JPS61153897A - 固体磁気メモリ−素子及びその記録再生方法 - Google Patents

固体磁気メモリ−素子及びその記録再生方法

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JPS61153897A
JPS61153897A JP59277300A JP27730084A JPS61153897A JP S61153897 A JPS61153897 A JP S61153897A JP 59277300 A JP59277300 A JP 59277300A JP 27730084 A JP27730084 A JP 27730084A JP S61153897 A JPS61153897 A JP S61153897A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明はコンピュータの外部記憶装置としてのメモリー
素子に関する。
(従来技術とその問題点) 従来、コンビ、−夕月外部記憶装置は磁気ディスク装置
がその主流をしめている。磁気ディスク装置は回転機構
を有し、そのためにアクセスタイムが大きい欠点があ夕
、又ディスク及びヘッドに対して機械的耐久性の点で問
題があった。
(本発明の目的) 本発明の目的は上述の欠点を除去した固体磁気メモリー
素子及びその記録・再生方法を提供するととくある。
(発明の構成) 本発明は磁気記憶媒体層の一方の主面上に絶縁層を介し
て複数の第2のストライプ状超伝導体が所定の間隔をお
いて形成されており、該第2のストライプ状超伝導体上
及び前記磁気記憶媒体層の主面上に絶縁層を介して、当
該第2のストライプ状超伝導体と所定の角度で交差する
ように複数の第1のストライプ状超伝導体が所定の間隔
をおいて形成されてお夕、tた前記磁気記憶媒体層の他
方の主面上には絶縁層を介して複数のストライプ状磁気
抵抗効果素子が所定の間隔で形成されておタ、当該磁気
記憶媒体層の主面上及び該ストライプ状磁気抵抗効果素
子上に絶縁層を介して複数の第3のストライプ状超伝導
体が所定の間隔で形成された構造を備え、@1と第2の
ストライプ状超伝導体の交差部分と第3のストライプ状
超伝導体とストライプ状磁気抵抗効果素子の交差部分が
前記磁気記憶媒体層を介して対向する位置にあることf
:特徴とする固体磁気メモリー素子と、絶縁層を介して
所定の角度で交差するように形成される第1と第2のス
トライプ状超伝導体に記録電流を流し、該2つの超伝導
体の交点近傍に形成した磁気記録媒体を磁化して情報を
記録し、該磁気記録媒体を介して前記交点く対向する位
置を交点とし絶縁層を介して所定の角度で交差するよう
に形成される第3のストライプ状超伝導体とストライプ
状磁気抵抗効果素子のうち該第3のストライプ状超伝導
体にセンス電流を流し、ストライプ状磁気抵抗効果素子
に磁場を与え、前記情報を該スト2イブ状磁気抵抗効果
素子の抵抗変化として再生することを特徴とする固体磁
気メモリー素子の記録再生方法である。
(構成の詳細な説明) 本発明の素子の基本的構成例を第1図に示した。
この基本構成を用いて固体磁気メそリ一を構成した場合
の記録及び再生系の回路の一例を82図。
第・3図に示し、これを用いてメモリーの構成を説明す
る。
本発明の固体磁気メモリー素子は第1図のようKm気記
記録体層5の一方の主面に絶縁層3を介して交差する第
1のストライプ状超伝導体2と第2のストライプ状超伝
導体lが形成されている。
記録時にはこの2つのストラ、イブ状超隼導体に電流を
流し、これらの交点近傍の磁気記録媒体を磁化する。一
方磁気記録媒体層5の他方の主面には絶縁層12ヲ介し
て交差するストライプ状磁気抵抗効果素子7と第3のス
トライプ状超伝導体8とが形成されている。再生時には
第3のストライプ状超伝導体くセンス電流を流し、前記
磁化情報をストライプ状磁気抵抗効果素子7の抵抗変化
として取り出す。
次に記録時のメモリー回路構成の例を第2図を用いて説
明する。
第1のストライプ状超伝導体2と第2のストライプ状超
伝導体はそれぞれ第1のスイッチ群20.21゜22、
23.24.25及び26.27.28.29と接続し
ている。スイッチ26.27.28.29はそれぞれ電
流源(9)。
31と接続し、かつ第1のY軸アドレスデコーダ19と
接続している。スイッチ20.21.22.23.24
゜5は一方で電流源に接続し、他方でデータ「1」。
「0」 を選択するアンドグー)47.48.49.5
0゜51.52t−介して第1のX軸アドレスデコーダ
と接続している。またアンドゲート47.48.49.
