JPS61145730A

JPS61145730A - 磁気記録媒体の製造方法

Info

Publication number: JPS61145730A
Application number: JP26934984A
Authority: JP
Inventors: Takeshi Tottori; 猛志鳥取; Hideaki Niimi; 秀明新見
Original assignee: Hitachi Maxell Ltd
Current assignee: Maxell Ltd
Priority date: 1984-12-20
Filing date: 1984-12-20
Publication date: 1986-07-03

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔技術分野および目的〕この発明は強磁性金属薄膜層を記録層とする磁気記録媒
体の製造方法に関し、その目的とするところは磁気特性
が異なる２種以上の前記の磁気記録媒体を同時に製造す
る方法を提供することにある。

〔背景技術〕

強磁性金属薄膜層を記録層とする磁気記録媒体は、通常
、ポリエステルフィルムなどの基板を、真空槽内に取り
つけた円筒状キャンの周側面に沿って移動させ、この基
板に強磁性材を真空蒸着するなどしてつくられており、
磁気特性に優れた前記め磁気記録媒体を製造する場合に
は、円筒状キャンと強磁性材蒸発源との間に防着板を設
けて強磁性材の蒸気流を一部遮断調整し、基板に対して
斜め方向に差し向けることが行われている。

ところが、従来から斜め入射蒸着等を行うために使用さ
れている防着板は、その蒸気流遮断部端面が幅方向に真
っ直ぐで、単一の入射角で斜め入射蒸着が行えるように
構成されているため、幅方向で常に磁気特性の均一な強
磁性金属Ｎ膜層が形成され、次いで、これを所定の幅に
裁断しても同じ磁気特性を有する一種類の磁気記録媒体
が得られるのみで、磁気特性の異なる磁気記録媒体を同
時に得ることはできない。

〔発明の概要〕

この発明はかかる現状に鑑み、磁気特性の異なる磁気記
録媒体を同時に得ることを目的として種々検討をおこな
った結果なされたもので、真空槽内の円筒状キャンと強
磁性材蒸発源との間に配設する防着板として、蒸気流遮
断部端面を蒸気流の遮断位置が幅方向で２　（ＩＩ所以
上異なるように形成した防着板を使用し、強磁性材の蒸
気流を幅方向で異なる２種以上の入射角で差し向けて、
基板上に強磁性金属薄膜層を形成し、次いで、これを所
定の幅に裁断することによって、磁気特性が異なる２種
以上の磁気記録媒体を同時に製造できるようにしたもの
である。

この発明によれば、防着板の蒸気流遮断部端面を蒸気流
の遮断位置が幅方向で２個所以上異なるように形成して
いるため、強磁性材の蒸気流を幅方向で異なる２種以上
の入射角で円筒状キャンの周側面に沿って移動する基板
に差し向けることができ、幅方向で磁気特性の異なる強
磁性金属薄膜層を形成することができる。しかして１、
次いでこれを所定の幅に裁断すれば、磁気特性が異なる
２種以上の磁気記録媒体が同時に得られる。

以下、図面を参照しながらこの発明について説明する。

第１図は真空蒸着装置の概略断面斜視図を示したもので
あり、１は真空槽で、この真空槽１の内部は排気系２に
より排気されて真空に保持される。３は真空槽１の中央
部に配設された円筒状キャンであり、ポリエステルフィ
ルム等の基板４は原反ロール５からガイドロール６を介
してこの円筒状キャン３の周側面に沿って移動し、ガイ
ドロール７を介して巻き取りロール８に巻き取られる。

この間円筒状キャン３の周側面に沿って移動する基板４
に対向して真空槽１の下部に配設された強磁性材蒸発源
９で強磁性材１０が加熱蒸発され、蒸気流が基板４に差
し向けられるが、この蒸気流は、円筒状キャン３の直下
に配設された防着板１１により一部遮断調整され、斜め
入射蒸着が行われる。ここで防着板１１は、その蒸気流
遮断部端面の右半部が幅方向中央部で切欠されて、段部
１２が形成され、蒸気流の遮断位置を右半部と左半部で
異なるように形成されている。従って、強磁性材蒸発源
９で加熱蒸発された蒸気流がこの防着板１１により一部
遮断調整されて、円筒状キャン３の周側面に沿って移動
する基板４に差し向けられると、基板４上の右半部と左
半部とで、それぞれ入射角が異なり、右半部と左半部で
保磁力が異なる強磁性金属薄膜層が形成される。しかし
て、これを所定の幅に裁断すれば保磁力が異なる２種の
磁気記録媒体が同時に得られる。

