密
度が比較的大きいために、上記複合材料２の密度を小さ
くすることができなかった。また、フィラーとして母材
６に混合する微小中空球３の密度は、従来用いていた粒
径の比較的小さいものでは１００〜ｅｏｏＫｙ／ｍ’
程度の値であり、空気の常温における密度１．２ＫＰ
／ｍ５と比較して極めて大きいため、これらをフィラー
として用いた複合材料２の密度を小さくすることは困難
であった。更に、母材５に上記微小中空球３ｔ−混合す
る場合、平均粒径が数１０μｍの大きさを有するため、
混合体積比率を十分に大きくできず、従って複合材料２
の密度を小さくすることは困難であった。
以上のように母材６の密度、微小中空球３の密度および
粒径の大きさのため、音響整合層として用いる複合材料
２の密度を小さくすることは困難であった。
粒径の大きさのため、音響整合層として用いる複合材料
２の密度を小さくすることは困難であった。
第２に微小中空球３０粒径は、上記複合材料２から成る
音響整合層管厚さ方向に伝播する超音波の波長に比べて
十分小さくないために微小中空球３によって超音波が散
乱され、音響整合層内の超音波減衰は大きいものくなる
。
音響整合層管厚さ方向に伝播する超音波の波長に比べて
十分小さくないために微小中空球３によって超音波が散
乱され、音響整合層内の超音波減衰は大きいものくなる
。
以上説明したように音響整合層として用いる複合材料２
の密度および超音波減衰を小さくすることができないた
め超音波送受波器の送受波感度が低いという問題点を有
していた。
の密度および超音波減衰を小さくすることができないた
め超音波送受波器の送受波感度が低いという問題点を有
していた。
従来の具体的な実施例として密度１５ ｏＫｙ／ｍ”平
均粒径的５ｏμｍの熱膨張性微小中空球３を密度１００
０Ｋｐ／ｍ’のシリコーン樹脂に重量比率０．１の割合
で混合した複合材料２の密度は約６４０に、７ ｍＢ、
音速は４８０１ａ ／ １１ ｐ超音波減衰は１Ｍ田に
おいて約１０ｄＢ／ｆｆであつた。
均粒径的５ｏμｍの熱膨張性微小中空球３を密度１００
０Ｋｐ／ｍ’のシリコーン樹脂に重量比率０．１の割合
で混合した複合材料２の密度は約６４０に、７ ｍＢ、
音速は４８０１ａ ／ １１ ｐ超音波減衰は１Ｍ田に
おいて約１０ｄＢ／ｆｆであつた。
本発明は従来技術の以上のような問題を解決するもので
、密度および超音波減衰が小さい音響整合層材料を実現
して空中用超音波送受波器の送受波感度を向上すること
を目的とするものである。
、密度および超音波減衰が小さい音響整合層材料を実現
して空中用超音波送受波器の送受波感度を向上すること
を目的とするものである。
問題点を解決するための手段
本発明は圧電振動子の超音波放射面に気孔を含む高分子
膜を接着して音響整合層とすることにより上記目的を達
成するものである。
膜を接着して音響整合層とすることにより上記目的を達
成するものである。
作用
本発明は王妃構成によシ密度が小さくかつ超音波減衰の
少ない音響整合層を実現することにより圧電振動子と音
響負荷として作用する空気との間の音響インピーダンス
整合を効率よく行ない、空中で用いる超音波送受波器の
送受波感度を向上するようにしたものである。
少ない音響整合層を実現することにより圧電振動子と音
響負荷として作用する空気との間の音響インピーダンス
整合を効率よく行ない、空中で用いる超音波送受波器の
送受波感度を向上するようにしたものである。
実施例
以下、図面を参照しながら本発明の第１の実施例につい
て説明する。
て説明する。
第１図は本発明の第１の実施例における超音波送受波オ
にの断面図である。１０は厚み振動を行なう円板型圧電
振動子、１２は超音波放射面１１に接着され音響整合層
として作用する高分子多孔膜、１３は高分子多孔膜１２
に内包される気孔、１４は圧電振動子１Ｑの第２の面に
接着されるバッキング材である。
にの断面図である。１０は厚み振動を行なう円板型圧電
振動子、１２は超音波放射面１１に接着され音響整合層
として作用する高分子多孔膜、１３は高分子多孔膜１２
に内包される気孔、１４は圧電振動子１Ｑの第２の面に
接着されるバッキング材である。
高分子多孔膜１２は高分子樹脂の中でも密度の小さいポ
リエチレン、ポリプロピレン等のオレフィン系炭化水素
を相分離法諮出法によって多孔化したもので、膜厚は高
分子多孔膜１２を厚さ方向に伝播する超音波の波長の約
