JPS61134613A - 傾斜角度変化検出法 - Google Patents
傾斜角度変化検出法Info
- Publication number
- JPS61134613A JPS61134613A JP25650084A JP25650084A JPS61134613A JP S61134613 A JPS61134613 A JP S61134613A JP 25650084 A JP25650084 A JP 25650084A JP 25650084 A JP25650084 A JP 25650084A JP S61134613 A JPS61134613 A JP S61134613A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- boundary surface
- angle
- reflectance
- change
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/26—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
産業上の利用分野・・・・・・・・・・・・・・・この
発明は、反射光の反射率または透過光の透過率を利用し
て境界面傾斜角度の変化を検出する方法に関するものマ
あるＯ 従来の技術・・・・・・・・・・・・・・・ある物体表
面の傾きの変化を光学的に検出するには従来、この表面
に一定の光を照射したとき起る反射の角度変化から求め
る方法を採っている。これを、や＼詳しく第３図１説明
する。入射光（１）が入射角１をなして物体表面つまり
屈折率を異にする２つの媒質の境界面（３）に轟るど反
射角ｔの反射光（２）となる。ここ〒、境界面（３）が
角０傾くと反射光はφだけ変化しその際Ｏとφの間には
一定関係があるの１、φを検出することによってθを求
めようとするものである。
発明は、反射光の反射率または透過光の透過率を利用し
て境界面傾斜角度の変化を検出する方法に関するものマ
あるＯ 従来の技術・・・・・・・・・・・・・・・ある物体表
面の傾きの変化を光学的に検出するには従来、この表面
に一定の光を照射したとき起る反射の角度変化から求め
る方法を採っている。これを、や＼詳しく第３図１説明
する。入射光（１）が入射角１をなして物体表面つまり
屈折率を異にする２つの媒質の境界面（３）に轟るど反
射角ｔの反射光（２）となる。ここ〒、境界面（３）が
角０傾くと反射光はφだけ変化しその際Ｏとφの間には
一定関係があるの１、φを検出することによってθを求
めようとするものである。
しかし、この検出方式において、検出感度や分解能を高
めるだめには光て？−装置を設ける必要があるの１装置
全体が大型かつ複雑化する欠点があった。
めるだめには光て？−装置を設ける必要があるの１装置
全体が大型かつ複雑化する欠点があった。
発明が解決しようとする問題点・・曲曲曲・この発明の
目的は、光のエネルギーのみに関する反射率または透過
率を利用することによって、簡易な装置を用い物体表面
の傾斜角度変化を精密かつ容易に求め得る検出法を提供
するにある。
目的は、光のエネルギーのみに関する反射率または透過
率を利用することによって、簡易な装置を用い物体表面
の傾斜角度変化を精密かつ容易に求め得る検出法を提供
するにある。
問題点を解決するための手段間・・・・・・・・・・・
屈折率の異なる二媒質の境界面に、ある入射角１１光が
投射するとき、入射光のエネルギーの強さに対する反射
光のエネルギーの強さの比すなわち反射率Ｒは１の関数
１あり、１が大きくなればＲは増大することが知られて
いる。
屈折率の異なる二媒質の境界面に、ある入射角１１光が
投射するとき、入射光のエネルギーの強さに対する反射
光のエネルギーの強さの比すなわち反射率Ｒは１の関数
１あり、１が大きくなればＲは増大することが知られて
いる。
ガラス表面（屈折率ｌとＬ５との二媒質の境界面）にお
ける入射角１と反射率Ｒの関係を入射面内フ振動する成
分とこれに垂直な面内フ振動する成分に分けて示すと、
それぞれ第２図のグラフＲｐとＲ８のように成る。入射
角と透過光の透過率についても同様の関係があり、更に
ガラス表面以外の反射系や透過系においても同様の現象
が起ることは公知であり、この関係は波動光学的計算ま
たは実験的に列へば上述の如きグラフとして求めること
が１きる。
ける入射角１と反射率Ｒの関係を入射面内フ振動する成
分とこれに垂直な面内フ振動する成分に分けて示すと、
それぞれ第２図のグラフＲｐとＲ８のように成る。入射
角と透過光の透過率についても同様の関係があり、更に
ガラス表面以外の反射系や透過系においても同様の現象
が起ることは公知であり、この関係は波動光学的計算ま
たは実験的に列へば上述の如きグラフとして求めること
が１きる。
この発明は、上記のような関係を利用する傾斜角度変化
検出法であって、屈折率を異にする二媒質の境界面に斜
めに入射させた光の反射率または透過率を測り、次に該
境界面が傾斜したときの同じ光の反射率または透過率を
測り、これら反射率または透過率に対応する入射角を予
め定めた轟該反射系または透過系における入射角と反射
率または透過率との関係から求め、この反射率または透
過率の変化から上記境界面の傾斜角度変化を導出するこ
とを特徴とする傾斜角度変化検出法なる構成を有するも
の１ある。
検出法であって、屈折率を異にする二媒質の境界面に斜
めに入射させた光の反射率または透過率を測り、次に該
境界面が傾斜したときの同じ光の反射率または透過率を
測り、これら反射率または透過率に対応する入射角を予
め定めた轟該反射系または透過系における入射角と反射
率または透過率との関係から求め、この反射率または透
過率の変化から上記境界面の傾斜角度変化を導出するこ
とを特徴とする傾斜角度変化検出法なる構成を有するも
の１ある。
実施例・・・・・・・・・・・・・・・図面について本
発明を説明すれば次の通り〒ある。
発明を説明すれば次の通り〒ある。
第１図に示すように、ｒ、＋ｌ［ｔＤの如き光源（４）
からコリメート用しン−ｅ（５）を経て好ましくはスリ
ット（６）を通って境界面（３）にある入射角１人射す
る光（１）の光量（縦ってエネルギーの強さ）を、受光