50゜51.52はデータ用フリクプ70ツブ45を介
してCPU及びインターフェース14に接続している。
また第1のX軸アドレスデコーダ材は第1のX軸アドレ
スレジスタ46ヲ介して、又第IのY軸アドレスデコー
ダ19は第1のY軸アドレスレジスタを介してCPU及
びインターフェースに接続している。
次に再生時のメモリー回路構成の例を第3図を用いて説
明する。再生時には前記磁気記憶媒体層5上に形成され
たストライプ状磁気抵抗効果素子7と第3のストライプ
状超伝導体8を用いる。
第3図に示すとおシM3のストライプ状超伝導体8はス
イッチ32.34を介して電流源おに接続している。ス
イッチ32.34は第2のY軸アドレスデコーダ35、
第2のY軸アドレスレジスタ36t−介してCPU及び
インターフェース14に接続している。
−ガスドライブ状磁気抵抗効果素子7はスイッチあ、 
39.40に接続され、該スイッチ38,39.40は
再生回路系43ヲ介してCPU及びインターフェース1
4に接続し、同時に第2のX軸アドレスデコーダ41と
第2のX軸ア、ドレスレジスタ42ヲ介してCPU及び
インターフェース14に縁続している。
前記構成図を用いて、@4図及び第5図によりデータ記
録時の動作を説明する。令弟4−(a)図に示す様な磁
気記憶媒体の上の直交する超伝導体の1つを例にその動
作を示す。磁気記憶媒体の磁気特性(B−Hカーブ)を
第4−(b)図に示す。第4− (a)図において、第
1図のCPU及びインターフェース14からの命令によ
り第1のX軸アドレスレジスタ46、第1のX軸アドレ
スデコーダI、データ用りリップ7gッグ45を設定し
、第1のスイッチ群20.21.22.23.24.2
5と第1のX軸電流源16#17とアンドゲート47.
48.49.50.51.52から1つを選択しON状
態にして、第1 (X軸)のストライプ状超伝導体2に
電流 工x(ノクルス又は直流)を流し、第4〜−)図
のB−Hカーブ上で電流工、Kよる磁場(磁気記憶媒体
のHCより小さい磁場Hz)が磁気記憶媒体上へ印加さ
れる。しかしこの状態では磁気記憶媒体へデータは記録
されない。
次に直交する第2のストライプ状超伝導体IK電流Iy
t−流すと、第4−(切−(i)K示す−に電流工yが
印加され、結果としてHxとH,の合成磁場HtがHc
より大きい磁場となり、それぞれの印加磁場HX及びH
yに対して45 の角度を有して偽る。
ここで第1のストライプ状超伝導体の電流による磁場H
7は第2のストライプ状超伝導体の部分でマイナー効果
によ9曲がるので、第2のストライプ状超伝導体の下側
の部分で元の位置へもどり記録媒体上での磁場は第2の
ストライプ状超伝導体がない場合と同じ様に働らく。前
記合成磁場HtKより磁気記憶媒体5がHtのベクトル
の方向に磁化される。試みに第1やストライイ状超伝≠
η工ロ日の式より、ストライプ状超伝導体の断面形状を
0.5μmの正方形とし、絶縁層3の厚さを0.1μm
、ストライプ状超体導体(流す電流t″200m人及び
3009FIAとして磁気記憶媒体上での磁場を計算す
ると、i=20Cjm人のときHx:8000e% i
=300m人のとjkH1=12000eが得ら些る。
この時の電蝉密度はJ=、8×10〜V賞(i = 2
oomA)及びJ = 1.2X 10”A/cd(i
 −300ffi人)となり、合成磁場Htは1120
0e 及び16800eとなる。控えば文献によればN
bCN超伝導体を用いれば、臨界電流密度Jc=10A
/dが得られるので、高Hc媒体(Hc = 6o o
〜800  )K対して、十分記録が可能である。次に
電流Ix及びI、の電流方向を逆転することによシ第4
図−(c) −(1)に示す様に前記の合成磁場Hiの