にである。本実施例製 において用いた高分子多孔膜１２は、旭化成ｌポリオレ
フィン多孔膜「ハイボア２０００Ｊであり、この密度Ｐ
、音速マの実測値は各々約ρ＝３００ＫＰ ／ ｍ’
？ ＝＝ ６００１１７８程度であり、従って音響イ
ンピーダンスＺａ ｂ−＊ １．８ Ｘ １０５Ｎ、Ｓ
／ｍ！′となる。「ハイボア２０００Ｊに内包される気
孔の空孔率は、７０％であり、気孔の平均孔径は０．１
６μｍであシ空孔率は高く、気孔の直径は極めて小さい
。
リエチレン、ポリプロピレン等のオレフィン系炭化水素
を相分離法諮出法によって多孔化したもので、膜厚は高
分子多孔膜１２を厚さ方向に伝播する超音波の波長の約
にである。本実施例製 において用いた高分子多孔膜１２は、旭化成ｌポリオレ
フィン多孔膜「ハイボア２０００Ｊであり、この密度Ｐ
、音速マの実測値は各々約ρ＝３００ＫＰ ／ ｍ’
？ ＝＝ ６００１１７８程度であり、従って音響イ
ンピーダンスＺａ ｂ−＊ １．８ Ｘ １０５Ｎ、Ｓ
／ｍ！′となる。「ハイボア２０００Ｊに内包される気
孔の空孔率は、７０％であり、気孔の平均孔径は０．１
６μｍであシ空孔率は高く、気孔の直径は極めて小さい
。
ＩＭＨ，において上記高分子多孔膜１２を用いる場合、
膜内を伝播する超音波の波長λ−０，６ｆｆに対して気
孔１３の直径は九より十分に小さく、従って気孔１３に
よって超音波が散乱等を受けて、生じる超音波減衰は小
さい。実測値は１ＭＨｚにおいて約３ｄＢ／ｍである。
膜内を伝播する超音波の波長λ−０，６ｆｆに対して気
孔１３の直径は九より十分に小さく、従って気孔１３に
よって超音波が散乱等を受けて、生じる超音波減衰は小
さい。実測値は１ＭＨｚにおいて約３ｄＢ／ｍである。
高分子多孔膜１２は音響整合層として圧電振動子１０と
、超音波送受波器の音響負荷になる空気との間の音響イ
ンピータ。
、超音波送受波器の音響負荷になる空気との間の音響イ
ンピータ。
ンス整合を取り超音波送受波器の送受波感度を向上する
作用を有する。ここで圧電振動子１ｏの音響インピーｐ
−：ｙｘＺ、は約３ Ｘ １０’ Ｎ、Ｓ ／ｍｓ 。
作用を有する。ここで圧電振動子１ｏの音響インピーｐ
−：ｙｘＺ、は約３ Ｘ １０’ Ｎ、Ｓ ／ｍｓ 。
空気の音響インピーダ７ｘＺ、は約４０ＯＮ、Ｓ／ｍ’
である。従って圧電振動子１ｏと空気との音響インピー
ダンス整合を取るための音響整合層の音響インピーダン
スＺＩＩＯは一層整合構造の場合Ｚ！ＩＩ（＋＝Ｊ酊］
ｑ＝ １．１ｘ １０５Ｎ、５７ｍ５程［＋７）大きさ
であることが望ましいが、本実施例における高分子多孔
膜１２の音響インピーダンス２．の実測値は約１．８
Ｘ １０５Ｎ、Ｓ ／ ｍ’であり、２ｍ０ニカナリ近
い値を有している。また上記ポリオレフィン多孔膜「ハ
イボア２０００Ｊと同等の性能を有するポリオレフィン
多孔膜として覆水化学工業■製「セルボア」を用いるこ
とも可能である。
である。従って圧電振動子１ｏと空気との音響インピー
ダンス整合を取るための音響整合層の音響インピーダン
スＺＩＩＯは一層整合構造の場合Ｚ！ＩＩ（＋＝Ｊ酊］
ｑ＝ １．１ｘ １０５Ｎ、５７ｍ５程［＋７）大きさ
であることが望ましいが、本実施例における高分子多孔
膜１２の音響インピーダンス２．の実測値は約１．８
Ｘ １０５Ｎ、Ｓ ／ ｍ’であり、２ｍ０ニカナリ近
い値を有している。また上記ポリオレフィン多孔膜「ハ
イボア２０００Ｊと同等の性能を有するポリオレフィン
多孔膜として覆水化学工業■製「セルボア」を用いるこ
とも可能である。
以上の実施例から明らかなように本実施例によれば高分
子材料として密度の小さいポリオレフィン樹脂を用い、
相分離法に又は溶出法によりて多孔化された高分子多孔
膜を用いて密度が極めて小さく、従って音響インピーダ
ンスが小さく、また超音波減衰率の小さい音響整合層を
得ることかで°きた。従りて本実施例の音響整合層を圧
電振動子の超音波放射面に接着することによって高感度
の超音波送受波器を実現することができた。第２図に本
実施例における音響整合層を用いた場合と、従来例の高
分子材料を母材として微小中空球を混合した複合材料か
ら成る音響整合層を用いて一層整合構造としたときの送
受波感度の計算を行なった結果を示す。曲線２０．２１
はおのおの本実施例における音響整合層を用いた場合、
従来の複合材料から成る音響整合層を用いた場合である
。これらの結果から分るように本実施例は従来例に比べ
て送受波感度のピーク値は約６（ｉＢ内向上ていること