なお、防着板は第１図に示す防着板１１に限定されず種
々の形状のものが使用され、たとえば、第２図（イ）に
示すように蒸気流遮断部端面が幅方向に２個所切欠され
て段部１３および１４が形成された防着板１５が使用さ
れると、幅方向の保磁力が左右側部と中央部でそれぞれ
異なる強磁性金属薄膜層が形成され、これを所定の幅に
裁断すれば保磁力が異なる３種の磁気記録媒体が同時に
得られる。また、第２図（ロ）に示すように、蒸気流遮
断部端面１６を幅方向斜めに切欠して形成した防着板１
７であってもよく、この場合は幅方向の保磁力が連続的
に異なる強磁性金属薄膜層が形成され、これを所定の幅
に裁断すれば保磁力が異なる多数の磁気記録媒体が同時
に得られる。さらに、第２図（ハ）に示すように、左半
部は所定の入射角が得られるように幅方向に真っ直ぐな
蒸気流遮断部端面１８を有し、右半部は円筒状キャン３
の中央部直下で所定間隔の矩形の長孔１９を有する防着
Ｆｉ２０であってもよ（、この場合は左半部で水平方向
に磁化容易軸を有する強磁性金属薄膜層が形成され、右
半部で垂直方向に磁化容易軸を有する強磁性金属薄膜層
が形成されて、これを所定の幅に裁断すれば、長手方向
磁気記録方式の磁気記録媒体と垂直磁気記録方式の磁気
記録媒体が同時に得られる。この他、防着板の蒸気流遮
断部端面ば曲線上に切欠形成されたものであってもよく
、蒸気流の入射角を幅方向で２ｉＶＡ所以上異なるよう
にし、幅方向の磁気特性が異なる強磁性金属薄膜層を形
成できるものであれば特に限定されない。

このように、蒸気流遮断部端面の形状が異なる防着板を
使用して真空蒸着を行うと、幅方向の磁気特性が種々に
異なる強磁性金属薄膜層が形成され、これを所定の幅に
裁断すれば磁気特性が異なる２種以上の磁気記録媒体が
同時に得られる。従って、この発明の製造方法によれば
、オーディオ用またはビデオ用等、用途の異なる磁気記
録媒体を同時に製造することができる。また、種々の磁
気特性を有する磁気記録媒体を必要に応じて同時に多数
製造することができるため、蒸気流の入射角を種々に変
えた場合の磁気特性の違いを調べる研究用の磁気記録媒
体を試作する場合は特に便利で、磁気特性の比較研究が
行い易い。

基板としては、ポリエステル、ポリイミド、ポリアミド
等一般に使用されている高分子成形物からなるプラスチ
ックフィルムおよび銅などの非磁性金属が使用され、ま
た、強磁性金属薄膜層を形成する強磁性材としては、コ
バルト、ニッケル、鉄などの金属単体の他、これらの合
金あるいは酸化物、およびＣｏ−Ｐ、Ｃｏ−Ｎｉ　−Ｐ
など一般に使用される強磁性材がいずれも使用される。

〔実施例〕

次に、この発明の実施例について説明する。

実施例１第１図に示すような真空蒸着装置を使用し、厚さが１０
μ厚のポリエステルベースフィルム４を、原反ロール５
からガイドロール６を介して円筒状キャン）の周側面に
沿って移動させ、ガイドロール７を介して巻き取りロー
ル８に巻き取るようにセントするとともに、強磁性材蒸
発源９にコパル）１０をセットした。次いで排気系２で
真空槽１内を約５Ｘ１０−５トールにまで真空排気し、
蒸気流遮断部端面を幅方向中央部で切欠して段部１２を
形成した防着板１１により、左半部の蒸気流の入射角を
７０度に調整するとともに、右半部の蒸気流の入射角を
５０度に調整して、強磁性材蒸発源９内のコバル）１０
を加熱蒸発させ、ポリエステルベースフィルム４の走行
速度１０　ｍ　／　ｓｅｃで真空蒸着を行い、ポリエス
テルベースフィルム４上にコバルトからなる強磁性金属
薄膜層を形成した。しかる後、所定の巾に裁断して磁気
テープをつくった。

