SU987381A1 - Рефлектометр дл измерени параметров шероховатости сверхгладких поверхностей - Google Patents

Description

в плоскости падени  излучени  под углом -t), отличным от углов в и -Q и нейтральныгли светофильтрами, расположенными перед диaфpar лa И,

На чертеже изображена принципиальна  схема рефлектометра дл  измерени  параметров шероховатости сверхгладких поверхностей.

Рефлектометр содержит источник монохроматического излучени  - ла .зер 1, модул тор, состо щий из жидкокристаллической  чейки 2, пол ризатора 3 и блока 4 питани  модул тора , оптическуюсистему 5, направл ющую параллельный пучок Излучени  под острым углом в на измер емую поверхность 6, приемники 7-9 излучени  с риафратмс1МИ , расположенными в плоскости падени  излучени , соответственно под углом 9 зеркального отражени , под углом ff./ отличным от угла &tf зеркального отражени , и под углом 0, отличным от углов QJ и Q/i , нейтральные светофильтры 13:15 , электронно-измерительный блок обработки сигналов, включающий селективный нановольтметр 16, переключатель 17, блок 18 интерфейсных плат и Г4икропроцессор 19, зеркало 20

Рефлектометр работает следукацим образом.

Пучок монохроматического излучени выход щий из лазера 1, модулируетс  модул тором, представл ющим собой жидкокристаллическую . чейку 2 с пол ризатором 3, и оптической системой 5 направл етс  под острым углом в на измер емую поверхность. Отраженное в трех направлени х излучение, пройд  через нейтральные светофильтры 13-15 попадает на приемники 7-9 излучени  с диафрагмами 10-12, расположенными в плоскости падени  излучени , соответственно под углом & зеркального отражени , под углом в/./ отличным от углар зерксшьного отражени , и под углом 6 , отличным от углов &i и 2, Приемники 7-9 излучени  через переключатель 17 соединены с селективным нановольтметром 16 так, что измер ютс  два отношени  потоков, отраженных под углами &2 и ft, г & w Q.. Селективный; нановольтметр 16 может быть соединен через блок 18 интерфейсных плат с микропроцессором 19,. который служит дл  вычислени  по двум измеренным отнаиени м сигналов параметров шероховатости среднего квадратического отклонени  высот неровностей и интервала коррел ции . Наклонное зеркало служит дл  направлени  пучка лучей от автоколлимационной трубки (не показана) на измер емую поверхность. Это необхо димо при измерении параметров шеро хова.тости крупногабаритных изделий когда рефлектометр устанавливаетс 

нал измер емой поверхностью так, чтобы его ось 00 была перпендикул рна к ней,

Наличие трех приемников излучени  в плоскости падени  позвол ет одновременно измерить отраженные в трех направлени х потоки при посто нном угле падени  излучени  на измер емую поверхность и повысить точность

измерени  параметров шероховатости, так как исключаетс  погрешность за счет нестабильности мощности источника излучени . Наличие нейтральных светофильтров позвол ет измер ть

отличающиес  в несколько раз по величине , потоки в пределах одной шкалы электронно-измерительного блока и исключить погрешность за счет нелинейности , что в конечном итоге также

увеличивает точность измерени  параметров шероховатости. Низкочастотный модул тор на базе жидкокристаллической  чейки малогабаритен, экономичен и позвол ет повысить отношение

сигнал-шум, что весьма существенно при измерении слабых потоков.

Claims (2)

1. Формула изобретени 

   Рефлектометр дл  измерени  пара- .

   метров шероховатости сверхгладких поверхностей, содержащий источник монохро14атического излучени , оптическую систему, направл кицую параллельный пучок излучени  под острым угломв на измер емую поверхность, два приемника излучени  с диафрагмами , расположенные в плоскости пгдени  излучени , первый из которых под углом & зеркального отражени , а второй - под УГЛОМ 02. от угла ft) зеркального отражени , и электронно-измерительный блок обработки сигналов, отличающий

   с   тем, что, с целью повышени 

   точности измерени , он снабжен модул тором , расположенным между источником монохроматического излучени  и оптической системой, третьим приемником с диафрагт эй, ус-, тановленным в плоскости падени  излучени  под углом 0:, отличным от углов Qjf и &I2. и нейтральными светофильтрами , расположенными перед ди фрагмами .

   Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе

   1,Hildebrsnd В,Р., Gordon R.L., Allen E.V. Instrument for measuring

   the roughness of supersmooth surfaces - Applyed Optic, V. 13, № 1, 1974, p. 177-180.
2. 2.Авторское свидетельство СССР

   № 815492, кл. G 01 В 11/30, 1979 (прототип ).

   / I

   ч t

   L-..

   Л