が分る。
子材料として密度の小さいポリオレフィン樹脂を用い、
相分離法に又は溶出法によりて多孔化された高分子多孔
膜を用いて密度が極めて小さく、従って音響インピーダ
ンスが小さく、また超音波減衰率の小さい音響整合層を
得ることかで°きた。従りて本実施例の音響整合層を圧
電振動子の超音波放射面に接着することによって高感度
の超音波送受波器を実現することができた。第２図に本
実施例における音響整合層を用いた場合と、従来例の高
分子材料を母材として微小中空球を混合した複合材料か
ら成る音響整合層を用いて一層整合構造としたときの送
受波感度の計算を行なった結果を示す。曲線２０．２１
はおのおの本実施例における音響整合層を用いた場合、
従来の複合材料から成る音響整合層を用いた場合である
。これらの結果から分るように本実施例は従来例に比べ
て送受波感度のピーク値は約６（ｉＢ内向上ていること
が分る。
第３図は本発明の第２の実施例における超音波送受波器
の断面図である。１６は厚み振動を行なう凹面型圧電、
振動子、１１〜１４は第１の実施例と同様である。本実
施例における凹面型圧電振動子のように超音波放射面１
１が曲面である場合、２層以上の多層構造を有する音響
整合層を超音波放射面上に形成することは製造上困難で
あるが、本実施例に示すように高分子多孔膜１２を一層
の音響整合層として超音波放射面１１上に形成すること
は容易である。一層整合構造の場合は、一般に２層以上
の多層整合構造に比較して超音波送受波器のパルス応答
特性は不十分であるが良好なパルス応答特性を必要とし
ない場合は整合層構造の簡単な一層整合構造超音波送受
波器を用いた方が製造が容易であるという特徴を有して
いる。
の断面図である。１６は厚み振動を行なう凹面型圧電、
振動子、１１〜１４は第１の実施例と同様である。本実
施例における凹面型圧電振動子のように超音波放射面１
１が曲面である場合、２層以上の多層構造を有する音響
整合層を超音波放射面上に形成することは製造上困難で
あるが、本実施例に示すように高分子多孔膜１２を一層
の音響整合層として超音波放射面１１上に形成すること
は容易である。一層整合構造の場合は、一般に２層以上
の多層整合構造に比較して超音波送受波器のパルス応答
特性は不十分であるが良好なパルス応答特性を必要とし
ない場合は整合層構造の簡単な一層整合構造超音波送受
波器を用いた方が製造が容易であるという特徴を有して
いる。
また第１．第２の実施例において高分子多孔膜１２を圧
電振動子１０又は１６の超音波放射面１１に接着したと
き高分子多孔膜１２は一般に連続気泡であるために親水
性が良好であり、従って接着剤が高分子多孔膜１２内に
浸入し、高分子多孔膜１２の密度が大きくなり、その結
果、音響インピーダンスが増大し、送受波感度が低下す
ることがあるが、高分子多孔膜１２に防水処理を施した
非親水性の高分子多孔膜を用いることにより、接着剤の
浸入を防ぐことが可能になる。また湿度等の使用条件に
対しても信頼性を高めることができる。
電振動子１０又は１６の超音波放射面１１に接着したと
き高分子多孔膜１２は一般に連続気泡であるために親水
性が良好であり、従って接着剤が高分子多孔膜１２内に
浸入し、高分子多孔膜１２の密度が大きくなり、その結
果、音響インピーダンスが増大し、送受波感度が低下す
ることがあるが、高分子多孔膜１２に防水処理を施した
非親水性の高分子多孔膜を用いることにより、接着剤の
浸入を防ぐことが可能になる。また湿度等の使用条件に
対しても信頼性を高めることができる。
また以上の実施例において気孔１３は従来例のようにガ
ラス、炭素、プラスチック等の球殻を有していないので
高分子多孔膜１２は従来の複合材料より密度を小さくで
きることは明らかである。
ラス、炭素、プラスチック等の球殻を有していないので
高分子多孔膜１２は従来の複合材料より密度を小さくで
きることは明らかである。
なお以上の発明ではオレフィン系炭化水素を素材として
相分離法又は溶出法によって多孔化した高分子多孔膜を
用いたがポリスチレン、ポリウレタン等の高分子材料を
素材とした高分子発泡体を音響整合層としてもよい。ま
た圧電振動子は厚み振動以外の他の振動モードを使用し
てもよいことは明らかである。さらに音響整合層が２層
以上の多層構造を有する場合にも本発明の高分子多孔膜
をその内の１つの音響整合層として用いることができる
。
相分離法又は溶出法によって多孔化した高分子多孔膜を