実施例２実施例１において、防着板１１を第２図（イ）に示す防
着板１５に代え、入射角をそれぞれ右側部で５０度、中
央部で６０度、左側部で７０度に調整した以外は実施例
１と同様にして磁気テープをつくった。

実施例３実施例１において、防着板１１を第２図（ロ）に示す防
着板１７に代え、入射角を５０度から７０度の範囲で連
続的に調整した以外は実施例１と同様にして磁気テープ
をつくった。

実施例４実施例１において、防着板１１を第２図（ハ）に示す防
着板２０に代え、入射角を左半部で５０度に調整し、右
半部で０度にした以外は実施例１と同様にして磁気テー
プをつくった。

比較例１実施例１において、防着板１１を従来の蒸気流遮断部端
面が幅方向で真っ直ぐの防着板に代え、入射角を６０度
に調整した以外は実施例１と同様にして磁気テープをつ
くった。

実施例１〜３および比較例１で得られた、所定の幅に裁
断する前の磁気記録媒体について、幅方向の保磁力を測
定した。第３図（イ）および（ロ）は、その結果得られ
た保磁力とポリエステルベースフィルム（基板）の幅方
向の位置との関係をグラフで表したもので、グラフＡは
実施例１で得られた磁気記録媒体、グラフＢは実施例２
で得られた磁気記録媒体、グラフＣは実施例３で得られ
た磁気記録媒体、グラフＤは比較例１で得られた磁気記
録媒体を示す。

〔発明の効果〕

これらのグラフから明らかなように比較例１で得られた
磁気記録媒体（グラフＤ）はポリエステルベースフィル
ムの幅方向の位置が違っても保磁力は一定であるが、実
施例１で得られた磁気記録媒体（グラフＡ）はポリエス
テルベースフィルムの幅方向位置中央部から右半部と左
半部で保磁力が異なり、また、実施例２で得られた磁気
記録媒体（グラフＢ）はポリエステルベースフィルムの
幅方向左右側部と中央部でそれぞれ保磁力が異なる。さ
らに、実施例３で得られた磁気記録媒体（グラフＣ）は
ポリエステルベースフィルムの幅方向位置で連続的に保
磁力が異なり、これらのことからこの発明の製造方法に
よれば、幅方向の磁気特性が異なる磁気記録媒体が得ら
れ、これを所定の幅に裁断すれば磁気特性の異なる磁気
テープが同時に２種以上得られるのがわかる。また、実
施例４で得られた、所定の幅に裁断する前の磁気記録媒
体は、左半部では水平方向に磁化容易軸を有し、右岸部
では垂直方向に磁化容易軸を有する強磁性金属薄膜層が
形成され、さらにこれを所定の幅に裁断した結果、長手
方向磁気記録方式の磁気テープと垂直磁気記録方式の磁
気テープが得られた。このことから、この発明の製造方
法によれば、磁気特性の異なる磁気記録媒体が同時に得
られるのがわかる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の製造方法を実施するために使用する
真空蒸着装置の１例を示す概略断面斜視図、第２図（イ
）、（ロ）および（ハ）は同真空蒸着装置に使用する防
着板の他の例を示す斜視図、第３図（イ）および（ロ）
はこの発明の製造方法によって得られた磁気記録媒体の
保磁力と基板の幅方向の位置との関係図である。１・・・真空槽、３・・・円筒状キャン、４・・・基板
、９・・・強磁性材蒸発源、１０・・・強磁性材、１１
．１５．１７．２０・・・防着板第３図　（イ）００．５１．０基板の幅方間の位置第３図　（ロ）０　　　　　　　　　　　　　　　　０．５　　　　　
　　　　　　　　１．０基板のｌｏｉう方間の位置

Claims

【特許請求の範囲】

１、真空槽内で、円筒状キャンの周側面に沿って移動す
る基板に、強磁性材蒸発源から強磁性材の蒸気流を防着
板により適宜入射角で差し向けて強磁性金属薄膜層を形
成する磁気記録媒体の製造方法において、蒸気流の入射
角を規制する防着板の蒸気流遮断部端面を蒸気流の遮断
位置が幅方向で２個所以上異なるように形成し、この防
着板により、強磁性材の蒸気流を幅方向で異なる２種以
上の入射角で差し向けて、基板上に幅方向の磁気特性が
異なる強磁性金属薄膜層を形成し、次いで、これを所定
の幅に裁断して磁気特性の異なる２種以上の磁気記録媒
体を同時に製造することを特徴とする磁気記録媒体の製
造方法