逆方向の磁場を得ることが出来る。
この合成磁場Htにより直交する第1及び第2のストラ
イプ状超伝導体の直交点下の磁気記憶媒体5t−逆方向
に磁化する。磁化状態の1方向(1s s’)をデータ
・1鐙に対応させ、逆方向(−45°)を606 K対
応させれば、直交する第1と第2のスト2イブ状超伝導
体(’1.2)の直交点の下の磁気記憶媒体5に情報1
118及び’o″を記録するこ、とが出来る。この様に
して記録された磁化の状態を第5図に示す。
次に磁気記憶媒体5に記録された磁化Mを再生する方法
を説明する。、磁気記憶媒体5の下側の絶縁層6′f:
介して、ストライプ状磁気抵抗効果素子7が、存在し、
さらに該ストライプ状磁気抵抗効果素子7の下側に絶縁
層12を介して、該ストライプ状母気抵抗効果素子7に
直交するN3のストライプ状超伝導体8が存在している
。そこで今該磁気記憶媒体5の磁化Mが第6−(a)図
に示される様にストライプ状磁気抵抗効果素子7に流れ
る電流ベクトルIMIに対して+135°I/cなって
いる。この状態において直交点の磁化Mから発生する磁
場がストライプ状磁気抵抗効果素子7に与える磁場HM
は第6図−の)に示す様に電流ベクトル■MRに対して
一45°角度を有している。ここで、第3のストライプ
状超伝導体8にセンス電流”se (パルス)を流すと
、磁気抵抗効果素子7の直交点に電流ベクトルIMRと
同じ方向KIseによシセンス磁場H3eを生じさせる
と、MRストライプ状の巾方向の反磁場に打ち勝つ程度
のHMとH5Cの合成磁場はHM方向(−45°)よp
電流ベクトルIMIの方向へ近づく。
次に磁気記憶媒体5上の直交点の磁化が第4図−C−(
1)の様に前記磁気記憶媒体の磁化状態と逆に(データ
“0“K対応)Kなりている場合も〆/同様に第3のス
トライプ状超伝導体8にセンス電流1se(パルス)を
流すと直交点において、H2Cの磁場を発生し、■(ν
と)Iseの合成磁場Htの角度は電流ベクトルIMR
K対してHwの+135°よりも小さくなシ(第6図−
(Q)+90°近くKなる様KHseを制御しておく。
ここでストライプ状磁気抵抗効果素子7の印加磁場Hに
よる抵抗Bの変化を第7図−(A)K示す。
第7図−囚において、磁気抵抗効果素子7の電流IMの
方向に対して磁気記憶媒体5の磁化方向は−45又は+
135  のどちらかであるが、第7図−囚のR−Hカ
ーブ上で、θ=−45の(a)点がデータ11@に対応
し、θ=+ 135  の(b)点がデータ“0°に対
応する。抵抗の値自身はθ=+135゜と−45で変化
がない状態となっている。
この様な状態において、第3のストライプ状超伝導体8
にセンス電流l5e(パルス)を流すと、このセン、ス
ミ流I se Kよる誘導磁場H3cが印加されると第
7図−(2)の(a)点は矢印の方向へ変化し、抵抗値
はxseの電流パルスが加わったときだけ増大する。さ
らに第7図−因の(b)点(・0°に対応)K対しては
抵抗値RはISeの電流パルスが加わったときだけ減少
する。従ってこのそれぞれの抵抗変化を電圧に変換する
ためにN7図−勿の様な回路構成により%第7図−(Q
に示す様に、データ”1” K対応したパルス及びデー
ターQ@ K対応したパルスが逆極性で得られる。
この様にしてデータの再生が可能である。
例えばN1eces−の場合、T=4.2Kにおいてへ
P7.、 = 164 foのMR素子(固有抵抗/。
=4.750)が得られている。そこでストライプ巾を
0.5なり、この値R,に対して抵抗変化量ΔR1= 
0.95X0.164= 0.15580となる。
従って該ストライプ状磁気抵抗効果素子7に流す電流i
をi = l mAとしたとき、外生出力eは0.15
58mVとなり、i=2mAとすると再生出力eは0.