用いたがポリスチレン、ポリウレタン等の高分子材料を
素材とした高分子発泡体を音響整合層としてもよい。ま
た圧電振動子は厚み振動以外の他の振動モードを使用し
てもよいことは明らかである。さらに音響整合層が２層
以上の多層構造を有する場合にも本発明の高分子多孔膜
をその内の１つの音響整合層として用いることができる
。
発明の効果
以上要するに本発明は波長に比べて十分に小さい気孔を
内包する、はぼに波長の厚さの高分子膜を音響整合層と
して圧電振動子の超音波放射面に接着することによって
、従来の微小中空球を高分子材料に混合した複合材料を
音響整合層として用いた超音波送受波器に比べて高感度
の超音波送受波器を実現することができ、その効果は大
きい。
内包する、はぼに波長の厚さの高分子膜を音響整合層と
して圧電振動子の超音波放射面に接着することによって
、従来の微小中空球を高分子材料に混合した複合材料を
音響整合層として用いた超音波送受波器に比べて高感度
の超音波送受波器を実現することができ、その効果は大
きい。
第１図は本発明の第１の実施例における超音波送受波器
の断面図、第２図は本発明の実施例および従来例におけ
る超音波送受波器の周波数に対する送受波感度の比較図
、第３図は本発明の第２の実施例における超音波送受波
器の断面図、第４図は従来例における超音波送受波器の
断面図である。 １０．１５・・・・・・圧電振動子、１１・・・・・・
超音波放射面、１２・・・・・・多孔性高分子膜、１３
・・・・・・気孔、１４・・・・・・パフキング材。 代理人の氏名 升理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 １３−箋孔 ｆ４−−Ｊ白キンτ杆 ｆ。 ＋Ｉ−ｆｉｔ慣放針曾 第 ３ ｒＩ！Ｊ
ｔｐ−−ＭＰ＋ｕｕＫＴｊ−一気孔 １４−へ１キンγ１下 ＩＪ−ＪＥ（＊Ｔｈ） １、＜
の断面図、第２図は本発明の実施例および従来例におけ
る超音波送受波器の周波数に対する送受波感度の比較図
、第３図は本発明の第２の実施例における超音波送受波
器の断面図、第４図は従来例における超音波送受波器の
断面図である。 １０．１５・・・・・・圧電振動子、１１・・・・・・
超音波放射面、１２・・・・・・多孔性高分子膜、１３
・・・・・・気孔、１４・・・・・・パフキング材。 代理人の氏名 升理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 １３−箋孔 ｆ４−−Ｊ白キンτ杆 ｆ。 ＋Ｉ−ｆｉｔ慣放針曾 第 ３ ｒＩ！Ｊ
ｔｐ−−ＭＰ＋ｕｕＫＴｊ−一気孔 １４−へ１キンγ１下 ＩＪ−ＪＥ（＊Ｔｈ） １、＜
Claims (7)
- （１）圧電振動子の主面上に音響整合層を備え、前記音
響整合層が気孔を含有する高分子膜から成ることを特徴
とする超音波送受波器。 - （２）高分子膜はオレフィン系樹脂であることを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載の超音波送受波器。 - （３）高分子膜は相分離法又は溶出法によって製造した
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の超音波送
受波器。 - （４）圧電振動子は凹面状の主面を有し、音響整合層は
一層であることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
の超音波送受波器、 - （５）高分子膜が非親水性であることを特徴とする特許
請求の範囲第１項記載の超音波送受波器。 - （６）高分子膜が高分子発泡体からなることを特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載の超音波送受波器。 - （７）高分子膜に含まれる気孔の平均孔径が超音波の波
長の１／１０より十分に小さいことを特徴とする特許請
求の範囲第１項記載の超音波送受波器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1015685A JPS61169099A (ja) | 1985-01-22 | 1985-01-22 | 超音波送受波器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1015685A JPS61169099A (ja) | 1985-01-22 | 1985-01-22 | 超音波送受波器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61169099A true JPS61169099A (ja) | 1986-07-30 |
