JPS6116688Y2 - - Google Patents

Info

Publication number
JPS6116688Y2
JPS6116688Y2 JP10921480U JP10921480U JPS6116688Y2 JP S6116688 Y2 JPS6116688 Y2 JP S6116688Y2 JP 10921480 U JP10921480 U JP 10921480U JP 10921480 U JP10921480 U JP 10921480U JP S6116688 Y2 JPS6116688 Y2 JP S6116688Y2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electrode plate
support plate
thickness
semiconductor device
plate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
JP10921480U
Other languages
English (en)
Other versions
JPS5735038U (ja
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP10921480U priority Critical patent/JPS6116688Y2/ja
Publication of JPS5735038U publication Critical patent/JPS5735038U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JPS6116688Y2 publication Critical patent/JPS6116688Y2/ja
Expired legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Die Bonding (AREA)

Description

【考案の詳細な説明】 本考案はシリコンペレツトと電極板との間に熱
膨張差吸収用の金属性の支持板を介在させ、一体
に固着させたフラツトベース型の半導体装置に関
する。
上記支持板を電極板へ固着させる際に鑞付部材
として硬鑞を使用すると鑞付け時の歪による素子
の劣化が生じる為、従来はもつぱら軟鑞が使用さ
れていた。しかし、軟鑞を使用して鑞付けした場
合は、鑞付け時の歪による素子の劣化は皆無であ
るが、信頼性において主に熱疲労試験等では硬鑞
に比べて著しく劣る。従つて大容量の整流素子は
殆んどがスタツド型であり、硬鑞を使用して鑞付
けしている。しかしスタツド型は大きな収納面積
を要し且つリード線が長い為、高周波用としては
不適当である。
本考案は以上の欠点を全て除去する半導体装置
を提供するものである。
第1図は本考案の一実施例を示す。該図におい
てシリコンペレツト1と電極板2との間に熱膨脹
率がシリコンペレツト1の熱膨脹率に近い材質の
支持板3を介在させて固定し、該支持板により上
記シリコンペレツト1と電極板2との熱膨脹差を
吸収させてシリコンペレツト1の歪みや割れを防
止している。上記支持板3は通常タングステン
(W)やモリブデン(Mo)の如き金属を用い、シ
リコンペレツト1とはアルミニウム−シリコン
(Al−Si)4で固定し、電極板2とは硬鑞5で固
定されている。この本考案の特徴とするところは
支持板3と電極板2とが従来のように軟鑞ではな
く硬鑞で固定したことである。硬鑞を使用して鑞
付けした場合、軟鑞とは異なり鑞付け時に異質な
金属の熱膨張係数の違いに起因する歪が発生し遂
にはシリコンペレツト1に亀裂が発生し特性が劣
化する。本考案ではこの特性の劣化を防止する為
に支持板3の厚さを略1mm程度とし、電極板2の
厚さを8mm以上としている。尚支持板3の厚さを
厚くすることにより特性の劣化を防止することも
できるが、支持板の厚さを厚くすることにより熱
抵抗が増大する傾向にあり、又支持板3に使用さ
れるタングステン(W)、モリブデン(Mo)等は
高価であり経済的でないので本考案ではあえてこ
れを採らない。
次に第2図に支持板の厚さを略1mmとし、3
mm,6mm,8mm,10mmの厚さの電極板2に硬鑞を
使用して鑞付けした後、逆方向特性を測定した結
果を示す。
繰返し測定した結果、電極板2の厚さが3mm,
6mmの場合には第2図a,bに示すようになり特
性の劣化が生じるが、8mm,10mmの場合には第2
図cに示すようになり特性の劣化が生じないこと
が確認できた。
電極板2の厚さを8mm以上とすることにより特
性の劣化が生じなり理由は、電極板の厚さが厚く
なることにより曲率半径が大きくなるのでシリコ
ンペレツト1に及ぼす歪が減少され、特性劣化に
至らないものと考えられる。
以上の理由の裏付けとしてストレインゲージ6
を用いて歪を測定した。測定サンプルは第3図に
示す様にカソード電極の上面に接着剤で貼り付け
その出力電圧を測定した結果、電極板5の厚さが
厚くなる程出力電圧は小さな値を示し、歪の小さ
なことが観測された。
以上述べたように本考案はシリコンペレツト1
と平らな電極板2との間に熱膨脹差吸収用の金属
性の支持板3を介在させてなる半導体装置におい
て、上記電極板2の厚さを8mm以上にし、且つ上
記支持板3と電極板2とを硬鑞5を介して固着さ
せたことを特徴とするフラツトベース型の半導体
装置である。このように本考案では平らな電極板
2を支持板3に固着するのに硬鑞5を使用してい
るので大容量の半導体装置にも従来のスタツド型
に代えて平らな電極板を使用することが可能とな
り下記のような大きな効果が得られる。
(1) スタツド型より平らな電極板を使用すると、
収納面積が縮少される。
(2) 平らな電極板とスタツドを比較してもはるか
に平らな電極板の方が安価である。
(3) 支持板(W,Mo等)を厚くすることがない
ので、価格が高くならず経済的である。
(4) リード線を短かくすることがきるので高周波
用としても使用可能となる。
(5) 並列接続が容易にできる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本考案の一実施例を示す図、第2図は
本考案の逆方向特性波形を示す図、第3図は不測
定のサンプルを示す図である。 1……シリコンペレツト、2……電極板、3…
…支持板、4……Al−Si、5……硬鑞、6……ス
トレインゲージ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. シリコンペレツトと外側の面が平坦な電極板と
    の間に熱膨張差吸収用の金属性の支持板と鑞材と
    を介在させてなる半導体装置において、上記電極
    板が8mm以上の厚さを有し、かつ上記支持板と電
    極板とが硬鑞により固着せられたことを特徴とす
    るフラツトベース型の半導体装置。
JP10921480U 1980-08-01 1980-08-01 Expired JPS6116688Y2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10921480U JPS6116688Y2 (ja) 1980-08-01 1980-08-01