3116mVとなるので、十分実用的な値を得ることが
出来る。ここでストライプ状磁気抵抗効果素子70両端
の抵抗及び電圧は48.3 KΩ及び4s、aV(i=
xmA)、96V(i=2mA)となフ実用的値となっ
ている。
この再生出力を再生増幅10I/Cより増幅すれば、θ
;−45°及びθ==+ 135°に対して第7図−(
C)k示す様なパルスが得られる。。
ここでストライプ状超伝導体はNbCNt−、ストライ
プ状磁気抵抗効果素子はNi−Fe、 NiCo 等を
、絶縁層はAノ*Ose S lOt*チッ化シリコン
等を、基板は研摩された8iが適する。又前記固体磁気
メモリーデバイス部はスパッタ法、イオンミリング、X
1lt!(又は光学露光)、研摩等の薄膜形成技術を用
いることができる。
なお%磁気記憶媒体層の馬主面に形成されるストライプ
状パターンは直交するものでなくともよい。またパター
ンの幅はすべて同じでなくともよい。
また当然、超伝導体及び磁気抵抗効果素子が形成された
高気記憶媒体部分と必要な周辺回路部分は超低温の環境
に設置される。
(実施例) 本発明の実施例の固体磁気メモリーデバイス部を第3図
のaK形放した。基板13の上にストライプ巾0.5μ
mの第3のストライプ状超伝導体(NbCN)8をスパ
ッタ法による成膜とイオンミリング法によるパターンエ
ツチングにより形成し、該第3のストライプ状超伝導体
8の上にP3縁層に(SiO宜)をスパッタ法により形
成し、該絶縁層(SiO謔の表面の段差解消をイオンミ
リング法全用込たエッチバック法によ9行ない1表面を
平坦にした後、該絶縁層12(Sing)の上に1前記
ストライプ状超伝導体8に直交するストライプ巾0.5
μmのストライプ状磁気抵抗効果素子7 (Nice)
をスパッタ法による成膜とイオンミリング法によるエツ
チングにより形成し、該ストライプ状磁気抵抗効果素子
の上を含む全面に絶縁層5 (SiOりをスパッタ法に
よ夕形成し、さらに段差解消を行なった後。
該絶縁層6の上に全面に一様に磁気記録媒体5(Co 
Pt)をスパッタ法により形成し、該磁気記憶媒体5の
上に絶縁層(SiO雪)をスパッタ法により形成し該絶
縁層4の上にストライプ巾0.5μmの第2のストライ
プ状超伝導体1 (NbCN)をスパッタ法による成膜
とイオンミリング法によるエツチングによ〕形成し、該
第2のストライプ状超伝導体1を含む全面に絶縁層3f
ニスバツタ法により形成し、咳絶縁層3の上に、第2の
ストライプ状超伝導体と直交する様にストライプ巾0.