Family
ID=11742412
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1015685A Pending JPS61169099A (ja) | 1985-01-22 | 1985-01-22 | 超音波送受波器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61169099A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007112519A (ja) * | 2007-02-05 | 2007-05-10 | Toyo Seikan Kaisha Ltd | 液充填装置の容器口密封部材殺菌方法及びその装置 |
| JP2008157850A (ja) * | 2006-12-26 | 2008-07-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 超音波振動子とその製造方法と超音波流速流量計 |
| CN108605186A (zh) * | 2016-06-09 | 2018-09-28 | 松下知识产权经营株式会社 | 层叠体、超声波收发器和超声波流量计 |
| DE102018127377A1 (de) * | 2018-11-02 | 2020-05-07 | Adolf Thies Gmbh & Co. Kg | Luftschallwandler, insbesondere Ultraschallwandler, für den Einsatz unter Niederschlags- und Betauungs-Bedingungen |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57113591A (en) * | 1980-12-29 | 1982-07-15 | Matsushita Electric Works Ltd | Dimmer |
| JPS592314B2 (ja) * | 1976-08-12 | 1984-01-18 | 古河電気工業株式会社 | 自己融着性絶縁塗料 |
| JPS6153899A (ja) * | 1984-08-16 | 1986-03-17 | シーメンス、アクチエンゲゼルシヤフト | 超音波変換器 |
-
1985
- 1985-01-22 JP JP1015685A patent/JPS61169099A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS592314B2 (ja) * | 1976-08-12 | 1984-01-18 | 古河電気工業株式会社 | 自己融着性絶縁塗料 |
| JPS57113591A (en) * | 1980-12-29 | 1982-07-15 | Matsushita Electric Works Ltd | Dimmer |
| JPS6153899A (ja) * | 1984-08-16 | 1986-03-17 | シーメンス、アクチエンゲゼルシヤフト | 超音波変換器 |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008157850A (ja) * | 2006-12-26 | 2008-07-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 超音波振動子とその製造方法と超音波流速流量計 |
| JP2007112519A (ja) * | 2007-02-05 | 2007-05-10 | Toyo Seikan Kaisha Ltd | 液充填装置の容器口密封部材殺菌方法及びその装置 |
| CN108605186A (zh) * | 2016-06-09 | 2018-09-28 | 松下知识产权经营株式会社 | 层叠体、超声波收发器和超声波流量计 |