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10921480U JPS6116688Y2 (ja) 1980-08-01 1980-08-01

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS5735038U JPS5735038U (ja) 1982-02-24
JPS6116688Y2 true JPS6116688Y2 (ja) 1986-05-22

Family

ID=29470416

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10921480U Expired JPS6116688Y2 (ja) 1980-08-01 1980-08-01

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6116688Y2 (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5964792U (ja) * 1982-10-21 1984-04-28 積水プラントシステム株式会社 蓋を備えた組立式タンク

Also Published As

Publication number Publication date
JPS5735038U (ja) 1982-02-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5060051A (en) Semiconductor device having improved electrode pad structure
JP2007537598A (ja) 超高真空管のための半導体取り付け
JPH0750007B2 (ja) 圧力センサ及び圧力センサの製法
EP3101400B1 (en) Mechanical quantity measuring device and sensor unit
US6794614B2 (en) Ceramic heater with lead wire connection having brazing material containing a predominant amount of copper
WO2007001004A1 (ja) 太陽電池セル
US4319397A (en) Method of producing semiconductor displacement transducer
JPS6116688Y2 (ja)
US3204158A (en) Semiconductor device
US3713068A (en) Bonded assemblies and methods of making the same
JPH01143332A (ja) 半導体装置の電極接合部構造
JP2002504675A (ja) 電気絶縁された歪測定器
JPS6252939A (ja) 半導体装置
JPS63252457A (ja) 半導体整流素子
JPH06685A (ja) 半田材
JPH0715129A (ja) 表面実装型半導体装置の実装構造および実装方法
JPS61284653A (ja) ガスセンサ
JP4875902B2 (ja) 半導体装置
JPH0215320Y2 (ja)
JPS5821424B2 (ja) 半導体材料支持用基板の製造方法
JPH07120736B2 (ja) 半導体整流素子
JP3972488B2 (ja) 半導体圧力センサ
JPS6320117Y2 (ja)
JPH0618243B2 (ja) 整流装置
JPH0653341A (ja) 半導体装置用クラッドキャップ