5μmの第1のストライプ状超伝導体2 (NbCN)
 t−xパ。
り法による底膜とイオンミリング法による工、テングに
よ夕形成した。この様に形成した超伝導体部分を4.2
に程度(液体ヘリウム)の極低温状態において動作させ
た。
なお、それぞれのストライプ状超伝導体及びストライプ
状磁気抵抗効果素子7のストライプ間距離は0.5μm
とし、厚さくすt−0,5μm(ストライプ状超伝導体
)及び0.05μm(ストライプ状磁気抵抗効果素子)
とし、ストライプの長さく/)f:1インチとして形成
した。
本実施例において1ビツトはlμfnXlfimの大き
さとな夕1重密度としては6.45 X 10−ピット
平方インチが実現された。さらにストライプ@を小さく
すれば、平方インチ当りの容量は増大する。
又前記のビットの大きさ1μmxIpmの場合、2.5
インチ角の基板を用いれば、1枚の基板で約1ギカバイ
) (GB)の容量のメモリーの可能である。
(発明の効果) 以上によシ従来の磁気ディスク装置の回転機構及びディ
スク噛ヘッド系に要求される機械的耐久性等は除去され
、ヵ為っ大容量(5X10”ビット/平方インチ、以上
)の不揮発性固体磁気ファイルメモリーが得られた。
【図面の簡単な説明】
仕磁気記憶媒体が記録された磁化状態を示す図。 第6図(萄、 (鴫、 (QFi再生時の原理を示す図
、第7図ψ)、 (1)、 (e)は本発明の詳細な説
明する図。 1は第2のストライプ状超伝導体、2は第1のストライ
プ状超伝導体、8#i第3のストライプ状超伝導体%3
.4,6,12.13は絶縁層、5は磁気記憶媒体、7
はストライプ状磁気抵抗効果素子。 9は抵抗R%招は再生増幅器、11は基板、14はCP
U及びインターフェース、46は第1のX軸アドレスレ
ジスタ、18はglのy軸アドレスレジスタ、44はj
1!1のX軸アドレスデコーダ、19は第1のy軸アド
レスデコーダ、−45はデータ用7リツプフロツク、 
47.48.49.50.51.52はアンドゲート。 16、1?、 30.31は電流源%頷、 21.22
.23.24゜25、26.27.28.29は第1の
スイッチ群%あけ第2のy軸アドレスレジスタ(再生用
)、42は第2のI軸アドレスレジスタ%35はMzの
y@アドレスデコーダ、41は第2のX軸アドレスデコ
ーダ、招は再生回路系、9は抵抗R,3B、 39.4
0.32゜34は第2さグチ群33は電流源をそれぞれ
示す。 又第2図及び第3図において破線の内側部分は固体磁気
メモリー素子部を示す。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)磁気記憶媒体層の一方の主面上に絶縁層を介して
    複数の第2のストライプ状超伝導体が所定の間隔をおい
    て形成されており、該第2のストライプ状超伝導体上及
    び前記磁気記憶媒体層の主面上に絶縁層を介して、当該
    第2のストライプ状超伝導体と所定の角度で交差するよ
    うに複数の第1のストライプ状超伝導体が所定の間隔を
    おいて形成されており、また前記磁気記憶媒体層の他方
    の主面上には絶縁層を介して複数のストライプ状磁気抵
    抗効果素子が所定の間隔で形成されており、当該磁気記
    憶媒体層の主面上及び該ストライプ状磁気抵抗効果素子
    上に絶縁層を介して複数の第3のストライプ状超伝導体
    が所定の間隔で形成された構造を備え、第1と第2のス
    トライプ状超伝導体の交差部分と第3のストライプ状超
    伝導体とストライプ状磁気抵抗効果素子の交差部分が前
    記磁気記憶媒体層を介して対向する位置に配置されてい
    ることを特徴とする固体磁気メモリー素子。
  2. (2)絶縁層を介して所定の角度で交差するように形成
    された第1と第2のストライプ状超伝導体に記録電流を
    流し、該2つの超伝導体の交点近傍に形成された磁気記
    録媒体を磁化して情報を記録し該磁気記録媒体を介して
    前記交点に対向する位置を交点とし、絶縁層を介して所
    定の角度で交差するように形成された第3のストライプ
    状超伝導体とストライプ状磁気抵抗効果素子のうち該第
    3のストライプ状超伝導体にセンス電流を流し、ストラ
    イプ状磁気抵抗効果素子に磁場を与え、前記情報を該ス
    トライプ状磁気抵抗効果素子の抵抗変化として再生する
    ことを特徴とする固体磁気メモリー素子の記録再生方法
JP59277300A 1984-12-26 1984-12-26 固体磁気メモリ−素子及びその記録再生方法 Expired - Lifetime JPH0664905B2 (ja)

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