| CN108605186B (zh) * | 2016-06-09 | 2021-03-09 | 松下知识产权经营株式会社 | 层叠体、超声波收发器和超声波流量计 |
| DE102018127377A1 (de) * | 2018-11-02 | 2020-05-07 | Adolf Thies Gmbh & Co. Kg | Luftschallwandler, insbesondere Ultraschallwandler, für den Einsatz unter Niederschlags- und Betauungs-Bedingungen |
| WO2020089172A1 (de) | 2018-11-02 | 2020-05-07 | Adolf Thies Gmbh & Co. Kg | Luftschallwandler, insbesondere ultraschallwandler, für den einsatz unter niederschlags- und betauungs-bedingungen |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0119855B1 (en) | Ultrasonic transducers having improved acoustic impedance matching layers | |
| Grewe et al. | Acoustic properties of particle/polymer composites for ultrasonic transducer backing applications | |
| JPH0257099A (ja) | 複合圧電振動子 | |
| EP1911530B1 (de) | Ultraschallwandler mit akustischer Impedanzanpassung | |
| US2972068A (en) | Uni-directional ultrasonic transducer | |
| US8727071B2 (en) | Sound barrier for audible acoustic frequency management | |
| JP2003125494A (ja) | イメージング・システムの分解能を高める超音波トランスデューサ | |
| JP2002365106A (ja) | 流量測定装置及びクランプオン型超音波流量計 | |
| JPH0239251B2 (ja) | ||
| CN110300631B (zh) | 其中包括声学匹配区域的超声设备 | |
| JPH02177799A (ja) | 整合部材及びその形成方法 | |
| US9402598B2 (en) | Ultrasound probe and ultrasound diagnostic device using same | |
| EP0763233B1 (en) | Impedance-matching composite material for an ultrasonic phased array and a method of making | |
| JPS61169099A (ja) | 超音波送受波器 | |
| JPS61169100A (ja) | 超音波送受波器 | |
| JP3416648B2 (ja) | 音響トランスデューサー | |
| US4779244A (en) | Ultrasonic transducer and attenuating material for use therein | |
| Guo et al. | Design and fabrication of broadband graded ultrasonic transducers with rectangular kerfs | |
| JP2002135895A (ja) | 超音波送受信器 | |
| JPH0510879B2 (ja) | ||
| JPS59158699A (ja) | 超音波探触子 | |
| Nagahara et al. | Airborne Ultrasonic Transducer | |
| JPS59171296A (ja) | 超音波トランスジユ−サ | |
| JPS61278297A (ja) | 超音波探触子 | |
| JPH0546217B2 (ja) |