素子たとへば１３ＦＤによって測り、次にこれと同じ〔
少なくとも同一仕様の〕受光素子（７）を用いて該
１反射光（２）の光量を測り、この時の反射率
Ｒ工を求める。つりで、境界面（３）がある角度軸いた
ときの反射光（６を同様に測って反射率Ｒ２を求める。
からコリメート用しン−ｅ（５）を経て好ましくはスリ
ット（６）を通って境界面（３）にある入射角１人射す
る光（１）の光量（縦ってエネルギーの強さ）を、受光
素子たとへば１３ＦＤによって測り、次にこれと同じ〔
少なくとも同一仕様の〕受光素子（７）を用いて該
１反射光（２）の光量を測り、この時の反射率
Ｒ工を求める。つりで、境界面（３）がある角度軸いた
ときの反射光（６を同様に測って反射率Ｒ２を求める。
この反射率は、反射率計によって直接測定すれば便利）
ある。
ある。
この反射系において、かくして求めたＲ１とＲ２に対応
するみ射角は、上述の如く予め定められる反射率と入射
角との関係たとへば第２図のグラフＲ８から図示の１□
および１□として求める。そして、上述の境界面（３）
の傾き即ち傾斜角度変化θは、第１図から明かフあるが
肉入射角の差（１□−１□＝Δ１）に等しい。よって、
第２図を用いて０を肉入射角の変化Δ１として算出する
。透過系においても、同様に扱え、ば良い。
するみ射角は、上述の如く予め定められる反射率と入射
角との関係たとへば第２図のグラフＲ８から図示の１□
および１□として求める。そして、上述の境界面（３）
の傾き即ち傾斜角度変化θは、第１図から明かフあるが
肉入射角の差（１□−１□＝Δ１）に等しい。よって、
第２図を用いて０を肉入射角の変化Δ１として算出する
。透過系においても、同様に扱え、ば良い。
この発明によれば、物体表面の傾斜角度の変化を容易か
つ精度よく手軽に求めることができることは以上の説明
から明かフあり、特にその検出感度を極めて高くなし得
ることが第２図から判る。
つ精度よく手軽に求めることができることは以上の説明
から明かフあり、特にその検出感度を極めて高くなし得
ることが第２図から判る。
また、斜めに入射させることにより、加工面などの粗面
や通常反射率が低い物体においても、検出するのに十分
な光景が得られるといえる。
や通常反射率が低い物体においても、検出するのに十分
な光景が得られるといえる。
従って、工作機械のベッドや定盤表面の平面度や真直度
の測定に利用して便利フあり、この測定・表示を半自動
化または自動化することは容易である故か＼る方式を用
いれば定盤の精密仕上げの加工能率化に役立つ。また、
小型化が要求される、傾斜センナにも応用できる。
の測定に利用して便利フあり、この測定・表示を半自動
化または自動化することは容易である故か＼る方式を用
いれば定盤の精密仕上げの加工能率化に役立つ。また、
小型化が要求される、傾斜センナにも応用できる。
第４図は、反射角変化を利用する従来の傾斜角変化検出
法の原理図、第２図は、本発明の原理と一工程を説明す
るグラフ図、第３図は、同じく検出法の説明図１ある。 （す・・・（入射）光、（２） 、 ＜ｉ＞−・・反射
光、（３）・・・境界面、（４）・・・光源、（７）・
・・受光素子。
法の原理図、第２図は、本発明の原理と一工程を説明す
るグラフ図、第３図は、同じく検出法の説明図１ある。 （す・・・（入射）光、（２） 、 ＜ｉ＞−・・反射
光、（３）・・・境界面、（４）・・・光源、（７）・
・・受光素子。
Claims (1)
- 屈折率を異にする二媒質の境界面に斜めに入射させた光
の反射率または透過率を測り、次に該境界面が傾斜した
ときの同じ光の反射率または透過率を測り、これら反射
率または透過率に対応する入射角を予め定めた当該反射
系または透過系における入射角と反射率または透過率と
の関係から求め、この反射率または透過率の変化から上
記境界面の傾斜角度変化を導出することを特徴とする傾
斜角度変化検出法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25650084A JPS61134613A (ja) | 1984-12-06 | 1984-12-06 | 傾斜角度変化検出法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25650084A JPS61134613A (ja) | 1984-12-06 | 1984-12-06 | 傾斜角度変化検出法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61134613A true JPS61134613A (ja) | 1986-06-21 |
Family
ID=17293493
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25650084A Pending JPS61134613A (ja) | 1984-12-06 | 1984-12-06 | 傾斜角度変化検出法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61134613A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5648508A (en) * | 1979-09-29 | 1981-05-01 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | Measuring device for edge tilting angle |
-
1984
- 1984-12-06 JP JP25650084A patent/JPS61134613A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5648508A (en) * | 1979-09-29 | 1981-05-01 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | Measuring device for edge tilting angle |
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